JPH06215717A - Sample holder holding mechanism - Google Patents
Sample holder holding mechanismInfo
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- JPH06215717A JPH06215717A JP582693A JP582693A JPH06215717A JP H06215717 A JPH06215717 A JP H06215717A JP 582693 A JP582693 A JP 582693A JP 582693 A JP582693 A JP 582693A JP H06215717 A JPH06215717 A JP H06215717A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明はサイドエントリ方式のゴ
ニオメータに関わり、特に振動からの影響を低減化する
ようにした試料ホルダ保持機構に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a side-entry type goniometer, and more particularly to a sample holder holding mechanism for reducing the influence of vibration.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図５はサイドエントリ方式のゴニオメー
タを示す電子線光軸に垂直（Ｚ方向）な断面図、図６は
その一部詳細図である。図中、１は試料ステージ、２は
取付フランジ、３は傾斜ブロック、４は傾斜駆動用歯
車、５は移動ブロック、６はＹ方向移動用ノブ、７はＺ
方向移動用ノブ、８はバネ、９は支点、１０は試料ホル
ダ、１１は試料、１２はサポート、１３は水平方向（Ｘ
方向）駆動部、１４，１５はＯリング、１６は案内筒
（ケース）、１７はコイルバネ、１８は連結棒（サポー
ト）、１９は円錐コイルバネである。2. Description of the Related Art FIG. 5 is a sectional view showing a side-entry type goniometer perpendicular to the electron beam optical axis (Z direction), and FIG. 6 is a partial detailed view thereof. In the figure, 1 is a sample stage, 2 is a mounting flange, 3 is a tilt block, 4 is a tilt drive gear, 5 is a moving block, 6 is a Y-direction moving knob, and 7 is Z.
Directional movement knob, 8 is a spring, 9 is a fulcrum, 10 is a sample holder, 11 is a sample, 12 is a support, 13 is a horizontal direction (X
Direction) drive unit, 14 and 15 are O-rings, 16 is a guide tube (case), 17 is a coil spring, 18 is a connecting rod (support), and 19 is a conical coil spring.
【０００３】図５において、試料ホルダ１０は鏡筒を通
して挿入されて試料ステージ１で支持され、その先端Ａ
は反対側から挿入されたＸ方向駆動部１３との間に介在
するサポート１２に当接している。試料ホルダ１０の大
気側と真空側とのシールはＯリング１４，１５により行
われ、試料ホルダ１０は球面軸受で支持されてその先端
Ａは支点９を中心に円弧運動し、このときサポート１２
はＸ方向駆動部１３との係合点である支点Ｂを中心にし
て連動し、試料１１をＹ方向およびＺ方向に移動できる
ようになっている。また、Ｘ方向（ホルダ軸方向）の移
動はＸ方向駆動部１３により行われ、真空側（図の左
側）への移動は大気圧により行われる。試料ホルダ１０
の先端部とＸ方向駆動部１３との間にあって、支点Ａと
Ｂとを結ぶサポート１２はＸ方向駆動部１３の力を試料
ホルダに伝えると共に、試料ホルダ１０を通して外から
入ってくる振動を抑える役目を果たしている。In FIG. 5, a sample holder 10 is inserted through a lens barrel and supported by a sample stage 1, and its tip A
Is in contact with a support 12 interposed between the support 12 and the X-direction drive portion 13 inserted from the opposite side. Sealing between the atmosphere side and the vacuum side of the sample holder 10 is performed by O-rings 14 and 15. The sample holder 10 is supported by a spherical bearing, and its tip A moves in an arc around a fulcrum 9, and at this time, the support 12
Is interlocked around a fulcrum B, which is an engagement point with the X-direction drive unit 13, so that the sample 11 can be moved in the Y-direction and the Z-direction. Further, movement in the X direction (holder axial direction) is performed by the X direction drive unit 13, and movement to the vacuum side (left side in the drawing) is performed by atmospheric pressure. Sample holder 10
The support 12 connecting the fulcrums A and B between the tip of the X-direction drive unit 13 and the X-direction drive unit 13 transmits the force of the X-direction drive unit 13 to the sample holder and suppresses the vibration coming from the outside through the sample holder 10. Playing a role.
【０００４】試料ホルダ１０の移動機構は取付フランジ
２に支持されており、図示しない駆動手段でＹ方向移動
用ノブ６、Ｚ方向移動用ノブ７を駆動し、試料ホルダが
移動可能に挿入される保持筒である移動ブロック５を通
して試料ホルダ１０を押して支点９を中心にＡ点を回転
させ、試料１１をＹ方向、Ｚ方向に移動する。この時、
Ｙ方向移動用ノブ６に対向して配置されたバネ８、同様
にＺ方向移動用ノブ７に対向して配置されたバネ（図示
せず）により戻り力が与えられる。また、傾斜駆動用歯
車４を回動させると、これと係合した傾斜ブロック３が
軸ＴーＴを中心に回転し、試料の傾斜が行われる。The moving mechanism of the sample holder 10 is supported by the mounting flange 2, and the driving means (not shown) drives the Y-direction moving knob 6 and the Z-direction moving knob 7 to insert the sample holder movably. The sample holder 10 is pushed through the moving block 5 which is a holding cylinder to rotate the point A around the fulcrum 9, and the sample 11 is moved in the Y and Z directions. At this time,
A return force is applied by a spring 8 arranged to face the Y-direction moving knob 6 and a spring (not shown) also arranged to face the Z-direction moving knob 7. When the tilt drive gear 4 is rotated, the tilt block 3 engaged with the tilt drive gear 4 rotates about the axis TT, and the sample is tilted.
【０００５】ところで、サポート１２の詳細は図６に示
すようなものであり、コイルバネ１７によりＸ方向駆動
部１３に押しつけられているケース１６内に試料ホルダ
１０の先端部が係合するサポート１８が収納され、この
サポート１８が円錐コイルバネ１９により支点Ｂに押し
つけられるようになっており、支点Ａは支点Ｂを中心に
円錐の底面上を３６０°移動し、試料ホルダ１０の支点
９を中心とした動きに追従できるようになっている。サ
ポート１８を支えるケース１６はコイルバネ１７により
Ｘ2 方向（図の左側）に押され、Ｘ方向駆動部１３との
間にガタがないようにしており、Ｘ方向駆動部１３でＸ
1 方向（図の右側）に押すことにより試料はＸ1 方向
に、Ｘ方向駆動部１３がＸ2 方向に移動すると試料ホル
ダ１０は大気圧によりＸ2 方向に押され、試料がＸ2 方
向に移動する。By the way, the details of the support 12 are as shown in FIG. 6, and a support 18 with which the tip of the sample holder 10 is engaged is provided in a case 16 which is pressed against the X-direction drive section 13 by a coil spring 17. The support 18 is housed and pressed against the fulcrum B by a conical coil spring 19. The fulcrum A moves 360 ° on the bottom surface of the cone about the fulcrum B, and the fulcrum 9 of the sample holder 10 is the center. You can follow the movement. The case 16 supporting the support 18 is pushed in the X 2 direction (on the left side in the figure) by the coil spring 17 so that there is no play between the case 16 and the X-direction drive unit 13.
By pushing in one direction (right side of the figure), the sample moves in the X 1 direction, and when the X direction driving unit 13 moves in the X 2 direction, the sample holder 10 is pushed in the X 2 direction by the atmospheric pressure, and the sample moves in the X 2 direction. Moving.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】ところで、前述した従
来のゴニオメータにおいては、Ｘ方向については、試料
ホルダが大気圧によって真空方向に押され、サポート１
２を介してＸ方向駆動部１３に保持されているため、比
較的振動の影響は少ないが、Ｙ方向に対する振動の影響
が多く見られ、満足すべき像観察を行うことができなか
った。In the conventional goniometer described above, in the X direction, the sample holder is pushed in the vacuum direction by the atmospheric pressure, and the support 1
Since it is held by the X-direction drive unit 13 via 2, the influence of vibration is relatively small, but the influence of vibration in the Y-direction is large, and satisfactory image observation cannot be performed.
【０００７】本発明は上記課題を解決するためのもで、
試料のＹ方向の振動の影響を低減化し、良好な像観察を
行うことができる試料ホルダ保持機構を提供することを
目的とする。The present invention is intended to solve the above problems.
An object of the present invention is to provide a sample holder holding mechanism capable of reducing the effect of vibration of the sample in the Y direction and performing good image observation.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明の試料ホルダ保持
機構は、鏡筒を通して挿入され、球面軸受けで回動可能
に支持された保持筒内に移動可能に挿入された試料ホル
ダと、保持筒を回動させて試料を試料ホルダの軸心と直
交する方向に移動させるとともに、軸心に対して傾斜さ
せる試料ホルダ駆動手段と、電子線光軸に対して試料ホ
ルダの挿入位置と反対側に配置され、試料ホルダを水平
方向に移動させる水平方向駆動手段と、案内筒内に収納
され、水平方向駆動手段と試料ホルダ先端とを連結する
連結棒とを備え、前記連結棒を案内筒に対して弾性的に
圧接すると共に、連結棒を案内筒に対して弾性的に支持
することを特徴とする。A sample holder holding mechanism of the present invention includes a sample holder inserted through a lens barrel and movably inserted into a holding cylinder rotatably supported by a spherical bearing, and a holding cylinder. Is rotated to move the sample in a direction orthogonal to the axis of the sample holder and at the same time, the sample holder drive means for inclining to the axis and the opposite side of the electron beam optical axis from the insertion position of the sample holder. A horizontal drive means that is arranged and moves the sample holder in the horizontal direction, and a connecting rod that is housed in the guide tube and connects the horizontal drive means and the tip of the sample holder is provided. It is characterized in that the connecting rod is elastically pressed against the guide cylinder and elastically supported to the guide cylinder.
【０００９】[0009]
【作用】本発明はＸ方向駆動部と、試料ホルダ先端部と
の間に介在する連結棒を、連結棒を収納する案内筒に対
してバネ力で押しつけると共に、連結棒を案内筒に対し
て弾性的に支持することにより試料のＹ方向の振動の影
響を低減化し、良好な像観察を行うことが可能となる。According to the present invention, the connecting rod interposed between the X-direction driving portion and the tip of the sample holder is pressed by the spring force against the guide cylinder that houses the connecting rod, and the connecting rod is pressed against the guide cylinder. By elastically supporting it, the influence of the vibration of the sample in the Y direction can be reduced, and good image observation can be performed.
【００１０】[0010]
【実施例】図１は本発明の試料ホルダ保持機構の一実施
例を示す図、図２、図３はＹ方向に移動したときの状態
を説明する図、図４はＹ、Ｚ方向に移動した時の状態を
説明する図である。なお、試料ホルダの全体の基本的構
成は図５、図６に示したものと同様であるので、以下に
おいては相違点についてのみ説明する。図中、１６´は
ケース、２０はサポートのローラ、２１は止め輪、２２
はローラ、２３は板バネ、２４はネジである。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 is a view showing an embodiment of a sample holder holding mechanism of the present invention, FIGS. 2 and 3 are views for explaining a state when moved in the Y direction, and FIG. 4 is moved in the Y and Z directions. It is a figure explaining the state at the time of doing. Since the basic structure of the whole sample holder is the same as that shown in FIGS. 5 and 6, only the differences will be described below. In the figure, 16 'is a case, 20 is a support roller, 21 is a snap ring, 22
Is a roller, 23 is a leaf spring, and 24 is a screw.
【００１１】図１に示すように、本発明の試料ホルダの
保持機構は、図６に示した構成のものに対して、ローラ
２０をその両側に設けた止め輪２１によってサポート１
８に取り付け、先端にローラ２２を付けた板バネ２３を
ネジ２４によってケース（案内筒）１６´に取り付け、
板バネ２３でサポート１８に設けたローラ２０を挟むよ
うに支持したものである。このようにサポート１８を板
バネ２２でＹ方向に両側から支持することにより、装置
から伝わるＹ方向の振動の影響を大幅に低減化すること
ができる。As shown in FIG. 1, the sample holder holding mechanism of the present invention is different from the one shown in FIG. 6 in that it is supported by retaining rings 21 provided with rollers 20 on both sides thereof.
8, the leaf spring 23 with the roller 22 attached to the tip is attached to the case (guide cylinder) 16 'with screws 24,
The leaf spring 23 supports the roller 20 provided on the support 18 so as to sandwich the roller 20. By thus supporting the support 18 from both sides in the Y direction with the leaf springs 22, it is possible to greatly reduce the influence of the vibration in the Y direction transmitted from the device.
【００１２】例えば、Ｙ方向への移動について電子線光
軸に垂直な断面図である図２、ホルダ軸に垂直な断面図
である図３により説明すると、Ａ点が中心９に対して回
転して試料がＹ´方向に移動し（図３の破線の位置から
実線位置へ）、サポート１８はＢ点を中心にして試料ホ
ルダ１０に追従する。このとき板バネ２３が図示するよ
うに撓んで板バネ２３とローラ２０との間はローラ２２
の回動によりスムーズに移動する。このように、円錐コ
イルバネ１９ではサポート１８をＹ方向に支持すること
ができないが、板バネ２３により支持されて振動の影響
を低減化することができる。For example, the movement in the Y direction will be described with reference to FIG. 2 which is a sectional view perpendicular to the electron beam optical axis and FIG. 3 which is a sectional view perpendicular to the holder axis. And the sample moves in the Y'direction (from the position of the broken line in FIG. 3 to the position of the solid line), and the support 18 follows the sample holder 10 around the point B. At this time, the leaf spring 23 is bent as shown in the drawing so that the roller 22 is interposed between the leaf spring 23 and the roller 20.
Moves smoothly by rotating. As described above, the support 18 cannot be supported in the Y direction by the conical coil spring 19, but it is supported by the leaf spring 23 and the influence of vibration can be reduced.
【００１３】図４は試料ホルダ１０がＺ方向、Ｙ方向に
移動したときの状態を示しており、ローラ２０、２２の
動きによりスムーズにＹ方向、Ｚ方向に移動し、Ｙ″方
向の移動を簡単に行うことができる。FIG. 4 shows a state in which the sample holder 10 is moved in the Z and Y directions. The movement of the rollers 20 and 22 causes the sample holder 10 to smoothly move in the Y and Z directions and to move in the Y ″ direction. Easy to do.
【００１４】なお、上記実施例では板バネ２３の先端部
にローラ２２を設けてサポート１８を支持するようにし
たが、本発明はこれに限定されるものでなく、例えば、
板バネ２２の先端部を単に屈曲させたり、円弧状に曲げ
てローラ２０と弾性接触させるようにしても良く、また
バネをサポート１８側に取り付けてその先端部をケース
１６´に弾性接触させるようにしても振動の影響を低減
化することが可能である。Although the roller 22 is provided at the tip of the leaf spring 23 to support the support 18 in the above embodiment, the present invention is not limited to this.
The tip end of the leaf spring 22 may be simply bent or bent in an arc shape to elastically contact the roller 20, or the spring may be attached to the support 18 side to elastically contact the tip end with the case 16 '. However, it is possible to reduce the influence of vibration.
【００１５】[0015]
【発明の効果】以上のように本発明によれば、試料ホル
ダの先端を支える連結棒を案内筒に対してＹ方向から弾
性的に支持するようにしたので、試料のＹ方向の振動の
影響を低減化し、良好な像観察をすることが可能とな
る。As described above, according to the present invention, the connecting rod for supporting the tip of the sample holder is elastically supported from the Y direction with respect to the guide tube, so that the influence of the vibration of the sample in the Y direction is exerted. Can be reduced and good image observation can be performed.
【図１】 本発明の試料ホルダ保持機構の一実施例を示
す図である。FIG. 1 is a diagram showing an embodiment of a sample holder holding mechanism of the present invention.
【図２】 Ｙ方向に移動したときの状態を説明する図で
ある。FIG. 2 is a diagram illustrating a state when moving in a Y direction.
【図３】 Ｙ方向に移動したときの状態を説明する図で
ある。FIG. 3 is a diagram illustrating a state when moving in a Y direction.
【図４】 Ｙ、Ｚ方向に移動した時の状態を説明する図
である。FIG. 4 is a diagram illustrating a state when moving in Y and Z directions.
【図５】 サイドエントリ方式のゴニオメータを示す図
である。FIG. 5 is a diagram showing a side entry type goniometer.
【図６】 図５の一部詳細図である。FIG. 6 is a partial detailed view of FIG.
１０…試料ホルダ、１１…試料、１３…Ｘ方向駆動部、
１４，１５…Ｏリング、１６，１６´…ケース、１７…
コイルバネ、１８…サポート、１９…円錐コイルバネ、
２０…サポートのローラ、２１…止め輪、２２…ロー
ラ、２３…板バネ、２４…ネジ。10 ... Sample holder, 11 ... Sample, 13 ... X-direction drive unit,
14, 15 ... O-ring, 16, 16 '... Case, 17 ...
Coil spring, 18 ... Support, 19 ... Conical coil spring,
20 ... Support roller, 21 ... Retaining ring, 22 ... Roller, 23 ... Leaf spring, 24 ... Screw.
Claims (1)
動可能に支持された保持筒内に移動可能に挿入された試
料ホルダと、保持筒を回動させて試料を試料ホルダの軸
心と直交する方向に移動させるとともに、軸心に対して
傾斜させる試料ホルダ駆動手段と、電子線光軸に対して
試料ホルダの挿入位置と反対側に配置され、試料ホルダ
を水平方向に移動させる水平方向駆動手段と、案内筒内
に収納され、水平方向駆動手段と試料ホルダ先端とを連
結する連結棒とを備え、前記連結棒を案内筒に対して弾
性的に圧接すると共に、連結棒を案内筒に対して弾性的
に支持することを特徴とする試料ホルダ保持機構。1. A sample holder that is inserted through a lens barrel and is movably inserted into a holding cylinder that is rotatably supported by a spherical bearing, and the holding cylinder is rotated to place a sample on the axis of the sample holder. A sample holder driving means for moving the sample holder in a direction orthogonal to the axis and a horizontal direction for moving the sample holder in the horizontal direction, which is arranged on the side opposite to the insertion position of the sample holder with respect to the electron beam optical axis. A driving means and a connecting rod that is housed in the guide tube and connects the horizontal driving means and the tip of the sample holder are provided. The connecting rod is elastically pressed against the guide tube, and the connecting rod is provided in the guide tube. A sample holder holding mechanism, which is elastically supported with respect to.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP582693A JPH06215717A (en) | 1993-01-18 | 1993-01-18 | Sample holder holding mechanism |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP582693A JPH06215717A (en) | 1993-01-18 | 1993-01-18 | Sample holder holding mechanism |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06215717A true JPH06215717A (en) | 1994-08-05 |
Family
ID=11621870
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP582693A Withdrawn JPH06215717A (en) | 1993-01-18 | 1993-01-18 | Sample holder holding mechanism |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06215717A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005197003A (en) * | 2003-12-26 | 2005-07-21 | Hitachi High-Technologies Corp | Charged particle beam device equipped with side entry type sample moving mechanism |
| KR20150027099A (en) | 2012-07-04 | 2015-03-11 | 간토 야낀 고교 가부시키가이샤 | Heat treatment method, heat treatment device, and heat treatment system |
-
1993
- 1993-01-18 JP JP582693A patent/JPH06215717A/en not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005197003A (en) * | 2003-12-26 | 2005-07-21 | Hitachi High-Technologies Corp | Charged particle beam device equipped with side entry type sample moving mechanism |
| KR20150027099A (en) | 2012-07-04 | 2015-03-11 | 간토 야낀 고교 가부시키가이샤 | Heat treatment method, heat treatment device, and heat treatment system |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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