JPH0216403A

JPH0216403A - 顕微鏡装置

Info

Publication number: JPH0216403A
Application number: JP63214104A
Authority: JP
Inventors: Masakazu Hayashi; 正和林; Junzo Uchida; 内田　順三; Fumihiko Ishida; 文彦石田
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1988-03-04
Filing date: 1988-08-29
Publication date: 1990-01-19
Also published as: KR890015048A; JPH0549921B2; KR920005446B1

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の目的〕（産業上の利用分野）この発明は例えば半導体構造等の微小な観察対象物を観
察する顕微鏡装置の改良に関する。

（従来の技術）近時、微小な観察対象物を観察する顕微鏡装置として例
えば原子を観察できる程度に分解能が高い走査型トンネ
ル顕微鏡（以下ＳＴＭと称する）が開発されている。こ
れは、顕微鏡本体に設けられた探針の先端を探針先端の
原子の電子雲と観察対象物の原子の電子雲とが重なり合
うｌｎｍ程度まで観察対象物に近づけ、この状態で探針
と観察対象物との間に電圧をかけた場合に流れるトンネ
ル電流の大きさを測定し、この測定結果にもとづいて探
針と観察対象物との間の距離を超精密に測定するように
したものである。この場合、トンネル電流の大きさは探
針と観察対象物との間の距離に応じて指数関数的に変化
する。そのため、ＳＴＭではこのトンネル電流の距離依
存性を利用して探針の先端を観察対象物にｌｎｍ程度ま
で近づけた状態でこの探針で観察対象物の表面を２次元
的に走査し、この観察対象物表面の各測定点でトンネル
電流の大きさを測定して各測定点における探針と観察対
象物との間の距離を超精密に測定し、各ｕＪ定点で・測
定した距離をプロットすることにより、観察対象物の表
面の３次元像を得るものである。なお、実際の＃ｊ定で
は探針と観察対象物との間の距離を高精度に検出するこ
とは難しいので、トンネル電流が一定になるように探針
を観察対象物の表面の凹凸に倣って上下動作させながら
走査させ、この探針の上下動作にもとづいて観察対象物
の表面の３次元像を得るようになっている。

ところで、この種のＳＴＭの観察領域は一般に数１０ｎ
ｍ〜１μｍ角程度である。そのため、例えば規則正しく
配列された原子等の観察のように観察対象物の観察面全
面が略−様な形状の場合には観察対象物のどの場所を観
察しても望みの観察像が得られるので、格別に観察対象
物の観察領域を選択する必要がないが、例えば幅１μｍ
、高さ０．４μｍ程度の線状のパターンがウェハ上に配
設されている半導体の断面形状を観察する場合のように
観察対象物の観察面の形状が観察場所によって異なる場
合には特定の観察場所を精度よく位置決めする必要があ
る。しかしながら、従来のＳＴＭでは特定の観察場所を
精度よく位置決めすることができない問題があった。

また、ＳＴＭを走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）と一体化し
たものが開発されている。しかしながら、ＳＥＭは真空
中で観察対象物を観察する構成になっているので、この
場合には大気中や水中で観察対象物を観察することがで
きない問題があった。

なお、ＳＴＭの斜め後方に光学顕微鏡を配設し、この光
学顕微鏡によってＳＴＭの探針と観察対象物との間の距
離を観察する構成にしたものも開発されている。しかし
ながら、この距離観察用の光学顕微鏡では倍率が低いう
え、斜め方向から観察対象物を観察するようになってい
るので、観察像が見に＜＜、観察対象物を正確に観察す
ることができない問題があった。

（発明が解決しようとする課題）従来のＳＴＭでは半導体の断面形状のように観察対象物
の観察面の形状が観察場所によって異なる場合に特定の
観察場所を精度よく位置決めすることができない問題が
あった。また、ＳＴＭをＳＥＭと一体化した場合には大
気中や水中で観察対象物を観察することができない問題
があった。

さらに、ＳＴＭの斜め後方に光学顕微鏡を配設し、この
光学顕微鏡によってＳＴＭの探針と観察対象物との間の
距離を観察する構成にした場合には光学顕微鏡の倍率が
低いうえ、斜め方向から観察対象物を観察するようにな
っているので、観察像が見にくくなり、観察像を正確に
観察することができない問題があった。

この発明は上記事情に着目してなされたもので、特定の
観察場所を精度よく位置決めすることができるとともに
、観察対象物の微細構造を高倍率で精度よく観察するこ
とができる顕微鏡装置を提供することを目的とするもの
である。

［発明の構成］（課題を解決するための手段）請求項第（１）項の発明は光学顕微鏡装置本体の対物レ
ンズに微小電流検出用の探針を一体的に設けるとともに
、光学顕微鏡装置本体の観察対象物と探針との相対位置
を変位させる相対位置変位機構を設けたものである。

請求項第（２）項の発明は光学顕微鏡装置本体の対物レ
ンズと観察対象物との間に結像された光学像を変化させ
ない透光性部材を配設し、この透光性部材に微小電流検
出用の探針を一体的に設けるとともに、光学顕微鏡装置
本体の観察対象物と探針との相対位置を変位させる相対
位置変位機構を設けたものである。

（作用）請求項第（１）項の発明では光学顕微鏡装置本体によっ
て目視により観察対象物を観察しながら、探針を光学顕
微鏡装置本体の視野内の特定の観察場所に精度よく位置
決めし、この状態で観察対象物と探針との相対位置を変
位させなから探針によって検出される微小なトンネル電
流にもとづいて観察対象物の特定領域を精度よく観察す
るようにしたものである。

請求項第（２）項の発明では光学顕微鏡装置本体によっ
て目視により観察対象物を観察しながら、探針を光学顕
微鏡装置本体の視野内の特定の観察場所に精度よく位置
決めし、この状態で観察対象物と探針との相対位置を変
位させなから探針によって検出される微小なトンネル電
流にもとづいて観察対象物の特定領域を精度よく観察す
るとともに、対物レンズと観察対象物との間に配設され
た透光性部材に探針を一体的に設けることにより、製作
の容易化および探針損傷時の交換作業の容易化を図るよ
うにしたものである。

（実施例）以下、この発明の第１の実施例を第１図乃至第３図を参
照して説明する。第１図は顕微鏡装置の要部の概略構成
を示すもので、１は垂直落射照明方式の明視野式の光学
顕微鏡装置本体である。

また、２はこの光学顕微鏡装置本体１の鏡筒、３はこの
鏡筒２の下端部に配設された対物レンズ、４は鏡筒２の
上端部に配設されん接眼部である。

この光学顕微鏡装置本体１の接眼部４には工業用テレビ
カメラ（ＩＴＶカメラ）５が接続されている。さらに、
鏡ｆ？ｉ２の中途部にはハーフミラ−６が配設されてい
るとともに、このハーフミラ−６の側方に照明装置７が
装着されている。また、対物レンズ３の下方には試料台
８が離間対向配置されている。そして、光学顕微鏡装置
本体１の使用時には照明装置７からの照明光がハーフミ
ラ−６を介して下方向に屈曲され、試料台８上の観察対
象物９に照射されるとともに、この観察対象物９の像が
対物レンズ３を介して接眼部４側に結像され、ＩＴＶカ
メラ５を介して観察できるようになっている。

また、この光学顕微鏡装置本体１の対物レンズ３の外面
には導電膜部１０が全面に亙り塗布されているとともに
、この対物レンズ３の外面中央には微小電流検出用の探
針１１が一体的に固定されている。この場合、対物レン
ズ３外面の導電膜部１０は例えば金等の導電性材料がス
パッタリング等の手段によって数１０人程度の厚さで対
物レンズ３外面に塗布されたものである。さらに、探針
１１は例えば長さ数ｍｍ〜数１０ｍｍ、直径数ｍｍ以下
のタングステンや白金等のチップの先端を電解研磨や機
械加工（グラインディング）等の手段によって直径０．
１μｍ以下程度まで鋭利に加工したもので、この探針１
１の基端部が例えばロウ付けやボンディング等の手段に
よって対物レンズ３外面の導電膜部１０に固着されてい
る。

また、光学顕微鏡装置本体１の対物レンズ３のレンズホ
ルダ１２にはレンズホルダ１２全体を対物レンズ３およ
び探針１１とともにＸ軸方向、ｙ軸方向およびＺ軸（光
学顕微鏡装置本体１の光軸または探針１１の軸方向）方
向にそれぞれ微動させて光学顕微鏡装置本体１の観察対
象物９と探針１１との相対位置を微小変位させるピエゾ
部（相対位置変位機構）１３が設けられている。このピ
エゾ部１３は第２図に示すように円筒状の圧電セラミッ
クス１４の内周面に電極Ｇ１外周面に電極Ｘ　、Ｙ　＋
　　Ｘ　ｒ　”−）’　＋　Ｚがそれぞれ貼着されたチ
ューブスキャナによって形成されている。さらに、第３
図はピエゾ部１３の制御回路を示すものである。第３図
中で、１５は例えばマイクロコンピュータおよびその周
辺回路によって形成された制御部である。この制御部１
５にはｘｙ走査回路１６、サーボ回路１７および表示器
１８がそれぞれ接続されている。また、Ｘｙ走査回路１
６にはピエゾ部１３の電極Ｇ＊　　Ｘ＋　　Ｙ＋　−ｘ
ｒ　　　Ｖがそれぞれ接続されている。さらに、サーボ
回路１７にはピエゾ部１３の電極Ｇ、Ｚがそれぞれ接続
されているとともに、トンネル電流増幅器１９が接続さ
れている。また、このトンネル電流増幅器１９には対物
レンズ３の導電膜部１０が接続されているとともに、電
源２０を介して試料台８上の観察対象物９が接続される
ようになっている。この場合、ｘｙ走査回路１６は特に
探針１１をＸｒ’ｌ軸方向に走査させるためのｘｒ　　
ｙ走査電圧をピエゾ部１３に出力するための制御回路で
ある。また、トンネル電流増幅器１９は試料台８上の観
察対象物９と探針１１との間に数１０ｍＶ〜数１００ｍ
Ｖ程度の電圧Ｖを印加してトンネル電流ＡＴを検出し、
増幅するものである。さらに、サーボ回路１７は検出さ
れたトンネル電流ＡＴを一定に保ように探針１１をＺ軸
方向に沿って変位させるフィドパツク電圧をピエゾ部１
３に出力するものである。また、制御部１５はｘ、ｙ走
査電圧とＺ軸フィードバック電圧とを図示しないインタ
ーフェース等を介して入力し、この入力値にもとづいて
観察対象物９の表面の凹凸状態に関する情報を処理する
ものである。さらに、表示器１８はｘｙブロック−や濃
度表示のための画像メモリ等を有するＣＲＴ等によって
形成されており、この制御部１５によって処理された情
報、すなわち観察対象物９の表面の凹凸状態がこの表示
器１８に表示されるようになっている。

次に、上記構成の顕微鏡装置の操作について説明する。

まず、一端が電［２０に接続されたトンネル電流検出用
の導線２１の他端を観察対象物９に接続する。次に、こ
の観察対象物９を試料台８上にセットする。この状態で
、試料台８を上昇させて観察対象物９を光学顕微鏡装置
本体１の対物レンズ３に近づけ、ＩＴＶカメラ５によっ
て撮影される画像を見ながら光学顕微鏡装置本体１の光
学系の焦点を合わせる。この場合、予め光学顕微鏡装置
本体１の光学系の焦点深度の内側にトンネル電流が検出
できる領域（ＳＴＭの焦点深度）を設定しておく。一般
に、光学顕微鏡装置本体１の光学系の焦点深度は照明装
置７や光学倍率に応じて変化するが、例えば光学倍率が
１００倍の場合には数μｍ以下、光学倍率が４０倍の場
合には数１０μｍ以下程度である。これに対し、トンネ
ル電流の検出領域はｌｎｍ程度であり、光学系の焦点深
度の約１／１０００〜１／１００００である。

そのため、光学顕微鏡装置本体１の光学系の焦点深度の
内側にトンネル電流の検出領域を設定する作業は容品に
行なうことができる。

次に、ＩＴＶカメラ５によって撮影される光学顕微鏡装
置本体１の観察対象物９の像を観察しながら観察対象物
９をＸ軸方向およびｙ軸方向に移動させて探針１１（Ｓ
ＴＭ）で観察しようとする部分を光学顕微鏡装置本体１
の視野内の中央部位または予め設定された設定部位に位
置決めする。

そして、この状態でピエゾ部１３の電極Ｇ、Ｚ間に電圧
を印加して探針１１をＺ軸方向に変位させ、探針１１の
先端を観察対象物９の表面にｌｎｍ程度の距離まで接近
させる。

なお、ピエゾ部１３の電極Ｇ、Ｚに電圧を印加するとピ
エゾ部１３がＺ軸方向に変位するので、このピエゾ部１
３とともに対物レンズ３および探針１１をＺ軸方向に変
位させることができる。さらに、同様に探針１１をＸ軸
方向に変位させる場合にはピエゾ部１３の電極Ｇと電極
Ｘとの間に電圧子ＶＸ、電極Ｇと電極−Ｘとの間に電圧
−ｖＸを印加する。また、探針１１を−Ｘ方向に微動さ
せる場合にはピエゾ部１３の電極Ｇと電極Ｘとの間に電
圧−ｖＸ、電極Ｇと電極−Ｘとの間に電圧＋ｖＸを印加
する。さらに、探針１１をｙ軸方向に変位させる場合に
も同様である。

したがって、上記のようにピエゾ部１３の各電極Ｇ、ｘ
、ｙ、−ｘ、−ｙ、Ｚに電圧を印加することにより、Ｘ
軸方向、ｙ軸方向、Ｚ軸方向にそれぞれ独立に探針１１
を変位させることができ、ＳＴＭによる観察対象物９の
表面観察を行なうことができる。なお、ピエゾ部１３の
変位動作にともない探針１１とともに対物レンズ３も一
体的に変位するので、光学顕微鏡装置本体１の観察対象
物９の像も微動するが、この微動量は数１０μｍ〜数１
００μｍ以下程度であるため、光学系の倍率を適当に選
択することにより、光学顕微鏡装置本体１の視野全体に
比べて例えば視野全体の１／１０〜１／１００程度に充
分に小さくすることができ、観察対象物９の像が極端に
乱れて観察不能になることを防止することができる。

そこで、上記構成のものにあっては光学顕微鏡装置本体
１の対物レンズ３に微小電流検出用の探針１１を一体的
に設けるとともに、光学顕微鏡装置本体１の観察対象物
９と探針１１との相対位置を変位させるピエゾ部１３を
設けたので、光学顕微鏡装置本体１によって目視により
観察対象物９を観察しながら、探針１１を光学顕微鏡装
置本体１の視野内の特定の観察場所に精度よく位置決め
し、この状態で観察対象物９と探針１１との相対位置を
変位させなから探針１１によって検出される微小なトン
ネル電流にもとづいて観察対象物９の特定領域を精度よ
く観察することができる。そのため、半導体の断面形状
のように観察対象物９の観察面の形状が観察場所によっ
て異なる場合であっても簡単に特定の観察場所を精度よ
く位置決めすることができ、従来のＳＴＭに比べて観察
対象物９の特定の観察場所の位置決め作業能率を著しく
向上させることができる。

さらに、光学顕微鏡装置本体１の対物レンズ３に微小電
流検出用の探針１１を一体的に設けているので、大気中
や水中、或いは液体窒素等の液中であっても観察対象物
９を観察することができる。

そのため、ＳＴＭをＳＥＭと一体化した場合のように観
察環境が真空中に限定される場合に比べて筒中に観察対
象物９の微細構造を高倍率で精度よく観察することがで
きる。さらに、ＳＴＭをＳＥＭと一体化した場合のよう
に真空引き用の高価な装置を不要にすることができるの
で、装置全体のコスト低下を図ることができるとともに
、真空引きに要する時間を省略することもでき、観察対
象物９の観察時間の短縮を図ることもできる。

なお、この発明は上記実施例に限定されるものではない
。例えば、上記実施例では対物レンズ３の外面中央に微
小電流検出用の探針１１を一体的に固定した構成のもの
を示したが、第４図に示す第２の実施例のように対物レ
ンズ３の外面中央位置から外れた任意の位置に探針１１
を固定する構成にしてもよい。この場合には照明装置７
から照射される照明光が探針１１によって遮られて光学
顕微鏡装置本体１の観察像が暗くなることを防止するこ
とができる。

また、′＠５図に示す第３の実施例のように対物レンズ
３に貫通孔３１を形成し、この貫通孔３１内に探針１１
の基端部１１ａを貫通させて接着するとともに、この対
物レンズ３の内部側に突出された突出端部１１ａにトン
ネル電流増幅器１９との間を接続する導線３２を接続さ
せる構成にしてもよい。この場合には探針１１の支持強
度を高めることができるとともに、対物レンズ３の外面
の導電膜部１０を省略することもできる。また、対物レ
ンズ３の内面側に導電膜部１０を装着し、対物レンズ３
の内部側に突出された突出端部１１．ａをこの導電膜部
１０に接続させる構成にして・もよい。

さらに、第６図に示す第４の実施例のようにピエゾ部１
３は円筒状の圧電セラミックス４１の内周面に電極Ｇ１
外周面に電極ｘ、ｙ、−ｘ、−ｙをそれぞれ貼着させた
チューブスキャナによって形成してもよい。この場合、
ピエゾ部１３をＺ軸方向に変位させるには電極Ｇ、ｘ間
、Ｇ、−ｘ間、Ｇ、７間、ｃ、−７間にそれぞれ電圧■
ｚを印加すればよく、ピエゾ部１３をｘ、ｙ軸方向に変
位させるには第１の実施例と同様である。

また、第７図および第８図に示す第５の実施例のように
ピエゾ部１３は円筒状の圧電セラミックス５１の上面お
よび下面に電極Ｇ、Ｚをそれぞれ貼着させた縦効果形の
チューブスキャナによって形成して探針１１をＺ軸方向
のみに微動させるとともに、試料台８にｘｙ方向駆動機
構５４を装着し、このｘｙ方向駆動機構５４によって試
料台８」この観察対象物９をｘｙ軸方向に走査させる構
成にしてもよい。この場合にはチューブスキャナによっ
てｘｙ軸方向に走査させる場合に比べて走査領域を大幅
に拡大させることができる。

さらに、第５の実施例のような縦効果形のチュブスキャ
ナに変えて第９図に示す第６の実施例のように円筒状の
圧電セラミックス６１の内周面および外周面に電極Ｇ、
Ｚをそれぞれ貼着させた横効果形のチューブスキャナに
よってピエゾ部１３を形成して探針１１をＺ軸方向のみ
に微動させる構成にしてもよい。

また、第５．６の実施例では探針１１をＺ軸方向のみに
微動させるピエゾ部１３を示したが、探針１１をＺ軸お
よびＸ軸の２方向、あるいはＺ軸およびｙ軸の２方向に
微動させる構成にしてもよい。さらに、光学顕微鏡装置
本体１側の微動機構（ピエゾ部）を省略して試料台８側
に観察対象物９をｘｙＺｈ向に駆動する機構を装着して
もよい。

さらに、第１０図に示す第７の実施例のように対物レン
ズ３を保持するレンズホルダ７１の外周部位に略円筒状
の探針保持用金具７２の一方の開口端部を取付け、この
探針保持用金具７２の他方の開口端部に探針付きガラス
板７３を取付ける構成にしてもよい。この場合、探針付
きガラス板７３の中央には対物レンズ３の光軸方向と同
方向に向けて配置された探針１１の基端部がこのガラス
板７３内に貫通された状態で固定されている。

したがって、この場合には探針１１の基端部をガラス板
７３内に貫通状態で固定させているので、探針１１の取
付は強度を高めることができるとともに、対物レンズ３
自体に特殊な加工を加える必要がないので、製作を容易
化することができる。

さらに、この場合にはＳＴＭの、０１定時に万一、探針
１１が曲がる等の故障が発生した際に探針付きガラス板
７３を交換するだけで済むので、対物レンズ３全体を交
換する場合に比べてその交換作業を容易化することがで
きる。

また、この第７の実施例の探針保持用金具７２に探針付
きガラス板７３の取付は位置を調整する、：Ｌ！整ねじ
を設けてもよく、この場合には対物レンズ３の光軸方向
と探針１１の向きとを一致させる調整作業を容易化する
ことができるとともに、探針１１の先端部を光学系の焦
点面内に置いたり、或いは任意の位置に設置する等の作
業を容易化することもできる。

さらに、第１１図乃至第１３図は第８の実施例を示すも
のである。これは、第７の実施例のように光学顕微鏡装
置本体１の対物レンズ３等の光学系８０と観察対象物９
との間に透光性の探針付きガラス板（透光性部材）８１
を設け、このガラス板８１の中央に探針１１の基端部を
固定するとともに、この第８の実施例ではさらに探針１
１を微動させるピエゾ部８２を光学ａｍ鏡装置本体１の
光学系８０とは独立して設けており、探針１１を微動さ
せても光学像は微動しない構成になっている。

この場合、ピエゾ部８２には上下のピエゾ索子保持部材
８２ａ、８２ｂとこれらの上下のピエゾ素子保持部材８
２ａ、８２ｂ間に配設されたピエゾ索子８２ｃとがそれ
ぞれ設けられており、これらの部材が光学系８０のレン
ズホルダ８３の外周面に沿って上下方向に移動可能に装
着されている。

さらに、この上部ピエゾ素子保持部材８２ａの上部には
光学顕微鏡装置本体ｌ側の固定部８４に形成された雌ね
じ部８５に螺合される雄ねじ部８６が形成されている。

また、下部ピエゾ素子保持部材８２ｂの下端部には探針
付きガラス板８１のガラスホルダ８７が固定されている
。さらに、ピエゾ素子８２ｃには第１２図に示すように
上下の電極ｚ１＋２２が設けられている。また、ガラス
板８１の下面には第１３図に示すように例えば金や白金
等の導電性の薄膜によって形成された電通路８８が形成
されている。この電通路８８の内端部は探針１１をガラ
ス板８１に固定する導電性接着剤８９を介して探針１１
に接続されているとともに、外端部はリード線９０の一
端が接続されている。このリード線９０の他端は探針１
１と観察対象物９との間に流れるトンネル電流の増幅器
９１に接続されている。なお、第１２図中で、９２は探
針１１と観察対象物９との間に流れるトンネル電流が一
定になるように制御する制御部、９３はこの制御部９２
からの制御信号にもとづいてピエゾ素子８２ｃを駆動す
る駆動部、９４は制御部９２からの制御信号にもとづい
て観察対象物９のＳＴＭ像を表示する表示部である。

したがって、上記構成のものにあっては探針１１を微動
させても光学像は微動しない構成になっており、光学顕
微鏡装置本体１側の光学像が探針１１の微動にともない
変化するようなことがないので、光学像を見ながら作業
を行なうのに適している。また、ピエゾ部８２によって
作動させる部位が探針付きガラス板８１のみであり、他
の実施例のように光学顕微鏡装置本体１の光学系８゜の
質量を考慮する必要がないので、周波数特性が向上し、
探針１１の微調整を極めて容易に行なうことができる。

また、光学顕微鏡装置本体１は垂直落射照明方式の明視
野式の光学顕微鏡に限定されるものではなく、暗視野式
の光学顕微鏡、或いはノマルスキ式の干渉顕微鏡であっ
てもよい。

さらに、その他この発明の要旨を逸脱しない範囲で種々
変形実施できることは勿論である。

［発明の効果］請求項第（１）項の発明によれば光学顕微鏡装置本体の
対物レンズに微小電流検出用の探針を一体的に設けると
ともに、光学顕微鏡装置本体の観察対象物と探針との相
対位置を変位させる相対位置変位機構を設けたので、特
定の観察場所を精度よく位置決めすることができ、かつ
観察対象物の微細構造を高倍率で精度よく観察すること
ができる。

請求項第（２）項の発明によれば光学顕微鏡装置本体の
対物レンズと観察対象物との間に結像された光学像を変
化させない透光性部材を配設し、この透光性部材に微小
電流検出用の探針を一体的に設けるとともに、光学顕微
鏡装置本体の観察対象物と探針との相対位置を変位させ
る相対位置変位機構を設けたので、特定の観察場所を精
度よく位置決めすることができ、かつ観察対象物の微細
構造を高倍率で精度よく観察することができるとともに
、製作の容易化および探針損傷時の交換作業の容易化を
図ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第３図はこの発明の第１の実施例を示すもの
で、第１図は顕微鏡装置の要部の概略構成を示す縦断面
図、第２図はピエゾ部を示す斜視図、第３図はピエゾ部
の制御回路を示す概略構成図、第４図はこの発明の第２
の実施例を示す要部の縦断面図、第５図はこの発明の第
３の実施例を示す要部の縦断面図、第６図はこの発明の
第４の実施例を示す要部の斜視図、第７図はこの発明の
第５の実施例を示す要部の縦断面図、第８図は第５の実
施例のピエゾ部を示す要部の斜視図、第９図はこの発明
の第６の実施例を示す要部の斜視図、第１０図はこの発
明の第７の実施例を示す要部の縦断面図、第１１図乃至
第１３図はこの発明の第８の実施例を示すもので、第１
１図は要部の縦断面図、第１２図はピエゾ部の制御回路
を示す概略構成図、第１３図は探針の取付は状態を示す
要部の斜視図である。１・・・光学顕微鏡装置本体、３・・・対物レンズ、９
・・・観察対象物、１１．３１・・・探針、１３・・・
ピエゾ部（相対位置変位機構）。出願人代理人　弁理士　鈴江武彦第１図第図弔図第図第１゜図第図１］１ｉ　ＩＩ図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）光学顕微鏡装置本体の対物レンズに微小電流検出
用の探針を一体的に設けるとともに、前記光学顕微鏡装
置本体の観察対象物と前記探針との相対位置を変位させ
る相対位置変位機構を設けたことを特徴とする顕微鏡装
置。
（２）光学顕微鏡装置本体の対物レンズと観察対象物と
の間に結像された光学像を変化させない透光性部材を配
設し、この透光性部材に微小電流検出用の探針を一体的
に設けるとともに、前記光学顕微鏡装置本体の観察対象
物と前記探針との相対位置を変位させる相対位置変位機
構を設けたことを特徴とする顕微鏡装置。