JPH073773B2 - 電子顕微鏡等の試料微動装置 - Google Patents
電子顕微鏡等の試料微動装置Info
- Publication number
- JPH073773B2 JPH073773B2 JP3876885A JP3876885A JPH073773B2 JP H073773 B2 JPH073773 B2 JP H073773B2 JP 3876885 A JP3876885 A JP 3876885A JP 3876885 A JP3876885 A JP 3876885A JP H073773 B2 JPH073773 B2 JP H073773B2
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- Japan
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- electron microscope
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Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は電子顕微鏡等の試料微動装置に係り、特に多試
料ホルダー装置に好適な試料微動装置に関する。
料ホルダー装置に好適な試料微動装置に関する。
複数個の試料を収納し得る試料台を備えた多試料ホルダ
ーは公知である（特願昭51-98161）。
ーは公知である（特願昭51-98161）。
しかしこれを装着する試料微動装置のｘ方向の駆動軸
は、多試料ホルダーの中心軸と一致しているため試料台
を移動させるだけの空間を取ることができないため、複
数個の試料についてその観察を切り替えることは困難で
あった。
は、多試料ホルダーの中心軸と一致しているため試料台
を移動させるだけの空間を取ることができないため、複
数個の試料についてその観察を切り替えることは困難で
あった。
本発明の目的は、複数個の試料を収容する電子顕微鏡等
の試料微動装置において、試料を移動させて観察するこ
とが容易な電子顕微鏡等の試料微動装置を提供すること
にある。
の試料微動装置において、試料を移動させて観察するこ
とが容易な電子顕微鏡等の試料微動装置を提供すること
にある。
本発明では電子顕微鏡等の電子線の照射経路を有する鏡
筒に取りつけられた試料微動台と、複数の試料を保持す
る試料台と、試料微動台に装着されかつ試料台をＸ方向
の粗動させる試料台粗動部材と、試料台をＸ方向に微動
させる駆動軸を備えた電子顕微鏡等の試料微動装置にお
いて、試料微動台に装着された試料台粗動部材のＸ方向
軸に対して、駆動軸のＸ方向軸を隔たりを設けて設置す
ることにより複数の試料を移動せしめる空間を確保し、
これにより試料台粗動部材をＸ方向に粗動させて、複数
の試料中の特定の試料を電子線の照射経路上に移動さ
せ、かつ駆動軸をＸ方向に微動させることにより、電子
線の照射経路に対してこの特定の試料を微動させる機能
を持たせたことにある。
筒に取りつけられた試料微動台と、複数の試料を保持す
る試料台と、試料微動台に装着されかつ試料台をＸ方向
の粗動させる試料台粗動部材と、試料台をＸ方向に微動
させる駆動軸を備えた電子顕微鏡等の試料微動装置にお
いて、試料微動台に装着された試料台粗動部材のＸ方向
軸に対して、駆動軸のＸ方向軸を隔たりを設けて設置す
ることにより複数の試料を移動せしめる空間を確保し、
これにより試料台粗動部材をＸ方向に粗動させて、複数
の試料中の特定の試料を電子線の照射経路上に移動さ
せ、かつ駆動軸をＸ方向に微動させることにより、電子
線の照射経路に対してこの特定の試料を微動させる機能
を持たせたことにある。
以下、本発明の一実施例を図により説明する。第１図は
試料ホルダーのところで、電子顕微鏡を横断し、上部か
ら見た図である。第２図は第１図のＡ−Ａ′断面図であ
る。１は鏡筒、２は試料微動台、３は試料微動台に装着
された多試料ホルダーである。３には試料台20が設けら
れており、それに試料5a〜5eまで５ケの試料が収納され
ている。図では5dの試料が鏡筒の中心、即ち、検鏡状態
に置かれた様子を表わしている。試料5dはツマミ４をま
わすことにより、球体軸受10を中心とし、スプリング16
とのつり合いにおいて、ｙ方向に動かすことができる。
又ｘ方向の移動については、第２図による説明が容易で
ある。駆動台13に取付けられたツマミ15をまわすことに
より、テコ14が動き、これと連動している駆動軸11、連
結棒12が動き、多試料ホルダー３を動かすことができ、
３に取り付けられている試料台20およびこれに収納され
ている試料をｘ方向に動かすことができる。多試料ホル
ダー３は球体軸受10を介して、試料微動台２に取り付け
られているとき、鏡筒内は真空に保たれているため、多
試料ホルダー３は常に大気圧で鏡筒内に押される状態と
なり、多試料ホルダー３の接触部17が連結棒12に常に押
しつけられているため、ツマミ15の動きにつり合つてｘ
方向の動きとなる。
試料ホルダーのところで、電子顕微鏡を横断し、上部か
ら見た図である。第２図は第１図のＡ−Ａ′断面図であ
る。１は鏡筒、２は試料微動台、３は試料微動台に装着
された多試料ホルダーである。３には試料台20が設けら
れており、それに試料5a〜5eまで５ケの試料が収納され
ている。図では5dの試料が鏡筒の中心、即ち、検鏡状態
に置かれた様子を表わしている。試料5dはツマミ４をま
わすことにより、球体軸受10を中心とし、スプリング16
とのつり合いにおいて、ｙ方向に動かすことができる。
又ｘ方向の移動については、第２図による説明が容易で
ある。駆動台13に取付けられたツマミ15をまわすことに
より、テコ14が動き、これと連動している駆動軸11、連
結棒12が動き、多試料ホルダー３を動かすことができ、
３に取り付けられている試料台20およびこれに収納され
ている試料をｘ方向に動かすことができる。多試料ホル
ダー３は球体軸受10を介して、試料微動台２に取り付け
られているとき、鏡筒内は真空に保たれているため、多
試料ホルダー３は常に大気圧で鏡筒内に押される状態と
なり、多試料ホルダー３の接触部17が連結棒12に常に押
しつけられているため、ツマミ15の動きにつり合つてｘ
方向の動きとなる。
これらx,y方向の試料の移動は検鏡視野選択のためのも
ので、その移動範囲は通常、試料１ケ分を微動させる程
度のものである。試料5a〜5eの任意の試料を検鏡位置に
持つてくるためには、試料台20をＸ方向に粗動させる試
料台粗動部材のツマミ９をまわして、試料台20と連結し
ている軸７に設けられたピン８を溝6a〜6eのどこかに持
つてくることによつて行われる。ギヤー18をまわすこと
により、ウオームギヤー19を介して、試料微動台２はそ
の軸Ｘ−Ｘ′を中心に回転する。これに伴い、試料５は
軸Ｘ−Ｘ′を含む面に設けられているため、検鏡試料は
軸Ｘ−Ｘ′を中心に傾斜する。そして、ツマミ９をまわ
して多試料ホルダーの軸方に移動させれば、試料台20は
軸Ｘ−Ｘ′を含んだ面で挿通する。一方ｘ方向の駆動部
の軸X1-X1′は試料台20の移動のさまたげとならないよ
う、軸Ｘ−Ｘ′とは少し離れた位置に設けられている。
従来は、軸Ｘ−Ｘ′と軸X1-X1′が一致していたため、
試料台移動のための充分な空間がとれなかつた。
ので、その移動範囲は通常、試料１ケ分を微動させる程
度のものである。試料5a〜5eの任意の試料を検鏡位置に
持つてくるためには、試料台20をＸ方向に粗動させる試
料台粗動部材のツマミ９をまわして、試料台20と連結し
ている軸７に設けられたピン８を溝6a〜6eのどこかに持
つてくることによつて行われる。ギヤー18をまわすこと
により、ウオームギヤー19を介して、試料微動台２はそ
の軸Ｘ−Ｘ′を中心に回転する。これに伴い、試料５は
軸Ｘ−Ｘ′を含む面に設けられているため、検鏡試料は
軸Ｘ−Ｘ′を中心に傾斜する。そして、ツマミ９をまわ
して多試料ホルダーの軸方に移動させれば、試料台20は
軸Ｘ−Ｘ′を含んだ面で挿通する。一方ｘ方向の駆動部
の軸X1-X1′は試料台20の移動のさまたげとならないよ
う、軸Ｘ−Ｘ′とは少し離れた位置に設けられている。
従来は、軸Ｘ−Ｘ′と軸X1-X1′が一致していたため、
試料台移動のための充分な空間がとれなかつた。
本発明では、軸Ｘ−Ｘ′と軸X1-X1′とを一致させない
ことにより、試料台移動に必要充分な空間を設けること
ができる。図で試料５ケ同時装着の例を示したが、鏡筒
の大きさに応じ、必要なら５ケ以上の試料を同時装着可
能な装置とすることも可能である。
ことにより、試料台移動に必要充分な空間を設けること
ができる。図で試料５ケ同時装着の例を示したが、鏡筒
の大きさに応じ、必要なら５ケ以上の試料を同時装着可
能な装置とすることも可能である。
電子顕微鏡の試料微動装置としてはかならずしも傾斜機
能を必要としない場合もあるが、その場合も多試料用試
料微動装置として、軸Ｘ−Ｘ′と軸X1-X1′を必要な量
だけ離して設ければよい。
能を必要としない場合もあるが、その場合も多試料用試
料微動装置として、軸Ｘ−Ｘ′と軸X1-X1′を必要な量
だけ離して設ければよい。
本発明によれば、従来２〜３ケの試料しか装着できなか
つた多試料ホルダーが、一度に鏡筒の空間のゆるすかぎ
り多くの試料を装着可能な多試料ホルダーを使用するこ
とができるので、生物試料等、多数の試料を迅速に処理
する必要がある場合はその効果極めて大である。
つた多試料ホルダーが、一度に鏡筒の空間のゆるすかぎ
り多くの試料を装着可能な多試料ホルダーを使用するこ
とができるので、生物試料等、多数の試料を迅速に処理
する必要がある場合はその効果極めて大である。
第１図は本発明実施例の電子顕微鏡の試料ホルダー部で
の横断面図、第２図は第１図のＡ−Ａ′断面図である。 １…鏡筒、２…試料微動（傾斜）台、３…多試料ホルダ
ー、11…駆動軸、12…連結棒、17…接触部、20…試料
台。
の横断面図、第２図は第１図のＡ−Ａ′断面図である。 １…鏡筒、２…試料微動（傾斜）台、３…多試料ホルダ
ー、11…駆動軸、12…連結棒、17…接触部、20…試料
台。
Claims (1)
- 【請求項１】電子顕微鏡等の電子線の照射経路を有する
鏡筒に取りつけられた試料微動台と、複数の試料を保持
する試料台と、前記試料微動台に装着されかつ前記試料
台をＸ方向に粗動させる試料台粗動部材と、前記試料台
をＸ方向に微動させる駆動軸とを備えた電子顕微鏡等の
試料微動装置において、前記試料微動台に装着された試
料台粗動部材のＸ方向軸に対して、前記駆動軸のＸ方向
軸を隔たりを設けて設置し、前記試料台粗動部材をＸ方
向に粗動させることにより、前記複数の試料中の特定の
試料を前記電子線の照射経路上に移動せしめ、かつ前記
駆動軸をＸ方向に微動させることにより、前記電子線の
照射経路に対して前記特定の試料を微動せしめることを
特徴とする電子顕微鏡等の試料微動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3876885A JPH073773B2 (ja) | 1985-03-01 | 1985-03-01 | 電子顕微鏡等の試料微動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3876885A JPH073773B2 (ja) | 1985-03-01 | 1985-03-01 | 電子顕微鏡等の試料微動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61200657A JPS61200657A (ja) | 1986-09-05 |
| JPH073773B2 true JPH073773B2 (ja) | 1995-01-18 |
Family
ID=12534469
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3876885A Expired - Lifetime JPH073773B2 (ja) | 1985-03-01 | 1985-03-01 | 電子顕微鏡等の試料微動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH073773B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4534273B2 (ja) * | 1999-08-31 | 2010-09-01 | 株式会社日立製作所 | 試料作成装置 |
| KR101085099B1 (ko) | 2009-02-12 | 2011-11-21 | 에이피텍 주식회사 | 투과전자현미경 분석시료의 회전장치 |
| JP5798393B2 (ja) * | 2011-06-27 | 2015-10-21 | 日本電子株式会社 | 透過電子顕微鏡システム |
-
1985
- 1985-03-01 JP JP3876885A patent/JPH073773B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61200657A (ja) | 1986-09-05 |
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