JPS58117550U - ウエ−ハ枚数計数器 - Google Patents

ウエ−ハ枚数計数器

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JPS58117550U
JPS58117550U JP1313882U JP1313882U JPS58117550U JP S58117550 U JPS58117550 U JP S58117550U JP 1313882 U JP1313882 U JP 1313882U JP 1313882 U JP1313882 U JP 1313882U JP S58117550 U JPS58117550 U JP S58117550U
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JP
Japan
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number counter
wafer
wafer number
carrier mounting
wafer carrier
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Pending
Application number
JP1313882U
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English (en)
Inventor
鳥井　恭
Original Assignee
日本電気株式会社
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案によるウェーハ枚数計数器の一実施例の
正面図であり、第２図は同じく側面図、□□ｊ 第３図は同じく平面図である。第４図は本考案によるウ
ェーハ枚数計数器の動作原理を説明するための概略図で
ある。第５図は動作説明波形図である。 図において、１はウェーハ、２はウェーハキャリア、３
は水平スライド部、４はスライドガイド、５は光遮断式
センサーの発光部、６は受光部である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 直線運動するスライド機構を有するウェーハキャリア搭
    載部と、その運動方向と交叉する光軸の発光部受光部を
    持つ光センサーによるウェーハ検出部を備えていること
    を特徴とするウェーハ枚数計数器。
JP1313882U 1982-02-02 1982-02-02 ウエ−ハ枚数計数器 Pending JPS58117550U (ja)

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JP1313882U JPS58117550U (ja) 1982-02-02 1982-02-02 ウエ−ハ枚数計数器

Applications Claiming Priority (1)

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JP1313882U JPS58117550U (ja) 1982-02-02 1982-02-02 ウエ−ハ枚数計数器

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Publication Number Publication Date
JPS58117550U true JPS58117550U (ja) 1983-08-11

Family

ID=30025669

Family Applications (1)

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JP1313882U Pending JPS58117550U (ja) 1982-02-02 1982-02-02 ウエ−ハ枚数計数器

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