JPH10134748A - 試料搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 平面形状が大きくぶ厚い試料を保持した試料
ホルダと試料交換棒とを、試料ホルダ下端からの試料検
査面の高さを増加させずに連結可能にすること 【解決手段】 試料交換室１２の外壁１３を構成し且つ
平行な一対のシャフト貫通孔（１４a,１４b）を有する
交換棒支持部材１４と、上面に試料保持部１７aを有す
るホルダ本体１７およびその一側面の外側に設けられた
シャフトガイドブロック１８と前記一側面の反対側面に
設けられたシャフト連結ブロック１９とを有する試料ホ
ルダ１６と、被ガイド部２２aを有する被ガイドシャフ
ト２２および内端部に連結用雄ネジ２３aを有し外端部
に設けられた連結シャフト回転操作部材２６とを有する
連結シャフト２３とがそれらの外端部の間隔を一定に保
持し回転可能に連結された外端連結部材２４とを有する
試料交換棒２１とから構成される試料搬送装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は電子顕微鏡により試
料に対する観察、検査等を行う際に試料が配置される真
空試料室と、前記真空試料室に接続された試料交換室と
の間で試料を搬送する試料搬送装置に関し、特に、平面
形状が大きく且つ厚さがぶ厚い大型の試料を搬送する際
に使用する試料搬送装置する。

【０００２】

【従来の技術】この種の試料搬送装置として、従来、下
記（Ｊ01）の技術が知られている。

【０００３】（Ｊ01）（図５、図６に示す技術） 図５は従来の電子顕微鏡で試料の観察、検査を行う真空
試料室と前記真空試料室に接続された試料交換室との間
で試料を搬送する試料搬送装置の説明図である。図６は
前記図５の矢印VI方向から見た図である。なお、以後の
説明の理解を容易にするために、図面において互いに直
交する座標軸Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を定義し、矢印Ｘ方向を
前方、矢印Ｙ方向を左方、 矢印Ｚ方向を上方とする。
この場合、Ｘ方向と逆向き（−Ｘ方向）は後方、Ｙ方向
と逆向き（−Ｙ方向）は右方、Ｚ方向と逆向き（−Ｚ方
向）は下方となる。また、Ｘ方向及び−Ｘ方向を含めて
前後方向又はＸ軸方向といい、Ｙ方向及び−Ｙ方向を含
めて左右方向又はＹ軸方向といい、Ｚ方向及び−Ｚ方向
を含めて上下方向又はＺ軸方向ということにする。さら
に図中、「○」の中に「・」が記載されたものは紙面の
裏から表に向かう矢印を意味し、「○」の中に「×」が
記載されたものは紙面の表から裏に向かう矢印を意味す
るものとする。

【０００４】図５において真空試料室０１は、側壁０
２、上壁０３等により形成され、内部は真空に保持され
るように構成されている。前記上壁０３には電子顕微鏡
の鏡筒０４が支持されており、前記電子顕微鏡の鏡筒０
４の下端からは電子ビームが出射するように構成されて
いる。前記鏡筒０４下方には試料ステージ０６が配置さ
れている。図５、図６において、前記試料ステージ０６
は傾斜台０７を有している。傾斜台０７は傾斜軸線０８
周りに傾斜可能に構成されている。前記傾斜台０７上に
はＹ軸方向に移動可能なＹ軸テーブル０１１、Ｘ軸方向
に移動可能なＸ軸テーブル０１２およびＺ軸線周りに回
転可能な回転テーブル０１３が支持されている。前記回
転テーブル０１３上にはホルダ係止部材０１４（図６参
照）が設けられている。

【０００５】前記側壁０２には試料通過口０１６が設け
られている。前記真空試料室０１に隣接して試料交換室
０１７が設けられており、真空試料室０１および試料交
換室０１７は前記試料通過口０１６により連通するよう
に構成されている。前記試料通過口０１６は、内部仕切
弁０１８により開閉されるように構成されている。内部
仕切弁０１８は、作動用シャッタ０１８aおよび閉塞用
シャッタ部材０１８bを有しており、各シャッタ０１８a
および０１８bは互いに接合された傾斜面に沿ってスラ
イド移動可能に構成されている。また、前記各シャッタ
０１８a，０１８bは連結バネ０１９，０１９により連結
されている。前記作動用シャッタ０１８aはエアーシリ
ンダ０２１内を上下動するピストン０２２に連通された
ピストンロッド０２３に連結されている。また、前記作
動用シャッタ０１８aは圧縮バネ０２４により常時下方
に押圧されている。したがって、前記エアーシリンダ０
２１のピストンロッド０２３を上昇させた状態では、前
記作動用シャッタ０１８aおよび閉塞用シャッタ０１８b
は上昇位置に保持される。また、前記ピストンロッド０
２３が下降した状態では、作動用シャッタ０１８aは前
記圧縮バネ０２４により下方に押圧される。このとき、
前記作動用シャッタ０１８aおよび閉塞用シャッタ０１
８bの傾斜面に沿って作動用シャッタ０１８aが下方に移
動すると、閉塞用シャッタ０１８bは右方へ押圧され、
側壁０２の左側面に押圧され、真空試料室０１および試
料交換室０１７は気密に遮断されるように構成されてい
る。

【０００６】前記試料交換室０１７の外壁は、上壁０２
６、下壁０２７、前記上壁０２６に設けた外部仕切弁０
２８、および試料交換棒支持部材０２９等により構成さ
れている。前記外部仕切弁０２８は、閉塞状態では試料
交換室０１７内を気密に遮断し、開放した状態では試料
交換室０１７と外部との間で試料を搬入したり、搬出し
たりできるように構成されている。前記交換棒支持部材
０２９は、前記試料交換室０１７の側壁の一部を構成し
ている。前記試料交換棒支持部材０２９にはシャフト貫
通孔０２９aが形成されており、前記シャフト貫通孔０
２９により試料交換棒０３１がスライド可能且つ回転可
能に支持されている。試料交換棒０３１はその外端部に
操作用ハンドル０３１aが設けられ、その内端部にホル
ダ連結用雄ネジ０３１bが形成されている。

【０００７】前記外部仕切弁０２８が開放状態のときに
試料交換室０１７内に搬入された試料ホルダ０３２に
は、その上面に試料保持部０３２aが設けられ、また側
面に連結用雌ネジ０３２bが設けられている。さらに試
料ホルダ０３２の下面には前記ホルダ係止部材０１４
（図６参照）に嵌合する被係止溝０３２cが形成されて
いる。なお、前記試料保持部０３２a内には試料Ｓが保
持される。前記試料交換棒０３１内端のホルダ連結用雄
ネジ０３１bを前記試料ホルダ０３２の連結用雌ネジ０
３２bに螺合させることにより、試料交換棒０３１内端
に試料ホルダ０３２を連結させることができる。試料交
換棒０３１内端に試料ホルダ０３２を連結した状態で、
試料交換棒０３１を左右方向（Ｙ軸方向）にスライド移
動させることにより試料ホルダ０３２を試料交換室０１
７および真空試料室０１の間で搬送することができる。
前記真空試料室０１内に搬送された試料ホルダ０３２の
前記被係止溝０３２cは前記回転テーブル０１３上のホ
ルダ係止部材０１４に嵌合して係止される。

【０００８】図５において試料ホルダ０３２に支持され
た試料Ｓに対する電子顕微鏡による観察、検査等の顕微
分析作業は、前記試料ホルダ０３２が回転テーブル０１
３上に支持された状態で行われる。前記顕微分析作業に
おいては、前記傾斜台０７を傾斜軸線０８回りに傾斜さ
せることがある。この場合、試料検査面（すなわち、顕
微分析作業で観察、検査等が行われる試料Ｓの表面）が
前記傾斜軸線０８上にあれば、傾斜台０７が傾斜して
も、試料検査面の位置は傾斜するだけで移動しない。こ
の場合、試料検査面が傾斜した状態で顕微分析作業を行
うことができる。したがって、試料検査面の位置は常に
前記傾斜軸線０８上に保持する必要がある。そのために
は、試料検査面は、回転テーブル０１３の上面から高さ
Ｈ1（図５参照）の位置（またはホルダ係止部材０１４
上面から高さＨ2の位置）に保持する必要がある。すな
わち、前記試料検査面は、試料ホルダ０３２の下端から
Ｈ1の高さ（または前記被係止溝０３２cの上面からＨ2
の高さ）に保持する必要がある。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】

（前記（Ｊ01）の問題点）ところが、図９に示すような
試料Ｓの平面形状が大きく（Ｙ軸方向が長く）且つ厚さ
がぶ厚い（Ｚ軸方向が長い）場合には、前記図５に示す
試料交換棒０３１および試料ホルダ０３２の連結構造で
は、前記試料検査面を、試料ホルダ０３２の下端からＨ
1の高さ（または前記被係止溝０３２cの上面からＨ2の
高さ）に保持することが出来なくなる。これについて次
に説明する。図５においては、ホルダ連結用雄ネジ０３
１bを試料ホルダ０３２下部の連結用雌ネジ０３２bに螺
合させることにより試料交換棒０３１および試料ホルダ
０３２を連結している。図７は、厚さがぶ厚く且つ平面
形状の小さい試料Ｓを保持する試料ホルダ０３２と試料
交換棒０３１とが前記図５と同様に連結された状態を示
す図である。図７から分かるように、試料Ｓの厚さがぶ
厚い場合に、試料ホルダ０３２の下端から試料検査面
（試料Ｓの表面）までの高さをＨ1に保持しようとすれ
ば、試料Ｓの下面より下部の試料ホルダ０３２部分には
試料交換棒０３１を連結することが不可能である。しか
し、試料Ｓの平面形状が小さい場合には、試料Ｓの側面
の外側の試料ホルダ０３２部分に試料交換棒０３１を連
結することができる。

【００１０】図８は、厚さが薄く且つ平面形状の大きい
試料Ｓを保持する試料ホルダ０３２と試料交換棒０３１
とが前記図５と同様に連結された状態を示す図である。
図８から分かるように、試料Ｓの平面形状が大きい場合
に、試料Ｓの側面の外側の試料ホルダ０３２部分には試
料交換棒０３１を連結することが不可能である。しかし
ながら、試料Ｓの厚さが薄いので、試料Ｓの下面より下
部の試料ホルダ０３２部分に試料交換棒０３１を連結し
ても、試料ホルダ０３２の下端から試料検査面（試料Ｓ
の表面）までの高さをＨ1に保持することが可能であ
る。前記図７、図８から分かるように、厚さが大きくて
も平面形状が小さい試料場合、または平面形状が大きく
ても厚さが薄い場合は前記図５と同様に、試料交換棒０
３１および試料ホルダ０３２を連結することが可能であ
る。

【００１１】図９は、厚さがぶ厚く且つ平面形状の大き
い試料Ｓを保持する試料ホルダ０３２に対しては試料交
換棒０３１が連結不能になることを示す図である。図９
から分かるように、厚さがぶ厚く且つ平面形状が大きい
場合には、試料ホルダ０３２に、前記試料交換棒０３１
のホルダ連結用雄ネジ０３１bとの連結用雌ネジ０３２b
を形成するスペースを確保することが不可能である。

【００１２】本発明は、前述の事情に鑑み、下記（Ｏ0
1）の記載内容を課題とする。 （Ｏ01）平面形状が大きく厚さのぶ厚い試料を保持した
試料ホルダと試料交換棒とを、試料ホルダ下端からの試
料検査面の高さを増加させずに連結可能にすること。

【００１３】

【課題を解決するための手段】次に、前記課題を解決す
るために提案した本発明を説明するが、本発明の要素に
は、後述の実施例の要素との対応を容易にするため、実
施例の要素の符号をカッコで囲んだものを付記する。な
お、本発明を後述の実施例の符号と対応させて説明する
理由は、本発明の理解を容易にするためであり、本発明
の範囲を実施例に限定するためではない。

【００１４】（本発明）前記課題を解決するために、本
発明の試料搬送装置は、下記の要件を備えたことを特徴
とする、（Ａ01）開閉可能な内部仕切弁（１１）を介し
て真空試料室（１）に接続された試料交換室（１２）の
外壁（１３）を構成し且つ平行な一対のシャフト貫通孔
（１４a，１４b）を有する交換棒支持部材（１４）、
（Ａ02）前記試料交換室（１２）内部に配置された上面
に試料保持部（１７a）を有するホルダ本体（１７）
と、前記ホルダ本体（１７）の一側面に外側に突出して
設けられたシャフトガイド孔（１８a）を有するシャフ
トガイドブロック（１８）と、前記一側面の反対側面に
突出して設けられた連結用雌ネジ（１９a）を有するシ
ャフト連結ブロック（１９）とを有する試料ホルダ（１
６）、（Ａ03）前記一対のシャフト貫通孔（１４a，１
４b）の一方のシャフト貫通孔（１４a）をスライド可能
に貫通するとともに内端部に前記試料ホルダ（１６）の
シャフトガイド孔（１８a）にガイドされる被ガイド部
（２２a）を有する被ガイドシャフト（２２）と、前記
一対のシャフト貫通孔（１４a，１４b）の他方のシャフ
ト貫通孔（１４b）をスライド可能に貫通するとともに
内端部に前記試料ホルダ（１６）の連結用雌ネジ（１９
a）に螺合する連結用雄ネジ（２３a）を有する連結シャ
フト（２３）と、前記被ガイドシャフト（２２）および
連結シャフト（２３）の外端部の間隔を一定に保持する
とともに前記連結シャフト（２３）外端部が回転可能に
連結された外端連結部材（２４）と、前記連結シャフト
（２３）外端部に設けられた連結シャフト回転操作部材
（２６）とを有する試料交換棒（２１）。

【００１５】（本発明の作用）次に、前述の特徴を備え
た本発明の作用を説明する。前述の特徴を備えた本発明
の試料搬送装置では、交換棒支持部材（１４）は、開閉
可能な内部仕切弁（１１）を介して真空試料室（１）に
接続された試料交換室（１２）の外壁（１３）を構成し
且つ平行な一対のシャフト貫通孔（１４a，１４b）を有
する。前記試料交換室（１２）内部に配置された試料ホ
ルダ（１６）は、上面に試料保持部（１７a）を有する
ホルダ本体（１７）と、前記ホルダ本体（１７）の一側
面に外側に突出して設けられたシャフトガイド孔（１８
a）を有するシャフトガイドブロック（１８）と、前記
一側面の反対側面に突出して設けられた連結用雌ネジ
（１９a）を有するシャフト連結ブロック（１９）とを
有する。試料交換棒（２１）は、内端部に被ガイド部
（２２a）を有する被ガイドシャフト（２２）と、内端
部に連結用雄ネジ（２３a）を有する連結シャフト（２
３）と、前記被ガイドシャフト（２２）および連結シャ
フト（２３）の外端部の間隔を一定に保持する外端連結
部材（２４）と、前記連結シャフト（２３）外端部に設
けられた連結シャフト回転操作部材（２６）とを有す
る。

【００１６】前記試料交換棒（２１）の被ガイドシャフ
ト（２２）は、前記一対のシャフト貫通孔（１４a，１
４b）の一方のシャフト貫通孔（１４a）をスライド可能
に貫通する。前記連結シャフト（２３）は、前記一対の
シャフト貫通孔（１４a，１４b）の他方のシャフト貫通
孔（１４b）をスライド可能に貫通する。前記連結シャ
フト（２３）外端部が回転可能に連結された外端連結部
材（２４）は、前記被ガイドシャフト（２２）および連
結シャフト（２３）の外端部の間隔を一定に保持する。

【００１７】前記平行な一対のシャフト貫通孔（１４
a，１４b）によりスライド可能に支持された被ガイドシ
ャフト（２２）および連結シャフト（２３）は、その外
端部が外端連結部材（２４）により間隔が一定に保持さ
れ、内端部は前記平行な一対のシャフト貫通孔（１４
a，１４b）で支持されることにより間隔が一定に保持さ
れる。したがって、外端連結部材（２４）を前記両シャ
フトの軸方向に押したり引いたりすることにより、両シ
ャフトを、それらが捩じれたり、傾斜したりすることな
く平行状態のまま、安定した姿勢でスライド移動（進退
移動）させることができる。 前記被ガイドシャフト
（２２）が内方にスライド移動した際、その内端部の被
ガイド部（２２a）は、前記試料ホルダ（１６）のシャ
フトガイド孔（１８a）にガイドされる。また、前記連
結シャフト（２３）が内方にスライド移動した際、内端
部の連結用雄ネジ（２３a）は、前記試料ホルダ（１
６）の連結用雌ネジ（１９a）に当接する。その状態
で、前記連結シャフト（２３）外端部に設けられた連結
シャフト回転操作部材（２６）を回転操作することによ
り、前記連結シャフト（２３）内端部の連結用雄ネジ
（２３a）と、前記試料ホルダ（１６）の連結用雌ネジ
（１９a）とを螺合させて連結させたり、連結したもの
を逆に離脱させたりすることができる。

【００１８】前記試料交換棒（２１）および試料ホルダ
（１６）の連結は、試料交換棒（２１）の被ガイドシャ
フト（２２）および連結シャフト（２３）と、試料ホル
ダ（１６）側面のシャフトブロック（１８）および連結
ブロック（１９）との間で行われる。すなわち、前記試
料交換棒（２１）および試料ホルダ（１６）の連結は、
試料ホルダ（１６）の側面で行われるので、試料（Ｓ）
の平面形状が大きくぶ厚い場合でも、試料ホルダ（１
６）下端からの試料検査面の高さを、所定の高さに保持
することができる。

【００１９】

【発明の実施の形態】

（本発明の実施の形態１）本発明の試料搬送装置の実施
の形態１は、前記本発明において下記の要件を備えたこ
とを特徴とする、（Ａ04）前記ホルダ本体（１７）を横
切って配置された中央連結部（２８）、前記中央連結部
（２８）の一端部に設けられ前記被ガイドシャフト（２
２）内端部が連結される被ガイドシャフト支持部（２
９）および前記中央連結部（２８）の他端部に設けられ
前記連結シャフト（２３）内端部が回転可能に支持され
る連結シャフト支持部（３０）により略Ｕ字状に形成さ
れた内端連結部材（２７）を有する前記試料交換棒（２
１）。

【００２０】（本発明の実施の形態１の作用）前記本発
明の試料搬送装置の実施の形態１では、試料交換棒（２
１）は、前記被ガイドシャフト（２２）内端部および連
結シャフト（２３）内端部を連結する略Ｕ字状の内端連
結部材（２７）とを有する。前記内端連結部材（２７）
は、前記ホルダ本体（１７）を横切って配置された中央
連結部（２８）と、前記中央連結部（２８）の一端部に
設けられた被ガイドシャフト支持部（２９）と、前記中
央連結部（２８）の他端部に設けられた連結シャフト支
持部（３０）とにより略Ｕ字状に形成される。前記内端
連結部材（２７）の被ガイドシャフト支持部（２９）に
は前記被ガイドシャフト（２２）内端部が連結される。
前記連結シャフト支持部（３０）には前記連結シャフト
（２３）内端部が回転可能に支持される。したがって、
内端連結部材（２７）は前記被ガイドシャフト（２２）
の内端部および連結シャフト（２３）の内端部の間隔を
一定に保持する。前記一対のシャフト貫通孔（１４a，
１４b）によりスライド可能に支持された被ガイドシャ
フト（２２）および連結シャフト（２３）は、その外端
部は外端連結部材（２４）により間隔が一定に保持さ
れ、内端部は内端連結部材（２７）により間隔が一定に
保持される。したがって、外端連結部材（２４）を前記
両シャフトの軸方向に押したり引いたりすることによ
り、両シャフトを、それらが捩じれたり、傾斜したりす
ることなく平行状態のまま、極めて安定した姿勢でスラ
イド移動（進退移動）させることができる。

【００２１】（本発明の実施の形態２）本発明の試料搬
送装置の実施の形態２は、前記本発明の実施の形態１に
おいて下記の要件を備えたことを特徴とする、（Ａ05）
前記中央連結部（２８）が前記試料ホルダ（１６）の上
方を横切って配置された前記内端連結部材（２７）。

【００２２】（本発明の実施の形態２の作用）前記本発
明の試料搬送装置の実施の形態２では、前記内端連結部
材（２７）の前記中央連結部（２８）が前記試料ホルダ
（１６）の上方を横切って配置される。このため、試料
ホルダ（１６）の下端面より下方には試料交換棒（２
１）の構成要素が配置されることがない。したがって、
試料ホルダ（１６）を試料ステージ上の試料ホルダ支持
面に装着する際、試料交換棒（２１）の構成要素が邪魔
になることがない。

【００２３】

【実施例】次に図面を参照しながら、本発明の試料搬送
装置の実施例を説明するが、本発明は以下の実施例に限
定されるものではない。 （実施例１）図１は本発明の試料搬送装置の実施例１が
試料交換室内に配置された状態を示す平面図である。図
２は前記図１のII−II線断面図である。図３は試料ホル
ダを支持する試料テーブルのホルダ係止部材の説明図
で、図３Ａは平面図、図３Ｂは前記図３ＡのIIIＢ−III
Ｂ線断面図である。図１において、真空試料室１の側壁
２には試料通過口３が形成されている。真空試料室１内
には顕微分析作業を行う際に試料を保持した試料ホルダ
を支持するホルダ支持テーブル４（図３参照）が配置さ
れている。図示しないが、前記ホルダ支持テーブル４に
支持された試料ホルダに保持された試料の表面（試料検
査面）には電子顕微鏡の電子ビームが照射されるように
構成されている。図３において、ホルダ支持テーブル４
上にはホルダ係止部材４aが設けられている。前記ホル
ダ係止部４aの周囲には前後一対の回動アーム５が回転
軸６回りに回動可能に支持されている。一対の回動アー
ム５，５は右端部の互いに対向する位置に突出部５a，
５aを有しており、また同様に左端部に先端突出部５b，
５bを有している。前記回動アーム５，５は、前記突出
部５a，５a間に設けた引張バネ７により、前記先端突出
部５b，５bが互いに接近する力を受けている。しかし前
記回動アーム５，５は、回動位置規制ピン８，８によ
り、前記引張バネ７による回動アーム５，５の先端突出
部５b，５bの間隔が一定に保持されるように構成されて
いる。

【００２４】図１において前記側壁２に設けた試料通過
口３の左側（真空試料室１の外側）には、前記試料通過
口３を開閉する内部仕切弁１１が設けられている。内部
仕切弁１１の左側には試料交換室１２が設けられてお
り、前記真空試料室１および試料交換室１２は前記内部
仕切弁１１が開放位置にあるときには前記試料通過口３
により連通するように構成されている。前記試料交換室
１２を形成する外壁１３には、試料交換室１２と外部と
の間で試料を出入するための外部仕切弁（図示せず）お
よび交換棒支持部材１４等が設けられている。前記交換
棒支持部材１４には、左右方向に延びる平行な一対のシ
ャフト貫通孔１４a，１４bが形成されている。

【００２５】図１および図２において、試料交換室１２
内には試料ホルダ１６が配置されている。試料ホルダ１
６のホルダ本体１７は、平面図（図１参照）長方形で、
その上面に試料保持部１７aを有し、下面に下方突出部
１７bおよび前記下方突出部１７bに形成された被係止溝
１７cを有する。前記ホルダ本体１７の長辺側一側面
（後側面）の外側にはシャフトガイド孔１８aが形成さ
れたシャフトガイドブロック１８が固定されており、前
記一側面（後側面）の反対側面（前側面）は連結用雌ネ
ジ１９aを有するシャフト連結ブロック１９が固定され
ている。前記試料ホルダ１６は、ホルダ本体１７とシャ
フトガイドブロック１８とシャフト連結ブロック１９と
から構成されている。前記試料保持部１７aには試料Ｓ
が保持される。

【００２６】試料交換棒２１は、内端部に被ガイド部２
２aを有する被ガイドシャフト２２と、内端部に連結用
雄ネジ２３aを有する連結シャフト２３と、前記被ガイ
ドシャフト２２および連結シャフト２３の外端部の間隔
を一定に保持する外端連結部材２４と、前記連結シャフ
ト２３の外端部に設けられた連結シャフト回転操作部材
２６と、前記被ガイドシャフト２２および連結シャフト
２３の内端部どうしを連結する略Ｕ字状の内端連結部材
２７とを有する。

【００２７】前記試料交換棒２１の被ガイドシャフト２
２は、前記一対のシャフト貫通孔１４a，１４bの一方の
シャフト貫通孔１４aをスライド可能に貫通する。前記
連結シャフト２３は、前記一対のシャフト貫通孔１４
a，１４bの他方のシャフト貫通孔１４aをスライド可能
且つ回転可能に貫通する。前記連結シャフト２３外端部
が回転可能に連結された外端連結部材２４は、前記被ガ
イドシャフト２２および連結シャフト２３の外端部の間
隔を一定に保持する。内端連結部材２７は、前記ホルダ
本体１７の下方を横切って配置された中央連結部２８
（図２参照）と、前記中央連結部２８の一端部（後端
部）に設けられた被ガイドシャフト支持部２９と、前記
中央連結部２８の他端部に設けられた連結シャフト支持
部３０とにより略Ｕ字状に形成される。前記内端連結部
材２７の被ガイドシャフト支持部２９には前記被ガイド
シャフト２２内端部が連結される。前記連結シャフト支
持部３０には前記連結シャフト２３内端部が回転可能に
支持される。したがって、内端連結部材２７は前記被ガ
イドシャフト２２の内端部および連結シャフト２３の内
端部の間隔を一定に保持する機能を有している。

【００２８】前記被ガイドシャフト２２および連結シャ
フト２３の前後方向（Ｘ軸方向）の間隔は、前記交換棒
支持部材１４の一対のシャフト貫通口１４a，１４bの間
隔、および前記試料ホルダ１６のシャフトガイド孔１８
aおよび連結用雌ネジ１９aの間隔と同じに設定されてい
る。したがって、図１に示すように、被ガイドシャフト
２２内端部の被ガイド部２２aは前記シャフトガイド孔
１８aに嵌合可能であり、また、連結シャフト２３内端
部の連結用雄ネジ２３aは連結用雌ネジ１９aに螺合可能
である。

【００２９】（実施例１の作用）前記一対のシャフト貫
通孔１４a，１４bによりスライド可能に支持された被ガ
イドシャフト２２および連結シャフト２３は、その外端
部は外端連結部材２４により間隔が一定に保持され、内
端部は内端連結部材２７により間隔が一定に保持され
る。したがって、外端連結部材２４を前記両シャフト２
２，２３の軸方向（左右方向）に押したり引いたりする
ことにより、両シャフト２２，２３を、それらが捩じれ
たり、傾斜したりすることなく平行状態のまま、安定し
た姿勢で前記シャフト貫通孔１４a，１４bに沿って左右
方向にスライド移動（進退移動）させることができる。

【００３０】前記被ガイドシャフト２２が内方にスライ
ド移動した際、その内端部の被ガイド部２２aは、前記
試料ホルダ１６のシャフトガイド孔１８aにガイドされ
る。また、前記連結シャフト２３が内方にスライド移動
した際、内端部の連結用雄ネジ２３aは、前記試料ホル
ダ１６の連結用雌ネジ１９aに当接する。その当接状態
で、前記連結シャフト２３外端部に設けられた連結シャ
フト回転操作部材２６を回転操作することにより、前記
連結シャフト２３内端部の連結用雄ネジ２３aと、前記
試料ホルダ１６の連結用雌ネジ１９aとを螺合させて連
結させたり、連結したものを逆に離脱させたりすること
ができる。

【００３１】したがって、前記試料交換棒２１および試
料ホルダ１６の連結は、試料交換棒２１の被ガイドシャ
フト２２および連結シャフト２３と、試料ホルダ１６側
面のシャフトブロック１８および連結ブロック１９との
間で行われる。すなわち、前記試料交換棒２１および試
料ホルダ１６の連結は、試料ホルダ１６の側面で行われ
るので、試料の平面形状が大きくぶ厚い場合でも、試料
ホルダ１６下端からの試料検査面の高さを、所定の高さ
に保持することができる。

【００３２】本実施例では、前記試料交換室１２内での
試料交換棒２１先端への試料ホルダ１６の連結および連
結解除は試料ホルダ１６を手で持って行う。また、前記
試料交換室１２内での試料ホルダ１６への試料Ｓの着脱
も手動により行う。試料交換棒２１先端に試料Ｓを連結
した状態で、試料交換室１２の外部仕切弁（図示せず）
を閉塞して、試料交換室１２内を排気し、真空にした状
態で、前記内部仕切弁１１を開く。そして、試料交換棒
２１を内方に押し込んで、試料ホルダ１６を、試料交換
室１２から前記内部仕切弁１１、試料通過口３を通過さ
せてホルダ支持テーブル４（図３参照）上に搬送する。

【００３３】ホルダ支持テーブル４上に搬送された試料
ホルダ１６の前記下方突出部１７bは、前記回動アーム
５，５の先端突出部５b，５bを外方に押し開きながら内
方に搬送される。このとき、ホルダ本体１７下面の被係
止溝１７cは、前記ホルダテーブル４上のホルダ係止部
材４aに嵌合する。前記試料ホルダ１６がさらに内方に
押されると、前記ホルダ本体１７の下方突出部１７b，
１７bは、回動アーム５，５の前記突出５a，５aに当接
して停止する。このとき、回動アーム５，５の先端突出
部５b，５bが互いに接近する方向に回動して前記各下方
突出部１７bの外端を挟持する。この状態で前記下方突
出部１７bは、ホルダ支持テーブル４上に保持される。
この状態で、前記連結シャフト回転操作部材２６を回転
して、連結シャフト２３内端（右端）の連結用雄ネジ２
３aと試料ホルダ１６の連結用雌ネジ１９aとの螺合を解
除し、試料交換棒２１および試料ホルダ１６を離脱させ
る。そして、試料交換棒２１を真空試料室１から試料交
換室１２移動させる。

【００３４】前記試料交換棒２１および試料ホルダ１６
の連結は、試料交換棒２１の被ガイドシャフト２２およ
び連結シャフト２３と、試料ホルダ１６側面のシャフト
ブロック１８および連結ブロック１９との間で行われ
る。すなわち、前記試料交換棒２１および試料ホルダ１
６の連結は、試料ホルダ１６の側面で行われるので、試
料Ｓの平面形状が大きくぶ厚い場合でも、試料ホルダ１
６下端からの試料検査面（試料Ｓの表面）の高さを、所
定の高さに保持することができる。

【００３５】（実施例２）図４は本発明の試料搬送装置
の実施例２の説明図で、前記実施例１の図２に対応する
図である。なお、この実施例２の説明において、前記実
施例１の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を
付して、その詳細な説明を省略する。前記実施例１で
は、内端連結部材２７の中央連結部２８が試料ホルダ１
６の下方に配置されていたのに対し、この実施例２で
は、内端連結部材２７の中央連結部２８が試料ホルダ１
６の上方に配置されている。その他の点では、この実施
例２は、前記実施例１と同様に構成されている。この実
施例２も前記実施例１と同様に、前記試料交換棒２１お
よび試料ホルダ１６の連結は、試料ホルダ１６の側面で
行われるので、試料Ｓの平面形状が大きくぶ厚い場合で
も、試料ホルダ１６下端からの試料検査面（試料Ｓの表
面）の高さを、所定の高さに保持することができる。

【００３６】（変更例）以上、本発明の実施例を示した
が、本発明は、前期実施例に限定されるものではなく、
特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内で、
種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更実施
例を下記に例示する。 （Ｈ01）本発明は顕微鏡以外の真空試料室内の試料交換
にも適用可能である。 （Ｈ02）試料ホルダ１６を試料支持テーブル４に取り付
ける方法としては、従来公知の種々の構成を採用するこ
とが可能である。

【００３７】

【発明の効果】前述の本発明の試料搬送装置は、下記の
効果を奏することができる。 （Ｅ01）平面形状が大きく厚さのぶ厚い試料を保持した
試料ホルダと試料交換棒とを、試料ホルダ下端からの試
料検査面の高さを増加させずに連結することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 図１は本発明の試料搬送装置の実施例１が試
料交換室内に配置された状態を示す平面図である。

【図２】 図２は前記図１のII−II線断面図である。

【図３】 図３は試料ホルダを支持する試料テーブルの
ホルダ係止部材の説明図で、図３Ａは平面図、図３Ｂは
前記図３ＡのIIIＢ−IIIＢ線断面図である。

【図４】 図４は本発明の試料搬送装置の実施例２の説
明図で、前記実施例１の図２に相当する図である。

【図５】 図５は従来の電子顕微鏡で試料の観察、検査
を行う真空試料室と前記真空試料室に接続された試料交
換室との間で試料を搬送する試料搬送装置の説明図であ
る。

【図６】 図６は前記図５の矢印VI方向から見た図であ
る。

【図７】 図７は、厚さがぶ厚く且つ平面形状の小さい
試料Ｓを保持する試料ホルダ０３２と試料交換棒０３１
とが前記図５と同様に連結された状態を示す図である。

【図８】 図８は、厚さが薄く且つ平面形状の大きい試
料Ｓを保持する試料ホルダ０３２と試料交換棒０３１と
が前記図５と同様に連結された状態を示す図である。

【図９】 図９は、厚さがぶ厚く且つ平面形状の大きい
試料Ｓを保持する試料ホルダ０３２に対しては試料交換
棒０３１が連結不能になることを示す図である。

【符号の説明】

１…真空試料室、１１…内部仕切弁、１２…試料交換
室、１３…外壁、１４…交換棒支持部材、１４a，１４b
…シャフト貫通孔、１６…試料ホルダ、１７…ホルダ本
体、１７a…試料保持部、１８…シャフトガイドブロッ
ク、１８a…シャフトガイド孔、１９…シャフト連結ブ
ロック、１９a…連結用雌ネジ、２１…試料交換棒、２
２…被ガイドシャフト、２２a…被ガイド部、２３…連
結シャフト、２３a…連結用雄ネジ、２４…外端連結部
材、２６…連結シャフト回転操作部材、２７…内端連結
部材、２８…中央連結部、２９…被ガイドシャフト支持
部、３０…連結シャフト支持部、

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 下記の要件を備えたことを特徴とする試
   料搬送装置、（Ａ01）開閉可能な内部仕切弁を介して真
   空試料室に接続された試料交換室の外壁を構成し且つ平
   行な一対のシャフト貫通孔を有する交換棒支持部材、
   （Ａ02）前記試料交換室内部に配置された上面に試料保
   持部を有するホルダ本体と、前記ホルダ本体の一側面に
   外側に突出して設けられたシャフトガイド孔を有するシ
   ャフトガイドブロックと、前記一側面の反対側面に突出
   して設けられた連結用雌ネジを有するシャフト連結ブロ
   ックとを有する試料ホルダ、（Ａ03）前記一対のシャフ
   ト貫通孔の一方のシャフト貫通孔をスライド可能に貫通
   するとともに内端部に前記試料ホルダのシャフトガイド
   孔にガイドされる被ガイド部を有する被ガイドシャフト
   と、前記一対のシャフト貫通孔の他方のシャフト貫通孔
   をスライド可能に貫通するとともに内端部に前記試料ホ
   ルダの連結用雌ネジに螺合する連結用雄ネジを有する連
   結シャフトと、前記被ガイドシャフトおよび連結シャフ
   トの外端部の間隔を一定に保持するとともに前記連結シ
   ャフト外端部が回転可能に連結された外端連結部材と、
   前記連結シャフト外端部に設けられた連結シャフト回転
   操作部材とを有する試料交換棒。