JP6790559B2 - 試料台およびそれを備えた電子顕微鏡 - Google Patents
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前記電子顕微鏡に着脱可能に装着される本体部と、
前記試料を保持する試料保持面を有する試料保持部と、
表面および、前記試料保持面に平行かつ対向しており検出面となる裏面を有する反射電子検出器とを備え、
前記反射電子検出器は、前記表面から前記裏面へ貫通し、かつ、前記電子線束が通過可能な孔を有し、
前記試料保持部は、前記仮想線上の点を中心点として、揺動可能に前記本体部に支持され、
前記反射電子検出器は、
前記試料保持面の法線方向から見た場合に、前記反射電子検出器の外縁が囲う領域と、前記仮想線および前記試料保持面の交点とが重ならない位置まで退避する退避移動可能、かつ、
前記検出面が前記試料保持面に対して平行な状態を維持しつつ、前記電子線束が前記孔を通過可能な範囲に移動する調整移動可能に、前記試料保持部に支持される、
試料台。
上記(1)に記載の試料台。
上記(1)に記載の試料台。
上記(1)に記載の試料台。
上記(1)から(4)までのいずれかに記載の試料台。
上記(5)に記載の試料台。
上記(1)から(6)までのいずれかに記載の試料台。
上記(1)から(7)までのいずれかに記載の試料台。
上記(1)から(8)までのいずれかに記載の試料台。
上記(1)から(9)までのいずれかに記載の試料台。
上記(10)に記載の試料台。
上記(1)から(11)までのいずれかに記載の試料台。
前記試料台を設置する設置部と、
前記第1コネクタピン、第2コネクタピンおよび第3コネクタピンと電気的に接続する電気信号コネクタ受取口と、
前記反射電子検出器で得られた反射電子信号を伝播する反射電子伝播装置と、
前記試料保持部の揺動を制御する揺動制御装置と、
前記反射電子検出器の移動を制御する移動制御装置とを備える、電子顕微鏡。
本体部1は、電子顕微鏡の設置部15に着脱可能に装着されるための部分である。本体部1を設置部15に装着させる方法については従来の方法と同様であり、特別な処理を伴うことはない。そのため、本発明に係る試料台は、汎用的なSEMに取り付けが可能である。設置部15を駆動装置17によって駆動することで、SEM内において試料台10の位置を変化させることができる。
試料保持部2は、試料6を保持する試料保持面2aを有する。試料6は試料保持面2aに対して、導電性カーボンテープ等を用いて接着させることができる。試料表面における転位等に代表される格子欠陥を観察する場合は、試料表面は電解研磨処理などによって平滑になっていることが望ましい。なお、試料保持部2の形状については特に限定されず、試料保持面2aの法線方向から見た場合に、四角形状であってもよいし、多角形、円形、楕円形等であってもよい。
反射電子検出器3は、表面3aおよび裏面3bを有しており、裏面3bは反射電子の検出面となる部分であって、試料保持面2aに平行かつ対向している。なお、試料保持面2aと裏面3bとは、厳密に平行である必要はなく、略平行であればよい。図2(c)は反射電子検出器3ならびに後述する移動機構2d,2eおよび回転機構2fのみの構成を説明するための斜視図である。図2に示す構成では、反射電子検出器3は、表面3aの法線方向から見た場合に四角形状であるが、形状はこれに限定されず、例えば、多角形、円形、楕円形等であってもよい。
1a.支持部
2.試料保持部
2a.試料保持面
2b.直交方向の移動機構
2c.平行方向の移動機構
2d.X方向の移動機構
2e.Y方向の移動機構
2f,2f’.回転機構
2g.着脱機構
3.反射電子検出器
3a.表面
3b.裏面
3c.穴
5a.第1コネクタピン
5b.第2コネクタピン
5c.第3コネクタピン
6.試料
10.試料台
15.設置部
17.駆動装置
20.電子銃
25.電子銃制御装置
30.コンデンサレンズ
35.集束レンズ系制御装置
40.対物レンズ
45.対物レンズ系制御装置
50.ポールピース
60.偏向コイル
65.偏向コイル制御装置
70.二次電子検出器
75.二次電子信号伝搬装置
80.表示装置
82.電気信号コネクタ受取口
84.揺動制御装置
86.移動制御装置
88.反射電子伝播装置
90.電子後方散乱回折検出器
92.電子後方散乱回折信号伝搬装置
94.試料結晶方位表示装置
100.SEM本体
Claims (13)
- 一方向に延びる仮想線上を進行する電子線束を試料の表面に入射させる電子顕微鏡内に設置される試料台であって、
前記電子顕微鏡に着脱可能に装着される本体部と、
前記試料を保持する試料保持面を有する試料保持部と、
表面および、前記試料保持面に平行かつ対向しており検出面となる裏面を有する反射電子検出器とを備え、
前記反射電子検出器は、前記表面から前記裏面へ貫通し、かつ、前記電子線束が通過可能な孔を有し、
前記試料保持部は、前記仮想線上の点を中心点として、揺動可能に前記本体部に支持され、
前記反射電子検出器は、
前記試料保持面の法線方向から見た場合に、前記反射電子検出器の外縁が囲う領域と、前記仮想線および前記試料保持面の交点とが重ならない位置まで退避する退避移動可能、かつ、
前記検出面が前記試料保持面に対して平行な状態を維持しつつ、前記電子線束が前記孔を通過可能な範囲に移動する調整移動可能に、前記試料保持部に支持される、
試料台。 - 前記反射電子検出器は、前記試料保持面の法線方向と平行な軸回りに回転することで退避移動可能に前記試料保持部に支持される、
請求項1に記載の試料台。 - 前記反射電子検出器は、前記試料保持面の法線方向と垂直な軸周りに回転することで退避移動可能に前記試料保持部に支持される、
請求項1に記載の試料台。 - 前記反射電子検出器は、退避移動できるように着脱可能に前記試料保持部に支持される、
請求項1に記載の試料台。 - 前記試料保持部が、前記試料保持面と平行であり、かつ、前記中心点上で交差する2つの軸の回りを回転可能である、
請求項1から請求項4までのいずれかに記載の試料台。 - 前記2つの軸が直交する、
請求項5に記載の試料台。 - 前記中心点が、前記試料保持部と前記反射電子検出器との間に位置する、
請求項1から請求項6までのいずれかに記載の試料台。 - 前記本体部は、高さ調整可能で、かつ、前記試料保持部を支持する3つ以上の支持部を有する、
請求項1から請求項7までのいずれかに記載の試料台。 - 前記反射電子検出器を、前記検出面と直交する方向に調整移動させることができる機構をさらに備える、
請求項1から請求項8までのいずれかに記載の試料台。 - 前記反射電子検出器を、前記検出面と平行で互いに交差する2つの方向に調整移動させることができる機構をさらに備える、
請求項1から請求項9までのいずれかに記載の試料台。 - 前記2つの方向が直交する、
請求項10に記載の試料台。 - 前記試料保持部の揺動を指示する電気信号を受信するための第1コネクタピンと、前記反射電子検出器で得られた電気信号を送信するための第2コネクタピンと、前記反射電子検出器の移動を指示する電気信号を受信するための第3コネクタピンとをさらに備える、
請求項1から請求項11までのいずれかに記載の試料台。 - 請求項12に記載の試料台と、
前記試料台を設置する設置部と、
前記第1コネクタピン、第2コネクタピンおよび第3コネクタピンと電気的に接続する電気信号コネクタ受取口と、
前記反射電子検出器で得られた反射電子信号を伝播する反射電子伝播装置と、
前記試料保持部の揺動を制御する揺動制御装置と、
前記反射電子検出器の移動を制御する移動制御装置とを備える、電子顕微鏡。
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Applications Claiming Priority (1)
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Family Applications (1)
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JP2016152069A Active JP6790559B2 (ja) | 2016-08-02 | 2016-08-02 | 試料台およびそれを備えた電子顕微鏡 |
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