JP2022160592A - 自動試料ハンドリング装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本非仮特許出願は、2017年5月11日に出願の米国仮特許出願第62/504,835号の優先権および利益を主張し、本開示は、その全体が引用により本明細書に組み込まれる。
例示的な実施形態は、概して、自動グリッドハンドリングシステムに関し、より詳細には、自動検査または撮像システムのための自動グリッドハンドリングシステムに関する。
Claims (25)
- 撮像システム用の自動試料ハンドリング装置であって、
前記撮像システムの多軸位置決めステージポートに取り外し可能に連結するように構成されたフレームと、
前記フレームに接続された搬送モジュールであって、前記搬送モジュールが、少なくとも1つのシャトルを含み、前記少なくとも1つのシャトルが、単一の動作の自由度を有する、搬送モジュールと、
前記少なくとも1つのシャトルに接続されたエンドエフェクタであって、前記エンドエフェクタが、試料を保持し、前記試料を、前記撮像システムの前記多軸位置決めステージポートの内部の多軸位置決めステージに連通可能に接続された搬送インタフェースを通して、前記撮像システムへとおよび前記撮像システムから搬送するように構成され、前記エンドエフェクタが、前記少なくとも1つのシャトルと前記撮像システムの前記多軸位置決めステージとの組み合わせによって画定された動作範囲を有し、前記動作範囲は、前記エンドエフェクタが前記撮像システムの検査ステージを部分的に画定するように、前記試料を検査位置に位置付けるために、前記撮像システムの外部の試料後退位置から前記撮像システムの内部の検査位置まで伸長する、エンドエフェクタと、
前記フレームに接続され、前記搬送モジュールに連通可能に接続された自動装填モジュールであって、前記自動装填モジュールが、装填ポートモジュールを含み、前記装填ポートモジュールを通って試料が前記自動装填モジュールおよび前記搬送モジュールに装填される、自動装填モジュールと
を備える自動試料ハンドリング装置。 - 前記撮像システムが、電子顕微鏡を備える、請求項1記載の自動試料ハンドリング装置。
- 前記エンドエフェクタが、検査または撮像の間に前記エンドエフェクタ内の振動モードを低減する堅固なインタフェースを形成する前記搬送インタフェースに連通可能に接続されるように構成される、請求項1記載の自動試料ハンドリング装置。
- 前記少なくとも1つのシャトルとは分離していて別個であるキャリアマガジンシャトルをさらに備え、前記キャリアマガジンシャトルが、試料を前記装填ポートモジュールと前記少なくとも1つのシャトルとの間で搬送するように構成されている、請求項1記載の自動試料ハンドリング装置。
- 前記キャリアマガジンシャトルが、1つまたは複数の試料を保持するように構成された試料マガジンを搬送するように構成されている、請求項4記載の自動試料ハンドリング装置。
- 前記少なくとも1つのシャトルが、真空環境下で動作するように構成されている、請求項1記載の自動試料ハンドリング装置。
- 前記少なくとも1つのシャトルの一部が、大気環境下で動作するように構成され、前記少なくとも1つのシャトルの他の部分が、真空環境下で動作するように構成されている、請求項1記載の自動試料ハンドリング装置。
- 前記エンドエフェクタが、前記試料の有無を判定するように構成された一体型センサを含む、請求項1記載の自動試料ハンドリング装置。
- グリッドをさらに備え、前記グリッドが、前記試料を保持するように構成されている、請求項1記載の自動試料ハンドリング装置。
- グリッドキャリアをさらに備え、前記グリッドキャリアが、複数のグリッドタイプを支持するように構成されている、請求項9記載の自動試料ハンドリング装置。
- 前記グリッドキャリアが、前記グリッドを所定の向きに整列させて拘束するように構成されている、請求項10記載の自動試料ハンドリング装置。
- 前記試料マガジンが、試料マガジン棚上で前記グリッドキャリアを整列させて拘束するように構成されている、請求項5記載の自動試料ハンドリング装置。
- 前記フレーム、前記搬送モジュールおよび前記自動装填モジュールは、前記多軸位置決めステージによって前記搬送インタフェースが駆動されるときに、X、Y、Zおよびθ軸方向に移動するように構成されている、請求項1記載の自動試料ハンドリング装置。
- 前記エンドエフェクタが、前記グリッドキャリアまたは前記グリッドを直接保持し、搬送インタフェースを介して前記撮像システムへとおよび前記撮像システムから前記試料を搬送するように構成されている、請求項10記載の自動試料ハンドリング装置。
- 前記試料マガジンが、グリッドキャリアまたはグリッドの1つまたは複数を直接保持するように構成されている、請求項5記載の自動試料ハンドリング装置。
- θ軸方向の範囲が、少なくとも+/-75°である、請求項13記載の自動試料ハンドリング装置。
- 前記試料マガジンが、長期間、前記自動試料ハンドリング装置の内部または外部でグリッドキャリアまたはグリッドを直接収納するように構成されている、請求項15記載の自動試料ハンドリング装置。
- 撮像システム用の自動試料ハンドリングシステムにおいて試料をバッチ処理するための方法であって、前記方法が、
各々が少なくとも1つの試料を有する複数のグリッドキャリアを有するグリッドキャリアマガジンを自動装填モジュールに挿入し、前記自動装填モジュールを吸引することと、
バッチ処理シーケンスを開始することであって、前記バッチ処理シーケンスが、
前記グリッドキャリアマガジンを取り上げ位置に位置決めすること、
グリッド位置決めユニットを前記取り上げ位置に位置決めすること、
前記グリッドキャリアマガジンから前記グリッドキャリアを取り上げ、前記グリッドキャリアを前記グリッド位置決めユニット上に堅固に固定し、前記グリッド位置決めユニットを後退させること、
前記グリッドキャリアマガジンを後退させること、
前記試料を検査位置に搬送し、撮像システムを用いて前記試料を撮像すること、および
前記グリッドキャリアを前記グリッドキャリアマガジンに戻すこと
を含む、バッチ処理シーケンスを開始することと、
各々の選択された試料について前記バッチ処理シーケンスを繰り返すことと、
前記グリッドキャリマガジンを前記自動装填モジュールに戻し、前記自動装填モジュールをベントし、前記グリッドキャリアマガジンを取り出すことと
を含む、方法。 - 前記撮像システムが、電子顕微鏡を備える、請求項18記載の方法。
- 前記バッチ処理シーケンスが、自動で開始される、請求項18記載の方法。
- 前記バッチ処理シーケンスが、手動で開始される、請求項18記載の方法。
- 前記撮像システムの圧力と略等しい圧力まで前記自動試料ハンドリング装置を吸引することをさらに含む、請求項18記載の方法。
- 前記グリッド位置決めユニット上でのグリッドキャリアの存在を確認することをさらに含む、請求項18記載の方法。
- 前記自動試料ハンドリングシステムを前記撮像システムの多軸位置決めステージに取り付けることをさらに含む、請求項18記載の方法。
- 前記グリッドキャリアマガジンが前記自動装填モジュールに、手動で、または自動装填システムにより挿入される、請求項18記載の方法。
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