JP2006078424A - 走査電子顕微装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 SEMの試料観察が終了して(S1)X線分析が開始されると(S2、S3)、合焦状態となっている対物レンズの励磁電流に基づいて試料観察終了時の試料位置を検知し、その位置がX線分析に適切な位置であるか否かを判定する(S4)。適切でない場合にはX線分析を中断し、警告メッセージを表示する(S6、S7)。この警告に対してオペレータが自動調整を選択すると(S8)、現在の試料位置と目標位置との差に基づいて試料ステージを自動的に移動させ(S9、S10)、X線分析を再開する。したがって、試料位置が適切でない状態でX線分析が行われてしまうことを防止できる。
【選択図】 図2
Description
a)前記レンズ系と試料との離間距離を変化させるように試料の位置を移動させるための試料移動手段と、
b)前記X線分析部による分析実行の当初に試料の位置を検知する位置検知手段と、
c)該位置検知手段により検知された試料位置が所定位置又はその近傍の範囲内であるか否かを判定する位置判定手段と、
d)該位置判定手段により試料位置が所定位置又はその近傍の範囲内でないと判定されたときにはX線分析の実行を中断し、他方、試料位置が所定位置又はその近傍の範囲内であると判定されたときにX線分析を実行する制御手段と、
e)試料位置が所定位置又はその近傍の範囲内でないと判定されたときにオペレータに報知を行う報知手段と、
を備えることを特徴としている。
2…偏向コイル
3…対物レンズ
4…試料
5…電子検出器
6…X線分析部
7…試料ステージ
8…ガイド
9…モータ
10…試料ステージ制御部
11…対物レンズ制御部
12…X線分析制御部
13…画像信号処理部
14…パーソナルコンピュータ(PC)
15…中央制御部
16…記憶部
17…データ処理部
18…操作部
19…表示部
Claims (2)
- 電子線を集束するレンズ系を含み、集束した電子線を試料に照射してそれに応じて試料から得られる電子を検出して試料像を形成する走査電子顕微部と、前記電子線の照射に応じて試料から発生したX線を検出することにより組成分析を行うX線分析部と、を具備する走査電子顕微装置において、
a)前記レンズ系と試料との離間距離を変化させるように試料の位置を移動させるための試料移動手段と、
b)前記X線分析部による分析実行の当初に試料の位置を検知する位置検知手段と、
c)該位置検知手段により検知された試料位置が所定位置又はその近傍の範囲内であるか否かを判定する位置判定手段と、
d)該位置判定手段により試料位置が所定位置又はその近傍の範囲内でないと判定されたときにはX線分析の実行を中断し、他方、試料位置が所定位置又はその近傍の範囲内であると判定されたときにX線分析を実行する制御手段と、
e)試料位置が所定位置又はその近傍の範囲内でないと判定されたときにオペレータに報知を行う報知手段と、
を備えることを特徴とする走査電子顕微装置。 - 前記報知手段による報知に応じてオペレータによる所定の操作を受けたとき、前記位置検知手段により検知された現在の試料位置と前記所定位置との差に基づいて前記試料移動手段を作動させることにより、試料位置を自動的に調整する移動制御手段をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の走査電子顕微装置。
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JP2009224292A (ja) * | 2008-03-19 | 2009-10-01 | Shimadzu Corp | 荷電粒子線走査装置 |
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2004
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