JPH04206333A - 透過電子顕微鏡用試料ホルダー - Google Patents
透過電子顕微鏡用試料ホルダーInfo
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- JPH04206333A JPH04206333A JP33578890A JP33578890A JPH04206333A JP H04206333 A JPH04206333 A JP H04206333A JP 33578890 A JP33578890 A JP 33578890A JP 33578890 A JP33578890 A JP 33578890A JP H04206333 A JPH04206333 A JP H04206333A
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- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 title claims description 11
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 24
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 13
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は透過電子顕微鏡の試料ホルダーに関し、特に鏡
筒の側面より対物レンズの磁極片間隙に挿入されるサイ
ドエントリー形の試料ホルダーに関する。
筒の側面より対物レンズの磁極片間隙に挿入されるサイ
ドエントリー形の試料ホルダーに関する。
［従来の技術］
従来、第７図（ａ）、 （ｂ）に示すような構成の透
過電子顕微鏡の試料ホルダーか知られている。
過電子顕微鏡の試料ホルダーか知られている。
第７図（ａ）において、試料ホルダーの導入棒１の先端
には試料保持部２が設けられ、該試料保持部２に設けら
れた凹部３には試料Ｓを載置したメツシュ４がばねやね
しなどの押圧部材５により固定されている。該試料ホル
ダーは図示しないゴニオメータに保持されており、該ホ
ルダー先端の部はゴニオメータにより磁極片６の間隙の
電子線光軸０の位置まで挿入されて電子線の照射を受け
る。また、前記ゴニオメータは、試料を光軸に直交する
平面内で移動させたり、光軸に対して傾斜させたりする
機能を備えている。
には試料保持部２が設けられ、該試料保持部２に設けら
れた凹部３には試料Ｓを載置したメツシュ４がばねやね
しなどの押圧部材５により固定されている。該試料ホル
ダーは図示しないゴニオメータに保持されており、該ホ
ルダー先端の部はゴニオメータにより磁極片６の間隙の
電子線光軸０の位置まで挿入されて電子線の照射を受け
る。また、前記ゴニオメータは、試料を光軸に直交する
平面内で移動させたり、光軸に対して傾斜させたりする
機能を備えている。
［発明が解決しようとする課題］
さて、上述のような所謂サイドエントリータイプの試料
ホルダーには複数の試料を比較観察するために第７図（
ｂ）に示すように試料保持部２に複数の試料を装着する
ことができるものもあるか、その数は高々数個である。
ホルダーには複数の試料を比較観察するために第７図（
ｂ）に示すように試料保持部２に複数の試料を装着する
ことができるものもあるか、その数は高々数個である。
これ以上の試料に対して比較観察を行なう場合には、−
度、試料をホルダーから取り外して交換するか、または
試料ホルダーを必要本数用意することによって行なって
いる。前者ように、試料をホルダーから取り外して交換
した場合には、外した試料を再び装着する際に前と同し
条件例えば、数万倍に拡大して観察されるような領域（
部位）に関して試料の方位（取り付けの回転角）を再び
同じ向きに取り付は一致させることは手作業では不可能
である。また、薄片状の試料では表裏を誤って取り付け
てしまう場合もあり、観察条件の再現性に乏しくなるこ
とが問題となる。
度、試料をホルダーから取り外して交換するか、または
試料ホルダーを必要本数用意することによって行なって
いる。前者ように、試料をホルダーから取り外して交換
した場合には、外した試料を再び装着する際に前と同し
条件例えば、数万倍に拡大して観察されるような領域（
部位）に関して試料の方位（取り付けの回転角）を再び
同じ向きに取り付は一致させることは手作業では不可能
である。また、薄片状の試料では表裏を誤って取り付け
てしまう場合もあり、観察条件の再現性に乏しくなるこ
とが問題となる。
また、後者のように使用者か試料ホルダを複数本用意す
るような場合は、装置のコスト高となり −甚た不経済
である。
るような場合は、装置のコスト高となり −甚た不経済
である。
さらに、透過電子顕微鏡用の試料は非常に薄く、且つメ
ツシュの直径も３ｍｍと小さいため、その交換作業は至
極面倒であり、不慣れな操作者は交換作業に時間かかか
ると共に試料の取付は作業中に大切な試料を壊してしま
う場合もある。
ツシュの直径も３ｍｍと小さいため、その交換作業は至
極面倒であり、不慣れな操作者は交換作業に時間かかか
ると共に試料の取付は作業中に大切な試料を壊してしま
う場合もある。
本発明は上述した問題点を考慮し、簡単且つ再現性を良
く試料交換か行なえ、また、試料の取付は作業中も簡単
に行なうことのできる透過電子顕微鏡用試料ホルダーを
提供することを目的としている。
く試料交換か行なえ、また、試料の取付は作業中も簡単
に行なうことのできる透過電子顕微鏡用試料ホルダーを
提供することを目的としている。
［課題を解決するための手段］
本発明は、試料薄片または試料を載置したメツシュを保
持するため薄板と、その先端部に前記薄板の端部を着脱
自在に挾持する手段を有する導入棒とからなり、該薄板
と導入棒を接続することにより一体に形成される透過電
子顕微鏡用試料ホルダーを特徴としている。
持するため薄板と、その先端部に前記薄板の端部を着脱
自在に挾持する手段を有する導入棒とからなり、該薄板
と導入棒を接続することにより一体に形成される透過電
子顕微鏡用試料ホルダーを特徴としている。
［実施例］
以下、本発明の実施例を図面に基ついて説明する。第１
図及び第２図は本発明による透過電子顕微鏡用試料ホル
ダーの一実施例を説明するための構成図、第３図は試料
保持部の取り外し動作を説明するだめの図、第４図は試
料保持用の薄板への試料の取り付は作業を示す図、第５
図（ａ）。
図及び第２図は本発明による透過電子顕微鏡用試料ホル
ダーの一実施例を説明するための構成図、第３図は試料
保持部の取り外し動作を説明するだめの図、第４図は試
料保持用の薄板への試料の取り付は作業を示す図、第５
図（ａ）。
（ｂ）は試料保持用の薄板内に組み込まれた試料傾斜機
構を説明するための図、第６図（ａ）。
構を説明するための図、第６図（ａ）。
（ｂ）は試料保持用の薄板に組み込まれた試料移動機構
の他の実施例を説明するだめの図である。
の他の実施例を説明するだめの図である。
第１図及び第２図において試料保持用の薄板１２に設け
られた四部１３には試料Ｓを載置したメツシュ１４が押
圧ねじ１５により固定されている。
られた四部１３には試料Ｓを載置したメツシュ１４が押
圧ねじ１５により固定されている。
この試料保持用の薄板１２の裏面に設けられた受は穴１
６は導入棒１１の先端部１１ａに設けられたピン１７と
嵌合し、さらに、薄板１２の端部１２ａは軸１８に回転
可能に設けられた押え１９によって導入棒の先端部１１
ａとの間に挾持されている。この押え１９の回転は導入
棒に固着されたばね２０の押圧によって規制されている
。ここで、前記試料保持用の薄板１２を導入棒１１の先
端より取り外す場合は、第３図に示すように前記押え１
９を回動する。このとき、前記ばね２０は押え１９の移
動に応じて伸縮するため、その規制か一時的に解除され
、前記押え１９を位置Ａまで開くことかできる。
６は導入棒１１の先端部１１ａに設けられたピン１７と
嵌合し、さらに、薄板１２の端部１２ａは軸１８に回転
可能に設けられた押え１９によって導入棒の先端部１１
ａとの間に挾持されている。この押え１９の回転は導入
棒に固着されたばね２０の押圧によって規制されている
。ここで、前記試料保持用の薄板１２を導入棒１１の先
端より取り外す場合は、第３図に示すように前記押え１
９を回動する。このとき、前記ばね２０は押え１９の移
動に応じて伸縮するため、その規制か一時的に解除され
、前記押え１９を位置Ａまで開くことかできる。
さて、従来の試料ホルダーは、導入棒と試料保持部か一
体で長くまた重量のある構造であるため、試料ホルダー
を卓上等に固定した上でビンセット等によって掴んだ試
料を導入棒の先端へ搬送して取り付けを行なっていた。
体で長くまた重量のある構造であるため、試料ホルダー
を卓上等に固定した上でビンセット等によって掴んだ試
料を導入棒の先端へ搬送して取り付けを行なっていた。
しかし、上述したような導入棒１１の先端１１． ａよ
り取り外された薄板１２は、１〜２０ｍ２程度の面積を
有する小形なもので、第４図に示すように直接片手で持
った際に取扱い易い大きさであるため、ピンセット２１
によって掴ん試料やメツシュを該薄板１２に設けられた
凹部１３に搬送してセットする場合でも薄板１２側を自
在に移動させたり傾けたりすることができるようになる
ので、従来に比べ簡単に試料の取り付けを行なうことが
できる。また、取り外された薄板１２は小形であるから
試料を載置したままの状態でデシケータ等の保存装置内
に収容しておくことかできる。
り取り外された薄板１２は、１〜２０ｍ２程度の面積を
有する小形なもので、第４図に示すように直接片手で持
った際に取扱い易い大きさであるため、ピンセット２１
によって掴ん試料やメツシュを該薄板１２に設けられた
凹部１３に搬送してセットする場合でも薄板１２側を自
在に移動させたり傾けたりすることができるようになる
ので、従来に比べ簡単に試料の取り付けを行なうことが
できる。また、取り外された薄板１２は小形であるから
試料を載置したままの状態でデシケータ等の保存装置内
に収容しておくことかできる。
第５図（ａ）は試料保持用の薄板内に組み込まれた試料
傾斜機構とその駆動機構を説明するための図で、第５図
（ｂ）は同図（ａ）の上面図であ第５図Ｃａ）（ｂ）に
示す実施例では、薄板によってフレーム１．２ｂを構成
し、そのフレーム１２ｂ内に球軸２２を介して試料を保
持する四部１３を有する薄板１２ｃが前記軸２２につい
て傾斜可能に設けられている。また、２３は導入棒１１
内部に設けられた駆動棒、２４はフレーム内に設けられ
たてこ体、２５．２６．２７は軸、２８は薄板１２ Ｃ
に常に時計方向への回転力を与えておくためのばねであ
る。
傾斜機構とその駆動機構を説明するための図で、第５図
（ｂ）は同図（ａ）の上面図であ第５図Ｃａ）（ｂ）に
示す実施例では、薄板によってフレーム１．２ｂを構成
し、そのフレーム１２ｂ内に球軸２２を介して試料を保
持する四部１３を有する薄板１２ｃが前記軸２２につい
て傾斜可能に設けられている。また、２３は導入棒１１
内部に設けられた駆動棒、２４はフレーム内に設けられ
たてこ体、２５．２６．２７は軸、２８は薄板１２ Ｃ
に常に時計方向への回転力を与えておくためのばねであ
る。
第５図（ａ）からもわかるように、駆動棒２３を図面右
方向へ前進させると、フレーム１２ｂに設けられた軸２
５に取り付けられたてこ体２４は該軸２５について反時
計方向に回転する。該てこ体の回転によりその作用点と
軸２６を介して係合された薄板１２ｃは球軸２２につい
て時計方向に回動されるため、球軸２２の軸線上に配置
された試料か傾斜される。
方向へ前進させると、フレーム１２ｂに設けられた軸２
５に取り付けられたてこ体２４は該軸２５について反時
計方向に回転する。該てこ体の回転によりその作用点と
軸２６を介して係合された薄板１２ｃは球軸２２につい
て時計方向に回動されるため、球軸２２の軸線上に配置
された試料か傾斜される。
この試料保持用の薄板を導入棒１１の先端１１ａより取
り外す場合は、先述した実施例の場合と同様に押え１９
を回動ずれば良い。このとき、フレーム１２ｂ内の傾斜
機構に機械的に係合される駆動棒２３が導入棒側に残さ
れ、傾斜機構を備えた薄板のみか取り外される。
り外す場合は、先述した実施例の場合と同様に押え１９
を回動ずれば良い。このとき、フレーム１２ｂ内の傾斜
機構に機械的に係合される駆動棒２３が導入棒側に残さ
れ、傾斜機構を備えた薄板のみか取り外される。
第６図（ａ）及び（ｂ）は試料保持用の薄板内に組み込
まれた試料移動機構の他の実施例を説明するための図で
、いずれも薄板を裏面から見た図である。第６図（ａ）
に示される実施例は、第５図に示される試料傾斜機構と
路間し機構であるか、てこ体２４に駆動力を与えるため
の駆動棒に代えて、フレーム１２ｂとてこ体２４との間
に電歪素子３０を設けている。この電歪素子３０に電圧
を印加して電歪素子を伸縮させることによって、てこ体
に回転力を与え試料を傾斜させるようにして、いる。ま
た、第６図（ｂ）に示される実施例において、３１は電
歪素子よる平面内回転機構で例えば、超音波モータや圧
電素子によるウォーカ等によって構成されている。第６
図（ａ）（ｂ）に示される各素子への駆動電圧または駆
動用の制御信号の供給には薄板端部１２ａに印刷された
配線３２等が用いられており、該配線の端部３２ａは導
入棒１１の端部１１ａとの接面で該導入棒内部を通して
配線された供給線の端部と接続されるように構成されて
いる。
まれた試料移動機構の他の実施例を説明するための図で
、いずれも薄板を裏面から見た図である。第６図（ａ）
に示される実施例は、第５図に示される試料傾斜機構と
路間し機構であるか、てこ体２４に駆動力を与えるため
の駆動棒に代えて、フレーム１２ｂとてこ体２４との間
に電歪素子３０を設けている。この電歪素子３０に電圧
を印加して電歪素子を伸縮させることによって、てこ体
に回転力を与え試料を傾斜させるようにして、いる。ま
た、第６図（ｂ）に示される実施例において、３１は電
歪素子よる平面内回転機構で例えば、超音波モータや圧
電素子によるウォーカ等によって構成されている。第６
図（ａ）（ｂ）に示される各素子への駆動電圧または駆
動用の制御信号の供給には薄板端部１２ａに印刷された
配線３２等が用いられており、該配線の端部３２ａは導
入棒１１の端部１１ａとの接面で該導入棒内部を通して
配線された供給線の端部と接続されるように構成されて
いる。
尚、上述した実施例は本発明の一実施例に過ぎず、本発
明は種々変形して実施することかできる。
明は種々変形して実施することかできる。
例えば、上述した実施例において、導入棒にフレームを
取り付けた際に、該導入棒側に設けられた駆動棒に機械
的に係合される試料移動機構は、試料傾斜機構であった
が、該試料移動機構は平面内回転機構等であっても良い
し、その他複数の移動機構を同時に備えたものであって
も良い。なお、フレーム内に複数の移動機構を設けた場
合は、導入棒内に駆動棒を複数偏えておき、前記フレー
ムに備えられた試料移動機構がいずれかの駆動棒に係合
するようにしておけば良い。この場合、駆動棒側には複
数の駆動棒を設けておく必要があるが、−本の導入棒に
対して試料を載置する薄板を選ぶことによって種々の試
料移動を行なうことができるので、高価な試料ホルダー
を必要本数用意することは不要となり経済的である。ま
た、試料導入棒の先端部に取り出された供給線端にフレ
ームに印刷された配線を接続して電気的に電歪素子等を
駆動する場合も同様である。
取り付けた際に、該導入棒側に設けられた駆動棒に機械
的に係合される試料移動機構は、試料傾斜機構であった
が、該試料移動機構は平面内回転機構等であっても良い
し、その他複数の移動機構を同時に備えたものであって
も良い。なお、フレーム内に複数の移動機構を設けた場
合は、導入棒内に駆動棒を複数偏えておき、前記フレー
ムに備えられた試料移動機構がいずれかの駆動棒に係合
するようにしておけば良い。この場合、駆動棒側には複
数の駆動棒を設けておく必要があるが、−本の導入棒に
対して試料を載置する薄板を選ぶことによって種々の試
料移動を行なうことができるので、高価な試料ホルダー
を必要本数用意することは不要となり経済的である。ま
た、試料導入棒の先端部に取り出された供給線端にフレ
ームに印刷された配線を接続して電気的に電歪素子等を
駆動する場合も同様である。
［発明の効果コ
以上の説明から明らかなように、本発明による透過電子
顕微鏡用試料ホルダーは、試料薄片または試料を載置し
たメツシュを保持するため薄板と、その先端部に前記薄
板の端部を着脱自在に挾持する手段を有する導入棒とか
らなり、該薄板と導入棒を接続して一体に形成したこと
により、試料を薄板から外すことなく交換することかで
きるため簡単に試料交換かできると共に、再装着時の試
料の方位（取り付けの回転角）の再現性か保たれる。
顕微鏡用試料ホルダーは、試料薄片または試料を載置し
たメツシュを保持するため薄板と、その先端部に前記薄
板の端部を着脱自在に挾持する手段を有する導入棒とか
らなり、該薄板と導入棒を接続して一体に形成したこと
により、試料を薄板から外すことなく交換することかで
きるため簡単に試料交換かできると共に、再装着時の試
料の方位（取り付けの回転角）の再現性か保たれる。
また、該薄板は直接片手で持った際に取扱い易い大きさ
であるため、ピンセット等によって掴ん試料やメツシュ
を該薄板に設けられた四部に搬送してセットする場合で
も薄板側を自在に移動させたり傾けたりすることかでき
るので、従来に比べ簡単に試料の取り付けを行なうこと
ができる。
であるため、ピンセット等によって掴ん試料やメツシュ
を該薄板に設けられた四部に搬送してセットする場合で
も薄板側を自在に移動させたり傾けたりすることかでき
るので、従来に比べ簡単に試料の取り付けを行なうこと
ができる。
さらに、発明による試料ホルダーの場合、移動機構の有
無に係わらず、−本の試料導入棒に対して、小形な試料
を載置した薄板のみを交換する構成であるため、試料ホ
ルダーを複数本用意するような場合に比べ装置のコスト
を低く押さえることかできる。
無に係わらず、−本の試料導入棒に対して、小形な試料
を載置した薄板のみを交換する構成であるため、試料ホ
ルダーを複数本用意するような場合に比べ装置のコスト
を低く押さえることかできる。
第１図及び第２図は本発明による透過電子顕微鏡用試料
ホルダーの一実施例を説明するための構成図、第３図は
試料保持部の取り外し動作を説明するための図、第４図
は試料保持用の薄板への試料の取り付は作業を示す図、
第５図（ａ）、（ｂ）は試料保持用の薄板内に組み込ま
れた試料傾斜機構およびその駆動機構を説明するだめの
図、第６図（ａ）、 （ｂ）は試料保持用の薄板に組
み込まれた試料移動機構の他の実施例を説明するための
図、第７図は従来の試料ホルダーの一例を示すための図
である。 １２：薄板 ］２ａ、薄板端部 １３：凹部 １４：メツシュ １５、抑圧ねし １６．受は六 １７、ピン １８：軸 １９：押え Ｓ：試料
ホルダーの一実施例を説明するための構成図、第３図は
試料保持部の取り外し動作を説明するための図、第４図
は試料保持用の薄板への試料の取り付は作業を示す図、
第５図（ａ）、（ｂ）は試料保持用の薄板内に組み込ま
れた試料傾斜機構およびその駆動機構を説明するだめの
図、第６図（ａ）、 （ｂ）は試料保持用の薄板に組
み込まれた試料移動機構の他の実施例を説明するための
図、第７図は従来の試料ホルダーの一例を示すための図
である。 １２：薄板 ］２ａ、薄板端部 １３：凹部 １４：メツシュ １５、抑圧ねし １６．受は六 １７、ピン １８：軸 １９：押え Ｓ：試料
Claims (2)
- （１）試料薄片または試料を載置したメッシュを保持す
るため薄板と、その先端部に前記薄板の端部を着脱自在
に挾持する手段を有する導入棒とからなり、該薄板と導
入棒を接続することにより一体に形成されることを特徴
とする透過電子顕微鏡用試料ホルダー。 - （２）前記薄板内に試料移動機構を設けると共に、該薄
板と導入棒を接続することにより前記移動機構に機械的
または電気的に係合される手段を前記導入棒に設けたこ
とを特徴とする請求項１記載の透過電子顕微鏡用試料ホ
ルダー。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33578890A JP2934308B2 (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | 透過電子顕微鏡用試料ホルダー |
| US07/800,587 US5225683A (en) | 1990-11-30 | 1991-11-27 | Detachable specimen holder for transmission electron microscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33578890A JP2934308B2 (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | 透過電子顕微鏡用試料ホルダー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04206333A true JPH04206333A (ja) | 1992-07-28 |
| JP2934308B2 JP2934308B2 (ja) | 1999-08-16 |
Family
ID=18292449
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33578890A Expired - Fee Related JP2934308B2 (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | 透過電子顕微鏡用試料ホルダー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2934308B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1863066A1 (en) * | 2006-05-29 | 2007-12-05 | FEI Company | Sample carrier and sample holder |
| EP1868225A1 (en) * | 2006-05-29 | 2007-12-19 | FEI Company | Sample carrier and sample holder |
| US7851769B2 (en) | 2007-10-18 | 2010-12-14 | The Regents Of The University Of California | Motorized manipulator for positioning a TEM specimen |
| US7884326B2 (en) | 2007-01-22 | 2011-02-08 | Fei Company | Manipulator for rotating and translating a sample holder |
| CN103196719A (zh) * | 2013-03-17 | 2013-07-10 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 透射电镜用微纳颗粒样品载网贮存装置以及样品制备方法 |
| JP2014044842A (ja) * | 2012-08-27 | 2014-03-13 | Melbil Co Ltd | 試料ホルダー |
| JPWO2015122260A1 (ja) * | 2014-02-14 | 2017-03-30 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子装置 |
| CN106935464A (zh) * | 2017-02-17 | 2017-07-07 | 西北工业大学 | 用于透射‑电子背散射衍射的工具及衍射图像成像方法 |
-
1990
- 1990-11-30 JP JP33578890A patent/JP2934308B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| EP1863066A1 (en) * | 2006-05-29 | 2007-12-05 | FEI Company | Sample carrier and sample holder |
| JP2007324128A (ja) * | 2006-05-29 | 2007-12-13 | Fei Co | 試料キャリア及び試料ホルダ |
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