JPH0549921B2

JPH0549921B2 -

Info

Publication number: JPH0549921B2
Application number: JP63214104A
Authority: JP
Inventors: Masakazu Hayashi; Junzo Uchida; Fumihiko Ishida
Original assignee: Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1988-03-04
Filing date: 1988-08-29
Publication date: 1993-07-27
Also published as: JPH0216403A; KR890015048A; KR920005446B1

Description

【発明の詳細な説明】［発明の目的］（産業上の利用分野）この発明は例えば半導体構造等の微小な観察対
象物を観察する顕微鏡装置の改良に関する。

（従来の技術）近時、微小な観察対象物を観察する顕微鏡装置
として例えば原子を観察できる程度に分解能が高
い走査型トンネル顕微鏡（以下STMと称する）
が開発されている。これは、顕微鏡本体に設けら
れた探針の先端を探針先端の原子の電子雲と観察
対象物の原子の電子雲とが重なり合う1nm程度ま
で観察対象物に近づけ、この状態で探針と観察対
象物との間に電圧をかけた場合に流れるトンネル
電流の大きさを測定し、この測定結果にもとづい
て探針と観察対象物との間の距離を超精密に測定
するようにしたものである。この場合、トンネル
電流の大きさは探針と観察対象物との間の距離に
応じて指数関数的に変化する。そのため、STM
ではこのトンネル電流の距離依存性を利用して探
針の先端を観察対象物に1nm程度まで近づけた状
態でこの探針で観察対象物の表面を２次元的に走
査し、この観察対象物表面の各測定点でトンネル
電流の大きさを測定して各測定点における探針と
観察対象物との間の距離を超精密に測定し、各測
定点で測定した距離をプロツトすることにより、
観察対象物の表面の３次元像を得るものである。
なお、実際の測定では探針と観察対象物との間の
距離を高精度に検出することは難しいので、トン
ネル電流が一定になるように探針を観察対象物の
表面の凹凸に倣つて上下動作させながら走査さ
せ、この探針の上下動作にもとづいて観察対象物
の表面の３次元像を得るようになつている。

ところで、この種のSTMの観察領域は一般に
数10nm〜1μm角程度である。そのため、例えば
規則正しく配列された原子等の観察のように観察
対象物の観察面全面が略一様な形状の場合には観
察対象物のどの場所を観察しても望みの観察像が
得られるので、格別に観察対象物の観察領域を選
択する必要がないが、例えば幅1μm、高さ0.4μm
程度の線状のパターンがウエハ上に配設されてい
る半導体の断面形状を観察する場合のように観察
対象物の観察面の形状が観察場所によつて異なる
場合には特定の観察場所を精度よく位置決めする
必要がある。しかしながら、従来のSTMでは特
定の観察場所を精度よく位置決めすることができ
ない問題があつた。

また、STMを走査型電子顕微鏡（SEM）と一
体化したものが開発されている。しかしながら、
SEMは真空中で観察対象物を観察する構成にな
つているので、この場合には大気中や水中で観察
対象物を観察することができない問題があつた。

なお、STMの斜め後方に光学顕微鏡を配設し、
この光学顕微鏡によつてSTMの探針と観察対象
物との間の距離を観察する構成にしたものも開発
されている。しかしながら、この距離観察用の光
学顕微鏡では倍率が低いうえ、斜め方向から観察
対象物を観察するようになつているので、観察像
が見にくく、観察対象物を正確に観察することが
できない問題があつた。

（発明が解決しようとする課題）従来のSTMでは半導体の断面形状のように観
察対象物の観察面の形状が観察場所によつて異な
る場合に特定の観察場所を精度よく位置決めする
ことができない問題があつた。また、STMを
SEMと一体化した場合には大気中や水中で観察
対象物を観察することができない問題があつた。
さらに、STMの斜め後方に光学顕微鏡を配設し、
この光学顕微鏡によつてSTMの探針と観察対象
物との間の距離を観察する構成にした場合には光
学顕微鏡の倍率が低いうえ、斜め方向から観察対
象物を観察するようになつているので、観察像が
見にくくなり、観察像を正確に観察することがで
きない問題があつた。

この発明は上記事情に着目してなされたもの
で、特定の観察場所を精度よく位置決めすること
ができるとともに、観察対象物の微細構造を高倍
率で精度よく観察することができる顕微鏡装置を
提供することを目的とするものである。

［発明の構成］（課題を解決するための手段）請求項第１項の発明は光学顕微鏡装置本体の対
物レンズに微小電流検出用の探針を一体的に設け
るとともに、光学顕微鏡装置本体の観察対象物と
探針との相対位置を変位させる相対位置変位機構
を設けたものである。

請求項第２項の発明は光学顕微鏡装置本体の対
物レンズと観察対象物との間に結像された光学像
を変化させない透光性部材を配設し、この透光性
部材に微小電流検出用の探針を一体的に設けると
ともに、光学顕微鏡装置本体の観察対象物と探針
との相対位置を変位させる相対位置変位機構を設
けたものである。

（作用）請求項第１項の発明では光学顕微鏡装置本体に
よつて目視により観察対象物を観察しながら、探
針を光学顕微鏡装置本体の視野内の特定の観察場
所に精度よく位置決めし、この状態で観察対象物
と探針との相対位置を変位させながら探針によつ
て検出される微小なトンネル電流にもとづいて観
察対象物の特定領域を精度よく観察するようにし
たものである。

請求項第２項の発明では光学顕微鏡装置本体に
よつて目視により観察対象物を観察しながら、探
針を光学顕微鏡装置本体の視野内の特定の観察場
所に精度よく位置決めし、この状態で観察対象物
と探針との相対位置を変位させながら探針によつ
て検出される微小なトンネル電流にもとづいて観
察対象物の特定領域を精度よく観察するととも
に、対物レンズと観察対象物との間に配設された
透光性部材に探針を一体的に設けることにより、
製作の容易化および探針損傷時の交換作業の容易
化を図るようにしたものである。

（実施例）以下、この発明の第１の実施例を第１図乃至第
３図を参照して説明する。第１図は顕微鏡装置の
要部の概略構成を示すもので、１は垂直落射照明
方式の明視野式の光学顕微鏡装置本体である。ま
た、２はこの光学顕微鏡装置本体１の鏡筒、３は
この鏡筒２の下端部に配設された対物レンズ、４
は鏡筒２の上端部に配設された接眼部である。こ
の光学顕微鏡装置本体１の接眼部４には工業用テ
レビカメラ（ITVカメラ）５が接続されている。
さらに、鏡筒２の中途部にはハーフミラー６が配
設されているとともに、このハーフミラー６の側
方に照明装置７が装着されている。また、対物レ
ンズ３の下方には試料台８が離間対向配置されて
いる。そして、光学顕微鏡装置本体１の使用時に
は照明装置７からの照明光がハーフミラー６を介
して下方向に屈曲され、試料台８上の観察対象物
９に照射されるとともに、この観察対象物９の像
が対物レンズ３を介して接眼部４側に結像され、
ITVカメラ５を介して観察できるようになつて
いる。

また、この光学顕微鏡装置本体１の対物レンズ
３の外面には導電膜部１０が全面に亙り塗布され
ているとともに、この対物レンズ３の外面中央に
は微小電流検出用の探針１１が一体的に固定され
ている。この場合、対物レンズ３外面の導電膜部
１０は例えば金等の導電性材料がスパツタリング
等の手段によつて数10Å程度の厚さで対物レンズ
３外面に塗布されたものである。さらに、探針１
１は例えば長さ数mm〜数10mm、直径数mm以下のタ
ングステンや白金等のチツプの先端を電解研磨や
機械加工（グラインデイング）等の手段によつて
直径0.1μm以下程度まで鋭利に加工したもので、
この探針１１の基端部が例えばロウ付けやボンデ
イング等の手段によつて対物レンズ３外面の導電
膜部１０に固着されている。

また、光学顕微鏡装置本体１の対物レンズ３の
レンズホルダ１２にはレンズホルダ１２全体を対
物レンズ３および探針１１とともにｘ軸方向、ｙ
軸方向およびｚ軸（光学顕微鏡装置本体１の光軸
または探針１１の軸方向）方向にそれぞれ微動さ
せて光学顕微鏡装置本体１の観察対象物９と探針
１１との相対位置を微小変位させるピエゾ部（相
対位置変位機構）１３が設けられている。このピ
エゾ部１３は第２図に示すように円筒状の圧電セ
ラミツクス１４の内周面に電極Ｇ、外周面に電極
ｘ，ｙ，−ｘ，−ｙ，Ｚがそれぞれ貼着されたチユ
ーブスキヤナによつて形成されている。さらに、
第３図はピエゾ部１３の制御回路を示すものであ
る。第３図中で、１５は例えばマイクロコンピユ
ータおよびその周辺回路によつて形成された制御
部である。この制御部１５にはxy走査回路１６、
サーボ回路１７および表示器１８がそれぞれ接続
されている。また、xy走査回路１６にはピエゾ
部１３の電極Ｇ，ｘ，ｙ，−ｘ，−ｙがそれぞれ接
続されている。さらに、サーボ回路１７にはピエ
ゾ部１３の電極Ｇ，Ｚがそれぞれ接続されている
とともに、トンネル電流増幅器１９が接続されて
いる。また、このトンネル電流増幅器１９には対
物レンズ３の導電膜部１０が接続されているとと
もに、電源２０を介して試料台８上の観察対象物
９が接続されるようになつている。この場合、
xy走査回路１６は特に探針１１をｘ，ｙ軸方向
に走査させるためのｘ，ｙ走査電圧をピエゾ部１
３に出力するための制御回路である。また、トン
ネル電流増幅器１９は試料台８上の観察対象物９
と探針１１との間に数10mV〜数100mV程度の電
圧Ｖを印加してトンネル電流A_Tを検出し、増幅
するものである。さらに、サーボ回路１７は検出
されたトンネル電流A_Tを一定に保ように探針１
１をＺ軸方向に沿つて変位させるフイードバツク
電圧をピエゾ部１３に出力するものである。ま
た、制御部１５はｘ，ｙ走査電圧とＺ軸フイード
バツク電圧とを図示しないインターフエース等を
介して入力し、この入力値にもとづいて観察対象
物９の表面の凹凸状態に関する情報を処理するも
のである。さらに、表示器１８はxyプロツター
や濃度表示のための画像メモリ等を有するCRT
等によつて形成されており、この制御部１５によ
つて処理された情報、すなわち観察対象物９の表
面の凹凸状態がこの表示器１８に表示されるよう
になつている。

次に、上記構成の顕微鏡装置の操作について説
明する。

まず、一端が電源２０に接続されたトンネル電
流検出用の導線２１の他端を観察対象物９に接続
する。次に、この観察対象物９を試料台８上にセ
ツトする。この状態で、試料台８を上昇させて観
察対象物９を光学顕微鏡装置本体１の対物レンズ
３に近づけ、ITVカメラ５によつて撮影される
画像を見ながら光学顕微鏡装置本体１の光学系の
焦点を合わせる。この場合、予め光学顕微鏡装置
本体１の光学系の焦点深度の内側にトンネル電流
が検出できる領域（STMの焦点深度）を設定し
ておく。一般に、光学顕微鏡装置本体１の光学系
の焦点深度は照明装置７が光学倍率に応じて変化
するが、例えば光学倍率が40倍の場合には数
10μm以下程度である。これに対し、トンネル電
流の検出領域は1nm程度であり、光学系の焦点深
度の約1/1000〜1/10000である。そのため、光学
顕微鏡装置本体１の光学系の焦点深度の内側にト
ンネル電流の検出領域を設定する作業は容易に行
なうことができる。

次に、ITVカメラ５によつて撮影される光学
顕微鏡装置本体１の観察対象物９の像を観察しな
がら観察対象物９をｘ軸方向およびｙ軸方向に移
動させて探針１１（STM）で観察しようとする
部分を光学顕微鏡装置本体１の視野内の中央部位
または予め設定された設定部位に位置決めする。
そして、この状態でピエゾ部１３の電極Ｇ，Ｚ間
に電圧を印加して探針１１をＺ軸方向に変位さ
せ、探針１１の先端を観察対象物９の表面に1nm
程度の距離まで接近させる。

なお、ピエゾ部１３の電極Ｇ，Ｚに電圧を印加
するとピエゾ部１３がＺ軸方向に変位するので、
このピエゾ部１３とともに対物レンズ３および探
針１１をＺ軸方向に変位させることができる。さ
らに、同様の探針１１をｘ軸方向に変位させる場
合にはピエゾ部１３の電極Ｇと電極ｘとの間に電
圧＋Vx、電極Ｇと電極−ｘとの間に電圧−ｘを
印加する。また、探針１１を−ｘ方向に微動させ
る場合にはピエゾ部１３の電極Ｇと電極−ｘとの
間に電圧＋Vx、電極Ｇと電極−ｘとの間に電圧
＋Vxを印加する。さらに、探針１１をｙ軸方向
に変位させる場合にも同様である。

したがつて、上記のようにピエゾ部１３の各電
極Ｇ，ｘ，ｙ，−ｘ，−ｙ，Ｚに電圧を印加するこ
とにより、ｘ軸方向、ｙ軸方向、Ｚ軸方向にそれ
ぞれ独立に探針１１を変位させることができ、
STMによる観察対象物９の表面観察を行なうこ
とができる。なお、ピエゾ部１３の変位動作にと
もない探針１１とともに対物レンズ３も一体的に
変位するので、光学顕微鏡装置本体１の観察対象
物９の像も微動するが、この微動量は数10μm〜
数100μm以下程度であるため、光学系の倍率を適
当に選択することにより、光学顕微鏡装置本体１
の視野全体に比べて例えば視野全体の1/10〜1/10
０程度に充分に小さくすることができ、観察対象
物９の像が極端に乱れて観察不能になることを防
止することができる。

そこで、上記構成のものにあつては光学顕微鏡
装置本体１の対物レンズ３に微小電流検出用の探
針１１を一体的に設けるとともに、光学顕微鏡装
置本体１の観察対象物９と探針１１との相対位置
を変位さえるピエゾ部１３を設けたので、光学顕
微鏡装置本体１によつて目視により観察対象物９
を観察しながら、探針１１を光学顕微鏡装置本体
１の視野内の特定の観察場所に精度よく位置決め
し、この状態で観察対象物９と探針１１との相対
位置を変位させながら探針１１によつて検出され
る微小なトンネル電流にもとづいて観察対象物９
の特定領域を精度よく観察することができる。そ
のため、半導体の断面形状のように観察対象物９
の観察面の形状が観察場所によつて異なる場合で
あつても簡単に特定の観察場所を精度よく位置決
めすることができ、従来のSTMに比べて観察対
象物９の特定の観察場所の位置決め作業能率を著
しく向上させることができる。

さらに、光学顕微鏡装置本体１の対物レンズ３
に微小電流検出用の探針１１を一体的に設けてい
るので、大気中や水中、或いは液体窒素等の液中
であつても観察対象物９を観察することができ
る。そのため、STMをSEMと一体化した場合の
ように観察環境が真空中に限定される場合に比べ
て簡単に観察対象物９の微細構造を高倍率で精度
よく観察することができる。さらに、STMを
SEMと一体化した場合のように真空引き用の高
価な装置を不要にすることができるので、装置全
体のコスト低下を図ることができるとともに、真
空引きに要する時間を省略することもでき、観察
対象物９の観察時間の短縮を図ることもできる。

なお、この発明は上記実施例に限定されるもの
ではない。例えば、上記実施例では対物レンズ３
の外面中央に微小電流検出用の探針１１を一体的
に固定した構成のものを示したが、第４図に示す
第２の実施例のように対物レンズ３の外面中央位
置から外れた任意の位置に探針１１を固定する構
成にしてもよい。この場合には照明装置７から照
射される照明光が探針１１によつて遮られて光学
顕微鏡装置本体１の観察像が暗くなることを防止
することができる。

また、第５図に示す第３の実施例のように対物
レンズ３に貫通孔３１を形成し、この貫通孔３１
内に探針１１の基端部１１ａを貫通させて接着す
るとともに、この対物レンズ３の内部側に突出さ
れた突出端部１１ａにトンネル電流増幅器１９と
の間を接続する導線３２を接続させる構成にして
もよい。この場合には探針１１の支持強度を高め
ることができるとともに、対物レンズ３の外面の
導電膜部１０を省略することもできる。また、対
物レンズ３の内面側に導電膜部１０を装着し、対
物レンズ３の内部側に突出された突出端部１１ａ
をこの導電膜部１０に接続させる構成にしてもよ
い。

さらに、第６図に示す第４の実施例のようにピ
エゾ部１３は円筒状の圧電セラミツクス４１の内
周面に電極Ｇ、外周面に電極ｘ，ｙ，−ｘ，−ｙを
それぞれ貼着させたチユーブスキヤナによつて形
成してもよい。この場合、ピエゾ部１３をＺ軸方
向に変位させるには電極Ｇ，ｘ間、Ｇ，−ｘ間、
Ｇ，ｙ間、Ｇ，−ｙ間にそれぞれ電圧Vzを印加す
ればよく、ピエゾ部１３をｘ，ｙ軸方向に変位さ
せるには第１の実施例と同様である。

また、第７図および第８図に示す第５の実施例
のようにピエゾ部１３は円筒状の圧電セラミツク
ス５１の上面および下面に電極Ｇ，Ｚをそれぞれ
貼着させた縦効果形のチユーブスキヤナによつて
形成して探針１１をＺ軸方向のみに微動させると
ともに、試料台８にxy方向駆動機構５４を装着
し、このxy方向駆動機構５４によつて試料台８
上の観察対象物９をxy軸方向に走査させる構成
にしてもよい。この場合にはチユーブスキヤナに
よつてxy軸方向に走査させる場合に比べて走査
領域を大幅に拡大させることができる。

さらに、第５の実施例のような縦効果形のチユ
ーブスキヤナに変えて第９図に示す第６の実施例
のように円筒状の圧電セラミツクス６１の内周面
および外周面に電極Ｇ，Ｚをそれぞれ貼着させた
横効果形のチユーブスキヤナによつてピエゾ部１
３を形成して探針１１をＺ軸方向のみに微動させ
る構成にしてもよい。

また、第５，６の実施例では探針１１をＺ軸方
向のみに微動させるピエゾ部１３を示したが、探
針１１をＺ軸およびｘ軸の２方向、あるいはＺ軸
およびｙ軸の２方向に微動させる構成にしてもよ
い。さらに、光学顕微鏡装置本体１側の微動機構
（ピエゾ部）を省略して試料台８側に観察対象物
９をxyZ方向に駆動する機構を装着してもよい。

さらに、第１０図に示す第７の実施例のように
対物レンズ３を保持するレンズホルダ７１の外周
部位に略円筒状の探針保持用金具７２の一方の開
口端部を取付け、この探針保持用金具７２の他方
の開口端部に探針付きガラス板７３を取付ける構
成にしてもよい。この場合、探針付きガラス板７
３の中央には対物レンズ３の光軸方向と同方向に
向けて配置された探針１１の基端部がこのガラス
板７３内に貫通された状態で固定されている。し
たがつて、この場合には探針１１の基端部をガラ
ス板７３内に貫通状態で固定させているので、探
針１１の取付け強度を高めることができるととも
に、対物レンズ３自体に特殊な加工を加える必要
がないので、製作を容易化することができる。さ
らに、この場合にはSTMの測定時に万一、探針
１１が曲がる等の故障が発生した際に探針付きガ
ラス板７３を交換するだけで済むので、対物レン
ズ３全体を交換する場合に比べてその交換作業を
容易化することができる。

また、この第７の実施例の探針保持用金具７２
に探針付きガラス板７３の取付け位置を調整する
調整ねじを設けてもよく、この場合には対物レン
ズ３の光軸方向と探針１１の向きとを一致させる
調整作業を容易化することができるとともに、探
針１１の先端部を光学系の焦点面内に置いたり、
或いは任意の位置に設置する等の作業を容易化す
ることもできる。

さらに、第１１図乃至第１３図は第８の実施例
を示すものである。これは、第７の実施例のよう
に光学顕微鏡装置本体１の対物レンズ３等の光学
系８０と観察対象物９との間に透光性の探針付き
ガラス板（透光性部材）８１を設け、このガラス
板８１の中央に探針１１の基端部を固定するとと
もに、この第８の実施例ではさらに探針１１を微
動させるピエゾ部８３を光学顕微鏡装置本体１の
光学系８０とは独立して設けており、探針１１を
微動させても光学像は微動しない構成になつてい
る。この場合、ピエゾ部８２には上下のピエゾ素
子保持部材８２ａ，８２ｂとこれらの上下のピエ
ゾ素子保持部材８２ａ，８２ｂ間に配設されたピ
エゾ素子８２ｃとがそれぞれ設けられており、こ
れらの部材が光学系８０のレンズホルダ８３の外
周面に沿つて上下方向に移動可能に装着されてい
る。さらに、この上部ピエゾ素子保持部材８２ａ
の上部には光学顕微鏡装置本体１側の固定部８４
に形成された雌ねじ部８５に螺合される雄ねじ部
８６が形成されている。また、下部ピエゾ素子保
持部材８２ｂの下端部には探針付きガラス板８１
のガラスホルダ８７が固定されている。さらに、
ピエゾ素子８２ｃには第１２図に示すように上下
の電極z₁，z₂が設けられている。また、ガラス板
８１の下面には第１３図に示すように例えば金や
白金等の導電性の薄膜によつて形成された電通路
８８が形成されている。この電通路８８の内端部
は探針１１をガラス板８１に固定する導電性接着
剤８９を介して探針１１に接続されているととも
に、外端部はリード線９０の一端が接続されてい
る。このリード線９０の他端は探針１１と観察対
象物９との間に流れるトンネル電流の増幅器９１
に接続されている。なお、第１２図中で、９２は
探針１１と観察対象物９との間に流れるトンネル
電流が一定になるように制御する制御部、９３は
この制御部９２からの制御信号にもとづいてピエ
ゾ素子８２ｃを駆動る駆動部、９４は制御部９２
からの制御信号にもとづいて観察対象物９の
STM像を表示する表示部である。

したがつて、上記構成のものにあつては探針１
１を微動させても光学像は微動しない構成になつ
ており、光学顕微鏡装置本体１側の光学像が探針
１１の微動にともない変化するようなことがない
ので、光学像を見ながら作業を行なうのに適して
いる。また、ピエゾ部８２によつて作動させる部
位が探針付きガラス板８１のみであり、他の実施
例のように光学顕微鏡装置本体１の光学系８０の
質量を考慮する必要がないので、周波数特性が向
上し、探針１１の微調整を極めて容易に行なうこ
とができる。

また、光学顕微鏡装置本体１は垂直落射照明方
式の明視野式の光学顕微鏡に限定されるものでは
なく、暗視野式の光学顕微鏡、或いはノマルスキ
式の干渉顕微鏡であつてもよい。

さらに、その他のこの発明の要旨を逸脱しない
範囲で種々変形実施できることは勿論である。

［発明の効果］請求項第１項の発明によれば光学顕微鏡装置本
体の対物レンズに微小電流検出用の探針を一体的
に設けるとともに、光学顕微鏡装置本体の観察対
象物と探針との相対位置を変位させる相対位置変
位機構を設けたので、特定の観察場所を精度よく
位置決めすることができ、かつ観察対象物の微細
構造を高倍率で精度よく観察することができる。

請求項第２項の発明によれば光学顕微鏡装置本
体の対物レンズと観察対象物との間に結像された
光学像を変化させない透光性部材を配設し、この
透光性部材に微小電流検出用の探針を一体的に設
けるとともに、光学顕微鏡装置本体の観察対象物
と探針との相対位置を変位させる相対位置変位機
構を設けたので、特定の観察場所を精度よく位置
決めすることができ、かつ観察対象物の微細構造
を高倍率で精度よく観察することができるととも
に、製作の容易化および探針損傷時の交換作業の
容易化を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第３図はこの発明の第１の実施例を
示すもので、第１図は顕微鏡装置の要部の概略構
成を示す縦断面図、第２図はピエゾ部を示す斜視
図、第３図はピエゾ部の制御回路を示す概略構成
図、第４図はこの発明の第２の実施例を示す要部
の縦断面図、第５図はこの発明の第３の実施例を
示す要部の縦断面図、第６図はこの発明の第４の
実施例を示す要部の斜視図、第７図はこの発明の
第５の実施例を示す要部の縦断面図、第８図は第
５の実施例のピエゾ部を示す要部の斜視図、第９
図はこの発明の第６の実施例を示す要部の斜視
図、第１０図はこの発明の第７の実施例を示す要
部の縦断面図、第１１図乃至第１３図はこの発明
の第８の実施例を示すもので、第１１図は要部の
縦断面図、第１２図はピエゾ部の制御回路を示す
概略構成図、第１３図は探針の取付け状態を示す
要部の斜視図である。１……光学顕微鏡装置本体、３……対物レン
ズ、９……観察対象物、１１，３１……探針、１
３……ピエゾ部（相対位置変位機構）。

Claims

【特許請求の範囲】１光学顕微鏡装置本体の対物レンズに微小電流
検出用の探針を一体的に設けるとともに、前記光
学顕微鏡装置本体の観察対象物と前記探針との相
対位置を変位させる相対位置変位機構を設けたこ
とを特徴とする顕微鏡装置。２光学顕微鏡装置本体の対物レンズと観察対象
物との間に結像された光学像を変化させない透光
性部材を配設し、この透光性部材に微小電流検出
用の探針を一体的に設けるとともに、前記光学顕
微鏡装置本体の観察対象物と前記探針との相対位
置を変位させる相対位置変位機構を設けたことを
特徴とする顕微鏡装置。