JP2024042583A - 試料ホルダー把持装置、試料ホルダー交換装置、及び、試料ホルダー交換方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】試料ホルダーを把持するための操作を必要とせずに、試料ホルダーを把持してホルダーマウントから引き抜くことを目的とする。
【解決手段】固定ツメ14は、全体として折れ曲がった略L字状の形状を有する。可動ツメ16は、固定ツメ14の折れ曲がった部分に対向して配置される。圧縮バネ18は、可動ツメ16を固定ツメ14の方向に押圧する。可動ツメ16の先端には、試料ホルダー30との摩擦を軽減するためのローラー22が設けられている。固定ツメ14と可動ツメ16との間に試料ホルダー30が挿入され、圧縮バネ18による力が加えられた可動ツメ16と固定ツメ14とによって試料ホルダー30が把持される。
【選択図】図1
【解決手段】固定ツメ14は、全体として折れ曲がった略L字状の形状を有する。可動ツメ16は、固定ツメ14の折れ曲がった部分に対向して配置される。圧縮バネ18は、可動ツメ16を固定ツメ14の方向に押圧する。可動ツメ16の先端には、試料ホルダー30との摩擦を軽減するためのローラー22が設けられている。固定ツメ14と可動ツメ16との間に試料ホルダー30が挿入され、圧縮バネ18による力が加えられた可動ツメ16と固定ツメ14とによって試料ホルダー30が把持される。
【選択図】図1
Description
本発明は、荷電粒子線装置に搭載された試料ホルダーを交換する技術に関する。
電子顕微鏡等の荷電粒子線装置においては、試料室内に設けられた試料ホルダーを交換する場合、一般的に、試料ホルダー把持装置によって試料ホルダーを把持することで試料ホルダーが交換される。
図40には、従来技術に係る試料ホルダー把持装置が示されている。従来技術に係る試料ホルダー把持装置600は、ベース部602と一対の可動ツメ604と引張バネ606とを含む。一対の可動ツメ604は、ベース部602に取り付けられ、支点608を回転軸として回転する部材である。引張バネ606は、可動ツメ604が閉じる方向に力を加える。一対の可動ツメ604は、引張バネ606による力によって互いに引き寄せられて、試料ホルダーを把持する。
荷電粒子線装置においては、試料ホルダーはホルダーマウントに搭載されている。例えば、試料ホルダーは、把持される部分であるホルダーベースと、ホルダーベースの上部に設けられて、ホルダーベースの周囲に鍔状に突出する試料収納部と、を含む。ホルダーベースが、一対の可動ツメ604によって把持される。また、試料収納部によって、試料ホルダー全体が下方から支持される。
ホルダーマウントに搭載された試料ホルダーを交換する場合、試料ホルダー把持装置600は、搬送機構によって試料ホルダーに向けて移動させられて試料ホルダーに近づけられる。一対の可動ツメ604が試料ホルダーに接触し、試料ホルダー把持装置600が更に試料ホルダーに向けて移動させられると、試料ホルダーは一対の可動ツメ604の間に挿入され、一対の可動ツメ604は、試料ホルダーの側面に沿って外側に広がる。試料ホルダー把持装置600が更に試料ホルダーに向けて移動させられると、ベース部602が試料ホルダーの側面に接触する。引張バネ606による力によって一対の可動ツメ604が閉じられ、これにより、試料ホルダーが一対の可動ツメ604によって把持される。一対の可動ツメ604が試料ホルダーを把持した状態で、試料ホルダー把持装置600が、搬送機構によってホルダーマウントから離れる方向へ移動させられると、試料ホルダーは、ホルダーマウントから引き抜かれる。その後、試料ホルダーが交換されて、ホルダーマウントに搭載される。
図41には、従来技術に係る別の試料ホルダー把持装置が示されている。従来技術に係る試料ホルダー把持装置700は、ベース部702と一対の可動ツメ704と引張バネ706とを含む。一対の可動ツメ704は、ベース部702に取り付けられ、支点708を回転軸として回転する部材である。引張バネ706は、可動ツメ704が閉じる方向に力を加える。また、試料ホルダー把持装置700は、操作シャフト710を含む。操作シャフト710は、試料ホルダー把持装置700を搬送する搬送機構とベース部702とに接続され、一対の可動ツメ704の開閉を操作する部材である。操作シャフト710に二面加工部712が設けられており、二面加工部712の幅の違いによって、一対の可動ツメ704が開閉される。
以下、図42から図46を参照して、試料ホルダー把持装置700の動作について説明する。図42から図46には、試料ホルダー把持装置700、試料ホルダー800及びホルダーマウント810が示されている。
試料ホルダー800は、把持される部分であるホルダーベース802と、ホルダーベース802の上部に設けられて、ホルダーベース802の周囲に鍔状に突出する試料収納部804と、を含む。図42から図46には、試料収納部804は、破線で示されている。
ホルダーマウント810は、ベース部812と、一対の可動ツメ814と、引張バネ816とを含む。一対の可動ツメ814は、回転可能な状態でベース部812に取り付けられている。一対の可動ツメ814は、引張バネ816に連結されており、引張バネ816による力によって互いに引き寄せられて、試料ホルダー800を把持する。
ホルダーマウント810は、荷電粒子線装置の試料室(試料の観察や測定等が行われる空間)内に配置される。ホルダーベース802が、一対の可動ツメ814の間に配置されることで、ホルダーベース802が一対の可動ツメ814によって把持される。その状態では、試料の観察や測定等が行われる。
ホルダーマウント810に搭載された試料ホルダー800を交換する場合、図42に示すように、まず、作業者が操作シャフト710を回転させることで、一対の可動ツメ704を開いた状態にする。その状態で、試料ホルダー把持装置700が、搬送機構によって試料ホルダー800に向けて移動させられて試料ホルダー800に近づけられる。
図43に示すように、試料ホルダー把持装置700が試料ホルダー800に近づくと、一対の可動ツメ704がホルダーベース802に接触する。
図44に示すように、試料ホルダー把持装置700が更に試料ホルダー800に向けて移動させられると、ホルダーベース802が一対の可動ツメ704の間に挿入され、一対の可動ツメ704は、ホルダーベース802の側面に沿って外側に広がる。
図45に示すように、試料ホルダー把持装置700が更に試料ホルダー800に向けて移動させられると、ベース部702がホルダーベース802の側面に接触する。
次に、作業者が操作シャフト710を回転させることで、図46に示すように、一対の可動ツメ704を閉じる。これにより、試料ホルダー800が、一対の可動ツメ704によって把持される。
一対の可動ツメ704が試料ホルダー800を把持した状態で、試料ホルダー把持装置700が、搬送機構によってホルダーマウント810から離れる方向へ移動させられると、試料ホルダー800は、ホルダーマウント810から引き抜かれる。その後、試料ホルダーが交換されて、ホルダーマウント810に搭載される。
工作機械に使用される工具交換装置に関して、特許文献1には、略L字状の形状を有する押圧部材であって、クサビ状のロック用爪からなる一端を有する押圧部材が記載されている。その押圧部材とローラーとによって工具を把持して工具が交換される。
特許文献2には、交換アームを旋回させることで、ホルダーを交換する機構が記載されている。
図40に示されている試料ホルダー把持装置600では、ホルダーマウント810の保持力(つまり引張バネ816の力)が、試料ホルダー把持装置600の引張バネ606の保持力よりも強い場合がある。この場合、ホルダーマウント810から試料ホルダー800を引き抜くときに、引張バネ606の保持力がホルダーマウント810の保持力に負けてしまい、試料ホルダー800がホルダーマウント810から抜けないことがあり得る。
図41に示されている試料ホルダー把持装置700では、ホルダーマウント810から試料ホルダー800を引き抜くときに可動ツメ704が開いてしまい、試料ホルダー800がホルダーマウント810から抜けないことがあり得る。
また、試料ホルダー把持装置700では、試料ホルダー800を把持するときや、その把持する力を弱めるときに、作業者が操作シャフト710を回転させる必要がある。
また、試料ホルダー把持装置600,700では、試料ホルダー800をホルダーマウント810に挿し込むときに、ベース部602,702が直接押し込まれるため、部品の寸法誤差や機構の位置誤差を吸収することができない。
本発明の目的は、試料ホルダーを把持するための操作を必要とせずに、試料ホルダーを把持してホルダーマウントから引き抜くことにある。
本発明の1つの態様は、荷電粒子線装置に搭載された試料ホルダーを交換するときに前記試料ホルダーを把持する試料ホルダー把持装置において、全体として折れ曲がった略L字状の形状を有する固定ツメと、前記固定ツメの折れ曲がった部分に対向して配置された可動ツメと、前記可動ツメを前記固定ツメの方向に押圧する圧縮バネと、前記可動ツメの先端に設けられて前記試料ホルダーとの摩擦を軽減するためのローラーと、を含み、前記固定ツメと前記可動ツメとの間に前記試料ホルダーが挿入され、前記圧縮バネによる力が加えられた前記可動ツメと前記固定ツメとよって前記試料ホルダーが把持される、ことを特徴とする試料ホルダー把持装置である。
上記の構成によれば、固定ツメと可動ツメとの間に試料ホルダーが挿入されると、可動ツメは、固定ツメから離れる方向へ広がると共に、圧縮バネから力を受ける。固定ツメに向かう方向に作用する力が、圧縮バネから可動ツメに加えられることで、固定ツメと可動ツメとによって試料ホルダーが把持される。このように、試料ホルダーを把持するための操作を行わなくても、試料ホルダーが試料ホルダー把持装置によって把持して、試料ホルダーが搭載されているホルダーマウントから試料ホルダーを引き抜くことができる。
例えば、前記荷電粒子線装置に設けられたホルダーマウントに搭載された前記試料ホルダーを前記固定ツメと前記可動ツメとの間に挿入する方向と、前記固定ツメと前記可動ツメとによって把持された前記試料ホルダーを前記ホルダーマウントから引き抜く方向と、が異なる。
前記固定ツメと前記可動ツメは、3箇所で前記試料ホルダーを支持することで前記試料ホルダーを把持してもよい。
試料ホルダー把持装置は、前記固定ツメと前記可動ツメとによって把持された前記試料ホルダーを、前記荷電粒子線装置に設けられたホルダーマウントに搭載するときに、前記試料ホルダーの位置誤差を吸収するための緩衝部材を更に含んでもよい。
本発明の1つの態様は、荷電粒子線装置に搭載された試料ホルダーを交換する試料ホルダー交換装置において、仕切弁によって仕切られた予備室と試料室との間を移動する交換アームと、前記交換アームに設置された複数の試料ホルダー把持装置と、を含み、前記予備室では、1又は複数の試料ホルダーが保管され、前記試料室では、前記試料ホルダーに収容された試料が観察され、前記試料ホルダー把持装置は、全体として折れ曲がった略L字状の固定ツメと、前記固定ツメの折れ曲がった部分に対向して配置された可動ツメと、前記可動ツメを前記固定ツメの方向に押圧する圧縮バネと、前記可動ツメの先端に設けられて前記試料ホルダーとの摩擦を軽減するためのローラーと、を含み、前記試料室内にてホルダーマウントに搭載された前記試料ホルダーが、前記固定ツメと前記可動ツメとの間に挿入され、前記圧縮バネによる力が加えられた前記可動ツメと前記固定ツメとよって前記試料ホルダーが把持され、前記交換アームによって、前記試料室内にて前記試料ホルダー把持装置によって把持された前記試料ホルダーが、前記試料室から前記予備室へ搬送される、ことを特徴とする試料ホルダー交換装置である。
前記交換アームは、前記予備室内及び前記試料室内のそれぞれにて回転可能な部材であり、前記交換アームの両端に試料ホルダー把持装置が設けられ、前記予備室及び前記試料室のそれぞれにて前記交換アームが回転することで、前記ホルダーマウントに搭載された前記試料ホルダーが、前記交換アームの一方端に設けられた試料ホルダー把持装置によって把持されて前記予備室内に搬送され、前記予備室内に設けられた別の試料ホルダーが、前記交換アームの他方端に設けられた試料ホルダー把持装置によって把持されて、前記試料室内に搬送されて前記ホルダーマウントに搭載されてもよい。
本発明の1つの態様は、荷電粒子線装置に搭載された試料ホルダーを交換する試料ホルダー交換方法において、上記の試料ホルダー把持装置を、前記試料ホルダーが搭載されたホルダーマウントに対して第1方向から近づけることで、前記試料ホルダー把持装置によって前記試料ホルダーを把持し、前記試料ホルダーを把持した前記試料ホルダー把持装置を、前記ホルダーマウントから離れる第2方向であって前記第1方向とは異なる第2方向に移動させることで、前記ホルダーマウントから前記試料ホルダーを引き抜く、ことを特徴とする試料ホルダー交換方法である。
本発明によれば、試料ホルダーを把持するための操作を必要とせずに、試料ホルダーを把持してホルダーマウントから引き抜くことができる。
<試料ホルダー把持装置>
(第1実施形態)
以下、図1から図4を参照して、第1実施形態に係る試料ホルダー把持装置10について説明する。図1は、第1実施形態の全体の構成を示す斜視図である。図1には、第1実施形態に係る試料ホルダー把持装置10と、試料ホルダー30と、ホルダーマウント40とが示されている。図2は、試料ホルダー把持装置10を示す斜視図である。図3は、試料ホルダー30を示す斜視図である。図4は、ホルダーマウント40を示す斜視図である。
(第1実施形態)
以下、図1から図4を参照して、第1実施形態に係る試料ホルダー把持装置10について説明する。図1は、第1実施形態の全体の構成を示す斜視図である。図1には、第1実施形態に係る試料ホルダー把持装置10と、試料ホルダー30と、ホルダーマウント40とが示されている。図2は、試料ホルダー把持装置10を示す斜視図である。図3は、試料ホルダー30を示す斜視図である。図4は、ホルダーマウント40を示す斜視図である。
ホルダーマウント40は、例えば、電子顕微鏡等の荷電粒子線装置の試料室内に設置されている。試料室では、試料の観察や測定等が行われる。試料は試料ホルダー30に収容される。試料ホルダー30は、ホルダーマウント40に搭載される。試料ホルダー把持装置10は、ホルダーマウント40に搭載された試料ホルダー30を交換するために用いられる。
図1に示すように、互いに直交するX軸とY軸とが定められている。X軸方向とY軸方向は、試料ホルダー把持装置10の移動方向である。
X軸方向は、試料ホルダー把持装置10に対する試料ホルダー30の着脱方向に相当する。具体的には、(X+)方向は、試料ホルダー把持装置10が試料ホルダー30を把持するときの試料ホルダー把持装置10の移動方向である。(X-)方向は、試料ホルダー把持装置10から試料ホルダー30を抜き取るときの試料ホルダー把持装置10の移動方向である。
Y軸方向は、ホルダーマウント40に対する試料ホルダー30の着脱方向に相当する。具体的には、(Y+)方向は、ホルダーマウント40に試料ホルダー30を挿し込むときの試料ホルダー把持装置10の移動方向である。(Y-)方向は、ホルダーマウント40から試料ホルダー30を引き抜くときの試料ホルダー把持装置10の移動方向である。
試料ホルダー把持装置10は、ベース部12と、固定ツメ14と、可動ツメ16と、圧縮バネ18と、を含む。
ベース部12は、図示しない搬送機構に接続される部材である。搬送機構は、試料ホルダー把持装置10を移動させる装置である。
固定ツメ14は、全体として折れ曲がった略L字状の形状を有し、ベース部12に取り付けられている。具体的には、固定ツメ14は、固定ツメ要素14a,14bを含む。固定ツメ要素14aは、 その一端がベース部12に取り付けられてベース部12から延在する棒状の部材である。図1に示す例では、固定ツメ要素14aは、Y軸方向に延在している。固定ツメ要素14bは、固定ツメ要素14aと交差するように(例えば固定ツメ要素14aと直交するように)固定ツメ要素14aに取り付けられている。図1に示す例では、固定ツメ要素14bは、X軸方向に延在している。固定ツメ要素14a,14bによって、全体として略L字状に折れ曲がった形状が実現される。
可動ツメ16は、固定ツメ要素14aに取り付けられた棒状の部材であって、固定ツメ14の折れ曲がった部分(つまり固定ツメ要素14b)に対向して配置された部材である。可動ツメ16は、その一端が取り付けられている箇所から、固定ツメ要素14bが延在する方向(X軸方向)に沿って、延在している。
圧縮バネ18は、ベース部12と可動ツメ16との間に配置されて、可動ツメ16を固定ツメ14の方向(Y軸方向)に押圧する。可動ツメ16の一端(つまり、固定ツメ要素14aに取り付けられている部分)に支点20が形成されており、可動ツメ16は、支点20を回転軸として回転可能な部材である。例えば、可動ツメ16は、圧縮バネ18の力によって、支点20を回転軸として回転する。
可動ツメ16の他端(つまり、固定ツメ要素14aに取り付けられている部分とは反対側の部分)に、ローラー22が取り付けられている。ローラー22は、試料ホルダー30に接触して回転する部材である。
試料ホルダー把持装置10は、更に、可動域制限部材24を含む。可動域制限部材24は、可動ツメ16の回転を制限する部材である。可動域制限部材24は棒状の部材であり、可動域制限部材24の一端はベース部12に取り付けられている。可動域制限部材24は、可動ツメ16を跨いで、ベース部12から固定ツメ要素14bに向けて延在して設けられている。可動域制限部材24の他端(つまり、ベース部12に取り付けられている部分とは反対側の部分)が、折れ曲がった形状を有している。可動ツメ16が支点20を回転軸として回転した場合において、その回転の角度が、ある角度になると、可動ツメ16は、可動域制限部材24の折れ曲がった部分に接触する。これにより、可動ツメ16がその角度以上に回転しないように、可動ツメ16の回転が制限される。
可動域制限部材24の他端には、緩衝部材26が設けられている。緩衝部材26は、ゴム等の弾性体によって構成されている。試料ホルダー30をホルダーマウント40に挿し込むときに、緩衝部材26が試料ホルダー30に接触して潰れることで、部品の寸法誤差や位置誤差が吸収される。
図1及び図3に示すように、試料ホルダー30は、把持される部分であるホルダーベース32と、ホルダーベース32の上部に設けられて、ホルダーベース32の周囲に鍔状に突出する試料収納部34と、を含む。図1及び図3には、試料収納部34は、破線で示されている。ホルダーベース32は、上面、下面及び側面を有し、上面に試料収納部34が設けられている。側面には、平坦な部分が形成されている。試料は、試料収納部34に収納される。図1に示すように、固定ツメ14と可動ツメ16との間に試料ホルダー30が挿入されると、固定ツメ14と可動ツメ16がホルダーベース32の側面に接触して、ホルダーベース32を両側から挟みこむ。これにより、試料ホルダー30が、固定ツメ14と可動ツメ16とによって把持される。
図1及び図4に示すように、ホルダーマウント40は、ベース部42と、一対の可動ツメ44と、引張バネ46とを含む。一対の可動ツメ44は、支点48を回転軸として回転可能な状態でベース部42に取り付けられている。一対の可動ツメ44は、引張バネ46に連結されており、引張バネ46による力によって互いに引き寄せられて、試料ホルダー30を把持する。つまり、一対の可動ツメ44の間に試料ホルダー30が配置されると、一対の可動ツメ44は、ホルダーベース32の側面に接触して、ホルダーベース32を両側から挟み込む。これにより、試料ホルダー30が一対の可動ツメ44によって把持される。
図4には、方向Aが示されている。具体的には、ホルダーマウント40から試料ホルダー30を引き抜くときの方向(A-)と、ホルダーマウント40に試料ホルダー30を挿し込むときの方向(A+)と、が示されている。なお、(A+)方向は(Y+)方向に一致し、(A-)方向は(Y-)方向に一致する。
図1に示すように、固定ツメ14と可動ツメ16とによって囲まれていない部分がX軸方向に開放しており、その開放した部分を介して、試料ホルダー30が試料ホルダー把持装置10に着脱される。また、ホルダーマウント40においては、一対の可動ツメ44の間がY軸方向に開放しており、その開放した部分を介して、試料ホルダー30がホルダーマウント40に着脱される。
以下、図5から図10を参照して、ホルダーマウント40から試料ホルダー30を引き抜くときの試料ホルダー把持装置10の動作について説明する。図5から図10は、試料ホルダー把持装置10とホルダーマウント40を上方から見たときの図である。図5から図10において、試料収納部34は、破線で示されている。
図5に示すように、ホルダーベース32が一対の可動ツメ44によって把持されて、試料ホルダー30がホルダーマウント40に搭載されている。
まず、図5に示すように、試料ホルダー把持装置10が、図示しない搬送機構によって、(X+)方向に移動させられ、一方の可動ツメ44の側部側から試料ホルダー30に近づけられる。このときの(X+)方向が、第1方向の一例に相当する。
図6に示すように、試料ホルダー把持装置10が試料ホルダー30に近づくと、可動ツメ16の先端に設けられているローラー22が、ホルダーベース32の側面に接触する。なお、ホルダーベース32の下部が、ホルダーマウント40の一対の可動ツメ44によって把持されており、ホルダーベース32の上部の側面にローラー22が接触する。後述するように、ホルダーベース32の上部が、試料ホルダー把持装置10の固定ツメ14と可動ツメ16とによって把持される。つまり、ホルダーベース32は、ホルダーベース32の下部がホルダーマウント40の一対の可動ツメ44によって把持され、ホルダーベース32の上部が固定ツメ14と可動ツメ16とによって把持される程度の厚さを有する。
図7に示すように、試料ホルダー把持装置10が更に(X+)方向に移動させられると、ホルダーベース32が固定ツメ14と可動ツメ16との間に挿入され、ホルダーベース32の側面に沿ってローラー22が回転しながら、可動ツメ16が外側の方向(つまり、固定ツメ要素14bに向かう方向とは反対の方向)に広がる。
図8に示すように、試料ホルダー把持装置10が更に(X+)方向に移動させられると、試料ホルダー30は、固定ツメ14と可動ツメ16との間に完全に挿入される。ホルダーベース32の側面の四隅が斜めに形成されている。試料ホルダー30が固定ツメ14と可動ツメ16との間に完全に挿入されると、ローラー22がホルダーベース32の側面の角に位置し、可動ツメ16が、圧縮バネ18によって、固定ツメ要素14bに向かう方向に押し戻される。この段階では、図8に示すように、可動ツメ16のローラー22がホルダーベース32の側面に接触し(接点C1)、固定ツメ要素14bの一部がホルダーベース32の側面に接触する(接点C2)。つまり、この段階では、ホルダーベース32は、固定ツメ14と可動ツメ16とによって2点で支持されている。
次に、図9に示すように、試料ホルダー把持装置10は、搬送機構によって(Y-)方向に移動させられる。つまり、試料ホルダー把持装置10は、一対の可動ツメ44の間にて開放している方向に移動させられる。これにより、固定ツメ要素14bがホルダーベース32の側面に接触する(接点C3)。その結果、ホルダーベース32は、固定ツメ14と可動ツメ16とによって3点で支持される。このときの(Y-)方向が、第2方向の一例に相当する。
図10に示すように、試料ホルダー把持装置10が更に(Y-)方向に移動させられると、可動ツメ16が、圧縮バネ18によって固定ツメ要素14bに向けて押され、その押圧によって、ホルダーベース32が固定ツメ要素14bに押し付けられる。その結果、試料ホルダー30が、固定ツメ14と可動ツメ16とによって把持される。この状態で、試料ホルダー30が、ホルダーマウント40から引き抜かれる。この段階では、ホルダーベース32は、固定ツメ14と可動ツメ16とによって3点で支持される。また、試料収納部34によって、試料ホルダー30全体が下方から支持される。
以下、図11から図13を参照して、ホルダーマウント40に試料ホルダー30を挿し込むときの試料ホルダー把持装置10の動作について説明する。図11から図13は、試料ホルダー把持装置10とホルダーマウント40を上方から見たときの図である。図11から図13において、試料収納部34は、破線で示されている。
図11に示すように、試料ホルダー30が、試料ホルダー把持装置10によって把持されている。この状態で、試料ホルダー把持装置10が、図示しない搬送機構によって(Y+)方向に移動させられ、ホルダーマウント40の一対の可動ツメ44の間の空間に近づけられる。
図12に示すように、ホルダーベース32の側面が一対の可動ツメ44の先端に接触し、試料ホルダー把持装置10が更に(Y+)方向に移動させられると、ホルダーベース32が一対の可動ツメ44によって(Y-)方向に押される。その結果、ホルダーベース32の側面(一対の可動ツメ44が接触している側面とは反対側の側面)が、緩衝部材26の先端に接触する。図12には、その接触点C4が示されている。
試料ホルダー把持装置10が更に(Y+)方向に移動させられると、図13に示すように、試料ホルダー30は、緩衝部材26によって(Y+)方向に押されながら(接触点C4参照)、一対の可動ツメ44の間に挿し込まれる。つまり、試料ホルダー30が(Y+)方向に押されると、一対の可動ツメ44はそれぞれ外側に開き、試料ホルダー30は、一対の可動ツメ44によって挟まれて把持される。このとき、緩衝部材26が、部品の寸法誤差や位置誤差を吸収する。
以上のように、第1実施形態では、試料ホルダー把持装置10に対する試料ホルダー30の着脱方向(つまりX軸方向)と、ホルダーマウント40に対する試料ホルダー30の着脱方向(つまり、試料ホルダー30を引き抜くときの方向((Y-)方向)と、試料ホルダー30を挿し込むときの方向((Y+)方向))と、が異なる。これにより、可動ツメ16を開閉するための操作を行わずに、試料ホルダー30を試料ホルダー把持装置10によって把持した状態で、試料ホルダー30をホルダーマウント40から引き抜くことができる。また、試料ホルダー把持装置10の固定ツメ14と可動ツメ16とによる保持力と、ホルダーマウント40の一対の可動ツメ44の保持力と、の大小関係に関わらず、試料ホルダー30をホルダーマウント40から引き抜くことができる。つまり、試料ホルダー30が、固定ツメ14によって、試料ホルダー30を引き抜く方向((Y-)方向)に押されるので、従来技術と比べて、より確実に試料ホルダー30をホルダーマウント40から引き抜くことができる。
また、試料ホルダー30をホルダーマウント40に挿し込むときに、緩衝部材26がホルダーベース32の側面に接触することで、部品の寸法誤差や位置誤差が吸収される。そのため、従来技術と比べて、より確実に試料ホルダー30をホルダーマウント40に挿し込むことができる。寸法誤差や位置誤差が吸収されるので、部品毎や装置毎の厳密な位置調整が不要となる。
(第2実施形態)
以下、図14を参照して、第2実施形態に係る試料ホルダー把持装置10について説明する。図14は、第2実施形態の全体の構成を示す斜視図である。図14には、第2実施形態に係る試料ホルダー把持装置10と、試料ホルダー30と、ホルダーマウント40とが示されている。
以下、図14を参照して、第2実施形態に係る試料ホルダー把持装置10について説明する。図14は、第2実施形態の全体の構成を示す斜視図である。図14には、第2実施形態に係る試料ホルダー把持装置10と、試料ホルダー30と、ホルダーマウント40とが示されている。
第2実施形態に係る試料ホルダー把持装置10は、第1実施形態に係る試料ホルダー把持装置10と同じ構成を有するが、第2実施形態に試料ホルダー把持装置10の移動方向が、第1実施形態に係る試料ホルダー把持装置10の移動方向と異なる。
第1実施形態では、試料ホルダー把持装置10は、X軸方向に直線的に移動させられるが、第2実施形態では、試料ホルダー把持装置10は、R軸を回転軸として(R+)方向又は(R-)方向に回転させられる。X軸とY軸とによって形成される平面に直交する軸であり、ベース部12に直交する軸である。
以下、図15から図18を参照して、ホルダーマウント40から試料ホルダー30を引き抜くときの試料ホルダー把持装置10の動作について説明する。図15から図18は、試料ホルダー把持装置10とホルダーマウント40を上方から見たときの図である。図15から図18において、試料収納部34は、破線で示されている。
まず、図15に示すように、試料ホルダー把持装置10が、図示しない搬送機構によって(R+)方向に回転させられ、一方の可動ツメ44の側部側から試料ホルダー30に近づけられる。このときの(R+)方向が、第1方向の一例に相当する。
図16に示すように、試料ホルダー把持装置10が試料ホルダー30に近づくと、可動ツメ16の先端に設けられているローラー22が、ホルダーベース32の側面に接触する。
図17に示すように、試料ホルダー把持装置10が更に(R+)方向に回転させられると、ホルダーベース32が固定ツメ14と可動ツメ16との間に挿入され、ホルダーベース32の側面に沿ってローラー22が回転しながら、可動ツメ16が外側の方向(つまり、固定ツメ要素14bに向かう方向とは反対の方向)に広がる。
図18に示すように、試料ホルダー把持装置10が更に(R+)方向に回転させられると、試料ホルダー30は、固定ツメ14と可動ツメ16との間に完全に挿入される。このとき、第1実施形態と同様に、可動ツメ16が、圧縮バネ18によって、固定ツメ要素14bに向かう方向に押し戻される。
それ以降の動作は、第1実施形態に係る動作と同じである。つまり、図9及び図10に示すように、試料ホルダー把持装置10は、搬送機構によって(Y-)方向に移動させられる。これにより、試料ホルダー30が、固定ツメ14と可動ツメ16とによって把持された状態で、ホルダーマウント40から引き抜かれる。
また、ホルダーマウント40に試料ホルダー30を挿し込むときは、図11から図13を参照して説明したように、試料ホルダー把持装置10が(Y+)方向に移動させられる。これにより、試料ホルダー把持装置10に把持されていた試料ホルダー30が、ホルダーマウント40の一対の可動ツメ44の間に挿し込まれ、一対の可動ツメ44によって把持される。その後、試料ホルダー把持装置10は、搬送機構によって、ホルダーマウント40から離れる方向(つまり(R-)方向)に回転させられる。これにより、試料ホルダー30は、試料ホルダー把持装置10から引き抜かれて、ホルダーマウント40によって把持される。
以上のように、第2実施形態では、試料ホルダー把持装置10に対する試料ホルダー30の着脱方向(つまり、(R+)方向と(R-)方向)と、ホルダーマウント40に対する試料ホルダー30の着脱方向(つまり、Y軸方向)と、が異なる。これにより、第1実施形態と同様に、可動ツメ16を開閉するための操作を行わずに、試料ホルダー30をホルダーマウント40から引き抜くことができる。また、試料ホルダー把持装置10の固定ツメ14と可動ツメ16とによる保持力と、ホルダーマウント40の一対の可動ツメ44の保持力と、の大小関係に関わらず、試料ホルダー30をホルダーマウント40から引き抜くことができる。また、第1実施形態と同様に、緩衝部材26による効果も得られる。
以下、図19を参照して、3点で試料ホルダー30を支持する構成について説明する。図19は、試料ホルダー把持装置10と試料ホルダー30を上方から見たときの図である。
試料ホルダー30が固定ツメ14と可動ツメ16とによって把持されている状態では、ローラー22が、接点C1にてホルダーベース32の側面に接触し、固定ツメ14が接点C2,C3にてホルダーベース32の側面に接触する。接点C2は、固定ツメ14とホルダーベース32の側面との間に形成され、接点C3は、固定ツメ14の折れ曲がった部分とホルダーベース32の側面との間に形成される。接点C1は、可動ツメ16の先端に設けられているローラー22とホルダーベース32の側面との間に形成される。接点C1は、ホルダーベース32を間にして、接点C2,C3に対向する位置に形成される。
圧縮バネ18によって可動ツメ16が固定ツメ14に向けて押されるため、接点C1では、接点C2,C3の間に向けて力Pが加えられる。そのため、安定して試料ホルダー30を把持することができる。
<試料ホルダー交換装置>
(第3実施形態)
以下、図20及び図21を参照して、第3実施形態に係る試料ホルダー交換装置100について説明する。図20は、試料ホルダー交換装置100を上方から見たときの図である。図21は、試料ホルダー交換装置100を側方から見たときの図である。
(第3実施形態)
以下、図20及び図21を参照して、第3実施形態に係る試料ホルダー交換装置100について説明する。図20は、試料ホルダー交換装置100を上方から見たときの図である。図21は、試料ホルダー交換装置100を側方から見たときの図である。
試料ホルダー交換装置100は、荷電粒子線装置に搭載された試料ホルダーを交換する装置である。試料ホルダー交換装置100は、上述した試料ホルダー把持装置10を含み、試料室102と予備室104との間で試料ホルダー30を交換する装置である。試料室102の内部及び予備室104の内部は、真空ポンプ等によって真空(例えば高真空)に維持される。
試料室102内には、上述したホルダーマウント40が設置されている。ホルダーマウント40に試料ホルダー30が搭載されて、試料室102にて、試料ホルダー30に収容された試料の観察や測定等が行われる。
予備室104内には、1又は複数の試料ホルダー30が保管される。例えば、予備室104内に保管されている試料ホルダー30が、試料室102に搬送されたり、試料室102内に設置された試料ホルダー30が、予備室104に搬送されて保管されたりする。
試料室102と予備室104とは、仕切弁の一例であるアイソレーションバルブ106によって仕切られている。試料室102にて試料の観測や測定等が行われる場合、アイソレーションバルブ106は閉じた状態となり、試料ホルダー30が交換される場合、アイソレーションバルブ106は開いた状態となる。
試料ホルダー交換装置100は、交換アーム108、回転方向変換装置110、直動ガイド軸112、回転伝達軸114、ガイドブッシュ116、直動用モーター118、回転用モーター120、直動機構122、ホルダー設置部124及びエアロックバルブ126を含む。
交換アーム108は、試料室102と予備室104との間を移動する部材である。また、交換アーム108は、軸108aを回転軸として、(R+)方向又は(R-)方向に回転可能な部材である。
交換アーム108は、複数の試料ホルダー把持装置10を含む。例えば、交換アーム108は、2つの試料ホルダー把持装置10(試料ホルダー把持装置10A,10B)を含む。試料ホルダー把持装置10Aは、交換アーム108の一方端に設けられ、試料ホルダー把持装置10Bは、交換アーム108の他方端に設けられている。試料ホルダー把持装置10A,10Bは、上述した試料ホルダー把持装置10と同じ構成を有する。ここでは、一方端に設けられた試料ホルダー把持装置10と他方端に設けられた試料ホルダー把持装置10とを区別するために、一方端に設けられた試料ホルダー把持装置10を「試料ホルダー把持装置10A」と称し、他方端に設けられた試料ホルダー把持装置10を「試料ホルダー把持装置10B」と称している。
試料ホルダー把持装置10A,10Bは、逆向きに設置されている。例えば、試料ホルダー把持装置10Aにおいて固定ツメ14と可動ツメ16との間に形成される開口部分が、試料室102を向いているときに、試料ホルダー把持装置10Bにおいて固定ツメ14と可動ツメ16との間に形成される開口部分が、予備室104を向くように、試料ホルダー把持装置10A,10Bが設置される。交換アーム108の回転方向(例えば(R+)方向)を基準にすると、試料ホルダー把持装置10A,10Bのそれぞれの開口部分の向きは、同じ向き(例えば(R+)方向)である。
交換アーム108を直動及び回転させる機構として、回転方向変換装置110、直動ガイド軸112、回転伝達軸114、ガイドブッシュ116、直動用モーター118、回転用モーター120及び直動機構122が用いられる。直動用モーター118と回転用モーター120は、大気側に設けられている。また、直動ガイド軸112及び回転伝達軸114は真空シールが施されており、予備室104内の真空が維持されている。
交換アーム108を直動させる機構として、2本の直動ガイド軸112、ガイドブッシュ116、直動用モーター118及び直動機構122が用いられる。2本の直動ガイド軸112のそれぞれの一方端は、回転方向変換装置110に接続されている。2本の直動ガイド軸112は、交換アーム108の直動をガイドする部材である。直動機構122は、直動用モーター118に接続され、直動用モーター118による駆動力を交換アーム108に伝達することで、交換アーム108を直線的に移動させる。これにより、交換アーム108は、Y軸に沿って移動させられる。具体的には、交換アーム108は、予備室104から試料室102に向けて(つまり(Y+)方向へ)、又は、試料室102から予備室104に向けて(つまり(Y-)方向へ)移動させられる。
交換アーム108を回転させる機構として、回転方向変換装置110、1本の回転伝達軸114及び回転用モーター120が用いられる。回転方向変換装置110は、交換アーム108の下部に設けられ、交換アーム108の回転方向を変える装置である。回転伝達軸114の一方端は、回転用モーター120に接続されており、他方端は、回転方向変換装置110に接続されている。回転伝達軸114は、回転用モーター120の駆動力を回転方向変換装置110に伝達する部材である。回転用モーター120による駆動力が、回転伝達軸114を介して回転方向変換装置110に伝達され、回転方向変換装置110は、回転用モーター120からの駆動力によって交換アーム108を、軸108aを回転軸として回転させる。
また、予備室104には、ホルダー設置部124が設けられている。ホルダー設置部124には、試料ホルダー30が設けられる。例えば、これから交換される試料ホルダー30や、交換済みの試料ホルダー30が、ホルダー設置部124に設けられる。
エアロックバルブ126は、予備室104と大気側の空間とを仕切るバルブである。
図20及び図21に示す例では、ホルダーマウント40に試料ホルダー30Aが搭載されており、ホルダー設置部124に試料ホルダー30Bが設けられている。試料ホルダー30A,30Bは、上述した試料ホルダー30と同じ構成を有する。試料収納部34は、破線で示されている。
以下、図22から図37を参照して、試料ホルダー交換装置100の動作について説明する。図22から図37は、試料ホルダー交換装置100を上方から見たときの図である。図22から図37では、アイソレーションバルブ106の図示は省略されている。
図22に示すように、ホルダーマウント40に試料ホルダー30Aが搭載されており、ホルダー設置部124に試料ホルダー30Bが設けられている。以下では、試料ホルダー30Aをホルダーマウント40から回収してホルダー設置部124に設け、試料ホルダー30Bをホルダーマウント40に搭載するときの、試料ホルダー交換装置100の動作について説明する。
図23に示すように、直動用モーター118による駆動力によって、交換アーム108が、(Y+)方向に移動させられ、ホルダーマウント40に近づけられる。
次に、図24に示すように、回転用モーター120による駆動力によって、交換アーム108が、(R+)方向に回転させられ、試料ホルダー把持装置10Aによって、ホルダーマウント40に搭載されている試料ホルダー30Aが把持される。このときの試料ホルダー把持装置10Aの動作は、上述した第2実施形態に係る動作と同じある。つまり、試料ホルダー把持装置10Aを回転させることで、試料ホルダー30Aが試料ホルダー把持装置10Aによって把持される。交換アーム108が(R+)方向に回転したときに試料ホルダー把持装置10Aが試料ホルダー30Aを把持するように、Y軸上での交換アーム108の位置が調整される。つまり、試料ホルダー把持装置10Aが試料ホルダー30Aを把持することができる位置まで、交換アーム108がY軸に沿って(Y+)方向に移動させられる(図23参照)。
次に、図25に示すように、直動用モーター118による駆動力によって、交換アーム108が、ホルダーマウント40から離れる方向(つまり(Y-)方向)に移動させられる。このとき、交換アーム108は、交換アーム108が回転可能な位置まで移動させられる。
次に、図26に示すように、回転用モーター120による駆動力によって、交換アーム108が、(R-)方向に90°回転させられる。
次に、図27に示すように、直動用モーター118による駆動力によって、交換アーム108が、ホルダーマウント40から更に離れる方向(つまり(Y-)方向)に移動させられ、ホルダー設置部124に近づけられる。
次に、図28に示すように、回転用モーター120による駆動力によって、交換アーム108が、(R+)方向に回転させられ、試料ホルダー把持装置10Bによって、ホルダー設置部124に設けられている試料ホルダー30Bが把持される。このときの試料ホルダー把持装置10Bの動作は、上述した第2実施形態に係る動作と同じである。交換アーム108が(R+)方向に回転したときに試料ホルダー把持装置10Bが試料ホルダー30Bを把持するように、Y軸上での交換アーム108の位置が調整される。つまり、試料ホルダー把持装置10Bが試料ホルダー30Bを把持することができる位置まで、交換アーム108がY軸に沿って(Y-)方向に移動させられる(図27参照)。
次に、図29に示すように、直動用モーター118による駆動力によって、交換アーム108が、(Y+)方向に移動させられ、ホルダーマウント40に近づけられる。このとき、交換アーム108は、交換アーム108が回転可能な位置まで移動させられる。
次に、図30に示すように、回転用モーター120による駆動力によって、交換アーム108が、反転させられる。つまり、交換アーム108は、(R+)方向又は(R-)方向に180°回転させられる。これにより、試料ホルダー30Bがホルダーマウント40側に配置され、試料ホルダー30Aがホルダー設置部124側に配置される。
次に、図31に示すように、直動用モーター118による駆動力によって、交換アーム108が、ホルダー設置部124に向けて(つまり(Y-)方向に)移動させられる。これにより、試料ホルダー把持装置10Aが把持する試料ホルダー30Aが、ホルダー設置部124に設置される。
次に、図32に示すように、回転用モーター120による駆動力によって、交換アーム108が、(R-)方向に90°回転させられる。これにより、試料ホルダー把持装置10Aは、試料ホルダー30Aを離す。
次に、図33に示すように、直動用モーター118による駆動力によって、交換アーム108が、(Y+)方向に移動させられ、ホルダーマウント40に近づけられる。このとき、交換アーム108は、交換アーム108が回転可能な位置まで移動させられる。
次に、図34に示すように、回転用モーター120による駆動力によって、試料ホルダー30Bがホルダーマウント40に搭載可能な位置まで、交換アーム108が回転させられる。例えば、交換アーム108は、(R+)方向に90°、又は、(R-)方向に270°回転させられる。
次に、図35に示すように、直動用モーター118による駆動力によって、交換アーム108が、ホルダーマウント40に向けて(つまり(Y+)方向に)移動させられる。これにより、試料ホルダー把持装置10Bが把持する試料ホルダー30Bが、ホルダーマウント40に搭載される。この搭載に係る動作は、図11から図13に示されている動作が同じである。
次に、図36に示すように、回転用モーター120による駆動力によって、交換アーム108が、(R-)方向に回転させられる。図36に示す例では、交換アーム108は、90°又はそれに近い角度に回転させられている。
次に、図37に示すように、直動用モーター118による駆動力によって、交換アーム108が、(Y-)方向に移動させられることで、試料室102から予備室104へ搬送される。
以上のようにして、試料室102内のホルダーマウント40に搭載されていた試料ホルダー30Aが、交換アーム108に設けられた試料ホルダー把持装置10Aによって把持されて、予備室104内のホルダー設置部124に設けられる。また、ホルダー設置部124に設けられていた試料ホルダー30Bが、交換アーム108に設けられた試料ホルダー把持装置10Bによって把持されて、ホルダーマウント40に搭載される。このようにして、試料ホルダー30A,30Bが交換される。
交換アーム108の両端に試料ホルダー把持装置10を設け、交換アーム108を試料室102内又は予備室104内にて回転させることで、試料ホルダー30を交換することができる。その結果、試料ホルダーの交換用の搬送機構や試料ホルダーの保管場所を別途設けずに、試料ホルダーを交換することができる。
(第4実施形態)
以下、図38を参照して、第4実施形態に係る試料ホルダー交換装置100Aについて説明する。図38は、試料ホルダー交換装置100Aを上方から見たときの図である。
以下、図38を参照して、第4実施形態に係る試料ホルダー交換装置100Aについて説明する。図38は、試料ホルダー交換装置100Aを上方から見たときの図である。
試料ホルダー交換装置100Aは、第3実施形態に係る試料ホルダー交換装置100と同様に、交換アーム108を含む。試料ホルダー交換装置100Aは、更に、回転テーブル140を含む。回転テーブル140は、予備室104内に設けられている。回転テーブル140は、軸140aを回転軸として回転する。回転テーブル140上には、複数のホルダー設置部142が並んで配置されている。各ホルダー設置部142には、試料ホルダー30が設けられる。
交換アーム108は、第3実施形態と同様に動作する。ホルダーマウント40に搭載される試料ホルダー30は、交換アーム108に設けられている試料ホルダー把持装置10(試料ホルダー把持装置10A又は試料ホルダー把持装置10B)よって把持され、回転テーブル140上のいずれかのホルダー設置部142に設けられる。また、回転テーブル140上のいずれかのホルダー設置部142に設けられている試料ホルダー30が、交換アーム108に設けられる試料ホルダー把持装置10(試料ホルダー把持装置10A又は試料ホルダー把持装置10B)によって把持され、ホルダーマウント40に搭載にされる。
回転テーブル140を回転させて、交換アーム108に対するホルダー設置部142の位置を変えることで、別の試料ホルダー30を交換することができる。図38に示す例では、6個のホルダー設置部142が回転テーブル140に設けられているため、6個の試料ホルダー30を回転テーブル140に載せて、試料ホルダー30を交換することができる。
(第5実施形態)
以下、図39を参照して、第5実施形態に係る試料ホルダー交換システムについて説明する。図39には、第5実施形態に係る試料ホルダー交換システムの構成が示されている。
以下、図39を参照して、第5実施形態に係る試料ホルダー交換システムについて説明する。図39には、第5実施形態に係る試料ホルダー交換システムの構成が示されている。
第5実施形態に係る試料ホルダー交換システムは、試料ホルダー交換装置100と、搬送機構150と、ホルダー保管装置152とを含む。試料ホルダー交換装置100の代わりに、試料ホルダー交換装置100Aが用いられてもよい。
搬送機構150は、ホルダー設置部124に設けられている試料ホルダー30を予備室104から取り出し、ホルダー保管装置152に搬送する。搬送された試料ホルダー30は、ホルダー保管装置152にて保管される。例えば、観察や測定等が終了した試料ホルダー30が、搬送機構150によってホルダー保管装置152に搬送されて、ホルダー保管装置152に保管される。
上述した各実施形態は、荷電粒子線装置に搭載された試料ホルダーの把持や交換に適用されるが、各実施形態は、荷電粒子線装置以外の装置に搭載された試料ホルダーの把持や交換に適用されてもよい。
10,10A 試料ホルダー把持装置、12 ベース部、14 固定ツメ、16 可動ツメ、18 圧縮バネ、20 支点、22 ローラー、24 可動域制限部材、26 緩衝部材、30,30A,30B 試料ホルダー、40 ホルダーマウント、100,100A 試料ホルダー交換装置、108 交換アーム。
Claims (7)
- 荷電粒子線装置に搭載された試料ホルダーを交換するときに前記試料ホルダーを把持する試料ホルダー把持装置において、
全体として折れ曲がった略L字状の形状を有する固定ツメと、
前記固定ツメの折れ曲がった部分に対向して配置された可動ツメと、
前記可動ツメを前記固定ツメの方向に押圧する圧縮バネと、
前記可動ツメの先端に設けられて前記試料ホルダーとの摩擦を軽減するためのローラーと、
を含み、
前記固定ツメと前記可動ツメとの間に前記試料ホルダーが挿入され、前記圧縮バネによる力が加えられた前記可動ツメと前記固定ツメとよって前記試料ホルダーが把持される、
ことを特徴とする試料ホルダー把持装置。 - 請求項1に記載の試料ホルダー把持装置において、
前記荷電粒子線装置に設けられたホルダーマウントに搭載された前記試料ホルダーを前記固定ツメと前記可動ツメとの間に挿入する方向と、前記固定ツメと前記可動ツメとによって把持された前記試料ホルダーを前記ホルダーマウントから引き抜く方向と、が異なる、
ことを特徴とする試料ホルダー把持装置。 - 請求項1又は請求項2に記載の試料ホルダー把持装置において、
前記固定ツメと前記可動ツメは、3箇所で前記試料ホルダーを支持することで前記試料ホルダーを把持する、
ことを特徴とする試料ホルダー把持装置。 - 請求項1又は請求項2に記載の試料ホルダー把持装置において、
前記固定ツメと前記可動ツメとによって把持された前記試料ホルダーを、前記荷電粒子線装置に設けられたホルダーマウントに搭載するときに、前記試料ホルダーの位置誤差を吸収するための緩衝部材を更に含む、
ことを特徴とする試料ホルダー把持装置。 - 荷電粒子線装置に搭載された試料ホルダーを交換する試料ホルダー交換装置において、
仕切弁によって仕切られた予備室と試料室との間を移動する交換アームと、
前記交換アームに設置された複数の試料ホルダー把持装置と、
を含み、
前記予備室では、1又は複数の試料ホルダーが保管され、
前記試料室では、前記試料ホルダーに収容された試料が観察され、
前記試料ホルダー把持装置は、
全体として折れ曲がった略L字状の固定ツメと、
前記固定ツメの折れ曲がった部分に対向して配置された可動ツメと、
前記可動ツメを前記固定ツメの方向に押圧する圧縮バネと、
前記可動ツメの先端に設けられて前記試料ホルダーとの摩擦を軽減するためのローラーと、
を含み、
前記試料室内にてホルダーマウントに搭載された前記試料ホルダーが、前記固定ツメと前記可動ツメとの間に挿入され、前記圧縮バネによる力が加えられた前記可動ツメと前記固定ツメとよって前記試料ホルダーが把持され、
前記交換アームによって、前記試料室内にて前記試料ホルダー把持装置によって把持された前記試料ホルダーが、前記試料室から前記予備室へ搬送される、
ことを特徴とする試料ホルダー交換装置。 - 請求項5に記載の試料ホルダー交換装置において、
前記交換アームは、前記予備室内及び前記試料室内のそれぞれにて回転可能な部材であり、
前記交換アームの両端に試料ホルダー把持装置が設けられ、
前記予備室及び前記試料室のそれぞれにて前記交換アームが回転することで、前記ホルダーマウントに搭載された前記試料ホルダーが、前記交換アームの一方端に設けられた試料ホルダー把持装置によって把持されて前記予備室内に搬送され、前記予備室内に設けられた別の試料ホルダーが、前記交換アームの他方端に設けられた試料ホルダー把持装置によって把持されて、前記試料室内に搬送されて前記ホルダーマウントに搭載される、
ことを特徴とする試料ホルダー交換装置。 - 荷電粒子線装置に搭載された試料ホルダーを交換する試料ホルダー交換方法において、
請求項1に記載の試料ホルダー把持装置を、前記試料ホルダーが搭載されたホルダーマウントに対して第1方向から近づけることで、前記試料ホルダー把持装置によって前記試料ホルダーを把持し、
前記試料ホルダーを把持した前記試料ホルダー把持装置を、前記ホルダーマウントから離れる第2方向であって前記第1方向とは異なる第2方向に移動させることで、前記ホルダーマウントから前記試料ホルダーを引き抜く、
ことを特徴とする試料ホルダー交換方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2022147388A JP2024042583A (ja) | 2022-09-15 | 2022-09-15 | 試料ホルダー把持装置、試料ホルダー交換装置、及び、試料ホルダー交換方法 |
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2022
- 2022-09-15 JP JP2022147388A patent/JP2024042583A/ja active Pending
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