JPS6244454Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6244454Y2 JPS6244454Y2 JP1981023232U JP2323281U JPS6244454Y2 JP S6244454 Y2 JPS6244454 Y2 JP S6244454Y2 JP 1981023232 U JP1981023232 U JP 1981023232U JP 2323281 U JP2323281 U JP 2323281U JP S6244454 Y2 JPS6244454 Y2 JP S6244454Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample holder
- sample
- receiving surface
- driving body
- axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 8
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims 3
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 2
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は電子顕微鏡において、試料を光軸と直
交する方向から挿入するタイプ（サイドエントリ
ータイプ）の試料移動装置に関する。
交する方向から挿入するタイプ（サイドエントリ
ータイプ）の試料移動装置に関する。
斯かるサイドエントリータイプにおける試料移
動装置としては第１図に示す様な構造のものが広
く使用されている。
動装置としては第１図に示す様な構造のものが広
く使用されている。
図中、１は電子顕微鏡の鏡筒、２は該鏡筒１の
壁に回転可能に挿入された傾斜体で、その軸心が
電子線光軸Ｚと交叉する様に置かれており、又傾
斜体２の内側には球体軸受３を介して保持筒４が
同芯状に、しかも回動且つ移動可能に挿入されて
いる。該保持筒４の内側には試料ホルダー５が同
芯に移動可能に挿入されている。該試料ホルダー
５の一端（真空側）は対物レンズの上磁極（図示
せず）と下磁極６との間に挿入され、又光軸Ｚと
交叉する部分に試料７が装着されている。８は前
記保持筒４を球体軸受３を中心にして回動させる
ことにより試料７を試料ホルダー５の軸心と直交
する方向（Ｙ方向）に水平移動させるための押し
ネジで、傾斜体２に螺合されている。又該押しネ
ジ８の反対側にはこの押しネジと保持筒との係合
を常に維持するためのスプリング９が設けてあ
る。
壁に回転可能に挿入された傾斜体で、その軸心が
電子線光軸Ｚと交叉する様に置かれており、又傾
斜体２の内側には球体軸受３を介して保持筒４が
同芯状に、しかも回動且つ移動可能に挿入されて
いる。該保持筒４の内側には試料ホルダー５が同
芯に移動可能に挿入されている。該試料ホルダー
５の一端（真空側）は対物レンズの上磁極（図示
せず）と下磁極６との間に挿入され、又光軸Ｚと
交叉する部分に試料７が装着されている。８は前
記保持筒４を球体軸受３を中心にして回動させる
ことにより試料７を試料ホルダー５の軸心と直交
する方向（Ｙ方向）に水平移動させるための押し
ネジで、傾斜体２に螺合されている。又該押しネ
ジ８の反対側にはこの押しネジと保持筒との係合
を常に維持するためのスプリング９が設けてあ
る。
１０は前記鏡筒１の壁に移動可能に貫通，保持
された駆動棒で、該駆動棒は前記傾斜体２の軸心
の延長線上におかれ、且つ光軸Ｚを中心にして試
料ホルダー５の鏡筒１への挿入位置と反対側に置
かれる。又該駆動棒の真空側は連結棒１１を介し
て前記試料ホルダー５の先端に連結されている。
この連結棒１１の試料ホルダー５と駆動棒１０と
の夫々の連結点１２及び１３部分において例えば
ピポツト，ピポツト軸受が用いられ、連結棒１１
が試料ホルダー５及び駆動棒１０に対して夫々自
由に傾動できる様に係合されている。１４は該連
結棒１１を常に駆動棒１０側に押し付けるための
スプリングで、試料交換のために試料ホルダー５
を図中右方向に移動して保持筒４からぬき出した
際、連結棒１１が駆動棒１０から外れるのを防止
する役目を果し、該スプリング１４は駆動棒１０
に固定された案内筒１５に保持されている。
された駆動棒で、該駆動棒は前記傾斜体２の軸心
の延長線上におかれ、且つ光軸Ｚを中心にして試
料ホルダー５の鏡筒１への挿入位置と反対側に置
かれる。又該駆動棒の真空側は連結棒１１を介し
て前記試料ホルダー５の先端に連結されている。
この連結棒１１の試料ホルダー５と駆動棒１０と
の夫々の連結点１２及び１３部分において例えば
ピポツト，ピポツト軸受が用いられ、連結棒１１
が試料ホルダー５及び駆動棒１０に対して夫々自
由に傾動できる様に係合されている。１４は該連
結棒１１を常に駆動棒１０側に押し付けるための
スプリングで、試料交換のために試料ホルダー５
を図中右方向に移動して保持筒４からぬき出した
際、連結棒１１が駆動棒１０から外れるのを防止
する役目を果し、該スプリング１４は駆動棒１０
に固定された案内筒１５に保持されている。
一方前記駆動棒１０の大気側には鏡筒１に回動
自在に保持されたテコ体１６の一端が係合されて
いる。前記テコ体１６の他端には鏡筒１に螺合さ
れた押しネジ１７が係合されている。従つて該押
しネジ１７を回して前後させると、テコ体１６を
介して、その前後移動が駆動棒１０に伝達される
ため、連結棒１１及び試料ホルダー５が軸心方向
（Ｘ方向）に移動し、試料７がＸ方向に移動す
る。その結果、押しネジ８と１７とを任意に操作
することにより試料７を任意方向に水平移動させ
ることができる。一方傾斜体２を回せば、球体軸
受３を介して保持筒４及び試料ホルダー５が回転
するため、試料７を傾斜させることができる。尚
図示しないが試料ホルダー５を球体軸受３を中心
にして紙面に対して垂直方向に首振運動させ、試
料７を光軸Ｚ方向に移動させるための押しネジが
傾斜体２に螺合されている。又前記保持筒４と試
料ホルダー５及び鏡筒１と駆動棒１０との夫々の
間にはキー及びキー溝が設けてあつて、試料ホル
ダー及び駆動棒の回転は阻止してある。
自在に保持されたテコ体１６の一端が係合されて
いる。前記テコ体１６の他端には鏡筒１に螺合さ
れた押しネジ１７が係合されている。従つて該押
しネジ１７を回して前後させると、テコ体１６を
介して、その前後移動が駆動棒１０に伝達される
ため、連結棒１１及び試料ホルダー５が軸心方向
（Ｘ方向）に移動し、試料７がＸ方向に移動す
る。その結果、押しネジ８と１７とを任意に操作
することにより試料７を任意方向に水平移動させ
ることができる。一方傾斜体２を回せば、球体軸
受３を介して保持筒４及び試料ホルダー５が回転
するため、試料７を傾斜させることができる。尚
図示しないが試料ホルダー５を球体軸受３を中心
にして紙面に対して垂直方向に首振運動させ、試
料７を光軸Ｚ方向に移動させるための押しネジが
傾斜体２に螺合されている。又前記保持筒４と試
料ホルダー５及び鏡筒１と駆動棒１０との夫々の
間にはキー及びキー溝が設けてあつて、試料ホル
ダー及び駆動棒の回転は阻止してある。
斯かる従来装置においては、試料７をＹ方向に
移動せしめる際の試料ホルダー５の首振運動をス
ムーズに行うために、試料ホルダー５と駆動棒１
０との間に連結棒１１を介在せしめているので、
耐振性に弱く、外部振動の影響を受けやすい。
移動せしめる際の試料ホルダー５の首振運動をス
ムーズに行うために、試料ホルダー５と駆動棒１
０との間に連結棒１１を介在せしめているので、
耐振性に弱く、外部振動の影響を受けやすい。
本考案は斯様な点に鑑み、耐振性の向上をはか
ることを目的とするもので、以下第２図に基づき
詳説する。
ることを目的とするもので、以下第２図に基づき
詳説する。
第２図は本考案の要部を示す拡大断面図であ
り、第１図と同一番号は同一構成要素を示す。
り、第１図と同一番号は同一構成要素を示す。
本実施例においては駆動棒１０の試料ホルダー
５と対向する端面に試料ホルダーの軸心（Ｘ軸）
と略直交する受面１８を形成し、該受面１８に数
個のボール１９ａ，１９ｂ………を介在させて連
結棒１１に形成した鍔部２０を移動可能に当接さ
せたことに特徴があります。前記連結棒１１の開
放端は前記受面１８の略中央部を貫通して前記駆
動棒１０に形成された空洞２１内に非接触で挿入
（遊嵌）されている。１４は前記連結棒１１と鍔
部２０との間に介在したスプリングであり、スプ
リング１４により鍔部２０はボール１９ａ，１９
ｂを介して前記受け面１８へ常に当接するように
なつている。又、連結棒１１と試料ホルダー５と
は第１図と同様に連結点１２において互いに傾動
（回動）可能に係合されている。
５と対向する端面に試料ホルダーの軸心（Ｘ軸）
と略直交する受面１８を形成し、該受面１８に数
個のボール１９ａ，１９ｂ………を介在させて連
結棒１１に形成した鍔部２０を移動可能に当接さ
せたことに特徴があります。前記連結棒１１の開
放端は前記受面１８の略中央部を貫通して前記駆
動棒１０に形成された空洞２１内に非接触で挿入
（遊嵌）されている。１４は前記連結棒１１と鍔
部２０との間に介在したスプリングであり、スプ
リング１４により鍔部２０はボール１９ａ，１９
ｂを介して前記受け面１８へ常に当接するように
なつている。又、連結棒１１と試料ホルダー５と
は第１図と同様に連結点１２において互いに傾動
（回動）可能に係合されている。
斯くして連結棒１１は試料ホルダー５のＹ方向
或はＺ方向の移動に応じて受面１８に沿つて平行
移動するわけであるが、このとき連結棒１１の鍔
部２０と受面１８との間に介在されたボール１９
ａ，１９ｂがころがりながら移動する。従つて鍔
部及び受面とボールとの各接触部にころがり摩擦
が生ずる。この様に接触部に摩擦があると摩擦が
ないものに比べて見掛上の剛性が著じるしく増
し、その結果耐振性が向上するため、外部振動に
対して強く、且つ試料移動を円滑に行うことので
きる試料移動装置を提供することができる。
或はＺ方向の移動に応じて受面１８に沿つて平行
移動するわけであるが、このとき連結棒１１の鍔
部２０と受面１８との間に介在されたボール１９
ａ，１９ｂがころがりながら移動する。従つて鍔
部及び受面とボールとの各接触部にころがり摩擦
が生ずる。この様に接触部に摩擦があると摩擦が
ないものに比べて見掛上の剛性が著じるしく増
し、その結果耐振性が向上するため、外部振動に
対して強く、且つ試料移動を円滑に行うことので
きる試料移動装置を提供することができる。
尚前述の説明では駆動体の受面と連結棒の鍔部
との間にボールを介在させたが、これに限定され
くことなくテフロン等の滑片を介在させてもよ
い。
との間にボールを介在させたが、これに限定され
くことなくテフロン等の滑片を介在させてもよ
い。
第１図は従来例を示す平面断面図、第２図は本
考案の要部を示す拡大断面図である。 １……鏡筒、５……試料ホルダー、７……試
料、１０……駆動体、１１……連結棒１２……連
結点、１４……スプリング、１６……テコ体、１
８……受面、１９ａ，１９ｂ……ボール、２０…
…鍔部、２１……空洞。
考案の要部を示す拡大断面図である。 １……鏡筒、５……試料ホルダー、７……試
料、１０……駆動体、１１……連結棒１２……連
結点、１４……スプリング、１６……テコ体、１
８……受面、１９ａ，１９ｂ……ボール、２０…
…鍔部、２１……空洞。
Claims (1)
- 軸心が電子線光軸と直交するようにおかれ且つ
光軸と直交した平面内で鏡筒１に対して回動可能
に取り付けられた保持筒４と、該保持筒内に移動
可能に挿入され且つ試料７を保持した試料ホルダ
ー５と、前記保持筒を回動させて試料を試料ホル
ダーの軸心と直交する方向に移動させるための手
段と、光軸を中心にして前記試料ホルダーの挿入
位置と反対側におかれた駆動体１０と、該駆動体
と前記試料ホルダーとを連結させるための連結体
１１と、前記試料を移動させるため前記駆動体を
試料ホルダーの軸心方向に移動させる手段とを備
え、前記試料ホルダーの軸心と略直交するように
前記駆動体に受面１８を設け、該受面を貫通して
前記駆動体に空洞２１を設け、前記連結体の中間
部に鍔部２０を設け、該鍔部を前記受面に当接さ
せて該連結体の一端を前記空洞内に前記駆動体と
非接触で挿入し、前記鍔部の前記受面への当接を
維持するための弾性体１４を前記連結体の一端と
駆動体との間に介在させ、前記連結体の他端に前
記試料ホルダーの先端を回動可能に係合させ、該
試料ホルダーがその軸心と直交する方向に移動す
る際前記連結体が前記受面に沿つて平行移動する
ように構成してなる電子顕微鏡等における試料移
動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1981023232U JPS6244454Y2 (ja) | 1981-02-20 | 1981-02-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1981023232U JPS6244454Y2 (ja) | 1981-02-20 | 1981-02-20 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57136163U JPS57136163U (ja) | 1982-08-25 |
| JPS6244454Y2 true JPS6244454Y2 (ja) | 1987-11-24 |
Family
ID=29820996
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1981023232U Expired JPS6244454Y2 (ja) | 1981-02-20 | 1981-02-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6244454Y2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5635360A (en) * | 1979-08-31 | 1981-04-08 | Internatl Precision Inc | Sample tilting device for electron microscope or the like |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6244451Y2 (ja) * | 1981-02-05 | 1987-11-24 |
-
1981
- 1981-02-20 JP JP1981023232U patent/JPS6244454Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5635360A (en) * | 1979-08-31 | 1981-04-08 | Internatl Precision Inc | Sample tilting device for electron microscope or the like |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57136163U (ja) | 1982-08-25 |
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