KR101084653B1

KR101084653B1 - 전자주사현미경의 시료챔버

Info

Publication number: KR101084653B1
Application number: KR1020090011638A
Authority: KR
Inventors: 김동환; 양희남; 장동영; 임홍재
Original assignee: 국민대학교산학협력단; 서울과학기술대학교 산학협력단
Priority date: 2009-02-12
Filing date: 2009-02-12
Publication date: 2011-11-22
Also published as: KR20100095668A

Abstract

본 발명은 전자주사현미경의 시료챔버에 관한 것으로서, 시료가 장착되는 시편홀더를 X,Y,Z축 방향으로 이동 및 회전시키면서 상부의 전자주사유닛에서 조사된 전자빔의 초점에 시료를 맞추는 스테이지유닛이 그 내부에 구성되어 있는 전자주사현미경의 시료챔버에 있어서, 상기 시료챔버의 일측면에는 출입구가 천공됨과 아울러 상기 출입구를 자동으로 개폐시키는 챔버도어가 구성되되, 상기 챔버도어는, 시료챔버에 고정되게 설치된 실린더; 및 상기 실린더에 그 일단의 헤드가 내장되어 실린더로 공급되는 압력에 의해 이동되는 피스톤;을 포함하고, 상기 피스톤의 일단이 챔버도어에 연결되어, 상기 챔버도어를 이동시켜 시료챔버의 출입구를 개폐시키도록 구성된 것을 특징으로 하여, 시료의 교환을 간편하고 신속하게 할 수 있게 된다.

전자주사현미경, 시료챔버, 스테이지유닛, 시편홀더, 챔버도어

Description

전자주사현미경의 시료챔버{Chamber of Scanning Electron Microscope}

본 발명은 전자주사현미경의 시료챔버에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 시료챔버의 일측에 자동으로 개폐되는 챔버도어를 구성한 전자주사현미경의 시료챔버에 관한 것이다.

근래 초미세 가공 기술의 발달에 따라 소정의 시료를 나노(nano : n,nm) 치수로 가공할 수 있는 나노가공장치들이 지속적으로 개발되고 있으며, 이와 함께 나노가공장치에서 가공된 초미세 가공품을 측정하기 위한 장비로서 나노계측기인 전자주사현미경(Scanning Electron Microscope : SEM)의 기술 개발 역시 지속적으로 발전하고 있다. 또한, 이들은 장치의 구성을 간단하게 하면서 장치의 부피를 줄일 수 있도록 소형화에 대한 기술이 개발되고 있는 실정이다.

이 중 전자주사현미경(SEM)은 계측장비로서 이동성과 공간활용성을 극대화하기 위해서 소형화가 적극적으로 이루어지고 있다.

이러한 종래의 소형 전자주사현미경의 구성을 도 1 및 도 2에 도시하였다.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 종래의 소형 전자주사현미경(1)은 전자빔 주사를 위한 부품들의 설치공간을 형성하는 하우징(10)과, 하우징(10) 하부영역에 진공의 시료 측정공간을 형성하는 시료챔버(30)와, 시료챔버(30) 내에 출입 가능하게 설치되며 시료를 X,Y,Z축 방향으로 이동 및 회전 가능하게 적재하는 스테이지유닛(40)과, 하우징(10) 내에 설치되어 스테이지유닛(40)에 적재된 시료를 향해 전자빔을 주사하는 전자주사유닛(20)과, 전자주사유닛(20)에서 주사된 전자빔이 시료에 충돌하여 발생된 2차 전자를 검출하여 이미지신호로 처리하는 측정유닛(50)을 포함한다.

이러한 소형 전자주사현미경(1)은 하우징(10)에 설치된 전자총(21)과 집속렌즈(22) 및 주사코일(24), 대물렌즈(23)로 이루어진 전자주사유닛(20)의 구동에 의해 전자빔이 스테이지유닛(40)의 시편홀더(42)에 적재된 시료로 조사되면, 전자빔이 시료와 충돌하면서 2차 전자를 발생하고, 이 2차 전자를 측정유닛(50)이 이미지신호로 처리하여 디스플레이장치 및 컴퓨터 등에서 표시 및 측정되도록 구성되어 있다.

이때, 전자주사유닛(20)의 대물렌즈(23)로부터 시료로 조사되는 전자빔은 그 초점이 미리 설정되어 있는 것으로서, X,Y,Z축 조작부(43)(44)(45)와 회전조작부(46)를 조작하여 이에 연결된 링크수단(미도시)을 통해서 스테이지유닛(40)의 스테이지(41)를 X,Y,Z축 방향으로 이동 및 회전시켜 시료가 적재된 시편홀더(42)을 X,Y,Z 축 방향 이동 및 회전시켜 가면서 전자빔의 초점을 시료에 포커싱한다.

여기서, X,Y,Z축 조작부(43)(44)(45)와 회전조작부(46)의 링크수단은 도시하지는 않았지만, 상기 링크수단은 본 출원인에 의해 출원된 출원번호 10-2007-74136호(명칭 : 소형 전자주사현미경의 스테이지유닛)에 개시된 링크수단과 유사 또는 동일하게 구성됨으로써, 상기한 링크수단의 구성 및 작동의 설명은 전술한 출원번호 10-2007-74136호에 개시된 링크수단의 구성 및 작동의 설명으로 갈음하기로 한다.

그리고, 시료의 교환 시는 시료챔버(30)의 진공을 해제한 후, 스테이지유닛(40)을 시료챔버(30)로부터 인출시켜 내어 시편홀더(42) 상에 올려져 있는 시료를 교환하고, 스테이지유닛(40)을 다시 시료챔버(30)에 결합함으로써 시료의 교환을 완료한다.

그런데, 이와 같은 시료 교환 작업은, 시료챔버(30)로부터 스테이지유닛(40)을 인출시키고 시료의 교환 후 스테이지유닛(40)을 다시 시료챔버(30)에 결합시키는 일련의 작동이 작업자의 수작업에 의해서만 이루어짐으로써, 시료 교환 작업이 번거롭고 불편할 뿐만 아니라 더디게 이루어지는 단점이 있었다.

이에, 본 발명은 전술한 바와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 시료챔버의 일측에 자동으로 개폐되는 챔버도어를 구성하여 시료를 교환토록 함으로써, 시료의 교환 시 시료챔버로부터 스테이지유닛을 인출하지 않고서도 간편하고 신속하게 시료를 교환할 수 있도록 한 전자주사현미경의 시료챔버를 제공하는데 그 목적이 있다.

그리고, 개방된 챔버도어를 통해 시편홀더를 스테이지유닛으로부터 분리시켜 시료챔버의 출입구 측으로 이동시킨 후 시료를 교환할 수 있도록 한 전자주사현미경의 시료챔버를 제공하는데 또 다른 목적이 있다.

상술한 목적은, 시료가 장착되는 시편홀더를 X,Y,Z축 방향으로 이동 및 회전시키면서 상부의 전자주사유닛에서 조사된 전자빔의 초점에 시료를 맞추는 스테이지유닛이 그 내부에 구성되어 있는 전자주사현미경의 시료챔버에 있어서, 상기 시 료챔버의 일측면에는 출입구가 천공됨과 아울러 상기 출입구를 자동으로 개폐시키는 챔버도어가 구성되되, 상기 챔버도어는, 시료챔버에 고정되게 설치된 실린더; 및 상기 실린더에 그 일단의 헤드가 내장되어 실린더로 공급되는 압력에 의해 이동되는 피스톤;을 포함하고, 상기 피스톤의 일단이 챔버도어에 연결되어, 상기 챔버도어를 이동시켜 시료챔버의 출입구를 개폐시키도록 구성된 것을 특징으로 하는 전자주사현미경의 시료챔버에 의해 달성된다.

그리고, 상기 출입구 주변 영역의 시료챔버에는 챔버도어와 접하여 출입구의 기밀을 유지하는 O링이 설치되고, 상기 출입구 주변 영역의 시료챔버에는 이동되는 챔버도어를 가이드 및 정지시키는 가이드브라켓과 스토퍼브라켓이 각각 설치됨이 바람직하다.

또한, 상기 출입구와 인접한 시료챔버에는 시편홀더를 이송시키는 이송유닛이 구성되고, 상기 이송유닛은 포커싱 조절된 스테이지유닛이 초기상태로 복귀되었을 때 시편홀더를 이송시키도록 구성되되, 상기 이송유닛은, 시료챔버를 관통하여 시편홀더에 나사 결합되는 나사축; 및 시료챔버의 내측 양편에 설치되어 이송되는 시편홀더를 가이드하는 가이드레일;을 포함하여, 상기 나사축을 인,출입시킴에 따라 이에 결합된 시편홀더가 가이드레일을 따라 이송되도록 구성한다.

그리고, 상기 시편홀더의 하부에는 가이드블럭이 돌출 형성되고, 상기 스테이지유닛에는 시편홀더의 가이드블럭이 삽입되어 결합되는 가이드홀이 형성되는 것이 효과적이다.

본 발명에 따른 전자주사현미경의 시료챔버에 의하면, 시료의 교환 시 시료챔버의 진공을 해제한 후 실린더의 피스톤이 작동되면서 챔버도어를 이동시켜 시료챔버의 출입구를 개방시킴으로써 시료의 교환이 간편하고 신속하게 이루어질 수 있도록 한 효과가 있다.

아울러, 시료의 교환 시 시료챔버의 외측에 위치한 나사축의 노브를 회전시켜 시료가 놓여져 있는 시편홀더를 스테이지유닛으로부터 분리시켜 시료챔버의 출입구 측으로 이동시킴으로써 시료의 교환을 간편하고 신속하게 할 수 있는 효과가 있다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명한다.

첨부도면 도 3 내지 도 6은 본 발명에 따른 전자주사현미경의 시료챔버 및 챔버도어와 스테이지유닛 및 이송유닛을 도시한 도면이다.

본 발명을 설명하기에 앞서, 종래기술과 동일한 부분에 대해서는 동일한 부호를 부여하고, 중복되는 설명은 생략한다.

따라서, 본 발명에서는 전자주사유닛(20) 및 스테이지유닛(40), 시료챔버(30)의 구성은 대부분이 종래와 대동소이하므로 이의 반복 설명은 생략하고, 시료챔버(30)에 구성된 챔버도어(100)에 대해서만 집중적으로 설명한다.

한편, 상기 시료챔버(30)의 일측면에는 도 3 내지 도 4b에 도시된 바와 같이, 간편하고 신속한 시료 교환을 위한 출입구(130)가 천공되고, 상기 출입구(130) 상에는 출입구(130)를 자동으로 개폐시키는 챔버도어(100)가 구성된다.

상기 챔버도어(100)는 출입구(130)가 천공된 시료챔버(30) 상에서 상하로 승강되면서 시료챔버(30)의 출입구(130)를 개폐시키도록 구성되고, 상기 챔버도어(100)의 승강은 실린더(110)와 피스톤(120)에 의해서 의해서 이루어진다.

즉, 상기 챔버도어(100) 하부의 시료챔버(30)에는 실린더(110)가 고정되게 설치되고, 상기 실린더(110)의 상하측에는 에어가 출입되는 각 포트(111)(112)가 천공되며, 상기 포트(111)(112)는 컴프레서 등과 같은 공기공급원과 호스로서 연결됨이 바람직하다.

그리고, 상기 실린더(110)에는 피스톤(120) 일단의 헤드(121)가 승강가능하게 삽입되어 구비되고, 상기 피스톤(120)의 타단부는 챔버도어(100)의 외측면에 형성된 고정블럭(101)에 연결되어 고정됨으로써, 상기 챔버도어(100)가 피스톤(120)의 승강에 의해서 승강된다.

한편, 상기 실린더(110) 내에 삽입된 피스톤(120)의 헤드(121) 외주면에는 O링(122)이 설치되어 실린더(110)의 내측면에 접함으로써, 상기 헤드(121)를 기준으로 실린더(110)의 상하 양단부를 기밀 유지된 상태로 차단시켜 일측의 포트를 통해 공급된 에어가 타단의 다른 포트를 통해 누설되는 것을 방지한다.

또한, 상기 실린더(110)와 이 실린더(110)를 관통한 피스톤(120) 사이에도 O링 등을 개재하여 기밀을 유지함이 바람직하다.

특히, 이러한 피스톤(120) 및 챔버도어(100)의 작동은 전자주사현미경(1)에 구성된 콘트롤유닛(미도시)을 통해 제어됨이 바람직하고, 도시되지는 않았지만 콘트롤유닛 상의 버튼을 조작함에 따라 실린더(110)의 상부 포트(111) 또는 하부 포트(112)로 에어가 공급되어 피스톤(120) 및 챔버도어(100)를 승강시키도록 구성된다.

또한, 상기 출입구(130) 주변 영역의 시료챔버(30) 외측면에는 출입구(130)를 포위하도록 폐곡선을 이루는 O링(131) 설치되어 상기 챔버도어(100)의 일면과 접함으로써, 출입구(130)의 기밀을 유지한다.

그리고, 상기 O링(131)과 이격된 시료챔버(30)의 외측면 일측에는 피스톤(120)의 작동에 의해 상하로 승강되는 챔버도어(100)를 가이드하는 가이드브라켓(140)이 출입구(130)의 양측편에 서로 마주하도록 설치되고, 상기 출입구(130)의 상측편에는 상승되는 챔버도어(100)를 정지시켜 챔버도어(100)의 상승폭을 제한하는 스토퍼브라켓(150)이 설치된다.

여기서, 상기 양 가이드브라켓(140)은 대략 "ㄷ"자 형상으로 형성되어 홈 부위가 서로 마주하도록 설치됨이 바람직하다.

그리고, 상기 스토퍼브라켓(150)은 통상적인 플레이트 형상으로 형성되고, 상기 출입구(130)의 하측편에도 챔버도어(100)의 하강폭을 제한하기 위한 별도의 하부 스토퍼브라켓을 형성할 수 있고, 또는 상기 실린더(110)로부터 출입되는 피스톤(120)의 행정을 통해서 챔버도어(100)의 승강폭(행정)을 스토퍼브라켓 없이도 제한할 수 있다.

또한, 상기 출입구(130)와 인접한 시료챔버(30)에는 스테이지유닛(40) 상의 시편홀더(230)를 출입구(130) 측 또는 스테이지유닛(40) 측으로 이송시키기 위한 이송유닛(200)이 구성되고, 상기 이송유닛(200)은 포커싱 조절된 스테이지유닛(40)이 원상태 즉 포커싱 조절되기 전의 초기상태로 복귀된 후 시편홀더(230)를 이송시키도록 구성된다.

상기 이송유닛(200)은, 출입구(130) 주변 영역 즉 양측부의 시료챔버(30) 외측면에 그 양단부가 고정되어 설치되는 대략 "ㄷ"자 형상으로 절곡 형성된 지지브라켓(210)과, 상기 지지브라켓(210)을 관통하면서 출입구(130)를 통해 시편홀더(230)에 나사 결합되는 나사축(220)과, 상기 시료챔버(30)의 내측 양편에 설치되어 이송되는 시편홀더(230)를 가이드하는 가이드레일(250)을 포함한다.

여기서, 상기 지지브라켓(210)은 대략 "ㄷ"자 형상으로 형성되어 챔버도어(100)와 일정간격을 유지한 채로 이격되어 설치됨으로써 챔버도어(100)와의 간섭이 해소된다.

또한, 상기 지지브라켓(210)을 관통하는 나사축(220)은 출입구(130)를 통해 시편홀더(230)에 나사 결합됨이 바람직하지만, 상기 나사축(220)이 출입구(130)를 통하지 않고 출입구(130) 하부의 시료챔버(30)를 관통하여 시편홀더(230)에 나사 결합될 수도 있다.

따라서, 상기 시편홀더(230)에 나사 결합된 나사축(220)을 시료챔버(30)에서 인출 또는 인입시킴에 따라 이에 결합된 시편홀더(230)가 가이드레일(250)을 따라 이송되게 된다.

상기 나사축(220)의 일단부에는 나사축(220)의 과도한 삽입을 방지함과 아울러 나사축(220)의 회전을 용이케 하는 노브(221)가 나사축(220)보다 큰 직경으로서 일체로 형성되어, 시료챔버(30)의 외측에 위치된다.

한편, 상기 시편홀더(230)의 외주면 일측에는 나사축(220)이 나사 결합되는 나사공(230a)이 형성되고, 상기 나사공(230a)은 포커싱 조절된 스테이지유닛(40)이 작업종료 후 초기상태로 복귀되면 지지브라켓(210)을 관통하여 끼워진 나사축(220)과 동일선상으로 위치된다.

이때, 상기 스테이지유닛(40)의 포커싱은 작업자에 의해서 이루어지고, 초기상태로의 복귀과정은 전자주사현미경(1)의 콘트롤유닛에 의해서 자동 복귀되도록 설계됨이 바람직하다.

그리고, 상기 가이드레일(250)은 본 실시예에서는 서로 마주하는 면에 홈이 형성된 대략 "ㄷ"자 형상으로 형성된 것을 그 일례로 개시하였으나, 이송되는 시편홀더(230)를 가이드하는 조건만 만족하면 상기 가이드레일(250)을 "I" 등과 같은 어떤 형태나 구조로도 형성할 수 있다.

이와 같이 이송되는 시편홀더(230)는 그 하부면에 대략 직사각형 형상으로 돌출된 가이드블럭(231)이 형성되고, 상기 가이드블럭(231)에 대응한 상기 스테이지유닛(40) 상의 스테이지(240)에는 시편홀더(230)의 가이드블럭(231)이 삽입되어 결합되는 가이드홀(241)이 형성된다.

한편, 상기와 같이 형성된 시편홀더(230)의 가이드블럭(231)과 스테이 지(240)의 가이드홀(241)은 시편홀더(230)의 나사공(230a)과 동일선상으로 형성됨이 바람직하고, 이로 인해 포커싱 조절된 스테이지유닛(40)이 작업종료 후 초기상태로 복귀되면 상기 시편홀더(230)의 가이드블럭(231)과 스테이지(240)의 가이드홀(241) 역시도 지지브라켓(210)을 관통하여 끼워진 나사축(220)과 동일선상으로 위치된다.

따라서, 상기 나사축(220)을 시편홀더(230)의 나사공(230a)에 용이하게 나사 결합시킬 수 있을 뿐만 아니라 시편홀더(230)를 스테이지(240)로부터 용이하게 분리 또는 결합시킬 수 있게 된다.

또한, 시료의 교환 후에는 나사축(220)을 시편홀더(230)의 나사공(230a)에서 분리시켜 낸 후, 시료챔버(30)의 외측에 설치된 지지브라켓(210)으로부터 완전히 빼내 분리시킴으로써 상기 시료챔버(30)에 나사축(220)의 설치로 인한 별도의 기밀구조를 구성하지 않아도 된다.

상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 시료 교환 과정을 설명하면 다음과 같다.

먼저, 전자주사현미경(1)을 통한 모든 작업이 종료되면, 포커싱 조절된 스테이지유닛(40)이 초기상태로 복귀되어 시편홀더(230)의 나사공(230a) 및 가이드블럭(231)과 스테이지(240)의 가이드홀(241)이 후술될 나사축(220)과 동일선상으로 일치되어 정렬된다.

이후, 시료챔버(30) 내의 진공을 해제한 상태에서 콘트롤유닛의 작동버튼을 눌러 피스톤(120) 및 닫혀 있는 챔버도어(100)를 상승시킨다.

즉, 컴프레서 등과 같은 공기공급원에서 발생된 에어가 실린더(110)의 하부 포트(112)로 공급되어 하부 포트(112)의 상부 측에 위치한 헤드(121) 및 피스톤(120)을 상승시키고, 피스톤(120)의 상승에 의해서 시료챔버(30)의 출입구(130)를 닫고 있던 챔버도어(100)가 가이드브라켓(140)에 의해 가이드되면서 스토퍼브라켓(150)에 걸림되어 정지될 때까지 피스톤(120)과 같이 상승되어 시료챔버(30)의 출입구(130)를 개방시키게 된다.

이후, 나사축(220)을 지지브라켓(210)에 관통시키면서 끼워넣어 나사축(220)과 동일선상으로 정렬된 시편홀더(230)의 나사공(230a)에 나사축(220)을 나사 결합시킨 후, 나사축(220)을 지지브라켓(210)으로부터 인출시켜 낸다.

그러면, 시편홀더(230)의 가이드블럭(231)이 스테이지(240)의 가이드홀(241) 상에서 빠져나와 분리되면서 시편홀더(230)가 인출되는 나사축(220)과 더불어서 양편의 가이드레일(250)을 따라 출입구(130) 측으로 가이드되어 인출된다.

따라서, 시료챔버(30)의 출입구(130) 측으로 이송되어 온 시편홀더(230) 상의 시료를 새로운 시료로 교환하여 놓는다.

이와 같은 시료 교환이 완료된 후에는 인출되어 있던 나사축(220)을 재차 밀어넣어 시료챔버(30) 측으로 인입시키면, 나사축(220)과 같이 시편홀더(230)가 양편의 가이드레일(250)을 따라 스테이지(240) 측으로 이송되면서 시편홀더(230)의 가이드블럭(231)이 스테이지(240)의 가이드홀(241)에 삽입되어 회전불가한 상태로 결합된다.

이후, 나사축(220)을 역회전시켜 시편홀더(230)의 나사공(230a)에 나사 결합된 나사축(220)을 시편홀더(230)로부터 분리시키고, 분리된 나사축(220)을 지지브라켓(210)으로부터 완전히 빼내 분리시킨다.

그리고, 콘트롤유닛의 또 다른 작동버튼을 누르면, 에어가 실린더(110)의 상부 포트(111)로 공급되어 상부 포트(111)의 하부측에 위치되어 있던 헤드(121) 및 피스톤(120)을 하강시키고, 피스톤(120)의 하강에 의해서 상승되어 있던 챔버도어(100)가 피스톤(120)과 같이 하강하여 출입구(130)를 닫아 폐쇄시키게 된다.

이와 같이 시료챔버(30)의 출입구(130)를 폐쇄시킨 챔버도어(100)는 출입구(130) 주변에 출입구(130)를 감싸도록 설치된 O링(131)과 면접촉되어 출입구(130)의 기밀이 완벽하게 유지됨으로써, 시료챔버(30) 내에 다시 진공을 형성한 후 시료를 가공 또는 계측하는 작업을 수행하게 된다.

도 1은 종래의 전자주사현미경을 도시한 사시도이다.

도 2는 도 1의 전자주사현미경의 스테이지유닛을 도시한 사시도이다.

도 3은 본 발명에 따른 전자주사현미경의 시료챔버의 도어구조를 도시한 도면이다.

도 4는 도 3의 시료챔버의 도어를 확대 도시한 도면으로서, 도 4a는 도어의 닫힌상태를 보인 도면이고, 도 4b는 도어의 개방상태를 보인 도면이다.

도 5는 본 발명에 따른 시료챔버에 구성된 시편홀더의 이송유닛을 도시한 개념도이다.

도 6a는 도 5의 이송유닛의 작동 전 상태이고, 도 6b는 이송유닛의 작동 후 상태도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

1 : 전자주사현미경 10 : 하우징

20 : 전자주사유닛 21 : 전자총

22 : 집속렌즈 23 : 대물렌즈

24 : 주사코일 30 : 시료챔버

40 : 스테이지유닛 41 : 스테이지

42 : 시편홀더 43,44,45 : X,Y,Z축 조작부

46 : 회전조작부 50 : 측정유닛

100 : 챔버도어 101 : 고정블럭

110 : 실린더 111,112 : 포트

120 : 피스톤 121 : 헤드

122 : O링 130 : 출입구

131 : O링 140 : 가이드브라켓

150 : 스토퍼브라켓 200 : 이송유닛

210 : 지지브라켓 220 : 나사축

221 : 노브 230 : 시편홀더

230a : 나사공 231 : 가이드블럭

240 : 스테이지 241 : 가이드홀

250 : 가이드레일

Claims

시료가 장착되는 시편홀더를 X,Y,Z축 방향으로 이동 및 회전시키면서 상부의 전자주사유닛에서 조사된 전자빔의 초점에 시료를 맞추는 스테이지유닛이 그 내부에 구성되어 있는 전자주사현미경의 시료챔버에 있어서,

상기 시료챔버의 일측면에 천공된 출입구를 자동으로 개폐하는 챔버도어;

상기 출입구의 하측에 위치하도록 상기 시료챔버에 고정되게 설치된 실린더;

일단의 헤드가 상기 실린더에 내장되어 상기 실린더로 공급되는 압력에 의해 이동하며, 타단이 상기 챔버도어에 연결되어 상기 챔버도어를 승강시키는 피스톤;

양단부가 상기 출입구의 양측에 고정 설치되며, 상기 챔버도어와 일정 간격 이격되도록 "ㄷ"자 형상으로 절곡 형성된 지지브라켓;

상기 출입구를 통한 출입이 가능하도록 상기 지지브라켓에 관통 이동 가능하게 설치되며, 상기 시편홀더의 외주면에 형성된 나사공에 나사 결합될 수 있게 구성되는 나사축; 및

상기 전자주사유닛을 통한 작업 종료시 상기 시편 홀더의 나사공이 상기 나사축과 동일선상에 위치하도록 상기 스테이지유닛을 자동 복귀시키는 콘트롤유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 전자주사현미경의 시료챔버.
제 1 항에 있어서,

상기 출입구 주변 영역의 시료챔버에는 챔버도어와 접촉되어 출입구의 기밀을 유지하는 O링이 설치된 것을 특징으로 하는 전자주사현미경의 시료챔버.
제 1 항에 있어서,

상기 출입구 주변 영역의 시료챔버에는 이동되는 챔버도어를 가이드하는 가이드브라켓이 설치된 것을 특징으로 하는 전자주사현미경의 시료챔버.
제 1 항에 있어서,

상기 출입구 주변 영역의 시료챔버에는 이동되는 챔버도어를 정지시키는 스토퍼브라켓이 설치된 것을 특징으로 하는 전자주사현미경의 시료챔버.
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제 1 항에 있어서,

상기 시료챔버의 내측 양편에는 상기 시편홀더의 이송을 가이드하는 가이드레일이 설치되는 것을 특징으로 하는 전자주사현미경의 시료챔버.
제 6 항에 있어서,

상기 시편홀더의 하부에는 가이드블럭이 돌출 형성되고, 상기 스테이지유닛에는 시편홀더의 가이드블럭이 삽입되어 결합되는 가이드홀이 형성된 것을 특징으로 하는 전자주사현미경의 시료챔버.