JPH06215717A - 試料ホルダ保持機構 - Google Patents
試料ホルダ保持機構Info
- Publication number
- JPH06215717A JPH06215717A JP50A JP582693A JPH06215717A JP H06215717 A JPH06215717 A JP H06215717A JP 50 A JP50 A JP 50A JP 582693 A JP582693 A JP 582693A JP H06215717 A JPH06215717 A JP H06215717A
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- Withdrawn
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 4
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 5
- 230000026058 directional locomotion Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】
【目的】 試料のＹ方向の振動の影響を低減化する。
【構成】 Ｘ方向駆動部と、試料ホルダ先端部との間に
介在する連結棒を、連結棒を収納する案内筒に対してバ
ネ力で押しつけると共に、連結棒を案内筒に対して弾性
的に支持することにより試料のＹ方向の振動の影響を低
減化し、良好な像観察を行うことが可能となる。
介在する連結棒を、連結棒を収納する案内筒に対してバ
ネ力で押しつけると共に、連結棒を案内筒に対して弾性
的に支持することにより試料のＹ方向の振動の影響を低
減化し、良好な像観察を行うことが可能となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はサイドエントリ方式のゴ
ニオメータに関わり、特に振動からの影響を低減化する
ようにした試料ホルダ保持機構に関するものである。
ニオメータに関わり、特に振動からの影響を低減化する
ようにした試料ホルダ保持機構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図５はサイドエントリ方式のゴニオメー
タを示す電子線光軸に垂直（Ｚ方向）な断面図、図６は
その一部詳細図である。図中、１は試料ステージ、２は
取付フランジ、３は傾斜ブロック、４は傾斜駆動用歯
車、５は移動ブロック、６はＹ方向移動用ノブ、７はＺ
方向移動用ノブ、８はバネ、９は支点、１０は試料ホル
ダ、１１は試料、１２はサポート、１３は水平方向（Ｘ
方向）駆動部、１４，１５はＯリング、１６は案内筒
（ケース）、１７はコイルバネ、１８は連結棒（サポー
ト）、１９は円錐コイルバネである。
タを示す電子線光軸に垂直（Ｚ方向）な断面図、図６は
その一部詳細図である。図中、１は試料ステージ、２は
取付フランジ、３は傾斜ブロック、４は傾斜駆動用歯
車、５は移動ブロック、６はＹ方向移動用ノブ、７はＺ
方向移動用ノブ、８はバネ、９は支点、１０は試料ホル
ダ、１１は試料、１２はサポート、１３は水平方向（Ｘ
方向）駆動部、１４，１５はＯリング、１６は案内筒
（ケース）、１７はコイルバネ、１８は連結棒（サポー
ト）、１９は円錐コイルバネである。
【０００３】図５において、試料ホルダ１０は鏡筒を通
して挿入されて試料ステージ１で支持され、その先端Ａ
は反対側から挿入されたＸ方向駆動部１３との間に介在
するサポート１２に当接している。試料ホルダ１０の大
気側と真空側とのシールはＯリング１４，１５により行
われ、試料ホルダ１０は球面軸受で支持されてその先端
Ａは支点９を中心に円弧運動し、このときサポート１２
はＸ方向駆動部１３との係合点である支点Ｂを中心にし
て連動し、試料１１をＹ方向およびＺ方向に移動できる
ようになっている。また、Ｘ方向（ホルダ軸方向）の移
動はＸ方向駆動部１３により行われ、真空側（図の左
側）への移動は大気圧により行われる。試料ホルダ１０
の先端部とＸ方向駆動部１３との間にあって、支点Ａと
Ｂとを結ぶサポート１２はＸ方向駆動部１３の力を試料
ホルダに伝えると共に、試料ホルダ１０を通して外から
入ってくる振動を抑える役目を果たしている。
して挿入されて試料ステージ１で支持され、その先端Ａ
は反対側から挿入されたＸ方向駆動部１３との間に介在
するサポート１２に当接している。試料ホルダ１０の大
気側と真空側とのシールはＯリング１４，１５により行
われ、試料ホルダ１０は球面軸受で支持されてその先端
Ａは支点９を中心に円弧運動し、このときサポート１２
はＸ方向駆動部１３との係合点である支点Ｂを中心にし
て連動し、試料１１をＹ方向およびＺ方向に移動できる
ようになっている。また、Ｘ方向（ホルダ軸方向）の移
動はＸ方向駆動部１３により行われ、真空側（図の左
側）への移動は大気圧により行われる。試料ホルダ１０
の先端部とＸ方向駆動部１３との間にあって、支点Ａと
Ｂとを結ぶサポート１２はＸ方向駆動部１３の力を試料
ホルダに伝えると共に、試料ホルダ１０を通して外から
入ってくる振動を抑える役目を果たしている。
【０００４】試料ホルダ１０の移動機構は取付フランジ
２に支持されており、図示しない駆動手段でＹ方向移動
用ノブ６、Ｚ方向移動用ノブ７を駆動し、試料ホルダが
移動可能に挿入される保持筒である移動ブロック５を通
して試料ホルダ１０を押して支点９を中心にＡ点を回転
させ、試料１１をＹ方向、Ｚ方向に移動する。この時、
Ｙ方向移動用ノブ６に対向して配置されたバネ８、同様
にＺ方向移動用ノブ７に対向して配置されたバネ（図示
せず）により戻り力が与えられる。また、傾斜駆動用歯
車４を回動させると、これと係合した傾斜ブロック３が
軸ＴーＴを中心に回転し、試料の傾斜が行われる。
２に支持されており、図示しない駆動手段でＹ方向移動
用ノブ６、Ｚ方向移動用ノブ７を駆動し、試料ホルダが
移動可能に挿入される保持筒である移動ブロック５を通
して試料ホルダ１０を押して支点９を中心にＡ点を回転
させ、試料１１をＹ方向、Ｚ方向に移動する。この時、
Ｙ方向移動用ノブ６に対向して配置されたバネ８、同様
にＺ方向移動用ノブ７に対向して配置されたバネ（図示
せず）により戻り力が与えられる。また、傾斜駆動用歯
車４を回動させると、これと係合した傾斜ブロック３が
軸ＴーＴを中心に回転し、試料の傾斜が行われる。
【０００５】ところで、サポート１２の詳細は図６に示
すようなものであり、コイルバネ１７によりＸ方向駆動
部１３に押しつけられているケース１６内に試料ホルダ
１０の先端部が係合するサポート１８が収納され、この
サポート１８が円錐コイルバネ１９により支点Ｂに押し
つけられるようになっており、支点Ａは支点Ｂを中心に
円錐の底面上を３６０°移動し、試料ホルダ１０の支点
９を中心とした動きに追従できるようになっている。サ
ポート１８を支えるケース１６はコイルバネ１７により
Ｘ2 方向（図の左側）に押され、Ｘ方向駆動部１３との
間にガタがないようにしており、Ｘ方向駆動部１３でＸ
1 方向（図の右側）に押すことにより試料はＸ1 方向
に、Ｘ方向駆動部１３がＸ2 方向に移動すると試料ホル
ダ１０は大気圧によりＸ2 方向に押され、試料がＸ2 方
向に移動する。
すようなものであり、コイルバネ１７によりＸ方向駆動
部１３に押しつけられているケース１６内に試料ホルダ
１０の先端部が係合するサポート１８が収納され、この
サポート１８が円錐コイルバネ１９により支点Ｂに押し
つけられるようになっており、支点Ａは支点Ｂを中心に
円錐の底面上を３６０°移動し、試料ホルダ１０の支点
９を中心とした動きに追従できるようになっている。サ
ポート１８を支えるケース１６はコイルバネ１７により
Ｘ2 方向（図の左側）に押され、Ｘ方向駆動部１３との
間にガタがないようにしており、Ｘ方向駆動部１３でＸ
1 方向（図の右側）に押すことにより試料はＸ1 方向
に、Ｘ方向駆動部１３がＸ2 方向に移動すると試料ホル
ダ１０は大気圧によりＸ2 方向に押され、試料がＸ2 方
向に移動する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前述した従
来のゴニオメータにおいては、Ｘ方向については、試料
ホルダが大気圧によって真空方向に押され、サポート１
２を介してＸ方向駆動部１３に保持されているため、比
較的振動の影響は少ないが、Ｙ方向に対する振動の影響
が多く見られ、満足すべき像観察を行うことができなか
った。
来のゴニオメータにおいては、Ｘ方向については、試料
ホルダが大気圧によって真空方向に押され、サポート１
２を介してＸ方向駆動部１３に保持されているため、比
較的振動の影響は少ないが、Ｙ方向に対する振動の影響
が多く見られ、満足すべき像観察を行うことができなか
った。
【０００７】本発明は上記課題を解決するためのもで、
試料のＹ方向の振動の影響を低減化し、良好な像観察を
行うことができる試料ホルダ保持機構を提供することを
目的とする。
試料のＹ方向の振動の影響を低減化し、良好な像観察を
行うことができる試料ホルダ保持機構を提供することを
目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の試料ホルダ保持
機構は、鏡筒を通して挿入され、球面軸受けで回動可能
に支持された保持筒内に移動可能に挿入された試料ホル
ダと、保持筒を回動させて試料を試料ホルダの軸心と直
交する方向に移動させるとともに、軸心に対して傾斜さ
せる試料ホルダ駆動手段と、電子線光軸に対して試料ホ
ルダの挿入位置と反対側に配置され、試料ホルダを水平
方向に移動させる水平方向駆動手段と、案内筒内に収納
され、水平方向駆動手段と試料ホルダ先端とを連結する
連結棒とを備え、前記連結棒を案内筒に対して弾性的に
圧接すると共に、連結棒を案内筒に対して弾性的に支持
することを特徴とする。
機構は、鏡筒を通して挿入され、球面軸受けで回動可能
に支持された保持筒内に移動可能に挿入された試料ホル
ダと、保持筒を回動させて試料を試料ホルダの軸心と直
交する方向に移動させるとともに、軸心に対して傾斜さ
せる試料ホルダ駆動手段と、電子線光軸に対して試料ホ
ルダの挿入位置と反対側に配置され、試料ホルダを水平
方向に移動させる水平方向駆動手段と、案内筒内に収納
され、水平方向駆動手段と試料ホルダ先端とを連結する
連結棒とを備え、前記連結棒を案内筒に対して弾性的に
圧接すると共に、連結棒を案内筒に対して弾性的に支持
することを特徴とする。
【０００９】
【作用】本発明はＸ方向駆動部と、試料ホルダ先端部と
の間に介在する連結棒を、連結棒を収納する案内筒に対
してバネ力で押しつけると共に、連結棒を案内筒に対し
て弾性的に支持することにより試料のＹ方向の振動の影
響を低減化し、良好な像観察を行うことが可能となる。
の間に介在する連結棒を、連結棒を収納する案内筒に対
してバネ力で押しつけると共に、連結棒を案内筒に対し
て弾性的に支持することにより試料のＹ方向の振動の影
響を低減化し、良好な像観察を行うことが可能となる。
【００１０】
【実施例】図１は本発明の試料ホルダ保持機構の一実施
例を示す図、図２、図３はＹ方向に移動したときの状態
を説明する図、図４はＹ、Ｚ方向に移動した時の状態を
説明する図である。なお、試料ホルダの全体の基本的構
成は図５、図６に示したものと同様であるので、以下に
おいては相違点についてのみ説明する。図中、１６´は
ケース、２０はサポートのローラ、２１は止め輪、２２
はローラ、２３は板バネ、２４はネジである。
例を示す図、図２、図３はＹ方向に移動したときの状態
を説明する図、図４はＹ、Ｚ方向に移動した時の状態を
説明する図である。なお、試料ホルダの全体の基本的構
成は図５、図６に示したものと同様であるので、以下に
おいては相違点についてのみ説明する。図中、１６´は
ケース、２０はサポートのローラ、２１は止め輪、２２
はローラ、２３は板バネ、２４はネジである。
【００１１】図１に示すように、本発明の試料ホルダの
保持機構は、図６に示した構成のものに対して、ローラ
２０をその両側に設けた止め輪２１によってサポート１
８に取り付け、先端にローラ２２を付けた板バネ２３を
ネジ２４によってケース（案内筒）１６´に取り付け、
板バネ２３でサポート１８に設けたローラ２０を挟むよ
うに支持したものである。このようにサポート１８を板
バネ２２でＹ方向に両側から支持することにより、装置
から伝わるＹ方向の振動の影響を大幅に低減化すること
ができる。
保持機構は、図６に示した構成のものに対して、ローラ
２０をその両側に設けた止め輪２１によってサポート１
８に取り付け、先端にローラ２２を付けた板バネ２３を
ネジ２４によってケース（案内筒）１６´に取り付け、
板バネ２３でサポート１８に設けたローラ２０を挟むよ
うに支持したものである。このようにサポート１８を板
バネ２２でＹ方向に両側から支持することにより、装置
から伝わるＹ方向の振動の影響を大幅に低減化すること
ができる。
【００１２】例えば、Ｙ方向への移動について電子線光
軸に垂直な断面図である図２、ホルダ軸に垂直な断面図
である図３により説明すると、Ａ点が中心９に対して回
転して試料がＹ´方向に移動し（図３の破線の位置から
実線位置へ）、サポート１８はＢ点を中心にして試料ホ
ルダ１０に追従する。このとき板バネ２３が図示するよ
うに撓んで板バネ２３とローラ２０との間はローラ２２
の回動によりスムーズに移動する。このように、円錐コ
イルバネ１９ではサポート１８をＹ方向に支持すること
ができないが、板バネ２３により支持されて振動の影響
を低減化することができる。
軸に垂直な断面図である図２、ホルダ軸に垂直な断面図
である図３により説明すると、Ａ点が中心９に対して回
転して試料がＹ´方向に移動し（図３の破線の位置から
実線位置へ）、サポート１８はＢ点を中心にして試料ホ
ルダ１０に追従する。このとき板バネ２３が図示するよ
うに撓んで板バネ２３とローラ２０との間はローラ２２
の回動によりスムーズに移動する。このように、円錐コ
イルバネ１９ではサポート１８をＹ方向に支持すること
ができないが、板バネ２３により支持されて振動の影響
を低減化することができる。
【００１３】図４は試料ホルダ１０がＺ方向、Ｙ方向に
移動したときの状態を示しており、ローラ２０、２２の
動きによりスムーズにＹ方向、Ｚ方向に移動し、Ｙ″方
向の移動を簡単に行うことができる。
移動したときの状態を示しており、ローラ２０、２２の
動きによりスムーズにＹ方向、Ｚ方向に移動し、Ｙ″方
向の移動を簡単に行うことができる。
【００１４】なお、上記実施例では板バネ２３の先端部
にローラ２２を設けてサポート１８を支持するようにし
たが、本発明はこれに限定されるものでなく、例えば、
板バネ２２の先端部を単に屈曲させたり、円弧状に曲げ
てローラ２０と弾性接触させるようにしても良く、また
バネをサポート１８側に取り付けてその先端部をケース
１６´に弾性接触させるようにしても振動の影響を低減
化することが可能である。
にローラ２２を設けてサポート１８を支持するようにし
たが、本発明はこれに限定されるものでなく、例えば、
板バネ２２の先端部を単に屈曲させたり、円弧状に曲げ
てローラ２０と弾性接触させるようにしても良く、また
バネをサポート１８側に取り付けてその先端部をケース
１６´に弾性接触させるようにしても振動の影響を低減
化することが可能である。
【００１５】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、試料ホル
ダの先端を支える連結棒を案内筒に対してＹ方向から弾
性的に支持するようにしたので、試料のＹ方向の振動の
影響を低減化し、良好な像観察をすることが可能とな
る。
ダの先端を支える連結棒を案内筒に対してＹ方向から弾
性的に支持するようにしたので、試料のＹ方向の振動の
影響を低減化し、良好な像観察をすることが可能とな
る。
【図１】 本発明の試料ホルダ保持機構の一実施例を示
す図である。
す図である。
【図２】 Ｙ方向に移動したときの状態を説明する図で
ある。
ある。
【図３】 Ｙ方向に移動したときの状態を説明する図で
ある。
ある。
【図４】 Ｙ、Ｚ方向に移動した時の状態を説明する図
である。
である。
【図５】 サイドエントリ方式のゴニオメータを示す図
である。
である。
【図６】 図５の一部詳細図である。
１０…試料ホルダ、１１…試料、１３…Ｘ方向駆動部、
１４，１５…Ｏリング、１６，１６´…ケース、１７…
コイルバネ、１８…サポート、１９…円錐コイルバネ、
２０…サポートのローラ、２１…止め輪、２２…ロー
ラ、２３…板バネ、２４…ネジ。
１４，１５…Ｏリング、１６，１６´…ケース、１７…
コイルバネ、１８…サポート、１９…円錐コイルバネ、
２０…サポートのローラ、２１…止め輪、２２…ロー
ラ、２３…板バネ、２４…ネジ。
Claims (1)
- 【請求項１】 鏡筒を通して挿入され、球面軸受けで回
動可能に支持された保持筒内に移動可能に挿入された試
料ホルダと、保持筒を回動させて試料を試料ホルダの軸
心と直交する方向に移動させるとともに、軸心に対して
傾斜させる試料ホルダ駆動手段と、電子線光軸に対して
試料ホルダの挿入位置と反対側に配置され、試料ホルダ
を水平方向に移動させる水平方向駆動手段と、案内筒内
に収納され、水平方向駆動手段と試料ホルダ先端とを連
結する連結棒とを備え、前記連結棒を案内筒に対して弾
性的に圧接すると共に、連結棒を案内筒に対して弾性的
に支持することを特徴とする試料ホルダ保持機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50A JPH06215717A (ja) | 1993-01-18 | 1993-01-18 | 試料ホルダ保持機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50A JPH06215717A (ja) | 1993-01-18 | 1993-01-18 | 試料ホルダ保持機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06215717A true JPH06215717A (ja) | 1994-08-05 |
Family
ID=11621870
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP50A Withdrawn JPH06215717A (ja) | 1993-01-18 | 1993-01-18 | 試料ホルダ保持機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06215717A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005197003A (ja) * | 2003-12-26 | 2005-07-21 | Hitachi High-Technologies Corp | サイドエントリ型試料移動機構を備えた荷電粒子線装置 |
| KR20150027099A (ko) | 2012-07-04 | 2015-03-11 | 간토 야낀 고교 가부시키가이샤 | 열처리 방법 및 열처리 장치, 및 열처리 시스템 |
-
1993
- 1993-01-18 JP JP50A patent/JPH06215717A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005197003A (ja) * | 2003-12-26 | 2005-07-21 | Hitachi High-Technologies Corp | サイドエントリ型試料移動機構を備えた荷電粒子線装置 |
| KR20150027099A (ko) | 2012-07-04 | 2015-03-11 | 간토 야낀 고교 가부시키가이샤 | 열처리 방법 및 열처리 장치, 및 열처리 시스템 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000404 |