JPH11149897A - 荷電粒子ビーム装置における試料装置 - Google Patents
荷電粒子ビーム装置における試料装置Info
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- JPH11149897A JPH11149897A JP9316869A JP31686997A JPH11149897A JP H11149897 A JPH11149897 A JP H11149897A JP 9316869 A JP9316869 A JP 9316869A JP 31686997 A JP31686997 A JP 31686997A JP H11149897 A JPH11149897 A JP H11149897A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ユーセントリックの条件を満足さて試料面と
対物レンズとの間の距離を変えることができる荷電粒子
ビーム装置における試料装置を実現する。 【解決手段】 対物レンズ３と試料ホルダー４に保持さ
れた試料表面との間の距離ＷＤを大きくしたい場合、駆
動機構１８により回転フランジ１５を１８０°回転させ
る。この時、傾斜軸体９も回転フランジとは逆の方向に
１８０°回転させる。この結果、回転フランジ１５に偏
心して取り付けられた傾斜軸体９の高さ方向の位置は下
方に移動し、傾斜軸体９の傾斜軸１３の高さ方向の位置
は第２の傾斜軸１３´に移動する。この第２の傾斜軸１
３´と試料ホルダー４に設けられた試料の表面とは一致
しているので、駆動機構１２により傾斜軸体９を回転さ
せ、試料の傾斜を行っても、試料上の電子ビームの照射
領域は変化せず、観察視野が移動することを防止するこ
とができる。
対物レンズとの間の距離を変えることができる荷電粒子
ビーム装置における試料装置を実現する。 【解決手段】 対物レンズ３と試料ホルダー４に保持さ
れた試料表面との間の距離ＷＤを大きくしたい場合、駆
動機構１８により回転フランジ１５を１８０°回転させ
る。この時、傾斜軸体９も回転フランジとは逆の方向に
１８０°回転させる。この結果、回転フランジ１５に偏
心して取り付けられた傾斜軸体９の高さ方向の位置は下
方に移動し、傾斜軸体９の傾斜軸１３の高さ方向の位置
は第２の傾斜軸１３´に移動する。この第２の傾斜軸１
３´と試料ホルダー４に設けられた試料の表面とは一致
しているので、駆動機構１２により傾斜軸体９を回転さ
せ、試料の傾斜を行っても、試料上の電子ビームの照射
領域は変化せず、観察視野が移動することを防止するこ
とができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、荷電粒子ビーム装
置に関し、特に対物レンズと試料表面との間の距離を変
えて試料の観察あるいは分析を行うに好適な荷電粒子ビ
ーム装置の試料装置に関する。
置に関し、特に対物レンズと試料表面との間の距離を変
えて試料の観察あるいは分析を行うに好適な荷電粒子ビ
ーム装置の試料装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】走査電子顕微鏡では、電子銃から発生し
加速された電子ビームをコンデンサレンズと対物レンズ
によって細く集束し、試料に照射している。そして、試
料の任意の２次元領域を電子ビームで走査し、試料から
発生した２次電子や反射電子を検出し、検出信号を電子
ビームの走査に同期した陰極線管に供給して試料の走査
像を得るようにしている。
加速された電子ビームをコンデンサレンズと対物レンズ
によって細く集束し、試料に照射している。そして、試
料の任意の２次元領域を電子ビームで走査し、試料から
発生した２次電子や反射電子を検出し、検出信号を電子
ビームの走査に同期した陰極線管に供給して試料の走査
像を得るようにしている。
【０００３】このような走査電子顕微鏡において、試料
の観察時には、試料をＸ，Ｙ方向に移動させたり、回転
させたり、更には傾斜させたりしている。そのため、試
料をＸ，Ｙ方向の移動機構、回転機構、傾斜機構が備え
られた試料ステージ上に載せるようにしている。
の観察時には、試料をＸ，Ｙ方向に移動させたり、回転
させたり、更には傾斜させたりしている。そのため、試
料をＸ，Ｙ方向の移動機構、回転機構、傾斜機構が備え
られた試料ステージ上に載せるようにしている。
【０００４】図１は従来の走査電子顕微鏡の試料部分を
示している。図において１は試料室２を形成する側壁で
あり、試料室２の上部には、対物レンズ３が配置されて
いる。試料室２内には試料を保持する試料ホルダー４が
配置されるが、試料ホルダー４は回転テーブル５の上に
載せられている。
示している。図において１は試料室２を形成する側壁で
あり、試料室２の上部には、対物レンズ３が配置されて
いる。試料室２内には試料を保持する試料ホルダー４が
配置されるが、試料ホルダー４は回転テーブル５の上に
載せられている。
【０００５】回転テーブル５は、Ｘ方向に移動するＸテ
ーブル６上に設けられているが、Ｘテーブル６はアング
ル８上のＹ方向に移動するＹテーブル８上に設けられて
いる。なお、Ｘ，Ｙ方向はそれぞれ直交しており、ま
た、Ｘ，Ｙ方向は電子ビームの光軸Ｏに垂直な方向とさ
れている。
ーブル６上に設けられているが、Ｘテーブル６はアング
ル８上のＹ方向に移動するＹテーブル８上に設けられて
いる。なお、Ｘ，Ｙ方向はそれぞれ直交しており、ま
た、Ｘ，Ｙ方向は電子ビームの光軸Ｏに垂直な方向とさ
れている。
【０００６】回転テーブル５は、図示していない回転機
構によりＸテーブル６上で回転できるように構成されて
いる。Ｘテーブル６は、図示していないＸ方向移動機構
により、Ｙテーブル７上でＸ方向に移動できるように構
成されている。更に、Ｙテーブル７は、図示していない
Ｙ方向移動機構により、アングル８上でＹ方向に移動で
きるように構成されている。
構によりＸテーブル６上で回転できるように構成されて
いる。Ｘテーブル６は、図示していないＸ方向移動機構
により、Ｙテーブル７上でＸ方向に移動できるように構
成されている。更に、Ｙテーブル７は、図示していない
Ｙ方向移動機構により、アングル８上でＹ方向に移動で
きるように構成されている。
【０００７】アングル８は傾斜軸体９に固定されている
が、傾斜軸体９は試料室側壁１に設けられた傾斜孔にベ
アリング１０を介して取り付けられており、試料室側壁
１に対して回転できるように構成されている。なお、側
壁１と傾斜軸体９との間には、Ｏリング１１が設けられ
ており、傾斜軸体９の回転によっても試料室２内部の真
空が保たれるようにされている。
が、傾斜軸体９は試料室側壁１に設けられた傾斜孔にベ
アリング１０を介して取り付けられており、試料室側壁
１に対して回転できるように構成されている。なお、側
壁１と傾斜軸体９との間には、Ｏリング１１が設けられ
ており、傾斜軸体９の回転によっても試料室２内部の真
空が保たれるようにされている。
【０００８】１２は傾斜軸体９を回転させるための駆動
機構であり、駆動機構１２は、詳細には図示していない
が、モータ１２ａ、ウォーム１２ｂ、ウォールホイール
１２ｃより構成されている。傾斜軸体９は駆動機構１２
により、傾斜軸１３を中心として回転し、その結果、傾
斜軸体９に固定されているアングル８も傾斜軸１３を中
心に回転する。
機構であり、駆動機構１２は、詳細には図示していない
が、モータ１２ａ、ウォーム１２ｂ、ウォールホイール
１２ｃより構成されている。傾斜軸体９は駆動機構１２
により、傾斜軸１３を中心として回転し、その結果、傾
斜軸体９に固定されているアングル８も傾斜軸１３を中
心に回転する。
【０００９】このアングル８が回転することにより、ア
ングル８の上に構成されているＹテーブル７、Ｘテーブ
ル６、回転テーブル５も共に傾斜軸１３を中心として回
転する。その結果、回転テーブル５上に載置された試料
ホルダー４に保持された試料は傾斜させられることにな
る。
ングル８の上に構成されているＹテーブル７、Ｘテーブ
ル６、回転テーブル５も共に傾斜軸１３を中心として回
転する。その結果、回転テーブル５上に載置された試料
ホルダー４に保持された試料は傾斜させられることにな
る。
【００１０】なお、試料ホルダー４に保持された試料表
面と傾斜軸１３との高さを一致させておけば、傾斜軸体
９の回転による試料の傾斜を行っても、試料上の電子ビ
ームの照射領域は変化せず、観察視野が移動することを
防止することができる。すなわち、ユーセントリックの
条件を満足させることができる。
面と傾斜軸１３との高さを一致させておけば、傾斜軸体
９の回転による試料の傾斜を行っても、試料上の電子ビ
ームの照射領域は変化せず、観察視野が移動することを
防止することができる。すなわち、ユーセントリックの
条件を満足させることができる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】ところで、図１で示し
た試料の傾斜機構を備えた走査電子顕微鏡において、試
料を載せているアングル８は試料室２の側壁１で支えら
れており、高さ方向の移動はできない構造となってい
る。
た試料の傾斜機構を備えた走査電子顕微鏡において、試
料を載せているアングル８は試料室２の側壁１で支えら
れており、高さ方向の移動はできない構造となってい
る。
【００１２】このため、対物レンズ３と試料面との間の
距離（ワーキングディスタンス：ＷＤ）を変更する必要
がある場合には、試料ホルダー４と回転テーブル５との
間に任意の高さのスペーサを挿入し、試料ホルダー４の
高さ、すなわち、試料面の高さを、図中点線で示したよ
うに上げるようにしている。
距離（ワーキングディスタンス：ＷＤ）を変更する必要
がある場合には、試料ホルダー４と回転テーブル５との
間に任意の高さのスペーサを挿入し、試料ホルダー４の
高さ、すなわち、試料面の高さを、図中点線で示したよ
うに上げるようにしている。
【００１３】このようにすれば、ＷＤを任意に変化させ
ることができるものの、試料面の高さが異なると、試料
面と傾斜軸１３の高さとが異なり、ユーセントリックの
条件から外れてしまう。その結果、試料を傾斜させると
観察視野がずれてしまう弊害が生じる。
ることができるものの、試料面の高さが異なると、試料
面と傾斜軸１３の高さとが異なり、ユーセントリックの
条件から外れてしまう。その結果、試料を傾斜させると
観察視野がずれてしまう弊害が生じる。
【００１４】本発明は、このような点に鑑みてなされた
もので、その目的は、ユーセントリックの条件を満足さ
て試料面と対物レンズとの間の距離を変えることができ
る荷電粒子ビーム装置における試料装置を実現するにあ
る。
もので、その目的は、ユーセントリックの条件を満足さ
て試料面と対物レンズとの間の距離を変えることができ
る荷電粒子ビーム装置における試料装置を実現するにあ
る。
【００１５】
【課題を解決するための手段】第１の発明に基づく荷電
粒子ビーム装置における試料装置は、荷電粒子ビームを
細く絞って試料上に照射すると共に、試料上で荷電粒子
ビームを２次元的に走査し、試料への荷電粒子ビームの
照射によって得られた信号を検出し、検出信号に基づい
て試料の走査像を表示すると共に、試料を傾斜機構上に
載置し、傾斜機構によって試料を傾斜させるようにした
荷電粒子ビーム装置において、傾斜機構を傾斜機構によ
る試料の傾斜軸と平行な回転軸の回りに１８０°回転可
能な回転機構によって支持し、回転機構の回転軸と傾斜
機構の傾斜軸とを偏心させるように構成したことを特徴
としている。
粒子ビーム装置における試料装置は、荷電粒子ビームを
細く絞って試料上に照射すると共に、試料上で荷電粒子
ビームを２次元的に走査し、試料への荷電粒子ビームの
照射によって得られた信号を検出し、検出信号に基づい
て試料の走査像を表示すると共に、試料を傾斜機構上に
載置し、傾斜機構によって試料を傾斜させるようにした
荷電粒子ビーム装置において、傾斜機構を傾斜機構によ
る試料の傾斜軸と平行な回転軸の回りに１８０°回転可
能な回転機構によって支持し、回転機構の回転軸と傾斜
機構の傾斜軸とを偏心させるように構成したことを特徴
としている。
【００１６】第１の発明では、試料を傾斜させるための
傾斜機構を、傾斜機構による試料の傾斜軸と平行な回転
軸の回りに１８０°回転可能な回転機構によって支持
し、回転機構の回転軸と傾斜機構の傾斜軸とを偏心させ
る。
傾斜機構を、傾斜機構による試料の傾斜軸と平行な回転
軸の回りに１８０°回転可能な回転機構によって支持
し、回転機構の回転軸と傾斜機構の傾斜軸とを偏心させ
る。
【００１７】第２の発明では、第１の発明において、試
料を傾斜機構上の２次元移動台上に載置させた。第３の
発明では、第１の発明において、試料が傾斜機構上の回
転台上に載置させた。
料を傾斜機構上の２次元移動台上に載置させた。第３の
発明では、第１の発明において、試料が傾斜機構上の回
転台上に載置させた。
【００１８】第４の発明に基づく荷電粒子ビーム装置に
おける試料装置は、荷電粒子ビームを細く絞って試料上
に照射すると共に、試料上で荷電粒子ビームを２次元的
に走査し、試料への荷電粒子ビームの照射によって得ら
れた信号を検出し、検出信号に基づいて試料の走査像を
表示すると共に、試料を傾斜機構上に載置し、傾斜機構
によって試料を傾斜させるようにした荷電粒子ビーム装
置において、試料が入れられる試料室の両端に設けられ
た回転フランジと、回転フランジに対して回転可能に支
持された傾斜軸体と、傾斜軸体に保持され試料が載置さ
れる試料テーブルと、回転フランジを少なくとも１８０
°回転させる第１の回転手段と、傾斜軸体を回転させ、
試料テーブルを傾斜させるための第２の回転手段とを備
えており、第１の回転手段による回転フランジの回転軸
と第２の回転手段による傾斜軸体の傾斜軸とを偏心させ
るように構成したことを特徴としている。
おける試料装置は、荷電粒子ビームを細く絞って試料上
に照射すると共に、試料上で荷電粒子ビームを２次元的
に走査し、試料への荷電粒子ビームの照射によって得ら
れた信号を検出し、検出信号に基づいて試料の走査像を
表示すると共に、試料を傾斜機構上に載置し、傾斜機構
によって試料を傾斜させるようにした荷電粒子ビーム装
置において、試料が入れられる試料室の両端に設けられ
た回転フランジと、回転フランジに対して回転可能に支
持された傾斜軸体と、傾斜軸体に保持され試料が載置さ
れる試料テーブルと、回転フランジを少なくとも１８０
°回転させる第１の回転手段と、傾斜軸体を回転させ、
試料テーブルを傾斜させるための第２の回転手段とを備
えており、第１の回転手段による回転フランジの回転軸
と第２の回転手段による傾斜軸体の傾斜軸とを偏心させ
るように構成したことを特徴としている。
【００１９】第４の発明では、試料室の両端に設けられ
た回転フランジに対して回転可能に支持された傾斜軸体
と、傾斜軸体に保持され試料が載置される試料テーブル
と、回転フランジを少なくとも１８０°回転させる第１
の回転手段と、傾斜軸体を回転させ、試料テーブルを傾
斜させるための第２の回転手段とを備えており、第１の
回転手段による回転フランジの回転軸と第２の回転手段
による傾斜軸体の傾斜軸とを偏心させる。
た回転フランジに対して回転可能に支持された傾斜軸体
と、傾斜軸体に保持され試料が載置される試料テーブル
と、回転フランジを少なくとも１８０°回転させる第１
の回転手段と、傾斜軸体を回転させ、試料テーブルを傾
斜させるための第２の回転手段とを備えており、第１の
回転手段による回転フランジの回転軸と第２の回転手段
による傾斜軸体の傾斜軸とを偏心させる。
【００２０】第５の発明では、第４の発明において、第
１の回転手段による回転フランジの回転に応じて第２の
回転手段を駆動し、傾斜軸体の回転位置制御を行うよう
にした。
１の回転手段による回転フランジの回転に応じて第２の
回転手段を駆動し、傾斜軸体の回転位置制御を行うよう
にした。
【００２１】第６の発明では、第４および第５の発明に
おいて、試料ステージは試料の２次元移動と回転を行う
ことができる。
おいて、試料ステージは試料の２次元移動と回転を行う
ことができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。図２は、本発明に基づく走
査電子顕微鏡の一例を示しており、図１に示した従来装
置と同一ないしは類似の構成要素には同一番号を付てあ
る。図において１は試料室２を形成する側壁であり、試
料室２の上部には、対物レンズ３が配置されている。試
料室２内には試料を保持する試料ホルダー４が配置され
るが、試料ホルダー４は回転テーブル５の上に載せられ
ている。
施の形態を詳細に説明する。図２は、本発明に基づく走
査電子顕微鏡の一例を示しており、図１に示した従来装
置と同一ないしは類似の構成要素には同一番号を付てあ
る。図において１は試料室２を形成する側壁であり、試
料室２の上部には、対物レンズ３が配置されている。試
料室２内には試料を保持する試料ホルダー４が配置され
るが、試料ホルダー４は回転テーブル５の上に載せられ
ている。
【００２３】回転テーブル５は、Ｘ方向に移動するＸテ
ーブル６上に設けられているが、Ｘテーブル６はアング
ル８上のＹ方向に移動するＹテーブル７上に設けられて
いる。なお、Ｘ，Ｙ方向はそれぞれ直交しており、ま
た、Ｘ，Ｙ方向は電子ビームの光軸Ｏに垂直な方向とさ
れている。
ーブル６上に設けられているが、Ｘテーブル６はアング
ル８上のＹ方向に移動するＹテーブル７上に設けられて
いる。なお、Ｘ，Ｙ方向はそれぞれ直交しており、ま
た、Ｘ，Ｙ方向は電子ビームの光軸Ｏに垂直な方向とさ
れている。
【００２４】回転テーブル５は、図示していない回転機
構によりＸテーブル６上で回転できるように構成されて
いる。Ｘテーブル６は、図示していないＸ方向移動機構
により、Ｙテーブル７上でＸ方向に移動できるように構
成されている。更に、Ｙテーブル７は、図示していない
Ｙ方向移動機構により、アングル８上でＹ方向に移動で
きるように構成されている。
構によりＸテーブル６上で回転できるように構成されて
いる。Ｘテーブル６は、図示していないＸ方向移動機構
により、Ｙテーブル７上でＸ方向に移動できるように構
成されている。更に、Ｙテーブル７は、図示していない
Ｙ方向移動機構により、アングル８上でＹ方向に移動で
きるように構成されている。
【００２５】アングル８は傾斜軸体９に固定されている
が、傾斜軸体９は試料室側壁１に設けられた回転フラン
ジ１５に穿たれた傾斜孔にベアリング１０を介して取り
付けられており、回転フランジ１５に対して回転できる
ように構成されている。なお、回転フランジ１５と傾斜
軸体９との間には、Ｏリング１１が設けられており、傾
斜軸体９の回転によっても試料室２内部の真空が保たれ
るようにされている。
が、傾斜軸体９は試料室側壁１に設けられた回転フラン
ジ１５に穿たれた傾斜孔にベアリング１０を介して取り
付けられており、回転フランジ１５に対して回転できる
ように構成されている。なお、回転フランジ１５と傾斜
軸体９との間には、Ｏリング１１が設けられており、傾
斜軸体９の回転によっても試料室２内部の真空が保たれ
るようにされている。
【００２６】１２は傾斜軸体９を回転させるための駆動
機構であり、駆動機構１２は、詳細には図示していない
が、モータ１２ａ、ウォーム１２ｂ、ウォールホイール
１２ｃより構成されている。傾斜軸体９は駆動機構１２
により、傾斜軸１３を中心として回転し、その結果、傾
斜軸体９に固定されているアングル８も傾斜軸１３を中
心に回転する。
機構であり、駆動機構１２は、詳細には図示していない
が、モータ１２ａ、ウォーム１２ｂ、ウォールホイール
１２ｃより構成されている。傾斜軸体９は駆動機構１２
により、傾斜軸１３を中心として回転し、その結果、傾
斜軸体９に固定されているアングル８も傾斜軸１３を中
心に回転する。
【００２７】このアングル８が回転することにより、ア
ングル８の上に構成されているＹテーブル７、Ｘテーブ
ル６、回転テーブル５も共に傾斜軸１３を中心として回
転する。その結果、回転テーブル５上に載置された試料
ホルダー４に保持された試料は傾斜させられることにな
る。
ングル８の上に構成されているＹテーブル７、Ｘテーブ
ル６、回転テーブル５も共に傾斜軸１３を中心として回
転する。その結果、回転テーブル５上に載置された試料
ホルダー４に保持された試料は傾斜させられることにな
る。
【００２８】回転フランジ１５は試料室２の側壁１にベ
アリング１６を介して取り付けられており、側壁１に対
して回転できるように構成されている。なお、側壁１と
回転フランジ１５との間にはＯリング１７が設けられて
おり、回転フランジ１５の回転によっても試料室１内部
の真空が保たれるようにされている。
アリング１６を介して取り付けられており、側壁１に対
して回転できるように構成されている。なお、側壁１と
回転フランジ１５との間にはＯリング１７が設けられて
おり、回転フランジ１５の回転によっても試料室１内部
の真空が保たれるようにされている。
【００２９】１８は回転フランジ１５を回転させるため
の駆動機構であり、駆動機構１８は、詳細には図示して
いないが、モータ１８ａ、ウォーム１８ｂ、ウォールホ
イール１８ｃより構成されている。回転フランジ１５は
駆動機構１８により、回転軸１９を中心として回転し、
その結果、回転フランジ１５に取り付けられている傾斜
軸体９および傾斜軸体９と一体的に配置されたアングル
８、各テーブル、試料ホルダーも回転することになる。
この回転フランジ１５の回転軸１９と傾斜軸１３とは試
料の高さ方向に偏心して設定されている。
の駆動機構であり、駆動機構１８は、詳細には図示して
いないが、モータ１８ａ、ウォーム１８ｂ、ウォールホ
イール１８ｃより構成されている。回転フランジ１５は
駆動機構１８により、回転軸１９を中心として回転し、
その結果、回転フランジ１５に取り付けられている傾斜
軸体９および傾斜軸体９と一体的に配置されたアングル
８、各テーブル、試料ホルダーも回転することになる。
この回転フランジ１５の回転軸１９と傾斜軸１３とは試
料の高さ方向に偏心して設定されている。
【００３０】なお、試料室２の側壁１の対向する面に取
り付けられた一対の回転フランジ１５の間には回転シャ
フト２０が固定されており、図において、左側の回転フ
ランジ１５を駆動機構１８によって回転させれば、回転
シャフト２０によってその回転が右側の回転フランジ１
５に伝達される。また、２１は駆動機構１２のモータ
と、駆動機構１８のモータとを制御する制御装置であ
る。
り付けられた一対の回転フランジ１５の間には回転シャ
フト２０が固定されており、図において、左側の回転フ
ランジ１５を駆動機構１８によって回転させれば、回転
シャフト２０によってその回転が右側の回転フランジ１
５に伝達される。また、２１は駆動機構１２のモータ
と、駆動機構１８のモータとを制御する制御装置であ
る。
【００３１】このような構成で、試料ホルダー４に保持
された試料表面と第１の傾斜軸１３との高さを一致させ
ておけば、駆動機構１２により傾斜軸体９を回転させ、
試料の傾斜を行っても、試料上の電子ビームの照射領域
は変化せず、観察視野が移動することを防止することが
できる。すなわち、ユーセントリックの条件を満足させ
ることができる。
された試料表面と第１の傾斜軸１３との高さを一致させ
ておけば、駆動機構１２により傾斜軸体９を回転させ、
試料の傾斜を行っても、試料上の電子ビームの照射領域
は変化せず、観察視野が移動することを防止することが
できる。すなわち、ユーセントリックの条件を満足させ
ることができる。
【００３２】ここで、試料の走査電子顕微鏡像の観察か
ら試料への電子ビームの照射によって発生するＸ線の分
析を行う場合等で、対物レンズ３と試料ホルダー４に保
持された試料表面との間の距離ＷＤを大きくしたい場
合、駆動機構１８により回転フランジ１５を１８０°回
転させる。
ら試料への電子ビームの照射によって発生するＸ線の分
析を行う場合等で、対物レンズ３と試料ホルダー４に保
持された試料表面との間の距離ＷＤを大きくしたい場
合、駆動機構１８により回転フランジ１５を１８０°回
転させる。
【００３３】この時、回転フランジ１５の回転に伴っ
て、回転フランジ１５に取り付けられた傾斜軸体９、傾
斜軸体９と一体的に配置されたアングル８、各テーブ
ル、試料ホルダー５も回転することになる。このような
回転によってアングル８等が対物レンズ３に衝突しない
ように、また、試料ホルダー４等が逆さまにならないよ
うに、回転フランジ１５の回転方向と逆方向に傾斜軸体
９を回転させる。
て、回転フランジ１５に取り付けられた傾斜軸体９、傾
斜軸体９と一体的に配置されたアングル８、各テーブ
ル、試料ホルダー５も回転することになる。このような
回転によってアングル８等が対物レンズ３に衝突しない
ように、また、試料ホルダー４等が逆さまにならないよ
うに、回転フランジ１５の回転方向と逆方向に傾斜軸体
９を回転させる。
【００３４】すなわち、制御装置２１によって回転フラ
ンジ１５の駆動機構１８のモータを制御する際、制御装
置２１は駆動機構１２のモータを併せて制御し、回転フ
ランジ１５を１８０°、例えば回転軸１９に対して右方
向に回転させた場合、傾斜軸体９を傾斜軸１３に対して
左側に１８０°回転させる。
ンジ１５の駆動機構１８のモータを制御する際、制御装
置２１は駆動機構１２のモータを併せて制御し、回転フ
ランジ１５を１８０°、例えば回転軸１９に対して右方
向に回転させた場合、傾斜軸体９を傾斜軸１３に対して
左側に１８０°回転させる。
【００３５】この結果、回転フランジ１５に偏心して取
り付けられた傾斜軸体９の高さ方向の位置は下方に移動
し、傾斜軸体９の傾斜軸１３の高さ方向の位置は第２の
傾斜軸１３´に移動する。この第２の傾斜軸１３´と試
料ホルダー４に設けられた試料の表面とは一致している
ので、駆動機構１２により傾斜軸体９を回転させ、試料
の傾斜を行っても、試料上の電子ビームの照射領域は変
化せず、観察視野が移動することを防止することができ
る。すなわち、ユーセントリックの条件を満足させるこ
とができる。
り付けられた傾斜軸体９の高さ方向の位置は下方に移動
し、傾斜軸体９の傾斜軸１３の高さ方向の位置は第２の
傾斜軸１３´に移動する。この第２の傾斜軸１３´と試
料ホルダー４に設けられた試料の表面とは一致している
ので、駆動機構１２により傾斜軸体９を回転させ、試料
の傾斜を行っても、試料上の電子ビームの照射領域は変
化せず、観察視野が移動することを防止することができ
る。すなわち、ユーセントリックの条件を満足させるこ
とができる。
【００３６】このように上記した実施の形態では、対物
レンズ３に対する試料表面の高さ方向の位置を異なった
２つの位置とすることができ、それぞれの位置において
試料表面の高さと試料の傾斜軸とを一致させることがで
きるので、いずれの位置においても、試料の傾斜を行っ
た場合、試料上の電子ビームの照射領域は変化せず、観
察視野が移動することを防止することができる。すなわ
ち、ユーセントリックの条件を満足させることができ
る。
レンズ３に対する試料表面の高さ方向の位置を異なった
２つの位置とすることができ、それぞれの位置において
試料表面の高さと試料の傾斜軸とを一致させることがで
きるので、いずれの位置においても、試料の傾斜を行っ
た場合、試料上の電子ビームの照射領域は変化せず、観
察視野が移動することを防止することができる。すなわ
ち、ユーセントリックの条件を満足させることができ
る。
【００３７】以上本発明の実施の形態を詳述したが、本
発明はこの形態に限定されない。例えば、走査電子顕微
鏡を例に説明したが、試料上で細く絞ったイオンビーム
を走査するようにしたに走査型イオンビーム装置にも本
発明を適用することができる。また、傾斜軸体を試料室
の側壁の２か所で支持するように構成したが、傾斜軸体
を一か所で支持するように構成しても良い。その場合、
回転フランジも一か所に設ければ良い。
発明はこの形態に限定されない。例えば、走査電子顕微
鏡を例に説明したが、試料上で細く絞ったイオンビーム
を走査するようにしたに走査型イオンビーム装置にも本
発明を適用することができる。また、傾斜軸体を試料室
の側壁の２か所で支持するように構成したが、傾斜軸体
を一か所で支持するように構成しても良い。その場合、
回転フランジも一か所に設ければ良い。
【００３８】
【発明の効果】以上説明したように、第１〜３の発明で
は、試料を傾斜させるための傾斜機構を、傾斜機構によ
る試料の傾斜軸と平行な回転軸の回りに１８０°回転可
能な回転機構によって支持し、回転機構の回転軸と傾斜
機構の傾斜軸とを偏心させるように構成したので、ＷＤ
を変えても常に試料表面と試料の傾斜軸とは高さが一致
しており、試料の傾斜を行った場合、試料上の荷電粒子
ビームの照射領域は変化せず、観察視野が移動すること
を防止することができる。すなわち、ユーセントリック
の条件を満足させることができる。
は、試料を傾斜させるための傾斜機構を、傾斜機構によ
る試料の傾斜軸と平行な回転軸の回りに１８０°回転可
能な回転機構によって支持し、回転機構の回転軸と傾斜
機構の傾斜軸とを偏心させるように構成したので、ＷＤ
を変えても常に試料表面と試料の傾斜軸とは高さが一致
しており、試料の傾斜を行った場合、試料上の荷電粒子
ビームの照射領域は変化せず、観察視野が移動すること
を防止することができる。すなわち、ユーセントリック
の条件を満足させることができる。
【００３９】第４の発明では、試料室の両端に設けられ
た回転フランジに対して回転可能に支持された傾斜軸体
と、傾斜軸体に保持され試料が載置される試料テーブル
と、回転フランジを少なくとも１８０°回転させる第１
の回転手段と、傾斜軸体を回転させ、試料テーブルを傾
斜させるための第２の回転手段とを備えており、第１の
回転手段による回転フランジの回転軸と第２の回転手段
による傾斜軸体の傾斜軸とを偏心させるように構成した
ので、ＷＤを変えても常に試料表面と試料の傾斜軸とは
高さが一致しており、試料の傾斜を行った場合、試料上
の荷電粒子ビームの照射領域は変化せず、観察視野が移
動することを防止することができる。すなわち、ユーセ
ントリックの条件を満足させることができる。
た回転フランジに対して回転可能に支持された傾斜軸体
と、傾斜軸体に保持され試料が載置される試料テーブル
と、回転フランジを少なくとも１８０°回転させる第１
の回転手段と、傾斜軸体を回転させ、試料テーブルを傾
斜させるための第２の回転手段とを備えており、第１の
回転手段による回転フランジの回転軸と第２の回転手段
による傾斜軸体の傾斜軸とを偏心させるように構成した
ので、ＷＤを変えても常に試料表面と試料の傾斜軸とは
高さが一致しており、試料の傾斜を行った場合、試料上
の荷電粒子ビームの照射領域は変化せず、観察視野が移
動することを防止することができる。すなわち、ユーセ
ントリックの条件を満足させることができる。
【００４０】第５の発明では、第４の発明において、第
１の回転手段による回転フランジの回転に応じて第２の
回転手段を駆動し、傾斜軸体の回転位置制御を行うよう
にしたので、第４の発明と同様な効果が得られると共
に、回転フランジの回転によって構成部材が対物レンズ
等に衝突することを防ぐことができる。
１の回転手段による回転フランジの回転に応じて第２の
回転手段を駆動し、傾斜軸体の回転位置制御を行うよう
にしたので、第４の発明と同様な効果が得られると共
に、回転フランジの回転によって構成部材が対物レンズ
等に衝突することを防ぐことができる。
【図１】従来の走査電子顕微鏡の試料部分を示す図であ
る。
る。
【図２】本発明に基づく走査電子顕微鏡の試料部分を示
す図である。
す図である。
１ 試料室 ２ 側壁 ３ 対物レンズ ４ 試料ホルダー ５ 回転テーブル ６ Ｘテーブル ７ Ｙテーブル ８ アングル ９ 傾斜軸体 １０，１６ ベアリング １１，１７ Ｏリング １２，１８ 駆動機構 １３ 傾斜軸 １５ 回転フランジ １９ 回転軸 ２０ 回転シャフト ２１ 制御装置
Claims (6)
- 【請求項１】 荷電粒子ビームを細く絞って試料上に照
射すると共に、試料上で荷電粒子ビームを２次元的に走
査し、試料への荷電粒子ビームの照射によって得られた
信号を検出し、検出信号に基づいて試料の走査像を表示
すると共に、試料を傾斜機構上に載置し、傾斜機構によ
って試料を傾斜させるようにした荷電粒子ビーム装置に
おいて、傾斜機構を傾斜機構による試料の傾斜軸と平行
な回転軸の回りに１８０°回転可能な回転機構によって
支持し、回転機構の回転軸と傾斜機構の傾斜軸とを偏心
させるように構成した荷電粒子ビーム装置における試料
装置。 - 【請求項２】 試料が傾斜機構上の２次元移動台上に載
置された請求項１記載の荷電粒子ビーム装置における試
料装置。 - 【請求項３】 試料が傾斜機構上の回転台上に載置され
た請求項１記載の荷電粒子ビーム装置における試料装
置。 - 【請求項４】 荷電粒子ビームを細く絞って試料上に照
射すると共に、試料上で荷電粒子ビームを２次元的に走
査し、試料への荷電粒子ビームの照射によって得られた
信号を検出し、検出信号に基づいて試料の走査像を表示
すると共に、試料を傾斜機構上に載置し、傾斜機構によ
って試料を傾斜させるようにした荷電粒子ビーム装置に
おいて、試料が入れられる試料室の両端に設けられた回
転フランジと、回転フランジに対して回転可能に支持さ
れた傾斜軸体と、傾斜軸体に保持され試料が載置される
試料テーブルと、回転フランジを少なくとも１８０°回
転させる第１の回転手段と、傾斜軸体を回転させ、試料
テーブルを傾斜させるための第２の回転手段とを備えて
おり、第１の回転手段による回転フランジの回転軸と第
２の回転手段による傾斜軸体の傾斜軸とを偏心させるよ
うに構成した荷電粒子ビーム装置における試料装置。 - 【請求項５】 第１の回転手段による回転フランジの回
転に応じて第２の回転手段を駆動し、傾斜軸体の回転位
置制御を行うようにした請求項４記載の荷電粒子ビーム
装置における試料装置。 - 【請求項６】 試料ステージは試料の２次元移動と回転
を行うことができる請求項４および５１記載の荷電粒子
ビーム装置における試料装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9316869A JPH11149897A (ja) | 1997-11-18 | 1997-11-18 | 荷電粒子ビーム装置における試料装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9316869A JPH11149897A (ja) | 1997-11-18 | 1997-11-18 | 荷電粒子ビーム装置における試料装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11149897A true JPH11149897A (ja) | 1999-06-02 |
Family
ID=18081826
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9316869A Withdrawn JPH11149897A (ja) | 1997-11-18 | 1997-11-18 | 荷電粒子ビーム装置における試料装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11149897A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013196863A (ja) * | 2012-03-16 | 2013-09-30 | Hitachi High-Tech Science Corp | 荷電粒子ビーム装置及び試料搬送装置 |
-
1997
- 1997-11-18 JP JP9316869A patent/JPH11149897A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013196863A (ja) * | 2012-03-16 | 2013-09-30 | Hitachi High-Tech Science Corp | 荷電粒子ビーム装置及び試料搬送装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20050201 |