JPS594442Y2 - 走査電子顕微鏡 - Google Patents
走査電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPS594442Y2 JPS594442Y2 JP15495179U JP15495179U JPS594442Y2 JP S594442 Y2 JPS594442 Y2 JP S594442Y2 JP 15495179 U JP15495179 U JP 15495179U JP 15495179 U JP15495179 U JP 15495179U JP S594442 Y2 JPS594442 Y2 JP S594442Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- tilting
- detection element
- electron beam
- optical axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Description
【考案の詳細な説明】
本考案は走査電子顕微鏡に関し、更に詳述すると試料の
傾動に連動して反射電子検出素子を傾動させるための装
置に関する。
傾動に連動して反射電子検出素子を傾動させるための装
置に関する。
走査電子顕微鏡において対物レンズと試料との距離（以
下この距離をワーキングディスタンスと称す）をいかに
変化せしめても試料からの反射電子検出状態を常に一定
にするために、反射電子検出素子を光軸方向に移動可能
な試料ステージ上に固定することが提案されている。
下この距離をワーキングディスタンスと称す）をいかに
変化せしめても試料からの反射電子検出状態を常に一定
にするために、反射電子検出素子を光軸方向に移動可能
な試料ステージ上に固定することが提案されている。
この場合反射電子の検出効率は一般に検出素子より試料
上の電子線照射点を見込む立体角に比例して良くなるた
め、検出素子と試料とは接近しておがれる。
上の電子線照射点を見込む立体角に比例して良くなるた
め、検出素子と試料とは接近しておがれる。
その結果試料ステージ内で試料を傾斜せしめた際、試料
或いは試料ホルダー若しくは試料移動機構等が検出素子
に衝突するため、大角度の試料傾斜を行うことができな
い。
或いは試料ホルダー若しくは試料移動機構等が検出素子
に衝突するため、大角度の試料傾斜を行うことができな
い。
本考案は斯様な点に鑑み、検出素子と試料とを接近せし
めた状態で大角度の試料傾斜を行うことのできる装置を
提供するもので、以下図面に基づいて詳説する。
めた状態で大角度の試料傾斜を行うことのできる装置を
提供するもので、以下図面に基づいて詳説する。
第１図は本考案の一実施例を示す縦断面図、第２図は第
１図のＡ−Ａ矢視図であり、１は試料室である。
１図のＡ−Ａ矢視図であり、１は試料室である。
該試料室１の上方には図示外の電子銃から発生した電子
線を集束するための対物レンズ２が設置されており、又
該試料室１の内壁には案内板３ａ及び３ｂを介して試料
ステージ４が光軸Ｚと平行に移動できるように保持され
ている。
線を集束するための対物レンズ２が設置されており、又
該試料室１の内壁には案内板３ａ及び３ｂを介して試料
ステージ４が光軸Ｚと平行に移動できるように保持され
ている。
更に該試料ステージ４には光軸Ｚに向けて垂直に突出し
た円筒状の膨出部４ａが形成されており、該膨出部４ａ
の外周には傾斜体５が回転可能にはめられている。
た円筒状の膨出部４ａが形成されており、該膨出部４ａ
の外周には傾斜体５が回転可能にはめられている。
該傾斜体５の回転中心は光軸Ｚと直交するようにおかれ
ており又該傾斜体の光軸付近には平面状に加工された載
せ台６が形成されている。
ており又該傾斜体の光軸付近には平面状に加工された載
せ台６が形成されている。
７は該載せ台６上に移動可能に載置された移動体で、該
移動体は図示外の試料移動機構により光軸と直交した平
面内で移動できるように構成されており、又該移動体７
上には試料８を保持した試料ホルダー９が着脱可能に装
着されている。
移動体は図示外の試料移動機構により光軸と直交した平
面内で移動できるように構成されており、又該移動体７
上には試料８を保持した試料ホルダー９が着脱可能に装
着されている。
前記試料８の表面は前記傾斜体５の軸心と光軸Ｚとの交
点と一致するようにおかれている。
点と一致するようにおかれている。
従って前記傾斜体５を任意方向に回転させても、試料８
上の電子線照射位置に変化しない。
上の電子線照射位置に変化しない。
１０は該傾斜体５を外部から操作軸１１を介して回転さ
せるためのウオームで、該ウオームは傾斜体５の外周に
形成したウオーム歯車１２と噛合っており、又ウオーム
は前記試料ステージ４に回転可能に保持されている。
せるためのウオームで、該ウオームは傾斜体５の外周に
形成したウオーム歯車１２と噛合っており、又ウオーム
は前記試料ステージ４に回転可能に保持されている。
１３は前記試料８上にこの試料と対向するようにおかれ
た例えばＰＮ接合半導体の如き環状の反射電子検出素子
（以下単に検出素子と称す）で、該検出素子は前記試料
ステージ４に一端が回転可能に取り付けられた支持棒１
４の他端に固定されている。
た例えばＰＮ接合半導体の如き環状の反射電子検出素子
（以下単に検出素子と称す）で、該検出素子は前記試料
ステージ４に一端が回転可能に取り付けられた支持棒１
４の他端に固定されている。
該支持棒１４の回転中心は光軸Ｚと直交し且つ前記傾斜
体５の回転中心（試料の傾斜軸心）と平行に配置されて
おり、又該支持棒１４の回転中心上に前記検出素子１３
の表面がおかれている。
体５の回転中心（試料の傾斜軸心）と平行に配置されて
おり、又該支持棒１４の回転中心上に前記検出素子１３
の表面がおかれている。
更に該支持棒１４の検出素子１３の取付部分には電子線
通過用穴１５が形成されている。
通過用穴１５が形成されている。
１６は該支持棒１４に固定されたピンで、該ピンには前
記傾斜体５の端面に固定されたピン１７が係合されてい
る。
記傾斜体５の端面に固定されたピン１７が係合されてい
る。
従って傾斜体５を回転させるとピン１６及び１７を介し
て支持棒１４が同方向に回転する。
て支持棒１４が同方向に回転する。
１８は前記ピン１６と１７との保合を常に維持するため
のスプリングである。
のスプリングである。
斯くして傾斜体５を回転せしめて第２図中点線Ｂで示す
ように試料８を傾斜せしめれば、検出素子１３も同方向
に傾斜するため、試料８や試料ホルダー９等が検出素子
１３に衝突することがなくなる。
ように試料８を傾斜せしめれば、検出素子１３も同方向
に傾斜するため、試料８や試料ホルダー９等が検出素子
１３に衝突することがなくなる。
従って試料８と検出素子１３との距離を常に最適状態に
保ったままで試料の大角度の傾斜状態を観察することが
可能である。
保ったままで試料の大角度の傾斜状態を観察することが
可能である。
又図示外の駆動機構により試料ステージ４を上下動させ
れば、任意のワーキングディスタンスの位置において大
角度の試料傾斜状態を常に良質の画像で観察することが
可能となる。
れば、任意のワーキングディスタンスの位置において大
角度の試料傾斜状態を常に良質の画像で観察することが
可能となる。
尚前述の説明では支持棒に固定したピンと傾斜体に固定
したピンとを係合せしめて傾斜体の回転にともなって支
持棒を回転させるように構成したが、これに限定される
ことなく例えば歯車を用いて傾斜体と支持棒とを連結せ
しめてもよい。
したピンとを係合せしめて傾斜体の回転にともなって支
持棒を回転させるように構成したが、これに限定される
ことなく例えば歯車を用いて傾斜体と支持棒とを連結せ
しめてもよい。
又、傾斜体の回転角に応じて支持棒を回転せしめたが、
傾斜体がある角度回転、つまり試料が検出素子に衝突す
る直前まで傾斜すると検出素子がある角度傾斜するよう
に構成することも可能である。
傾斜体がある角度回転、つまり試料が検出素子に衝突す
る直前まで傾斜すると検出素子がある角度傾斜するよう
に構成することも可能である。
更に、支持棒に固定する検出素子としては環状に形成し
たが、これに限定されることなく、任意な形状の検出素
子を少なくとも１個以上取付ければよいことは言うまで
もない。
たが、これに限定されることなく、任意な形状の検出素
子を少なくとも１個以上取付ければよいことは言うまで
もない。
この場合、支持棒に形成する電子線通過穴を傾斜方向に
細長く形成すれば、検出素子（試料）を大角度に傾斜せ
しめても通過穴の縁部分によって電子線が遮断されるの
を防止することができる。
細長く形成すれば、検出素子（試料）を大角度に傾斜せ
しめても通過穴の縁部分によって電子線が遮断されるの
を防止することができる。
第１図は本考案の一実施例を示す縦断面図、第２図は第
１図のＡ−Ａ矢視図である。 １：試料室、２：対物レンズ、３ａ及び３ｂ：案内板、
４：試料ステージ、５：傾斜体、７：移動体、８：試料
、９：試料ホルダー、１０：ウオーム、１１：操作軸、
１２：ウオーム歯車、１３：反射電子検出素子、１４：
支持棒、１５：電子線通過穴、１６及び１７：ピン、１
８ニスプリング。
１図のＡ−Ａ矢視図である。 １：試料室、２：対物レンズ、３ａ及び３ｂ：案内板、
４：試料ステージ、５：傾斜体、７：移動体、８：試料
、９：試料ホルダー、１０：ウオーム、１１：操作軸、
１２：ウオーム歯車、１３：反射電子検出素子、１４：
支持棒、１５：電子線通過穴、１６及び１７：ピン、１
８ニスプリング。
Claims (1)
- 集束された電子線を試料上で走査することにより発生す
る反射電子を検出して表示装置に供給せしめるようにな
した装置に於いて、前記試料を電子線光軸に沿って移動
させるための手段と、前記試料を傾斜させるための前記
移動手段に組み込まれた手段と、前記反射電子を検出す
る検出素子を前記試料の傾斜軸と平行で且つ電子線光軸
の略直交する軸心を中心にして傾斜させるための前記移
動部材に回動可能に取り付けられた支持部材と、前記試
料の傾動に応じて前記検出素子を連続或いは断続的に傾
動させるための手段とからなる走査電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15495179U JPS594442Y2 (ja) | 1979-11-08 | 1979-11-08 | 走査電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15495179U JPS594442Y2 (ja) | 1979-11-08 | 1979-11-08 | 走査電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5672464U JPS5672464U (ja) | 1981-06-15 |
| JPS594442Y2 true JPS594442Y2 (ja) | 1984-02-08 |
Family
ID=29385452
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15495179U Expired JPS594442Y2 (ja) | 1979-11-08 | 1979-11-08 | 走査電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS594442Y2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016139513A (ja) * | 2015-01-27 | 2016-08-04 | 新日鐵住金株式会社 | 試料台およびそれを備えた電子顕微鏡 |
| JP2018022592A (ja) * | 2016-08-02 | 2018-02-08 | 新日鐵住金株式会社 | 試料台およびそれを備えた電子顕微鏡 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58193453U (ja) * | 1982-06-14 | 1983-12-22 | 株式会社明石製作所 | 電子線装置における反射電子検出装置 |
| WO2016088249A1 (ja) * | 2014-12-05 | 2016-06-09 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置及び荷電粒子線装置による観察方法 |
-
1979
- 1979-11-08 JP JP15495179U patent/JPS594442Y2/ja not_active Expired
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016139513A (ja) * | 2015-01-27 | 2016-08-04 | 新日鐵住金株式会社 | 試料台およびそれを備えた電子顕微鏡 |
| JP2018022592A (ja) * | 2016-08-02 | 2018-02-08 | 新日鐵住金株式会社 | 試料台およびそれを備えた電子顕微鏡 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5672464U (ja) | 1981-06-15 |
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