JPS5832196Y2 - 電子顕微鏡等用試料ホルダ−軸受構造 - Google Patents
電子顕微鏡等用試料ホルダ−軸受構造Info
- Publication number
- JPS5832196Y2 JPS5832196Y2 JP3911378U JP3911378U JPS5832196Y2 JP S5832196 Y2 JPS5832196 Y2 JP S5832196Y2 JP 3911378 U JP3911378 U JP 3911378U JP 3911378 U JP3911378 U JP 3911378U JP S5832196 Y2 JPS5832196 Y2 JP S5832196Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample holder
- sample
- electron microscope
- bearing structure
- rollers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/04—Ball or roller bearings
- F16C29/045—Ball or roller bearings having rolling elements journaled in one of the moving parts
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は電子顕微鏡等に使用して有効な試料ホルダー軸
受構造に関する。
受構造に関する。
電子顕微鏡においては試料の傾斜が容易に行われること
から、試料を電子線光軸と直交する方向から挿入する型
（サイドエントリー）の試料装置が使用されている。
から、試料を電子線光軸と直交する方向から挿入する型
（サイドエントリー）の試料装置が使用されている。
この場合試料を内蔵した試料ホルダーの鏡体への支持に
あたっては−・メアイによる軸受構造を使用しており、
そのため軸受部分にすべり摩擦を生じ試料ホルダーの移
動つまり試料移動をスムーズに行うことが困難となる。
あたっては−・メアイによる軸受構造を使用しており、
そのため軸受部分にすべり摩擦を生じ試料ホルダーの移
動つまり試料移動をスムーズに行うことが困難となる。
父軸受部分に隙間が生じるので振動に弱く、しかも隙間
をできるだけ小さくするために高い加工精度を必要とす
る。
をできるだけ小さくするために高い加工精度を必要とす
る。
更に他の試料ホルダーに対する互換性がない欠点を有し
ている。
ている。
本考案は斯様な不都合を解決することを目的とするもの
で、以下図面に基づき詳説する。
で、以下図面に基づき詳説する。
第１図は本考案の一実施例を示す縦断面図、第２図ａ及
びｂは夫々第１図のＡ−Ａ及びＢ−Ｂ断面図である。
びｂは夫々第１図のＡ−Ａ及びＢ−Ｂ断面図である。
図に釦いて１は電子顕微鏡鏡体の側壁、２は該側壁を回
動可能に貫通して取付けられた傾斜体で、該傾斜体はそ
の回転中心が電子線光軸と直交するようにおかれている
。
動可能に貫通して取付けられた傾斜体で、該傾斜体はそ
の回転中心が電子線光軸と直交するようにおかれている
。
従って該傾斜体を回転させることにより後述する試料５
を電子線ＥＢに対して傾斜させることができる。
を電子線ＥＢに対して傾斜させることができる。
３は該傾斜体２に移動可能に挿入される試料ホルダーで
、該試料ホルダーの真空側端部には互いに平行な２つの
平面１２ａと１２ｂが形成してあり、これらの部分が対
物レンズの上磁極４ａと下・磁極４ｂとの間におかれ、
又試料ホルダーの光軸と交叉する部分に前述した試料５
を保持している。
、該試料ホルダーの真空側端部には互いに平行な２つの
平面１２ａと１２ｂが形成してあり、これらの部分が対
物レンズの上磁極４ａと下・磁極４ｂとの間におかれ、
又試料ホルダーの光軸と交叉する部分に前述した試料５
を保持している。
又該試料ホルダー３の傾斜体２への支持にあたっては第
２図ａ及びｂで示すようにある間隔を保っておかれた２
組のローラー軸受によって行なわれる。
２図ａ及びｂで示すようにある間隔を保っておかれた２
組のローラー軸受によって行なわれる。
即ち第２図ａは試料ホルダー３の平面部分を四方向に設
けられた４個のローラー６ａ乃至６ｄによって支持する
もので、これらのローラー、の内、６ａと６ｂは直接傾
斜体２に回転可能に嵌合されている。
けられた４個のローラー６ａ乃至６ｄによって支持する
もので、これらのローラー、の内、６ａと６ｂは直接傾
斜体２に回転可能に嵌合されている。
又該ローラー６ａと６ｂに夫々対向するローラー６ｃと
６ｄは傾斜体２に固定されたヤング率の高い板バネ７ａ
及び７ｂの他端に回転可能に保持されている。
６ｄは傾斜体２に固定されたヤング率の高い板バネ７ａ
及び７ｂの他端に回転可能に保持されている。
従って各板バネ７ ａ ｙ７ｂの押圧力により各ローラ
ーと試料ホルダー３との接触が保たれる。
ーと試料ホルダー３との接触が保たれる。
これにより試料ホルダー３の回転が阻止される。
又第２図すにむいては試料ホルダー３を等間隔に釦かれ
た３個のローラー８ａ、８ｂ及び８ｃによって支持する
もので、口−ラー８ａと８ｂは直接傾斜体２に回転可能
に嵌合されている。
た３個のローラー８ａ、８ｂ及び８ｃによって支持する
もので、口−ラー８ａと８ｂは直接傾斜体２に回転可能
に嵌合されている。
残りのローラー８Ｃは第２図ａと同様に傾斜体に取付け
られたヤング率の高い板バネ９の他端に回転可能に保持
され、各ローラーと試料ホルダーとの接触が保たれる。
られたヤング率の高い板バネ９の他端に回転可能に保持
され、各ローラーと試料ホルダーとの接触が保たれる。
１０は該試料ホルダー３と傾斜体２との間を真空シール
するためのＯリングバッキングで、両ローラー軸受の中
間部に設けられている。
するためのＯリングバッキングで、両ローラー軸受の中
間部に設けられている。
１１は試料ホルダー３をその軸心方向に移動させるため
の移動棒で、該移動棒は図示しないが光軸を中心にして
傾斜体２と対向する位置に設けられた駆動手段に連結さ
れている。
の移動棒で、該移動棒は図示しないが光軸を中心にして
傾斜体２と対向する位置に設けられた駆動手段に連結さ
れている。
この様な構成となすことにより試料ホルダーの軸受部の
摩擦をころがり摩擦となすことができるため、試料移動
をスムーズに行ない得ると共に試料の移動精度の向上を
はかることができる。
摩擦をころがり摩擦となすことができるため、試料移動
をスムーズに行ない得ると共に試料の移動精度の向上を
はかることができる。
又試料ホルダーの平面部分を４個のローラーにて挾持さ
せることによりローラー軸受を試料ホルダーの回転防止
手段として兼用することができる。
せることによりローラー軸受を試料ホルダーの回転防止
手段として兼用することができる。
更に各ローラーはヤング率の高い板バネにより試料ホル
ダーに押圧されているため、ガタが取り除かれると同時
に耐振性を向上させることができる。
ダーに押圧されているため、ガタが取り除かれると同時
に耐振性を向上させることができる。
更に又、他の試料ホルダーに対する互換性があり、しか
も従来装置に対して加工が容易になる等、実用性大なる
効果を有する。
も従来装置に対して加工が容易になる等、実用性大なる
効果を有する。
同前述の説明は本考案の例示であり、実施にあたっては
幾多の変形が考えられる。
幾多の変形が考えられる。
例えば試料ホルダー３の棒状部を支持するローラー軸受
は３個のローラーを使用したが、２個使或いは４個以上
使用してもよい。
は３個のローラーを使用したが、２個使或いは４個以上
使用してもよい。
特にローラーを２個使用する場合には少なくとも１個の
ローラーは糸巻状に加工する必要がある。
ローラーは糸巻状に加工する必要がある。
又、４個のローラーによって支持される試料ホルダ一部
分には２つの平面を設けたが、これに限定されることな
く１つ又は４つの平面を設けてもよい。
分には２つの平面を設けたが、これに限定されることな
く１つ又は４つの平面を設けてもよい。
第１図は本考案の一実施例を示す縦断面図、第２図ａは
第１図のＡ−Ａ断面図、第２図すは第１図のＢ−Ｂ断面
図である。 図に訃いて、１は鏡体側壁、２は傾斜体、３は試料ホル
ダー、４ａ及び４ｂは対物レンズの上磁極及び下磁極、
５は試料、６ａ乃至６ｄ及び８ａ乃至８ｃはローラー
７ａ、７ｂ及び９は板バネである。
第１図のＡ−Ａ断面図、第２図すは第１図のＢ−Ｂ断面
図である。 図に訃いて、１は鏡体側壁、２は傾斜体、３は試料ホル
ダー、４ａ及び４ｂは対物レンズの上磁極及び下磁極、
５は試料、６ａ乃至６ｄ及び８ａ乃至８ｃはローラー
７ａ、７ｂ及び９は板バネである。
Claims (1)
- 試料を保持した試料ホルダーを電子線光軸と直交する方
向から挿入するようになした装置に釦いで、前記試料ホ
ルダーを鏡体に対して２つのローラー軸受により支持し
、該両ローラー軸受の内一方は相対向する２個のローラ
ーを２組互いに直交するように配置すると共に他方は少
なくとも２個のローラーを対称に配置し、又各ローラー
軸受に卦げる対向するローラーの一方を他方に向かって
弾性体により押圧し、前記４個のｉ−ラーが接触する試
料ホルダーの少なくとも１面は平面状に形成してなる電
子顕微鏡等用試料ホルダー軸受構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3911378U JPS5832196Y2 (ja) | 1978-03-27 | 1978-03-27 | 電子顕微鏡等用試料ホルダ−軸受構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3911378U JPS5832196Y2 (ja) | 1978-03-27 | 1978-03-27 | 電子顕微鏡等用試料ホルダ−軸受構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS54143154U JPS54143154U (ja) | 1979-10-04 |
| JPS5832196Y2 true JPS5832196Y2 (ja) | 1983-07-16 |
Family
ID=28905334
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3911378U Expired JPS5832196Y2 (ja) | 1978-03-27 | 1978-03-27 | 電子顕微鏡等用試料ホルダ−軸受構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5832196Y2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0341148Y2 (ja) * | 1986-08-13 | 1991-08-29 | ||
| KR20000038991A (ko) * | 1998-12-10 | 2000-07-05 | 김형벽 | 슬라이딩이 원활하게 이루어지는 보조 장치 |
| JP5913910B2 (ja) * | 2011-04-26 | 2016-04-27 | 国際計測器株式会社 | 直動アクチュエータ及び加振装置 |
-
1978
- 1978-03-27 JP JP3911378U patent/JPS5832196Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS54143154U (ja) | 1979-10-04 |
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