JPH0227495Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔考案の技術分野〕 この考案は走査電子顕微鏡等の試料交換装置に
関するものである。

〔従来技術〕

走査電子顕微鏡では真空内に試料を置いて観察
を行うため、真空外から試料を交換するための試
料交換装置が設けられている。第１図は従来の試
料交換装置を示す垂直断面図である。図面におい
て、１は走査電子顕微鏡本体であつて、鏡筒２に
対向してゴニオステージ３が設けられ、その上部
に設けられた受台４のカンナ台５に試料ホルダ６
を取付けて観察を行うようになつている。試料ホ
ルダ６は下部にカンナ台５に係合するアリ溝７を
有し、上部に試料を載置するようになつている。
本体１に仕切弁８を介して接続する交換室９に設
けられた蓋１０には交換棒１１が矢印Ａ方向に前
進後退可能に設けられ、その大気側にはつまみ１
２を有し、反対側には試料ホルダ６を保持するね
じ部１３を有する。１４は試料ホルダ６の回転止
軸、１５はシール材である。

上記のように構成された試料交換装置では、図
示位置から交換棒１１を前進させて試料ホルダ６
のアリ溝７を受台４のカンナ台５に係合させて、
試料ホルダ６を検鏡位置Ｂに装着する。しかしな
がら、このような試料交換装置では、試料ホルダ
６は交換棒１１にねじ部１３で保持されているた
め、受台４がＹ方向にずれている場合は交換棒１
１の挿入加減で調整できるが、ＸおよびＺ方向に
ずれている場合は調整できず、無理に挿入しよう
とするとゴニオステージ３または交換棒１１を破
損するという問題があつた。

第２図は従来の他の試料交換装置を示す斜視
図、第３図および第４図はその交換状態を示す正
面図である。この装置では交換棒１１の先端部に
は、試料ホルダ６の下部フラツト面６ａを両側か
らつかむように開閉するアーム１６が設けられて
いる。

上記の構成では、アーム１６により試料ホルダ
６をつかんで保持し、試料交換を行うようになつ
ており、第３図に示すように受台４のカンナ台５
が試料ホルダ６のアリ溝７より高い位置（１mm以
下）にゴニオステージ３の高さがずれていても、
第４図に示すように、試料ホルダ６が受台４に乗
り上げる形で挿入可能であるが、Ｘ方向のずれに
対しては調整することができず、破損が起こると
いう問題があつた。

〔考案の目的〕

この考案は以上のような従来の問題点を解消す
るためのもので、アームの内側の対向面および交
換棒の先端部に試料ホルダを押圧する押圧機構を
設けることにより、試料交換時にゴニオステージ
および試料交換装置に無理な力が働くのを緩和し
て損傷を防ぐことができる試料交換装置を提供す
ることを目的としている。

〔考案の構成〕

この考案は、試料交換棒の先端部に両側から開
閉して試料ホルダをつかむように設けられたアー
ムと、このアームの内側の対向面に前記試料ホル
ダを押圧するように設けられた第１の押圧機構
と、前記試料交換棒の先端部から試料ホルダを押
圧するように設けられた第２の押圧機構とを備え
たことを特徴とする試料交換装置である。

〔考案の実施例〕

以下、この考案を図示実施例について説明す
る。第５図ないし第７図はそれぞれこの考案の一
実施例による試料交換装置を示す水平断面図であ
り、第１図ないし第４図と同一符号は同一または
相当部分を示す。

交換棒１１の先端部には試料ホルダ６を両側か
らつかむように、アーム１６がピン１７によつて
開閉可能に取付けられている。アーム１６の先端
部には試料ホルダ６と係合する折曲部１６ａが形
成されており、またアーム１６の内側の対向面に
は、試料ホルダ６を対向方向に押圧するように板
ばね１８が設けられている。アーム１６の他端部
に伸びるクサビ状材１６ｂの先端部間には引張方
向に作用するコイルスプリング１９が設けられて
いる。この引張力に抗するようにクサビ状材１６
ｂ間にロツド２０がかけ渡され、交換棒１１の先
端部に軸方向に摺動可能に設けられた摺動子２１
に取付けられている。交換棒１１内にはつまみ１
２と一体化したシヤフト２２が軸方向に回転可能
に設けられており、その他端はねじ部となつて摺
動子２１にねじつけられている。交換棒１１の先
端部にはブロツク２３を介して試料ホルダ６を押
圧するコイルスプリング２４が設けられている。
他の構成は第１図ないし第４図と同様である。

以上のように構成された試料交換装置において
は、交換棒１１のつまみ１２を反時計方向に回転
させると摺動子２１およびロツド２０が前進して
クサビ状材１６ｂが開いて、アーム１６が閉じ、
試料ホルダ６をつかみ、保持する。第５図は試料
ホルダ６を保持した状態を示す。この状態から交
換棒１１をＣ方向に押し、ゴニオステージ３の受
台４に取付けられたカンナ台５にアリ溝７を係合
させて試料ホルダ６を装着する。この状態でつま
み１２を時計方向に回転させて摺動子２１および
ロツド２０をＤ方向に後退させると、第６図に示
すようにスプリング１９の引張力によりアーム１
６および板ばね１８はピン１７を支点としてＥ方
向に開き試料ホルダ６を解放する。この状態より
交換棒１１をＦ方向に引出すと、試料の交換は完
了する。試料を取出すときは逆順序の操作により
行われる。

第７図は受台４がＸ方向にずれている場合の装
着状態を示しており、鎖線６ｂで示す標準位置で
保持されていた試料ホルダ６は、受台４への装着
によりＸ方向およびＹ方向へずれる力が加わる
が、板ばね１８およびスプリング２４の弾性変形
により、実線位置まで移動し、交換棒１１および
受台４に無理な力が加わることなく、試料ホルダ
６を保持したまま装着を行うことができる。この
状態でアーム１６を開くと、装着に際してＹ方向
に生じたずれはスプリング２４の押圧力により補
正される。このようにして受台４のＸ方向のずれ
は板ばね１８によつて吸収され、Ｙ方向のずれは
スプリング２４によつて吸収され、交換時の損傷
が防止される。Ｚ方向のずれは第２図ないし第４
図の場合と同様に調整される。

なお、以上の説明において、第１の押圧機構と
して板ばね１８を用い、第２の押圧機構としてス
プリング２４を用いたが、それぞれ逆であつても
よく、また他の押圧機構を用いてもよい、またア
ーム１６の開閉機構としてスプリング１９を用い
た例を示したが、ロツド２０をクサビ状材１６ｂ
と係合させて直接開閉してもよく、またカムその
他の機構を用いてもよい。さらにこの開閉機構を
操作する手段としてはつまみ１２によりシヤフト
２２を回転させるようにしたが、他の手段であつ
てもよい。また本考案は走査電子顕微鏡に限ら
ず、他の真空装置の試料交換装置にも適用可能で
ある。

〔考案の効果〕

この考案によれば、交換棒の先端部に取付けら
れるアームの内側の対向面および交換棒の先端部
に試料ホルダを押圧する押圧機構を設けたので、
受台の位置がずれた場合でも、試料交換時にゴニ
オステージおよび試料交換装置にかかる無理な力
を緩和し、装置の損傷を防ぐことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来装置の垂直断面図、第２図は他の
従来装置の斜視図、第３図および第４図はその交
換状態を示す斜視図、第５図ないし第７図はそれ
ぞれこの考案の一実施例を示す水平断面図であ
る。 各図中、同一符号は同一または相当部分を示
し、１は走査電子顕微鏡本体、３はゴニオステー
ジ、４は受台、５はカンナ台、６は試料ホルダ、
７はアリ溝、１１は交換棒、１２はつまみ、１６
はアーム、１８は板ばね、１９，２４はスプリン
グ、２０はロツド、２１は摺動子、２２はシヤフ
ト、２３はブロツク、である。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 試料交換棒の先端部に両側から開閉して試料
   ホルダをつかむように設けられたアームと、こ
   のアームの内側の対向面に前記試料ホルダを押
   圧するように設けられた第１の押圧機構と、前
   記試料交換棒の先端部から試料ホルダを押圧す
   るように設けられた第２の押圧機構とを備えた
   ことを特徴とする試料交換装置。 (2) アームが交換棒の先端部に回転可能に設けら
   れ、交換棒内に設けられたシヤフトの回転によ
   り開閉可能とされた実用新案登録請求の範囲第
   １項記載の試料交換装置。 (3) アームが先端部に試料と係合する折曲部を有
   する実用新案登録請求の範囲第１項または第２
   項記載の試料交換装置。 (4) 押圧機構が板ばねまたはコイルスプリングで
   ある実用新案登録請求の範囲第１項ないし第３
   項のいずれかに記載の試料交換装置。