JP7267316B2 - 試料ホルダーおよび荷電粒子線装置 - Google Patents
試料ホルダーおよび荷電粒子線装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7267316B2 JP7267316B2 JP2021002165A JP2021002165A JP7267316B2 JP 7267316 B2 JP7267316 B2 JP 7267316B2 JP 2021002165 A JP2021002165 A JP 2021002165A JP 2021002165 A JP2021002165 A JP 2021002165A JP 7267316 B2 JP7267316 B2 JP 7267316B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- cartridge
- stage
- holder
- lock lever
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/20—Means for supporting or positioning the objects or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/18—Vacuum control means
- H01J2237/184—Vacuum locks
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/20—Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
- H01J2237/2007—Holding mechanisms
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/20—Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
- H01J2237/202—Movement
- H01J2237/20207—Tilt
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/20—Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
- H01J2237/204—Means for introducing and/or outputting objects
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
荷電粒子線装置用の試料ホルダーであって、
試料を保持する試料台を有するカートリッジと、
前記カートリッジを取付け可能な取付け部を有するホルダーベースと、
を含み、
前記カートリッジは、
前記試料台を傾斜させる傾斜機構と、
前記カートリッジが前記取付け部から取り外された状態において、前記試料台に接触して前記試料台の傾斜を制限するロックレバーと、
前記ロックレバーに接続された弾性部材と、
を有し、
前記カートリッジが前記取付け部から取り外された状態では、前記ロックレバーは、前記弾性部材によって付勢されて前記試料台に接触し、
前記カートリッジが前記取付け部に取り付けられた状態では、前記ロックレバーは、前記取付け部に設けられたブロックに当たって、前記試料台と離間する。
本発明に係る試料ホルダーの一態様は、
荷電粒子線装置用の試料ホルダーであって、
試料を保持する試料台を有するカートリッジと、
前記カートリッジを取付け可能な取付け部を有するホルダーベースと、
を含み、
前記カートリッジは、
前記試料台を傾斜させる傾斜機構と、
前記カートリッジが前記取付け部から取り外された状態において、前記試料台に接触して前記試料台の傾斜を制限するロックレバーと、
を有し、
前記傾斜機構は、
前記試料台に接続された傾斜アームと、
前記傾斜アームに接続された傾斜レバーと、
を有し、
前記ホルダーベースは、前記カートリッジが前記取付け部に取り付けられた状態で、前記傾斜レバーに接触するシャフトを有し、
前記傾斜レバーが前記シャフトに接触して前記試料台が傾斜することによって、前記試料台と前記ロックレバーが離間する。
上記試料ホルダーを含む。
まず、本発明の一実施形態に係る試料ホルダーについて図面を参照しながら説明する。図1および図2は、本発明の一実施形態に係る試料ホルダー100を模式的に示す平面図である。なお、図1は、カートリッジ150がホルダーベース110の取付け部112から取り外された状態を示し、図2は、カートリッジ150がホルダーベース110の取付け部112に取り付けられた状態を示している。
2.1. カートリッジの取付け
2.1.1. ロックレバーの動作
まず、カートリッジ150を、取付け部112に取り付けるときのロックレバー180の動作について説明する。図3は、ロックレバー180の動作を説明するための図である。
次に、カートリッジ150を、取付け部112に取り付けるときの傾斜機構170の動作について説明する。図4および図5は、傾斜機構170の動作を説明するための図である。
状態を示している。図5に示すように、第2棒状部材182がブロック120に接触すると同時に、傾斜レバー174がシャフト130に接触する。これにより、シャフト130が傾斜レバー174を押し、傾斜レバー174が回転して、試料台160が傾斜する。図5に示す例では、傾斜レバー174の突起部175が、シャフト130の先端のボール132に接触している。
2.2.1. ロックレバーの動作
カートリッジ150を取付け部112から取り外す場合、ロックレバー180は、カートリッジ150を取付け部112に取り付けるときと逆の動作を行う。
カートリッジ150を取付け部112から取り外す場合、傾斜機構170は、カートリッジ150を取付け部112に取り付けるときと逆の動作を行う。
試料ホルダー100は、試料を保持する試料台160を有するカートリッジ150と、カートリッジ150を取付け可能な取付け部112を有するホルダーベース110と、を含む。また、カートリッジ150は、試料台160を傾斜させる傾斜機構170と、カートリッジ150が取付け部112から取り外された状態において、試料台160に接触して試料台160の傾斜を制限するロックレバー180と、を有している。
4.1. 電子顕微鏡の構成
次に、試料ホルダー100を含む電子顕微鏡について説明する。図6および図7は、試料ホルダー100を含む電子顕微鏡1の構成を示す図である。なお、図6は、図7のVI-VI線断面図である。図7では、便宜上、試料ホルダー100、第2搬送ロッド50、および鏡筒12のみを図示している。
転させることで試料を傾斜させることができる。また、試料台160を軸Aまわりに回転させることで試料を傾斜させることができる。このように、電子顕微鏡1では、互いに直交する2軸に関して試料を傾斜させることができる。
4.2.1. カートリッジの取付け
電子顕微鏡1では、自動で、試料容器2に収容されたカートリッジ150を、試料室10に搬送して取付け部112に取り付けることができる。
、試料容器2内を真空排気する。制御部70は、試料容器2内が所定の圧力以下になると、仕切り弁24を開く。
電子顕微鏡1では、自動で、カートリッジ150を取付け部112から取り外し、試料交換室20に搬送することができる。
上述した実施形態では、本発明に係る荷電粒子線装置が電子線を用いて試料の観察や分析を行う電子顕微鏡を例に挙げて説明したが、本発明に係る荷電粒子線装置は、電子線以外の荷電粒子線(イオンビーム等)を用いて試料の観察や分析を行う装置であってもよい。例えば、本発明に係る荷電粒子線装置は、走査透過電子顕微鏡、走査電子顕微鏡、オージェ電子分光装置、集束イオンビーム装置などであってもよい。
Claims (5)
- 荷電粒子線装置用の試料ホルダーであって、
試料を保持する試料台を有するカートリッジと、
前記カートリッジを取付け可能な取付け部を有するホルダーベースと、
を含み、
前記カートリッジは、
前記試料台を傾斜させる傾斜機構と、
前記カートリッジが前記取付け部から取り外された状態において、前記試料台に接触して前記試料台の傾斜を制限するロックレバーと、
前記ロックレバーに接続された弾性部材と、
を有し、
前記カートリッジが前記取付け部から取り外された状態では、前記ロックレバーは、前記弾性部材によって付勢されて前記試料台に接触し、
前記カートリッジが前記取付け部に取り付けられた状態では、前記ロックレバーは、前記取付け部に設けられたブロックに当たって、前記試料台と離間する、試料ホルダー。 - 請求項1において、
前記傾斜機構は、
前記試料台に接続された傾斜アームと、
前記傾斜アームに接続された傾斜レバーと、
を有し、
前記ホルダーベースは、前記カートリッジが前記取付け部に取り付けられた状態で、前記傾斜レバーに接触するシャフトを有し、
前記傾斜レバーが前記シャフトに接触して前記試料台が傾斜することによって、前記試料台と前記ロックレバーが離間する、試料ホルダー。 - 荷電粒子線装置用の試料ホルダーであって、
試料を保持する試料台を有するカートリッジと、
前記カートリッジを取付け可能な取付け部を有するホルダーベースと、
を含み、
前記カートリッジは、
前記試料台を傾斜させる傾斜機構と、
前記カートリッジが前記取付け部から取り外された状態において、前記試料台に接触して前記試料台の傾斜を制限するロックレバーと、
を有し、
前記傾斜機構は、
前記試料台に接続された傾斜アームと、
前記傾斜アームに接続された傾斜レバーと、
を有し、
前記ホルダーベースは、前記カートリッジが前記取付け部に取り付けられた状態で、前記傾斜レバーに接触するシャフトを有し、
前記傾斜レバーが前記シャフトに接触して前記試料台が傾斜することによって、前記試料台と前記ロックレバーが離間する、試料ホルダー。 - 請求項1ないし3のいずれか1項に記載の試料ホルダーを含む、荷電粒子線装置。
- 請求項4において、
前記試料ホルダーの前記取付け部が配置される試料室と、
前記試料室に接続された試料交換室と、
前記試料室と前記試料交換室との間において、前記カートリッジを搬送する搬送ロッドと、
を含む、荷電粒子線装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021002165A JP7267316B2 (ja) | 2021-01-08 | 2021-01-08 | 試料ホルダーおよび荷電粒子線装置 |
US17/570,802 US20220223370A1 (en) | 2021-01-08 | 2022-01-07 | Sample Holder and Charged Particle Beam System |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021002165A JP7267316B2 (ja) | 2021-01-08 | 2021-01-08 | 試料ホルダーおよび荷電粒子線装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022107299A JP2022107299A (ja) | 2022-07-21 |
JP7267316B2 true JP7267316B2 (ja) | 2023-05-01 |
Family
ID=82322034
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021002165A Active JP7267316B2 (ja) | 2021-01-08 | 2021-01-08 | 試料ホルダーおよび荷電粒子線装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20220223370A1 (ja) |
JP (1) | JP7267316B2 (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002365182A (ja) | 2001-06-12 | 2002-12-18 | Hitachi Ltd | 試料作製装置 |
JP2015088237A (ja) | 2013-10-28 | 2015-05-07 | 日本電子株式会社 | 荷電粒子線装置、および試料容器 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3488493A (en) * | 1966-05-17 | 1970-01-06 | Commw Scient Ind Res Org | Mechanism for tilting specimens in electron microscopes and electron diffraction cameras |
JPS6054151A (ja) * | 1983-09-02 | 1985-03-28 | Internatl Precision Inc | 電子線装置の試料移動装置 |
US4587431A (en) * | 1983-04-22 | 1986-05-06 | Jeol Ltd. | Specimen manipulating mechanism for charged-particle beam instrument |
JPH0787084B2 (ja) * | 1985-02-06 | 1995-09-20 | 株式会社日立製作所 | 真空装置の試料交換機構 |
JP3589583B2 (ja) * | 1999-03-17 | 2004-11-17 | 日本電子株式会社 | 試料ホルダ支持装置 |
KR101398455B1 (ko) * | 2013-09-13 | 2014-05-27 | 히타치하이테크놀로지즈코리아 주식회사 | 시료의 단면 관찰에 사용되는 시료 홀더 및 그 제어방법 |
TWI769483B (zh) * | 2020-07-10 | 2022-07-01 | 閎康科技股份有限公司 | 承載裝置及承載套件 |
-
2021
- 2021-01-08 JP JP2021002165A patent/JP7267316B2/ja active Active
-
2022
- 2022-01-07 US US17/570,802 patent/US20220223370A1/en active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002365182A (ja) | 2001-06-12 | 2002-12-18 | Hitachi Ltd | 試料作製装置 |
JP2015088237A (ja) | 2013-10-28 | 2015-05-07 | 日本電子株式会社 | 荷電粒子線装置、および試料容器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20220223370A1 (en) | 2022-07-14 |
JP2022107299A (ja) | 2022-07-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5745757B2 (ja) | 二重装着光学系を備えた荷電粒子光学系 | |
KR20180109688A (ko) | 하전 입자 빔 장치 | |
US4992660A (en) | Scanning tunneling microscope | |
JP4087286B2 (ja) | 試料保持具及び観察装置並びに試料回転方法 | |
JP5674259B2 (ja) | 粒子ビーム装置および粒子ビーム装置で使用するための方法 | |
US8716683B2 (en) | Ion beam processing system and sample processing method | |
US20100213386A1 (en) | Focused ion beam system and sample processing method using the same | |
JP2000214056A5 (ja) | ||
TW201222617A (en) | Sample device for charged particle beam | |
JP2017037811A (ja) | 荷電粒子線装置 | |
JP7208195B2 (ja) | イオンミリング装置および試料ホルダー | |
JP7267316B2 (ja) | 試料ホルダーおよび荷電粒子線装置 | |
JP2006292766A5 (ja) | ||
JP7267317B2 (ja) | 搬送装置および荷電粒子線装置 | |
JP7217298B2 (ja) | 試料ホルダーおよび荷電粒子線装置 | |
JP3778008B2 (ja) | 試料作製装置 | |
US8746666B2 (en) | Media carrier | |
JP4351103B2 (ja) | 試料ホルダおよび試料傾斜ホルダ | |
US9349568B2 (en) | Sample introduction device and charged particle beam instrument | |
JP6152335B2 (ja) | 試料導入装置および荷電粒子線装置 | |
JP4135013B2 (ja) | 試料作製装置 | |
JP7267318B2 (ja) | 荷電粒子線装置 | |
US20120043712A1 (en) | Mechanism and method for aligning a workpiece to a shadow mask | |
JP7054711B2 (ja) | 荷電粒子線装置および荷電粒子線装置の調整方法 | |
JP2008089613A (ja) | 試料作製装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220322 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20221206 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20221220 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230208 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230404 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230419 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7267316 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |