JPH05337660A - 被膜除去装置 - Google Patents
被膜除去装置Info
- Publication number
- JPH05337660A JPH05337660A JP4150996A JP15099692A JPH05337660A JP H05337660 A JPH05337660 A JP H05337660A JP 4150996 A JP4150996 A JP 4150996A JP 15099692 A JP15099692 A JP 15099692A JP H05337660 A JPH05337660 A JP H05337660A
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- Japan
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- laser light
- axis
- film
- optical axis
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】円筒状ワークの内面の被膜、例えばコピー用感
光ドラムの酸化アルミニウム膜を、レーザ光の照射によ
って非接触で寸法的に精度高く除去する。 【構成】レーザ発振器１から出射されたレーザ光が、各
偏向ミラー2u,2v によって互いに直角に振られ、円錐周
壁に沿って回転する円周期運動をしながら、ｆθレンズ
３を通って円筒状ワーク９の内面を照射する。レーザ光
の振りは、前記と異なって直線周期運動や、その中間の
楕円周期運動でもよい。ワーク９は保持具４によって保
持され、この保持具４は、駆動装置６の出力軸である回
転・直進軸５の端部に固定される。駆動装置６は、傾斜
角度が変更可能な傾斜台７に取り付けられる。なお、各
偏向ミラー2u,2v は、図示してないアクチュエータと、
これを位置制御する制御部とによって駆動制御される。
光ドラムの酸化アルミニウム膜を、レーザ光の照射によ
って非接触で寸法的に精度高く除去する。 【構成】レーザ発振器１から出射されたレーザ光が、各
偏向ミラー2u,2v によって互いに直角に振られ、円錐周
壁に沿って回転する円周期運動をしながら、ｆθレンズ
３を通って円筒状ワーク９の内面を照射する。レーザ光
の振りは、前記と異なって直線周期運動や、その中間の
楕円周期運動でもよい。ワーク９は保持具４によって保
持され、この保持具４は、駆動装置６の出力軸である回
転・直進軸５の端部に固定される。駆動装置６は、傾斜
角度が変更可能な傾斜台７に取り付けられる。なお、各
偏向ミラー2u,2v は、図示してないアクチュエータと、
これを位置制御する制御部とによって駆動制御される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、円筒状ワークの内面
の被膜、たとえばコピー用感光ドラム内面の酸化アルミ
ニウム膜をレーザ光の照射によって、非接触で寸法的に
精度高く除去する被膜除去装置に関する。
の被膜、たとえばコピー用感光ドラム内面の酸化アルミ
ニウム膜をレーザ光の照射によって、非接触で寸法的に
精度高く除去する被膜除去装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、円筒状ワークの内面の被膜、たと
えばコピー用感光ドラム内面の酸化アルミニウム膜を除
去するには、グラインダやヤスリを用いた作業によっ
た。
えばコピー用感光ドラム内面の酸化アルミニウム膜を除
去するには、グラインダやヤスリを用いた作業によっ
た。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の方法では、第１
にワークの寸法，形状によっては、加工力による変形の
おそれがある、第２に除去寸法の精度が低く、かつムラ
を生じる、第３に最適加工条件の設定が困難である、第
４に自動化が困難で、一連の作業全体の自動化を阻害す
る──等の欠点がある。
にワークの寸法，形状によっては、加工力による変形の
おそれがある、第２に除去寸法の精度が低く、かつムラ
を生じる、第３に最適加工条件の設定が困難である、第
４に自動化が困難で、一連の作業全体の自動化を阻害す
る──等の欠点がある。
【０００４】この発明の課題は、従来の技術がもつ以上
の問題点を解消し、円筒状ワークの内面の被膜、たとえ
ばコピー用感光ドラムの酸化アルミニウム膜をレーザ光
の照射によって、非接触で寸法的に精度高く除去する被
膜除去装置を提供することにある。
の問題点を解消し、円筒状ワークの内面の被膜、たとえ
ばコピー用感光ドラムの酸化アルミニウム膜をレーザ光
の照射によって、非接触で寸法的に精度高く除去する被
膜除去装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１に係る被膜除去
装置は、円筒状ワークの内面の被膜をレーザ光の照射に
よって除去する装置であって、前記ワークは、その軸線
が前記レーザ光の光軸と交差し、その軸線の回りに回転
可能であるとともに、その軸線の方向に直進可能である
ように構成され、前記レーザ光は、その光軸を中心に周
期運動的に振られ、かつ前記ワークの一方の開口部を通
りその内面を照射する。
装置は、円筒状ワークの内面の被膜をレーザ光の照射に
よって除去する装置であって、前記ワークは、その軸線
が前記レーザ光の光軸と交差し、その軸線の回りに回転
可能であるとともに、その軸線の方向に直進可能である
ように構成され、前記レーザ光は、その光軸を中心に周
期運動的に振られ、かつ前記ワークの一方の開口部を通
りその内面を照射する。
【０００６】請求項２に係る被膜除去装置は、円筒状ワ
ークの内面の被膜をレーザ光の照射によって除去する装
置であって、前記ワークは、その軸線が前記レーザ光の
光軸と一致し、その軸線の回りに回転可能であるととも
に、その軸線の方向に直進可能であるように構成され、
前記レーザ光は、その光軸を中心に周期運動的に振ら
れ、かつ前記ワークの一方の開口部を通りその軸線上に
定置の反射ミラーで反射した後に前記ワーク内面を照射
する。
ークの内面の被膜をレーザ光の照射によって除去する装
置であって、前記ワークは、その軸線が前記レーザ光の
光軸と一致し、その軸線の回りに回転可能であるととも
に、その軸線の方向に直進可能であるように構成され、
前記レーザ光は、その光軸を中心に周期運動的に振ら
れ、かつ前記ワークの一方の開口部を通りその軸線上に
定置の反射ミラーで反射した後に前記ワーク内面を照射
する。
【０００７】請求項３に係る被膜除去装置は、請求項１
または２に記載の装置において、ワークが、コピー用感
光ドラムで、除去される被膜が、酸化アルミニウム膜で
ある。
または２に記載の装置において、ワークが、コピー用感
光ドラムで、除去される被膜が、酸化アルミニウム膜で
ある。
【０００８】
【作用】請求項１に係る被膜除去装置では、ワークがそ
の軸線をレーザ光の光軸と交差させ、軸線の回りに回転
され、かつ軸線の方向に直進されるから、レーザ光が、
光軸を中心に周期運動的に振られながら、ワークの一方
の開口部を通りその内面を照射することによって、その
軸線方向の所定幅の円筒内面領域の被膜が除去される。
の軸線をレーザ光の光軸と交差させ、軸線の回りに回転
され、かつ軸線の方向に直進されるから、レーザ光が、
光軸を中心に周期運動的に振られながら、ワークの一方
の開口部を通りその内面を照射することによって、その
軸線方向の所定幅の円筒内面領域の被膜が除去される。
【０００９】請求項２に係る被膜除去装置では、ワーク
がその軸線をレーザ光の光軸と一致させ、軸線の回りに
回転され、かつ軸線の方向に直進されるから、レーザ光
が、光軸を中心に周期運動的に振られながら、ワークの
一方の開口部を通り軸線上に定置の反射ミラーで反射し
た後にその内面を照射することによって、その軸線方向
の所定幅の円筒内面領域の被膜が除去される。
がその軸線をレーザ光の光軸と一致させ、軸線の回りに
回転され、かつ軸線の方向に直進されるから、レーザ光
が、光軸を中心に周期運動的に振られながら、ワークの
一方の開口部を通り軸線上に定置の反射ミラーで反射し
た後にその内面を照射することによって、その軸線方向
の所定幅の円筒内面領域の被膜が除去される。
【００１０】
【実施例】この発明に係る被膜除去装置の実施例につい
て、以下に図を参照しながら説明する。図１は第１の実
施例の側面図である。図１において、繰返しパルス形の
ＹＡＧレーザ用レーザ発振器１から出射されたレーザ光
が、各偏向ミラー2u,2v によって互いに直角に振られ、
円錐周壁に沿って回転する円周期運動をしながら、ｆθ
レンズ３を通って円筒状ワーク９の内面を照射する。な
お、レーザ光の振りは、前記と異なって直線周期運動
や、その中間の楕円周期運動でもよい。ワーク９は保持
具４によって保持され、この保持具４は、駆動装置６の
出力軸である回転・直進軸５の端部に固定される。駆動
装置６は、傾斜角度が変更可能な傾斜台７に取り付けら
れる。なお、各偏向ミラー2u,2v は、図示してないアク
チュエータと、これを位置制御する制御部とによって駆
動制御される。ｆθレンズ３は特殊な集光レンズで、各
偏向ミラー2u,2v によって振られて比較的大きい入射角
で入射するレーザ光を、その入射角に応じた位置に偏位
させ合焦させる。
て、以下に図を参照しながら説明する。図１は第１の実
施例の側面図である。図１において、繰返しパルス形の
ＹＡＧレーザ用レーザ発振器１から出射されたレーザ光
が、各偏向ミラー2u,2v によって互いに直角に振られ、
円錐周壁に沿って回転する円周期運動をしながら、ｆθ
レンズ３を通って円筒状ワーク９の内面を照射する。な
お、レーザ光の振りは、前記と異なって直線周期運動
や、その中間の楕円周期運動でもよい。ワーク９は保持
具４によって保持され、この保持具４は、駆動装置６の
出力軸である回転・直進軸５の端部に固定される。駆動
装置６は、傾斜角度が変更可能な傾斜台７に取り付けら
れる。なお、各偏向ミラー2u,2v は、図示してないアク
チュエータと、これを位置制御する制御部とによって駆
動制御される。ｆθレンズ３は特殊な集光レンズで、各
偏向ミラー2u,2v によって振られて比較的大きい入射角
で入射するレーザ光を、その入射角に応じた位置に偏位
させ合焦させる。
【００１１】さて、レーザ光のワーク９の内面における
照射箇所は、レーザ光の熱作用によって浅く彫り込まれ
て被膜が除去される。しかも、照射箇所は、小さい直径
の円周に沿って移動するから、ワーク９が軸線の回りに
回転し、かつ軸線方向に直進することによって、所定幅
の円筒内面領域の被膜が除去される。ここで、ワーク９
の軸線とレザー光の光軸とのなす角度θが直角であると
き、各照射箇所でのレーザ光の合焦程度を一致させて適
正化しうるから、被膜除去がムラなくおこなわれる。被
膜除去のムラは、傾斜角度θが直角から小さい方向にず
れるほど大きくなる。レーザ光がワーク９の上開口部か
ら導入されるから、被膜除去の位置が上開口部から奥に
なるほど、傾斜角度θを小さくしなければならなくな
る。傾斜角度θが小さくなると、レーザ光の焦点深度に
よって多少の程度はカバーできるものの、被膜除去のム
ラが許容限度を超えることになる。したがって、この第
１実施例は、被膜除去すべき箇所が比較的、ワークの開
口部に近いときに有効である。言いかえれば、円筒内面
除去領域の軸線方向の位置，幅寸法に係る若干の制約が
あり、その制約の限度を超えると被膜除去にムラが生じ
ることになる。
照射箇所は、レーザ光の熱作用によって浅く彫り込まれ
て被膜が除去される。しかも、照射箇所は、小さい直径
の円周に沿って移動するから、ワーク９が軸線の回りに
回転し、かつ軸線方向に直進することによって、所定幅
の円筒内面領域の被膜が除去される。ここで、ワーク９
の軸線とレザー光の光軸とのなす角度θが直角であると
き、各照射箇所でのレーザ光の合焦程度を一致させて適
正化しうるから、被膜除去がムラなくおこなわれる。被
膜除去のムラは、傾斜角度θが直角から小さい方向にず
れるほど大きくなる。レーザ光がワーク９の上開口部か
ら導入されるから、被膜除去の位置が上開口部から奥に
なるほど、傾斜角度θを小さくしなければならなくな
る。傾斜角度θが小さくなると、レーザ光の焦点深度に
よって多少の程度はカバーできるものの、被膜除去のム
ラが許容限度を超えることになる。したがって、この第
１実施例は、被膜除去すべき箇所が比較的、ワークの開
口部に近いときに有効である。言いかえれば、円筒内面
除去領域の軸線方向の位置，幅寸法に係る若干の制約が
あり、その制約の限度を超えると被膜除去にムラが生じ
ることになる。
【００１２】図２は第２の実施例の側面図である。図２
において、この第２実施例が先の第１実施例と異なる点
は、ワーク９の軸線が、出射レーザ光の光軸と一致し、
傾斜台７が除去され、その代わりに反射ミラー８が設置
されることである。その他のユニットで第１実施例にお
けるのと同じものには同じ符号を付けてある。第２実施
例では、レーザ光は、ワーク９の軸線に沿って上開口部
から導入され、軸線と４５度で交差させ設置された反射
ミラー８で反射した後に、ワーク９の内面を直角に照射
する。したがって、この第２実施例では、先の第１実施
例におけるときと異なり、被膜除去すべき箇所に係る位
置の制約が全くない。
において、この第２実施例が先の第１実施例と異なる点
は、ワーク９の軸線が、出射レーザ光の光軸と一致し、
傾斜台７が除去され、その代わりに反射ミラー８が設置
されることである。その他のユニットで第１実施例にお
けるのと同じものには同じ符号を付けてある。第２実施
例では、レーザ光は、ワーク９の軸線に沿って上開口部
から導入され、軸線と４５度で交差させ設置された反射
ミラー８で反射した後に、ワーク９の内面を直角に照射
する。したがって、この第２実施例では、先の第１実施
例におけるときと異なり、被膜除去すべき箇所に係る位
置の制約が全くない。
【００１３】
【発明の効果】請求項１に係る被膜除去装置では、ワー
クがその軸線をレーザ光の光軸と交差させ、軸線の回り
に回転され、かつ軸線の方向に直進されるから、レーザ
光が、光軸を中心に周期運動的に振られながら、ワーク
の一方の開口部を通りその内面を照射することによっ
て、その軸線方向の所定幅の円筒内面領域の被膜が除去
される。したがって、円筒内面除去領域の軸線方向の位
置，幅寸法に係る若干の制約があり、被膜除去に若干の
ムラが生じるものの、非接触でワークに加工力が作用
しないから変形のおそれが全くなく、寸法的に精度高
く除去され、加工条件の変更が容易であるから、最適
条件での加工によって品質向上が図れ、作業の自動化
が容易で、コスト低減，省力化が図れる──等の効果が
得られる。
クがその軸線をレーザ光の光軸と交差させ、軸線の回り
に回転され、かつ軸線の方向に直進されるから、レーザ
光が、光軸を中心に周期運動的に振られながら、ワーク
の一方の開口部を通りその内面を照射することによっ
て、その軸線方向の所定幅の円筒内面領域の被膜が除去
される。したがって、円筒内面除去領域の軸線方向の位
置，幅寸法に係る若干の制約があり、被膜除去に若干の
ムラが生じるものの、非接触でワークに加工力が作用
しないから変形のおそれが全くなく、寸法的に精度高
く除去され、加工条件の変更が容易であるから、最適
条件での加工によって品質向上が図れ、作業の自動化
が容易で、コスト低減，省力化が図れる──等の効果が
得られる。
【００１４】請求項２に係る被膜除去装置では、ワーク
がその軸線をレーザ光の光軸と一致させ、軸線の回りに
回転され、かつ軸線の方向に直進されるから、レーザ光
が、光軸を中心に周期運動的に振られながら、ワークの
一方の開口部を通り軸線上に定置の反射ミラーで反射し
た後にその内面を照射することによって、その軸線方向
の所定幅の円筒内面領域の被膜が除去される。したがっ
て、請求項１に係る装置における項〜の効果に加え
て、円筒内面除去領域の軸線方向の位置，幅寸法に係
る制約がないから、除去作業の適用範囲が拡大し、被
膜除去にムラがほとんどなく品質向上が図れる。
がその軸線をレーザ光の光軸と一致させ、軸線の回りに
回転され、かつ軸線の方向に直進されるから、レーザ光
が、光軸を中心に周期運動的に振られながら、ワークの
一方の開口部を通り軸線上に定置の反射ミラーで反射し
た後にその内面を照射することによって、その軸線方向
の所定幅の円筒内面領域の被膜が除去される。したがっ
て、請求項１に係る装置における項〜の効果に加え
て、円筒内面除去領域の軸線方向の位置，幅寸法に係
る制約がないから、除去作業の適用範囲が拡大し、被
膜除去にムラがほとんどなく品質向上が図れる。
【図１】本発明に係る第１実施例の側面図
【図２】同じくその第２実施例の側面図
１ レーザ発振器 ２ｕ，２ｖ 偏向ミラー ３ ｆθレンズ ４ 保持具 ５ 回転・直進軸 ６ 駆動装置 ７ 傾斜台 ８ 反射ミラー ９ ワーク
Claims (3)
- 【請求項１】円筒状ワークの内面の被膜をレーザ光の照
射によって除去する装置であって、前記ワークは、その
軸線が前記レーザ光の光軸と交差し、その軸線の回りに
回転可能であるとともに、その軸線の方向に直進可能で
あるように構成され、前記レーザ光は、その光軸を中心
に周期運動的に振られ、かつ前記ワークの一方の開口部
を通りその内面を照射する構成にしたことを特徴とする
被膜除去装置。 - 【請求項２】円筒状ワークの内面の被膜をレーザ光の照
射によって除去する装置であって、前記ワークは、その
軸線が前記レーザ光の光軸と一致し、その軸線の回りに
回転可能であるとともに、その軸線の方向に直進可能で
あるように構成され、前記レーザ光は、その光軸を中心
に周期運動的に振られ、かつ前記ワークの一方の開口部
を通りその軸線上に定置の反射ミラーで反射した後に前
記ワーク内面を照射する構成にしたことを特徴とする被
膜除去装置。 - 【請求項３】請求項１または２に記載の装置において、
ワークは、コピー用感光ドラムで、除去される被膜は、
酸化アルミニウム膜であることを特徴とする被膜除去装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4150996A JPH05337660A (ja) | 1992-06-11 | 1992-06-11 | 被膜除去装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4150996A JPH05337660A (ja) | 1992-06-11 | 1992-06-11 | 被膜除去装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05337660A true JPH05337660A (ja) | 1993-12-21 |
Family
ID=15509008
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4150996A Pending JPH05337660A (ja) | 1992-06-11 | 1992-06-11 | 被膜除去装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05337660A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5837329A (en) * | 1994-12-28 | 1998-11-17 | Shinozaki Manufacturing Co., Ltd. | Method for machining rollers and other objects using laser light and equipment for machining |
| US7525065B2 (en) * | 2004-05-18 | 2009-04-28 | Airbus Deutschland Gmbh | Laser-assisted coating removal method |
| KR101148750B1 (ko) * | 2006-06-20 | 2012-05-22 | 도시바 미쓰비시덴키 산교시스템 가부시키가이샤 | 조직 재질 측정 장치 및 조직 재질 측정 방법 |
| CN105458455A (zh) * | 2015-12-25 | 2016-04-06 | 中钢集团邢台机械轧辊有限公司 | 一种自动堆焊机 |
| CN108687056A (zh) * | 2017-04-05 | 2018-10-23 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 一种激光清洗设备及方法 |
| CN109048069A (zh) * | 2018-09-28 | 2018-12-21 | 马瑞利汽车照明系统（佛山）有限公司 | 一种用于去除车灯装饰圈镀铝层的装置 |
-
1992
- 1992-06-11 JP JP4150996A patent/JPH05337660A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5837329A (en) * | 1994-12-28 | 1998-11-17 | Shinozaki Manufacturing Co., Ltd. | Method for machining rollers and other objects using laser light and equipment for machining |
| US7525065B2 (en) * | 2004-05-18 | 2009-04-28 | Airbus Deutschland Gmbh | Laser-assisted coating removal method |
| KR101148750B1 (ko) * | 2006-06-20 | 2012-05-22 | 도시바 미쓰비시덴키 산교시스템 가부시키가이샤 | 조직 재질 측정 장치 및 조직 재질 측정 방법 |
| CN105458455A (zh) * | 2015-12-25 | 2016-04-06 | 中钢集团邢台机械轧辊有限公司 | 一种自动堆焊机 |
| CN108687056A (zh) * | 2017-04-05 | 2018-10-23 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 一种激光清洗设备及方法 |
| CN109048069A (zh) * | 2018-09-28 | 2018-12-21 | 马瑞利汽车照明系统（佛山）有限公司 | 一种用于去除车灯装饰圈镀铝层的装置 |
| CN109048069B (zh) * | 2018-09-28 | 2024-01-16 | 马瑞利汽车照明系统（佛山）有限公司 | 一种用于去除车灯装饰圈镀铝层的装置 |
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