JPS58106939U - 電子線描画装置の試料交換装置 - Google Patents
電子線描画装置の試料交換装置Info
- Publication number
- JPS58106939U JPS58106939U JP275282U JP275282U JPS58106939U JP S58106939 U JPS58106939 U JP S58106939U JP 275282 U JP275282 U JP 275282U JP 275282 U JP275282 U JP 275282U JP S58106939 U JPS58106939 U JP S58106939U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- exchange device
- electron beam
- beam lithography
- reflective surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Electron Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図、第２図は、試料交換装置の交換動作を説明する
概略図、第３図は本考案の一実施例を示す図である。 １・・・・・・試料ホルダー、２・・・・・・試料、３
・・・・・・移動棒、４・・・・・・突起部、５・・・
・・・位置検出器、６・・・・・・マイクロスイッチ状
態検出回路、７・・・・・・制御用コンピュータ、８ａ
・・・・・・反射面、８ｂ・・・・・・非反射面、９・
・・・・・受発光素子、１１０・・・・・・二値化回路
、１１・・・・・・表示装置、１２・・・・・・カウン
タ、１３・・・・・・割込発生回路。
概略図、第３図は本考案の一実施例を示す図である。 １・・・・・・試料ホルダー、２・・・・・・試料、３
・・・・・・移動棒、４・・・・・・突起部、５・・・
・・・位置検出器、６・・・・・・マイクロスイッチ状
態検出回路、７・・・・・・制御用コンピュータ、８ａ
・・・・・・反射面、８ｂ・・・・・・非反射面、９・
・・・・・受発光素子、１１０・・・・・・二値化回路
、１１・・・・・・表示装置、１２・・・・・・カウン
タ、１３・・・・・・割込発生回路。
Claims (1)
- 試料を収納する試料ホルダーと、試料ホルダーを複数収
納できる試料収納箱と、試料収納箱を試料台の高さ方向
に移動する手段と、試料ホルダーを試料室内に移動する
手段より成る試料交換装置において、試料ホルダーに反
射面と非反射面とを設け、これを受発光素子により検出
して試料ホルダーの移動状態を検出できることを特徴と
した電子線描画装置の試料交換装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP275282U JPS58106939U (ja) | 1982-01-14 | 1982-01-14 | 電子線描画装置の試料交換装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP275282U JPS58106939U (ja) | 1982-01-14 | 1982-01-14 | 電子線描画装置の試料交換装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58106939U true JPS58106939U (ja) | 1983-07-21 |
Family
ID=30015710
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP275282U Pending JPS58106939U (ja) | 1982-01-14 | 1982-01-14 | 電子線描画装置の試料交換装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58106939U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6310452A (ja) * | 1986-06-30 | 1988-01-18 | Tokyo Electron Ltd | イオン注入装置 |
| JP2020136233A (ja) * | 2019-02-26 | 2020-08-31 | 日本電子株式会社 | 試料交換装置及び荷電粒子線装置 |
-
1982
- 1982-01-14 JP JP275282U patent/JPS58106939U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6310452A (ja) * | 1986-06-30 | 1988-01-18 | Tokyo Electron Ltd | イオン注入装置 |
| JP2020136233A (ja) * | 2019-02-26 | 2020-08-31 | 日本電子株式会社 | 試料交換装置及び荷電粒子線装置 |
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