JP6914978B2 - 試料交換装置及び荷電粒子線装置 - Google Patents
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Description
試料を保持する試料保持部材と、
試料室に接続された試料交換室と、
前記試料保持部材を把持する把持部を有し、前記試料保持部材を前記試料交換室に搬送する第1搬送機構と、
前記試料交換室を冷却する冷却部と、
前記試料交換室において前記第1搬送機構の前記把持部が前記試料保持部材を把持しているか否かを検出するファイバーセンサと、
前記第1搬送機構に設けられ、前記把持部の位置を検出する把持部検出センサと、
前記ファイバーセンサのON・OFFを制御する制御部と、
前記試料交換室に搬送された前記試料保持部材を保管する試料保管部と、
前記試料交換室に搬送された前記試料保持部材を前記試料室に搬送する第2搬送機構と、を備え、
前記制御部は、前記第1搬送機構の前記把持部が特定の位置に搬送されて前記試料交換室に進入する場合に、前記ファイバーセンサをONにして、前記第1搬送機構の前記把持部が前記試料保持部材を把持しているか否かを検出した後に前記ファイバーセンサをOFFにする
ことを特徴とする。
真空排気される試料室と、
前記試料室と接続された上記試料交換装置と、を備える。
本発明の試料交換装置について説明する前に、当該試料交換装置を備える本発明の荷電粒子線装置について説明する。ここでは、本発明の荷電粒子線装置として、透過電子顕微鏡(Transmission Electron Microscope)である例について説明する。
図1は、本発明の荷電粒子線装置を示す概略構成図である。
次に、試料交換装置200の構成について、図2及び図3を参照して説明する。
図2は、荷電粒子線装置の要部の一例を示す説明図である。図3は、荷電粒子線装置の試料交換室からファイバーセンサを取り付けた板状部材を取り外した状態を示す説明図である。
次に、試料保持部材について、図4及び図5を参照して説明する。
図4は、試料保持部材を示す上面図である。図5は、試料保持部材を示す縦断面図である。
次に、マガジンについて、図6及び図7を参照して説明する。
図6は、マガジンを示す斜視図である。図7は、マガジンを示す側面図である。
次に、試料交換装置における制御回路の構成について、図8を参照して説明する。
図8は、試料交換装置における制御回路の構成を示すブロック図である。
次に、荷電粒子線装置100の動作について説明する。
はじめに、試料Sを試料容器40から試料室110に導入する方法について説明する。
次に、試料Sを試料室110から取り出して、試料容器40に戻す工程について説明する。
次に、試料保管部60の使用方法について説明する。ここでは、観察を終えた試料室110内の試料Sを試料保管部60に保管する場合と、試料Sを試料保管部60で保管している試料Sを試料容器40に搬送する場合について説明する。
試料Sを試料保管部60から試料容器40に搬送する場合は、まず、試料保管部60のキャビネット61における試料保持部材2の検出処理を行う。この処理では、キャビネット61の複数の載置棚の何れの載置棚に試料保持部材2が保管(載置)されているかを検出する。この処理は、マガジン4における試料保持部材2の検出処理と同様である。
図9は、試料保持部材の検出処理の例を示すフローチャートである。
以上説明した実施形態は、試料Sを保持する試料保持部材2と、試料室110に接続された試料交換室30と、試料保持部材2を把持する把持部81を有し、試料保持部材2を試料交換室30に搬送する第1搬送機構80とを備える。また、実施形態は、試料交換室30において第1搬送機構80の把持部81が試料保持部材2を把持しているか否かを検出するファイバーセンサ50A,50Bを備える。
本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変形実施が可能である。例えば、上述した実施形態では、荷電粒子線装置として、透過電子顕微鏡を例に挙げて説明したが、本発明に係る荷電粒子線装置としては、電子やイオン等の荷電粒子線を用いる装置であれば特に限定されない。すなわち、本発明に係る荷電粒子線装置は、例えば、走査透過電子顕微鏡(Scanning Transmission Electron Microscope)や走査電子顕微鏡(Scanning Electron Microscope)等の電子顕微鏡、電子線マイクロアナライザー(Electron Probe Micro Analyzer)、集束イオンビーム(Focused Ion Bea)装置、電子ビーム露光装置等であってもよい。
Claims (5)
- 試料を保持する試料保持部材と、
試料室に接続された試料交換室と、
前記試料保持部材を把持する把持部を有し、前記試料保持部材を前記試料交換室に搬送する第1搬送機構と、
前記試料交換室を冷却する冷却部と、
前記試料交換室において前記第1搬送機構の前記把持部が前記試料保持部材を把持しているか否かを検出するファイバーセンサと、
前記第1搬送機構に設けられ、前記把持部の位置を検出する把持部検出センサと、
前記ファイバーセンサのON・OFFを制御する制御部と、
前記試料交換室に搬送された前記試料保持部材を保管する試料保管部と、
前記試料交換室に搬送された前記試料保持部材を前記試料室に搬送する第2搬送機構と、を備え、
前記制御部は、前記第1搬送機構の前記把持部が特定の位置に搬送されて前記試料交換室に進入する場合に、前記ファイバーセンサをONにして、前記第1搬送機構の前記把持部が前記試料保持部材を把持しているか否かを検出した後に前記ファイバーセンサをOFFにする
ことを特徴とする試料交換装置。 - 前記試料保持部材を複数取り付け可能なマガジンを備え、
前記第1搬送機構の前記把持部は、前記マガジンを把持し、
前記試料保管部は、前記試料交換室に搬送された前記マガジンから取り出された前記試料保持部材を保管する
ことを特徴とする請求項1に記載の試料交換装置。 - 前記ファイバーセンサは、2つ設けられており、前記試料保持部材の有無と、前記試料保持部材が前記マガジンの所定の位置に取り付けられているか否かを検出し、
前記第1搬送機構は、前記試料保持部材が前記マガジンの所定の位置に取り付けられていない場合に当該マガジンの搬送を停止する
ことを特徴とする請求項2に記載の試料交換装置。 - 前記試料交換室に設けられ、前記試料保管部に前記試料保持部材が保管されているか否かを検出する試料保管部用ファイバーセンサを備える
ことを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載の試料交換装置。 - 真空排気される試料室と、
前記試料室と接続された試料交換装置と、を備え、
前記試料交換装置は、
試料を保持する試料保持部材と、
試料室に接続された試料交換室と、
前記試料保持部材を把持する把持部を有し、前記試料保持部材を前記試料交換室に搬送する第1搬送機構と、
前記試料交換室を冷却する冷却部と、
前記試料交換室において前記第1搬送機構の前記把持部が前記試料保持部材を把持しているか否かを検出するファイバーセンサと、
前記第1搬送機構に設けられ、前記把持部の位置を検出する把持部検出センサと、
前記ファイバーセンサのON・OFFを制御する制御部と、
前記試料交換室に搬送された前記試料保持部材を保管する試料保管部と、
前記試料交換室に搬送された前記試料保持部材を前記試料室に搬送する第2搬送機構と、を備え、
前記制御部は、前記第1搬送機構の前記把持部が特定の位置に搬送されて前記試料交換室に進入する場合に、前記ファイバーセンサをONにして、前記第1搬送機構の前記把持部が前記試料保持部材を把持しているか否かを検出した後に前記ファイバーセンサをOFFにする
ことを特徴とする荷電粒子線装置。
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