JP6063755B2 - 荷電粒子線装置、および円盤状試料観察モジュール - Google Patents
荷電粒子線装置、および円盤状試料観察モジュール Download PDFInfo
- Publication number
- JP6063755B2 JP6063755B2 JP2013010740A JP2013010740A JP6063755B2 JP 6063755 B2 JP6063755 B2 JP 6063755B2 JP 2013010740 A JP2013010740 A JP 2013010740A JP 2013010740 A JP2013010740 A JP 2013010740A JP 6063755 B2 JP6063755 B2 JP 6063755B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- charged particle
- particle beam
- fine movement
- disk
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Description
2 電子源
3 電子ビーム
4 コンデンサレンズ
5 偏向コイル
6 対物レンズ
7 電子光学鏡筒
8 試料
9 2次電子検出器
10 半導体検出器
11 試料微動装置
12 試料室
13 真空排気系
14 X線検出器
21 試料受け
22 スライド機構
23 球状軸受けをもつ筒体
24 駆動軸
25 駆動機構
26 垂直方向へ駆動可能な筒体
27 面板
28 Oリング
29 チルト軸
31 試料受けブロック
32 送りねじ
33 ガイド
34 スライド機構つまみ
35 SEMのビーム中心位置
36 平歯車
37 R軸ガイド
38 傘歯車
39 シャフト
40 ウォームギヤ
40a ねじ歯車
40b はす歯歯車
41 試料から発生したX線
51 チルトテーブル
52 XY軸移動機構
53 試料受け
54 R軸移動機構
55 チルト軸
56 T軸移動機構
57 Z移動機構
61 ステージモジュール
62 ステージモジュールベース
63 回転機構
64 回転シャフト
65 試料固定治具
66 試料受け取付機構
71 Zスライドホルダ
72 Zスライドホルダベース
73 Zスライド送りねじ
74 Zスライド回転機構
74a 駆動機構
74b ねじ歯車
74c はす歯歯車
75 試料台
76 試料受け取付機構
77 Zスライド送りガイド
Claims (18)
- 荷電粒子線を照射する荷電粒子線光学系と、
試料を任意の位置へ移動する、ユーセントリックタイプのサイドエントリー試料微動装置と、
荷電粒子線の照射によって前記試料から放出される信号を検出する検出器と、
前記検出器からの出力に基づき前記試料の画像を形成する画像形成装置と、
を備える荷電粒子線装置において、
前記サイドエントリー試料微動装置が、円盤状試料を所望角度で保持できる試料受け部と、当該試料受け部を前記サイドエントリー試料微動装置の回転軸に対して垂直な方向に移動できるスライド部と、を備え、
前記試料受け部と前記スライド部とを含む円盤状試料観察モジュールが、前記サイドエントリー試料微動装置から着脱可能である、荷電粒子線装置。 - 荷電粒子線を照射する荷電粒子線光学系と、
試料を任意の位置へ移動する、チルトテーブルの上に回転機構を有するユーセントリックタイプの試料微動装置と、
荷電粒子線の照射によって前記試料から放出される信号を検出する検出器と、
前記検出器からの出力に基づき前記試料の画像を形成する画像形成装置と、
を備える荷電粒子線装置において、
前記試料微動装置が、円盤状試料を所望角度で保持できる試料受け部と、前記円盤状試料の中心軸が前記回転機構の回転軸に対して垂直となるように前記試料受け部を前記回転機構の回転軸に対して回転可能に保持するベース部と、を備える、荷電粒子線装置。 - 前記試料微動装置が、前記試料受け部に保持された前記円盤状試料を回転できる、請求項2記載の荷電粒子線装置。
- 前記試料受け部と前記ベース部とを含む円盤状試料観察モジュールが、前記試料微動装置から着脱可能である、請求項2記載の荷電粒子線装置。
- 前記検出器が、前記円盤状試料の中心軸に対して垂直となる方向に配置されている、請求項2記載の荷電粒子線装置。
- 前記検出器が、荷電粒子線の照射によって前記試料から放出されるX線を検出するX線検出器である、請求項5記載の荷電粒子線装置。
- 荷電粒子線を照射する荷電粒子線光学系と、
試料を任意の位置へ移動する、チルトテーブルの上に回転機構を有するユーセントリックタイプの試料微動装置と、
荷電粒子線の照射によって前記試料から放出される信号を検出する検出器と、
前記検出器からの出力に基づき前記試料の画像を形成する画像形成装置と、
を備える荷電粒子線装置において、
前記試料微動装置が、円盤状試料を保持できる試料受け部と、前記円盤状試料の中心軸が前記回転機構の回転軸と同一となるように前記試料受け部を保持し、且つ、前記試料受けを前記回転機構の回転軸に対して垂直な方向に移動できるスライド部と、を備える、荷電粒子線装置。 - 前記試料受け部と前記スライド部とを含む円盤状試料観察モジュールが、前記試料微動装置から着脱可能である、請求項7記載の荷電粒子線装置。
- 前記検出器が、前記円盤状試料の中心軸に対して垂直となる方向に配置されている、請求項7記載の荷電粒子線装置。
- 前記検出器が、荷電粒子線の照射によって前記試料から放出されるX線を検出するX線検出器である、請求項9記載の荷電粒子線装置。
- 荷電粒子線装置に備えられた、ユーセントリックタイプのサイドエントリー試料微動装置に、着脱可能な円盤状試料観察モジュールであって、
円盤状試料を所望角度で保持できる試料受け部と、当該試料受け部を前記サイドエントリー試料微動装置の回転軸に対して垂直な方向に移動できるスライド部と、を有する、円盤状試料観察モジュール。 - 前記試料受け部に保持された前記円盤状試料を回転できる、請求項11記載の円盤状試料観察モジュール。
- 荷電粒子線装置に備えられた、チルトテーブルの上に回転機構を有するユーセントリックタイプの試料微動装置に、着脱可能な円盤状試料観察モジュールであって、
円盤状試料を所望角度で保持できる試料受け部と、前記円盤状試料の中心軸が前記回転機構の回転軸に対して垂直となるように前記試料受け部を前記回転機構の回転軸に対して回転可能に保持するベース部と、を有する、円盤状試料観察モジュール。 - 前記試料受け部に保持された前記円盤状試料を回転できる、請求項13記載の円盤状試料観察モジュール。
- 荷電粒子線装置に備えられた、チルトテーブルの上に回転機構を有するユーセントリックタイプの試料微動装置に、着脱可能な円盤状試料観察モジュールであって、
円盤状試料を保持できる試料受け部と、前記円盤状試料の中心軸が前記回転機構の回転軸と同一となるように前記試料受け部を保持し、且つ、前記試料受け部を前記回転機構の回転軸に対して垂直な方向に移動できるスライド部と、を有する、円盤状試料観察モジュール。 - 前記試料受け部に保持された前記円盤状試料を回転できる、請求項15記載の円盤状試料観察モジュール。
- 荷電粒子線を照射する荷電粒子線光学系と、
試料を任意の位置へ移動する、球形軸受けを有するユーセントリックタイプのサイドエントリー試料微動装置と、
荷電粒子線の照射によって前記試料から放出される信号を検出する検出器と、
前記検出器からの出力に基づき前記試料の画像を形成する画像形成装置と、
を備える荷電粒子線装置において、
前記サイドエントリー試料微動装置が、円盤状試料を所望角度で保持できる試料受け部と、当該試料受け部を前記サイドエントリー試料微動装置の回転軸に対して垂直な方向に移動できるスライド部と、を備える、荷電粒子線装置。 - 荷電粒子線を照射する荷電粒子線光学系と、
試料を任意の位置へ移動する、ユーセントリックタイプのサイドエントリー試料微動装置と、
荷電粒子線の照射によって前記試料から放出される信号を検出する検出器と、
前記検出器からの出力に基づき前記試料の画像を形成する画像形成装置と、
を備える荷電粒子線装置において、
前記サイドエントリー試料微動装置が、円盤状試料を所望角度で保持できる試料受け部と、前記円盤状試料の側面を観察するよう前記円盤状試料を保持した際に前記試料受け部を前記サイドエントリー試料微動装置の回転軸に対して垂直な方向に移動できるスライド部と、を備える、荷電粒子線装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013010740A JP6063755B2 (ja) | 2013-01-24 | 2013-01-24 | 荷電粒子線装置、および円盤状試料観察モジュール |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013010740A JP6063755B2 (ja) | 2013-01-24 | 2013-01-24 | 荷電粒子線装置、および円盤状試料観察モジュール |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014143074A JP2014143074A (ja) | 2014-08-07 |
JP2014143074A5 JP2014143074A5 (ja) | 2015-11-05 |
JP6063755B2 true JP6063755B2 (ja) | 2017-01-18 |
Family
ID=51424213
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013010740A Expired - Fee Related JP6063755B2 (ja) | 2013-01-24 | 2013-01-24 | 荷電粒子線装置、および円盤状試料観察モジュール |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6063755B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE112015005875B4 (de) * | 2015-01-30 | 2021-03-18 | Hitachi High-Tech Corporation | Maskenpositionseinstellverfahren zum ionenfräsen, elektronenmikroskop zum einstellen der maskenposition, auf probenbühne montierte maskeneinstellvorrichtung und probenmaskenkomponente einer ionenfräsvorrichtung |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59146145A (ja) * | 1983-02-09 | 1984-08-21 | Akashi Seisakusho Co Ltd | 試料移動装置 |
US4627009A (en) * | 1983-05-24 | 1986-12-02 | Nanometrics Inc. | Microscope stage assembly and control system |
JPH09223477A (ja) * | 1996-02-14 | 1997-08-26 | Hitachi Ltd | 走査型電子顕微鏡 |
JP4297736B2 (ja) * | 2003-06-11 | 2009-07-15 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 集束イオンビーム装置 |
JP2006252995A (ja) * | 2005-03-11 | 2006-09-21 | Jeol Ltd | 荷電粒子ビーム装置 |
-
2013
- 2013-01-24 JP JP2013010740A patent/JP6063755B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014143074A (ja) | 2014-08-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5103422B2 (ja) | 荷電粒子ビーム装置 | |
US8227781B2 (en) | Variable-tilt specimen holder and method and for monitoring milling in a charged-particle instrument | |
US10483084B2 (en) | Object preparation device and particle beam device having an object preparation device and method for operating the particle beam device | |
CN110355455B (zh) | 氩离子切割装置 | |
JP4785402B2 (ja) | X線用レンズ光軸調整機構、x線用レンズ光軸調整方法、およびx線分析装置 | |
EP3570311B1 (en) | Cathodoluminescence optical hub | |
JP6063755B2 (ja) | 荷電粒子線装置、および円盤状試料観察モジュール | |
JP2014025936A (ja) | 荷電粒子顕微鏡における角度ルミネセンスを測定するためのシステムおよび方法 | |
JP5677777B2 (ja) | 集光器装置 | |
JP2019533819A (ja) | 組み合わされたstemとedsの断層撮影のための装置 | |
US20220238299A1 (en) | Diffractometer for charged-particle crystallography | |
US11990312B2 (en) | Specimen machining device and specimen machining method | |
JP2004087214A (ja) | 荷電粒子線装置用試料ホールダ | |
JP2019008982A (ja) | 試料ホルダーおよび電子顕微鏡 | |
JP6326341B2 (ja) | 試料ホルダー、および電子顕微鏡 | |
JP5710887B2 (ja) | 複合荷電粒子加工観察装置 | |
CN111081515B (zh) | 带电粒子束装置和试样加工观察方法 | |
JP6316453B2 (ja) | 荷電粒子線装置及び荷電粒子線装置による観察方法 | |
KR20200106260A (ko) | 표면 가공 및 성분 분석이 가능한 통합 장치 | |
CN113631913A (zh) | 透射式小角度散射装置 | |
WO2013121938A1 (ja) | 荷電粒子線装置、試料マスクユニット、および変換部材 | |
WO2024046987A1 (en) | Charged-particle irradiation unit for a charged-particle diffractometer | |
JP2015207482A (ja) | 荷電粒子線装置および荷電粒子線装置の試料ステージ | |
JPS63281341A (ja) | エネルギ−分散型x線分光器を備えたx線分析装置 | |
CN115588602A (zh) | 样品固持器系统以及设定显微样品的倾斜角度的方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150819 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150819 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150819 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160420 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160510 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160617 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161122 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161219 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6063755 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |