JPH0787084B2 - 真空装置の試料交換機構 - Google Patents

真空装置の試料交換機構

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JPH0787084B2
JPH0787084B2 JP60021321A JP2132185A JPH0787084B2 JP H0787084 B2 JPH0787084 B2 JP H0787084B2 JP 60021321 A JP60021321 A JP 60021321A JP 2132185 A JP2132185 A JP 2132185A JP H0787084 B2 JPH0787084 B2 JP H0787084B2
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/20Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Electron Beam Exposure (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、走査形電子顕微鏡など真空状態の試料室を有
する装置の試料交換機構に関するものである。
〔発明の背景〕
走査形電子顕微鏡、電子線描画装置、イオンビームリソ
グラフイー装置、ドライエツチング装置スパツタリング
装置などでは真空状態に置かれた試料室の中で試料に対
して所要の処理を行つている。
ところが、従来この種の装置における試料交換機構は、
実開昭58−167438号公報に示されているように、試料ホ
ルダに設けたねじ部に試料交換棒のねじ込み、この状態
で試料交換棒を進退させることにより、試料の交換を行
うように構成されている。
このため、試料交換棒を試料ホルダにねじ込むという回
転運動と、試料室との間で進退させるという直線運動と
が必要となり、これらの運動に伴つて塵が発生し、試料
表面に付着するという問題点があつた。また、試料交換
棒を進退させる際の真空シール部材としてOリングとグ
リース油を用いているため、ドライ真空化が不可能であ
るという問題点があつた。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、試料に悪影響を与えず、しかもドライ
真空化が可能な真空装置の試料交換機構を提供すること
にある。
〔発明の概要〕
本発明に係る真空装置の試料交換機構は、真空状態を保
持する第1の試料室と、この第1の試料室と仕切り弁を
介して連通される第2の試料室と、試料を搭載する試料
ホルダと、この試料ホルダを第1の試料室へ進退させる
送り機構と、この送り機構を試料ホルダに着脱させる着
脱機構とを有し、第2の試料室を真空状態とした後第1
の試料室との間で試料の交換を行う真空装置の試料交換
機構において、送り機構は、試料ホルダの下面に軸支さ
れた送りネジに螺合し進退するナツトを備え、着脱機構
は、このナツトと連結しかつ試料ホルダの端面と当接す
る連結ブロツクに回動自在に突設されるとともに試料ホ
ルダと着状態または脱状態に切替えられるチヤツク/ア
ンチヤツク機構を備え、試料ホルダーと着脱機構とを着
状態にして送り機構を直線運動で後退し、第1の試料室
から第2の試料室へ取出した試料を交換し、第2の試料
室で試料ホルダと着脱機構とを脱状態にして送り機構を
駆動させ連結ブロツクを当接させて試料ホルダを第1の
試料室へ直進する制御機構を具備した構成とする。
〔発明の実施例〕
以下、本発明を実施例に基づいて詳細に説明する。
第1図は本発明の一実施例を示す平面図であり、第2図
はその横断面図である。
これらの図において、試料室1には、試料をXY平面図で
移動させる試料移動機構(図示せず)が組込まれてい
る。この試料室1と試料交換室2とはゲートバルブ3に
より真空的に遮断または連通されている。一方、試料ホ
ルダ4には試料としてのシリコンウエハ5が載置されて
いる。試料ホルダ4は、第1のガイド14および第2のガ
イド15に載置された状態で直進運動が可能なように構成
されている。この第1のガイド14および第2のガイド15
は、例えばポリイミド樹脂等のすべり案内部材、または
ボールベアリングを配列したガイド部材で構成してもよ
い。
試料ホルダ4を進退させる送り機構は、送りネジ7、こ
れに螺合するナツト9、直進ガイド6およびナツト9と
直進ガイド6とを連結させる連結ブロック8とから構成
され、傘歯車11が外部のモータによつて回転されること
により、送りネジ7が回転し、連結ブロツク8が直進ガ
イド6に沿つて直進運動をするように構成されている。
連結ブロツク8の上には、試料ホルダ4と連結または分
離するチヤツク/アンチヤツク機構13が組込まれてい
る。
第3図は、この試料ホルダ4と連結または分離させるチ
ヤツク/アンチヤツク機構の平面図であり、第4図はそ
の断面図である。この図において、試料ホルダ4の裏面
には、チヤツク/アンチヤツク機構13のチヤツク/アン
チヤツクレバー13(2)が係合する溝(または切欠き
部)が設けてある。なお、符号13(1)、13(2)…
は、各図面に記載の符号13−1、13−2…と一致するも
のとする。この実施例では、チヤツク/アンチヤツクレ
バー13(2)に結合されているローラ13(8)のころが
りによつて試料ホルダ4がその溝部で係合するように構
成している。このチヤツク/アンチヤツク機構13は、連
結ブロツク8の上にベース板13(1)を設け、このベー
ス板13(1)の上にチヤツク/アンチヤツクレバー13
(2)が支点13(3)を中心にして回転するように構成
される一方、ベース板13(1)に揺動アーム13(4)が
支点13(5)を中心にして回転するように構成し、この
揺動アーム13(4)をチヤツク/アンチヤツクレバー13
(2)の端面に係合させるように構成されている。この
場合の係合力はバネ13(7)によつて与えられる。
このような構成により、チヤツク/アンチヤツクレバー
13(2)と連結しているレバー13(9)を図の左右に動
かすことにより、試料ホルダ4の溝部に対してローラ13
(8)が連結または分離する。この場合、レバー13
(9)はアーム12(1),12(2)および回転板12
(3)から成るレバー駆動機構(切替える機構)12によ
り、回転板12(3)の駆動軸12(4)が正回転または逆
回転されることによつてその切替え位置が左右方向に切
替わる。
以上の構成において、まず試料室1からウエハ5を取出
す場合の動作について説明する。
試料を取出す場合、まず試料室1の中にある試料ホルダ
4が試料交換可能な位置に移動される。これは、試料室
1内に設けられた試料移動機構によつて行われる。
次に、試料室1と試料交換室2とをゲートバルブ3を開
いて連通させ、この状態でチヤツク/アンチヤツク機構
13のレバー(9)第3図の記号Aで示す位置に切替え、
送りネジ7と直進ガイド6によつてこのチヤツク機構13
を試料室1に送り込む。するとチヤツク/アンチヤツク
レバー13(2)の先端部のローラ13(8)が試料室1内
の試料ホルダ4の溝部に係合する。この係合状態で、次
に送りネジを逆回転させる。すると、試料ホルダ4は試
料交換室2に引き出される。この状態でゲートバルブ3
を閉じ、試料室1と試料交換室2とを真空的に分離す
る。次に試料交換室2に大気を導入して大気圧とし、蓋
16をその支点15を中心として回動させて開き、シリコン
ウエハ5を交換する。
次に、ウエハ5を試料室1に導入する場合の動作につい
て説明する。
ウエハ5を試料室に導入する場合、ウエハ5を試料ホル
ダ4に乗せた後、蓋16を閉じ、排気フランジ17を介して
排気を行つて試料交換室2内を真空状態とする。次に、
ゲートバルブ3を開いて試料ホルダ4を試料室1に送り
込む。この時、チヤツク/アンチヤツク機構13のレバー
13(9)は第3図の記号Bで示す位置に切替えた後、試
料交換室を真空状態としゲートバルブ3を開いて送りネ
ジ7の回転によつて試料ホルダ4を試料室1に送り込
む。この状態では、試料ホルダ4とローラ13(8)とは
係合せず、ベース13(1)を試料室1の方向に進ませる
ことにより、試料ホルダ4を試料室1に送り込む。この
とき、試料室1内にある試料移動機構には、試料ホルダ
4を受けるガイドと、試料ホルダ4を所定の位置に停止
させるストツパが設けられており、試料ホルド4が試料
移動機構によつて移送された後は、送りネジ7の逆回転
によりチヤツク/アンチヤツク機構13が元の位置に戻つ
て停止する。
このように、試料の導入および取り出しに関し、試料ホ
ルダ4の移送がチヤツク/アンチヤツク機構13の直進運
動によつて自動的に図示しない制御機構により行われ
る。
従つて、塵が発生することもなく、しかもドライ真空化
が可能となる。
なお、試料ホルダ4の送り機構には送りネジ7とナツト
9とから成る。送りネジ機構を用い、送りネジ7に対し
て傘歯車11を介して直交方向から回転力を与えている
が、ウォームギア11を省略し、送りネジ7にモータの回
転軸を直接結合してもよい。
〔発明の効果〕
以上の説明から明らかなように本発明によれば、試料の
交換を試料ホルダの送り機構の送りネジにより直進運動
のみで行うことができ、かつ着脱機構と脱状態で試料ホ
ルダを第1の試料室へ直進できるため、着脱機構の切り
替えが不要となり発塵により汚染が防止されるうえ、試
料ホルダの下部に送りネジを軸支したため、小型化が達
成される。また、駆動源をすべて真空部外部に設置し、
しかも回転運動のみで試料交換を行うことができるので
試料交換の自動化が容易に発現できるという効果があ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す平面図、第2図は第1
図の横断面図、第3図は試料ホルダの着脱機構の詳細を
示す平面図、第4図は第3図における着脱機構の断面図
である。 1……試料室、2……試料交換室、4……試料ホルダ、
6……直進ガイド、7……送りネジ、8……連結ブロツ
ク、9……ナツト、11……傘歯車、12……レバー駆動機
構、13……チヤツク/アンチヤツク機構、13(2)……
チヤツク/アンチヤツクレバー、13(4)……揺動アー
ム、13(7)……バネ、13(8)……ローラ、13(9)
……レバー。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】真空状態を保持する第1の試料室と、この
    第1の試料室と仕切り弁を介して連通される第2の試料
    室と、試料を搭載する試料ホルダと、この試料ホルダを
    前記第1の試料室へ進退させる送り機構と、この送り機
    構を前記試料ホルダに着脱させる着脱機構とを有し、前
    記第2の試料室を真空状態とした後前記第1の試料室と
    の間で試料の交換を行う真空装置の試料交換機構におい
    て、前記送り機構は、前記試料ホルダの下面に軸支され
    た送りネジに螺合し進退するナツトを備え、前記着脱機
    構は、このナツトと連結しかつ前記試料ホルダの端面と
    当接するする連結ブロツクに回動自在に突設されるとと
    もに前記試料ホルダと着状態または脱状態に切替えられ
    るチヤツク/アンチヤツク機構を備え、前記試料ホルダ
    ーと前記着脱機構とを前記着状態にして前記送り機構を
    直線運動で後退し、前記第1の試料室から前記第2の試
    料室へ取出した試料を交換し、前記第2の試料室で前記
    試料ホルダと前記着脱機構とを前記脱状態にして前記送
    り機構を駆動させ前記連結ブロツクを当接させて前記試
    料ホルダを前記第1の試料室へ直進する制御機構を具備
    したことを特徴とする真空装置の試料交換機構。
  2. 【請求項2】前記着脱機構は、試料ホルダの切欠き部に
    着脱されるローラを先端に備えかつ連結ブロツクに回動
    自在に支持されるチヤツク/アンチヤツク機構と、この
    チヤツク/アンチヤツク機構と回動して当接するアーム
    を有する切替える機構とよりなることを特徴とする特許
    請求の範囲第1項記載の真空装置の試料交換機構。
JP60021321A 1985-02-06 1985-02-06 真空装置の試料交換機構 Expired - Lifetime JPH0787084B2 (ja)

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