JP7267317B2 - 搬送装置および荷電粒子線装置 - Google Patents
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Description
荷電粒子線装置において、試料ホルダーにカートリッジを受け渡す搬送装置であって、
前記カートリッジを着脱可能な取付け部と、
前記取付け部を支持するシャフト部と、
前記シャフト部と前記取付け部とを接続し、前記シャフト部の中心軸と平行な方向に弾性変形する弾性部材と、
前記シャフト部に支持された前記取付け部を、前記シャフト部の中心軸と平行な方向に移動させる移動機構と、
を含む。
上記の試料ホルダーを含む。
1.1. 電子顕微鏡の構成
まず、本発明の一実施形態に係る搬送装置を含む電子顕微鏡について図面を参照しながら説明する。図1および図2は、本発明の一実施形態に係る第2搬送装置100を含む電子顕微鏡1の構成を示す図である。なお、図1は、図2のI-I線断面図である。
着脱可能である。試料交換室30と試料容器2との間には、仕切り弁34が設けられている。試料交換室30および試料容器2は、真空排気装置60によって真空排気される。
ラムを実行することにより、各種制御処理を行う。
図3および図4は、本発明の一実施形態に係る第2搬送装置100を模式的に示す平面図である。なお、図4では、第2搬送装置100が、カートリッジ6を掴んでいる状態、すなわち、カートリッジ6が取付け部112に取り付けられた状態を示している。
2.1. 搬送装置の動作
図5および図6は、第2搬送装置100の動作を説明するための図である。図5は、チャック装置120がカートリッジ6を取付け部112に固定している状態を図示している。図6は、チャック装置120がカートリッジ6を開放している状態を図示している。
2.2.1. カートリッジの取り付け
電子顕微鏡1では、自動で、試料容器2に収容されたカートリッジ6を、試料室10に搬送して取付け部112に取り付けることができる。図9~図11は、電子顕微鏡1の動作を説明するための図である。
マガジン4から指定されたカートリッジ6を掴ませて、カートリッジ6を試料室10に搬送させる。このとき、チャック装置120によってカートリッジ6が固定される。カートリッジ6は、対物レンズのポールピースの上極と下極の隙間を通って、試料室10に搬送される。
電子顕微鏡1では、自動で、カートリッジ6を試料ホルダー20の取付け部22から取り外し、試料交換室30に搬送することができる。
第2搬送装置100は、カートリッジ6を着脱可能な取付け部112と、取付け部112を支持するシャフト部102と、シャフト部102と取付け部112とを接続する弾性部材140と、を含む。そのため、第2搬送装置100では、カートリッジ6を試料ホルダー20に受け渡す際に、弾性部材140が弾性変形することによって、試料ホルダー20に加わる力を低減できる。したがって、第2搬送装置100では、試料ホルダー20に力が加わって、試料ホルダー20が変形することによって生じる試料のドリフトを低減できる。
上述した実施形態では、本発明に係る荷電粒子線装置が電子線を用いて試料の観察や分析を行う電子顕微鏡を例に挙げて説明したが、本発明に係る荷電粒子線装置は、電子線以外の荷電粒子線(イオンビーム等)を用いて試料の観察や分析を行う装置であってもよい。例えば、本発明に係る荷電粒子線装置は、走査透過電子顕微鏡、走査電子顕微鏡、オージェ電子分光装置、集束イオンビーム装置などであってもよい。
…第2部分、130…軸部材、132…軸受け、140…弾性部材、150…移動機構
Claims (6)
- 荷電粒子線装置において、試料ホルダーにカートリッジを受け渡す搬送装置であって、
前記カートリッジを着脱可能な取付け部と、
前記取付け部を支持するシャフト部と、
前記シャフト部と前記取付け部とを接続し、前記シャフト部の中心軸と平行な方向に弾性変形する弾性部材と、
前記シャフト部に支持された前記取付け部を、前記シャフト部の中心軸と平行な方向に移動させる移動機構と、
を含む、搬送装置。 - 請求項1において、
前記取付け部が固定される軸部材と、
前記軸部材の直線運動をガイドする軸受けと、
を含み、
前記弾性部材は、前記軸部材に接続され、
前記軸受けは、前記シャフト部に固定されている、搬送装置。 - 請求項2において、
前記カートリッジを前記取付け部に固定するチャック装置を含み、
前記チャック装置は、
前記カートリッジを固定するレバーと、
前記レバーに接続された操作シャフトと、
を含み、
前記操作シャフトが前記シャフト部の中心軸に沿って移動することによって、前記レバーが前記カートリッジを前記取付け部に固定する状態と、前記レバーが前記カートリッジを開放する状態と、を切り替える、搬送装置。 - 請求項3において、
前記レバーが前記操作シャフトの第1部分に接触しているときに、前記レバーは、前記
カートリッジを固定し、
前記レバーが前記操作シャフトの第2部分に接触しているときに、前記レバーは、前記カートリッジを開放し、
前記第1部分の前記シャフト部の中心軸に沿った長さおよび前記第2部分の前記シャフト部の中心軸に沿った長さは、前記弾性部材の最大弾性変形量よりも大きい、搬送装置。 - 請求項1ないし4のいずれか1項に記載の搬送装置を含む、荷電粒子線装置。
- 請求項5において、
試料ホルダーが配置される試料室と、
前記試料室に接続された試料交換室と、
を含み、
前記搬送装置は、前記試料室と前記試料交換室との間において、前記カートリッジを搬送する、荷電粒子線装置。
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