JPS5850610Y2 - 電子顕微鏡等における試料装置

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【考案の詳細な説明】本考案は電子顕微鏡等において試料を電子線光軸と直交
する方向から挿入するいわゆるサイドエントリータイプ
の試料装置に関する。

斯様な試料装置としては第１図に示す様な構造のものが
広く使用されている。

図中１は鏡体、２は該鏡体側壁を回転可能に貫通して取
付けられた傾斜体で、該傾斜体はその回転中心が電子線
光軸と直交するようにおかれており、又内側に球体軸受
３を介して保持筒４が回動自在に保持されている。

該保持筒４の内側には試料５を保持した試料ホルダー６
が移動可能に挿入されており、又該試料ホルダーの大気
側には前記傾斜体２に螺合された調整ネジ７が係合され
ている。

従って調整ネジ７を回転させることにより前後移動させ
ると保持筒４は球体軸受３を中心にして回動するため、
試料５は水平面内においてＹ軸方向に移動する。

尚８は保持筒４と調整ネジ７とを常に係合させるための
スプリングである。

９は前記試料ホルダー６をその軸心に沿って移動させ、
試料５をＸ軸方向に移動させるための移動棒で、該移動
棒は図示はしないが光軸を中心にして傾斜体２と対向す
る位置に設けられた駆動手段に連結されている。

１０及び１１は傾斜体２と球体軸受３及び保持筒４と試
料ホルダー６との夫々の間におかれた真空シール用Ｏリ
ングバッキングである。

今、調整ネジ７及び移動棒９を操作することにより試料
５の所望位置を光軸（電子線）上に一致させた後、傾斜
体２を回動させれば試料の傾斜状態を観察することがで
きる。

ところで電子顕微鏡においては試料観察にあたって前述
の様に傾斜だけではなく、試料を回転させたり、或いは
試料に引張力等を加えた状態で観察することがしばしば
行なわれるため、各観察目的に応じた専用の試料ホルダ
ーが備えてあり、所望の試料ホルダーを選んで保持筒４
に装着している。

この場合試料ホルダー６を保持筒４に挿入した際、試料
ホルダーの動きを滑らかにするためには、Ｏリングバッ
キング１１のサイズ（径）を小さく、つまり試料ホルダ
ーの径をできるだけ小さくすればよい。

しかし乍ら各試料ホルダーの中には寸法上どうしても小
さくできないものがあり、従って従来においては保持筒
４の内径は径の大きい試料ホルダーを基準にして決めて
いる。

そのため試料ホルダーの径を小さくできるものについて
も大きくしなければならず、試料ホルダーの動きが悪く
なる。

本考案は斯様な不都合を解決するものであり、以下第２
図に示す実施例装置に基づき詳説する。

尚、第１図と同一番号は同一構成要素を示す。

即ち本考案は同図に示すように保持筒４の内側に真空シ
ール用Ｏリングバッキング１２を介して交換体１３を取
外し可能に挿入し、該交換体の内側に試料ホルダー６を
挿入するように構成したものである。

前記交換器１３は大きさの異なる各試料ホルダーを嵌合
できるように予じめ多数用意されている。

従って観察する都度使用する試料ホルダーに対応する交
換体１３を保持筒４の内側に挿入し、ビス（図示せず）
に固定すればよい。

以上の様に本考案においては従来のように各試料ホルダ
ーの大きさを一様な大きさにすることなく、交換体を取
り換えることにより径の大きさが小さくてすむ試料ホル
ダーにおいてはそのままの大きさで使用することができ
るため、試料ホルダーの動き、即ち試料移動を滑らかに
することができる。

又、試料ホルダーを交換しても、試料を観察する際の傾
斜角度を交換前の角度に保持することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来例を示す平面断面図、第２図は本考案の一
実施例を示す平面断面図である。第２図において、１は鏡体、２は傾斜体、３は球体軸受
、４は保持筒、５は試料、６は試料ホルダー、７は調整
ネジ、８はスプリング、９は移動棒、１０．１１及び１
２はＯリングバッキング、１３は交換体である。

【実用新案登録請求の範囲】