JP2014143074A5 - - Google Patents

Description

実施例では、荷電粒子線を照射する荷電粒子線光学系と、試料を任意の位置へ移動する、ユーセントリックタイプのサイドエントリー試料微動装置と、荷電粒子線の照射によって前記試料から放出される信号を検出する検出器と、前記検出器からの出力に基づき前記試料の画像を形成する画像形成装置と、を備える荷電粒子線装置において、前記サイドエントリー試料微動装置が、円盤状試料を所望角度で保持できる試料受け部と、当該試料受け部を前記サイドエントリー試料微動装置の回転軸に対して垂直な方向に移動できるスライド部と、を備えることを開示する。また、荷電粒子線装置に備えられた、ユーセントリックタイプのサイドエントリー試料微動装置に着脱可能な円盤状試料観察モジュールであって、円盤状試料を所望角度で保持できる試料受け部と、当該試料受け部を前記サイドエントリー試料微動装置の回転軸に対して垂直な方向に移動できるスライド部と、を有するものを開示する。

また、実施例では、荷電粒子線を照射する荷電粒子線光学系と、試料を任意の位置へ移動する、チルトテーブルの上に回転機構を有するユーセントリックタイプの試料微動装置と、荷電粒子線の照射によって前記試料から放出される信号を検出する検出器と、前記検出器からの出力に基づき前記試料の画像を形成する画像形成装置と、を備える荷電粒子線装置において、前記試料微動装置が、円盤状試料を所望角度で保持できる試料受け部と、前記円盤状試料の中心軸が前記回転機構の回転軸に対して垂直となるように前記試料受け部を前記回転機構の回転軸に対して回転可能に保持するベース部と、を備えることを開示する。また、荷電粒子線装置に備えられた、チルトテーブルの上に回転機構を有するユーセントリックタイプの試料微動装置に着脱可能な円盤状試料観察モジュールであって、円盤状試料を所望角度で保持できる試料受け部と、前記円盤状試料の中心軸が前記回転機構の回転軸に対して垂直となるように前記試料受け部を前記回転機構の回転軸に対して回転可能に保持するベース部と、を有するものを開示する。

また、実施例では、荷電粒子線を照射する荷電粒子線光学系と、試料を任意の位置へ移動する、チルトテーブルの上に回転機構を有するユーセントリックタイプの試料微動装置と、荷電粒子線の照射によって前記試料から放出される信号を検出する検出器と、前記検出器からの出力に基づき前記試料の画像を形成する画像形成装置と、を備える荷電粒子線装置において、前記試料微動装置が、円盤状試料を保持できる試料受け部と、前記円盤状試料の中心軸が前記回転機構の回転軸と同一となるように前記試料受け部を保持し、且つ、前記試料受け部を前記回転機構の回転軸に対して垂直な方向に移動できるスライド部と、を備えることを開示する。また、実施例では、荷電粒子線装置に備えられた、チルトテーブルの上に回転機構を有するユーセントリックタイプの試料微動装置に着脱可能な円盤状試料観察モジュールであって、円盤状試料を保持できる試料受け部と、前記円盤状試料の中心軸が前記回転機構の回転軸と同一となるように前記試料受け部を保持し、且つ、前記試料受け部を前記回転機構の回転軸に対して垂直な方向に移動できるスライド部と、を有するものを開示する。

Claims (20)

1. 荷電粒子線を照射する荷電粒子線光学系と、
   試料を任意の位置へ移動する、ユーセントリックタイプのサイドエントリー試料微動装置と、
   荷電粒子線の照射によって前記試料から放出される信号を検出する検出器と、
   前記検出器からの出力に基づき前記試料の画像を形成する画像形成装置と、
   を備える荷電粒子線装置において、
   前記サイドエントリー試料微動装置が、円盤状試料を所望角度で保持できる試料受け部と、当該試料受け部を前記サイドエントリー試料微動装置の回転軸に対して垂直な方向に移動できるスライド部と、を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。
2. 請求項１記載の荷電粒子線装置において、
   前記サイドエントリー試料微動装置が、前記試料受け部に保持された前記円盤状試料を回転できることを特徴とする荷電粒子線装置。
3. 請求項１記載の荷電粒子線装置において、
   前記試料受け部と前記スライド部とを含む円盤状試料観察モジュールが、前記サイドエントリー試料微動装置から着脱可能であることを特徴とする荷電粒子線装置。
4. 請求項１記載の荷電粒子線装置において、
   前記検出器が、前記円盤状試料の中心軸に対して垂直となる方向に配置されていることを特徴とする荷電粒子線装置。
5. 請求項４記載の荷電粒子線装置において、
   前記検出器が、荷電粒子線の照射によって前記試料から放出されるＸ線を検出するＸ線検出器であることを特徴とする荷電粒子線装置。
6. 荷電粒子線を照射する荷電粒子線光学系と、
   試料を任意の位置へ移動する、チルトテーブルの上に回転機構を有するユーセントリックタイプの試料微動装置と、
   荷電粒子線の照射によって前記試料から放出される信号を検出する検出器と、
   前記検出器からの出力に基づき前記試料の画像を形成する画像形成装置と、
   を備える荷電粒子線装置において、
   前記試料微動装置が、円盤状試料を所望角度で保持できる試料受け部と、前記円盤状試料の中心軸が前記回転機構の回転軸に対して垂直となるように前記試料受け部を前記回転機構の回転軸に対して回転可能に保持するベース部と、を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。
7. 請求項６記載の荷電粒子線装置において、
   前記試料微動装置が、前記試料受け部に保持された前記円盤状試料を回転できることを特徴とする荷電粒子線装置。
8. 請求項６記載の荷電粒子線装置において、
   前記試料受け部と前記ベース部とを含む円盤状試料観察モジュールが、前記試料微動装置から着脱可能であることを特徴とする荷電粒子線装置。
9. 請求項６記載の荷電粒子線装置において、
   前記検出器が、前記円盤状試料の中心軸に対して垂直となる方向に配置されていることを特徴とする荷電粒子線装置。
10. 請求項９記載の荷電粒子線装置において、
    前記検出器が、荷電粒子線の照射によって前記試料から放出されるＸ線を検出するＸ線検出器であることを特徴とする荷電粒子線装置。
11. 荷電粒子線を照射する荷電粒子線光学系と、
    試料を任意の位置へ移動する、チルトテーブルの上に回転機構を有するユーセントリックタイプの試料微動装置と、
    荷電粒子線の照射によって前記試料から放出される信号を検出する検出器と、
    前記検出器からの出力に基づき前記試料の画像を形成する画像形成装置と、
    を備える荷電粒子線装置において、
    前記試料微動装置が、円盤状試料を保持できる試料受け部と、前記円盤状試料の中心軸が前記回転機構の回転軸と同一となるように前記試料受け部を保持し、且つ、前記試料受けを前記回転機構の回転軸に対して垂直な方向に移動できるスライド部と、を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。
12. 請求項１１記載の荷電粒子線装置において、
    前記試料受け部と前記スライド部とを含む円盤状試料観察モジュールが、前記試料微動装置から着脱可能であることを特徴とする荷電粒子線装置。
13. 請求項１１記載の荷電粒子線装置において、
    前記検出器が、前記円盤状試料の中心軸に対して垂直となる方向に配置されていることを特徴とする荷電粒子線装置。
14. 請求項１３記載の荷電粒子線装置において、
    前記検出器が、荷電粒子線の照射によって前記試料から放出されるＸ線を検出するＸ線検出器であることを特徴とする荷電粒子線装置。
15. 荷電粒子線装置に備えられた、ユーセントリックタイプのサイドエントリー試料微動装置に、着脱可能な円盤状試料観察モジュールであって、
    円盤状試料を所望角度で保持できる試料受け部と、当該試料受け部を前記サイドエントリー試料微動装置の回転軸に対して垂直な方向に移動できるスライド部と、を有することを特徴とする円盤状試料観察モジュール。
16. 請求項１５記載の円盤状試料観察モジュールにおいて、
    前記試料受け部に保持された前記円盤状試料を回転できることを特徴とする円盤状試料観察モジュール。
17. 荷電粒子線装置に備えられた、チルトテーブルの上に回転機構を有するユーセントリックタイプの試料微動装置に、着脱可能な円盤状試料観察モジュールであって、
    円盤状試料を所望角度で保持できる試料受け部と、前記円盤状試料の中心軸が前記回転機構の回転軸に対して垂直となるように前記試料受け部を前記回転機構の回転軸に対して回転可能に保持するベース部と、を有することを特徴とする円盤状試料観察モジュール。
18. 請求項１７記載の円盤状試料観察モジュールにおいて、
    前記試料受け部に保持された前記円盤状試料を回転できることを特徴とする円盤状試料観察モジュール。
19. 荷電粒子線装置に備えられた、チルトテーブルの上に回転機構を有するユーセントリックタイプの試料微動装置に、着脱可能な円盤状試料観察モジュールであって、
    円盤状試料を保持できる試料受け部と、前記円盤状試料の中心軸が前記回転機構の回転軸と同一となるように前記試料受け部を保持し、且つ、前記試料受け部を前記回転機構の回転軸に対して垂直な方向に移動できるスライド部と、を有することを特徴とする円盤状試料観察モジュール。
20. 請求項１９記載の円盤状試料観察モジュールにおいて、
    前記試料受け部に保持された前記円盤状試料を回転できることを特徴とする円盤状試料観察モジュール。