JPH0352177B2 - - Google Patents
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- JPH0352177B2 JPH0352177B2 JP13509081A JP13509081A JPH0352177B2 JP H0352177 B2 JPH0352177 B2 JP H0352177B2 JP 13509081 A JP13509081 A JP 13509081A JP 13509081 A JP13509081 A JP 13509081A JP H0352177 B2 JPH0352177 B2 JP H0352177B2
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- JP
- Japan
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- electron gun
- chamber
- threaded rod
- filament
- lever
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- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 8
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 10
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/18—Vacuum locks ; Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電子線露光装置等において電子銃室を
真空に保つたままで、フイラメントを簡易操作に
て交換することのできる新規な機構に関する。
真空に保つたままで、フイラメントを簡易操作に
て交換することのできる新規な機構に関する。
斯種装置におけるフイラメントの交換は電子銃
室と集束レンズとの境に設けられた仕切弁を閉じ
た後、電子銃室をリークして大気圧にし、電子銃
室を集束レンズから切り離すことにより行なつて
いる。ところで近時の電子線露光装置は高真空を
必要とするため、フイラメント交換後、電子銃室
を所定の高真空まで排気するのに長い時間を費や
す。又仕切弁が汚染されてチヤージアツプの原因
となり、それによつて電子線が不正に偏向され、
正確な図形を描くことができなくなる。
室と集束レンズとの境に設けられた仕切弁を閉じ
た後、電子銃室をリークして大気圧にし、電子銃
室を集束レンズから切り離すことにより行なつて
いる。ところで近時の電子線露光装置は高真空を
必要とするため、フイラメント交換後、電子銃室
を所定の高真空まで排気するのに長い時間を費や
す。又仕切弁が汚染されてチヤージアツプの原因
となり、それによつて電子線が不正に偏向され、
正確な図形を描くことができなくなる。
本発明は斯様な点に鑑み、電子銃室の真空を破
ることなくフイラメントの交換を行なうことので
きる新規な機構を提供するもので、電子銃室内に
設置された絶縁体に着脱自在に取り付けられたウ
エーネルト電極と、該ウエーネルト電極の内側に
電気的に絶縁された状態で固定されたフイラメン
トと、仕切弁の開閉により前記電子銃室と連通或
は遮断可能な予備室と、該予備室内に回転可能に
設置された外部から操作可能なネジ棒と、該ネジ
棒に螺合された雌ネジ体と、前記予備室内にネジ
棒と平行におかれた案内体と、該案内体に支持さ
れ前記雌ネジ体と一体に移動する移動体と、該移
動体に回転可能に取り付けられ、且つ一端に前記
ウエーネルト電極を着脱可能に挾持するテコ体
と、前記ネジ棒の回転に伴なつて雌ネジ体が一往
復するたびにこの雌ネジ体を一定角度交互に正
転、逆転させて前記テコ体の一端を交互に押し上
げ、押し下げするための手段とを設けるように構
成している。
ることなくフイラメントの交換を行なうことので
きる新規な機構を提供するもので、電子銃室内に
設置された絶縁体に着脱自在に取り付けられたウ
エーネルト電極と、該ウエーネルト電極の内側に
電気的に絶縁された状態で固定されたフイラメン
トと、仕切弁の開閉により前記電子銃室と連通或
は遮断可能な予備室と、該予備室内に回転可能に
設置された外部から操作可能なネジ棒と、該ネジ
棒に螺合された雌ネジ体と、前記予備室内にネジ
棒と平行におかれた案内体と、該案内体に支持さ
れ前記雌ネジ体と一体に移動する移動体と、該移
動体に回転可能に取り付けられ、且つ一端に前記
ウエーネルト電極を着脱可能に挾持するテコ体
と、前記ネジ棒の回転に伴なつて雌ネジ体が一往
復するたびにこの雌ネジ体を一定角度交互に正
転、逆転させて前記テコ体の一端を交互に押し上
げ、押し下げするための手段とを設けるように構
成している。
以下本発明の一実施例を図面に基づき詳説す
る。
る。
第１図は縦断面図、第２図は第１図のＡ−Ａ断
面図であり、１は電子線露光装置の電子銃室であ
る。２は該電子銃室内の上部中央に固定された碍
子で、下端には筒状の金具３が固着されている。
４は該金具３の内側に取り外し可能に嵌合された
ウエーネルト取付台で、下端外周にウエーネルト
電極５が螺着されており、又取次台４の中央部に
はフイラメント６を支持する電極棒７ａ，７ｂを
保持した支持板８がビス（図示せず）等により固
定されている。９ａ，９ｂ，９ｃ（９ｂ及び９ｃ
は図示せず）は金具３に嵌合された取次台４を挾
持、固定するための押棒で、各押棒は光軸Ｚを中
心にして略対称におかれ、且つ板バネ１０ａ，１
０ｂ，１０ｃ（１０ｂ及び１０ｃは図示せず）に
より常に光軸Ｚに向つて押圧されている。１１ａ
及び１１ｂは前記電極棒７ａ，７ｂのソケツト
で、図示外のケーブル等を介してフイラメント加
熱電源に接続されている。
面図であり、１は電子線露光装置の電子銃室であ
る。２は該電子銃室内の上部中央に固定された碍
子で、下端には筒状の金具３が固着されている。
４は該金具３の内側に取り外し可能に嵌合された
ウエーネルト取付台で、下端外周にウエーネルト
電極５が螺着されており、又取次台４の中央部に
はフイラメント６を支持する電極棒７ａ，７ｂを
保持した支持板８がビス（図示せず）等により固
定されている。９ａ，９ｂ，９ｃ（９ｂ及び９ｃ
は図示せず）は金具３に嵌合された取次台４を挾
持、固定するための押棒で、各押棒は光軸Ｚを中
心にして略対称におかれ、且つ板バネ１０ａ，１
０ｂ，１０ｃ（１０ｂ及び１０ｃは図示せず）に
より常に光軸Ｚに向つて押圧されている。１１ａ
及び１１ｂは前記電極棒７ａ，７ｂのソケツト
で、図示外のケーブル等を介してフイラメント加
熱電源に接続されている。
１２は電子銃室１の側面に形成した予備室で、
穴１３を介して電子銃室１と連通されている。該
穴１３部分には二点鎖線で示す様に仕切弁１４が
設けてあり、電子銃室１と予備室１２とを遮断す
ることができる。又前記予備室１２の開放端には
有底状の筒体１５が嵌合され、それによつて予備
室は大気から遮断される。該筒体１５内にはネジ
棒１６及び２本の案内棒１７ａ，１７ｂが夫々平
行に配置されている。ネジ棒１６はその軸心が光
軸Ｚと略交叉するようにおかれ、又一端は筒体１
５の底部を回転可能に貫通して大気中に取り出さ
れ、その先端にハンドル１８が取り付けられてお
り、更に該ネジ棒１６には端部に突起１９ａ，１
９ｂを有するナツト２０が螺合されている。尚図
示しないが該ネジ棒１６とナツト２０との螺合部
分には多数のボールが介在されていてボールネジ
を構成している。前記２つの案内棒１７ａ，１７
ｂには断面コの字状の移動体２１が移動可能に支
持されており、該移動体２１の開口部２２内に前
記ナツト２０がおかれる。
穴１３を介して電子銃室１と連通されている。該
穴１３部分には二点鎖線で示す様に仕切弁１４が
設けてあり、電子銃室１と予備室１２とを遮断す
ることができる。又前記予備室１２の開放端には
有底状の筒体１５が嵌合され、それによつて予備
室は大気から遮断される。該筒体１５内にはネジ
棒１６及び２本の案内棒１７ａ，１７ｂが夫々平
行に配置されている。ネジ棒１６はその軸心が光
軸Ｚと略交叉するようにおかれ、又一端は筒体１
５の底部を回転可能に貫通して大気中に取り出さ
れ、その先端にハンドル１８が取り付けられてお
り、更に該ネジ棒１６には端部に突起１９ａ，１
９ｂを有するナツト２０が螺合されている。尚図
示しないが該ネジ棒１６とナツト２０との螺合部
分には多数のボールが介在されていてボールネジ
を構成している。前記２つの案内棒１７ａ，１７
ｂには断面コの字状の移動体２１が移動可能に支
持されており、該移動体２１の開口部２２内に前
記ナツト２０がおかれる。
２３は前記移動体２１の開口部２２内に支軸２
４を介して回転可能に取り付けられたＬ字状の第
１のテコ体で、一端（作用点側）は穴１３を通つ
て電子銃室１内に挿入され、又その先端には第３
図に平面図を示す様に欠切部２５が形成されてい
る。該欠切部２５にはコの字状の保持体２６が軸
２７ａ，２７ｂを介して回転可能に取り付けられ
ている。保持体２６の腕２６ａ，２６ｂの対向面
には前記ウエーネルト取付台４に設けた鍔４ａを
挿入する凹溝２８ａ，２８ｂが形成してある。該
各凹溝内には板バネ２９ａ，２９ｂにより押圧さ
れた押棒３０ａ，３０ｂが設けてあり、これによ
り第３図中一点鎖線で示す様に鍔４ａ（即ちウエ
ーネルト電極５）を凹溝２８ａ，２８ｂ内に挾
持、固定させることができる。又前記保持体２６
にはテコ体２３の側面に支軸３１を介して回転可
能に取り付けられたレバー３２の一端がピン３３
により枢着されている。レバー３２の他端はピン
３４により前記移動体２１に枢着されている。一
方前記第１のテコ体２３の他端（力点側）はナツ
ト２０の突起１９ａ，１９ｂと対向する様におか
れ、又先端中央部には欠切部３５が形成されてい
る。３６は第４図に正面図を示す様に前記移動体
２１に支軸３７ａ，３７ｂを介して回転自在に取
り付けられた第２のテコ体で、一端（力点側）Ｐ
は前記第１のテコ体２３の欠切部３５の位置にお
かれ、又他端（作用点側）Ｑは第１のテコ体２３
の力点側の側面Ｂに当接している。該当接面（側
面Ｂ）はナツト２０の突起１９ａ，１９ｂが当接
する面（側面Ｃ）の反対側である。
４を介して回転可能に取り付けられたＬ字状の第
１のテコ体で、一端（作用点側）は穴１３を通つ
て電子銃室１内に挿入され、又その先端には第３
図に平面図を示す様に欠切部２５が形成されてい
る。該欠切部２５にはコの字状の保持体２６が軸
２７ａ，２７ｂを介して回転可能に取り付けられ
ている。保持体２６の腕２６ａ，２６ｂの対向面
には前記ウエーネルト取付台４に設けた鍔４ａを
挿入する凹溝２８ａ，２８ｂが形成してある。該
各凹溝内には板バネ２９ａ，２９ｂにより押圧さ
れた押棒３０ａ，３０ｂが設けてあり、これによ
り第３図中一点鎖線で示す様に鍔４ａ（即ちウエ
ーネルト電極５）を凹溝２８ａ，２８ｂ内に挾
持、固定させることができる。又前記保持体２６
にはテコ体２３の側面に支軸３１を介して回転可
能に取り付けられたレバー３２の一端がピン３３
により枢着されている。レバー３２の他端はピン
３４により前記移動体２１に枢着されている。一
方前記第１のテコ体２３の他端（力点側）はナツ
ト２０の突起１９ａ，１９ｂと対向する様におか
れ、又先端中央部には欠切部３５が形成されてい
る。３６は第４図に正面図を示す様に前記移動体
２１に支軸３７ａ，３７ｂを介して回転自在に取
り付けられた第２のテコ体で、一端（力点側）Ｐ
は前記第１のテコ体２３の欠切部３５の位置にお
かれ、又他端（作用点側）Ｑは第１のテコ体２３
の力点側の側面Ｂに当接している。該当接面（側
面Ｂ）はナツト２０の突起１９ａ，１９ｂが当接
する面（側面Ｃ）の反対側である。
３８は前記ナツト２０の外周におかれた半円筒
状の規制板で、移動体２１に固定されており、又
該規制板には第５図に拡大平面図を示す様に前記
ネジ棒１６と平行な長溝３９とこの長溝の右端か
ら分岐した２つの斜溝４０，４１が形成されてい
る。該各斜溝４０，４１の終端部４０ａ，４１ａ
は前記長溝３９と平行な直線状に形成されてお
り、又終端部４０ａと４１ａとはネジ棒１６を中
心にしてある一定角度、例えば90度はなして設け
てある。更に該各溝３９，４０及び４１内には前
記ナツト２０に固定されたピン４２が遊嵌され
る。これによりナツト２０は規制板３８と一体化
する為、ハンドル１８を介してネジ棒１６を回転
させることによりナツト２０は前後に移動する。
４３及び４４は前記規制板３８上の斜溝４０と４
１との間に軸４５を介して回転可能に取り付けら
れた夫々短冊状及び半円板状に形成された第１及
び第２の案内板で、これらはナツト２０が一往復
するごとにピン４２を斜溝４０と４１内に交互に
切換えて導びくための役目を果す。４６は規制板
３８と第２の案内板４４との間に張架されたスプ
リングで、規制板との固定点は長溝３９の終端縁
部に設けられ、第２の案内板との固定点は軸４５
を中心にして反対側に設けられる。４７は第１と
第２の案内板４３と４４との間に張架されたスプ
リングで、このスプリングにより第１の案内板４
３は第５図にその状態を示す様に第２の案内板４
４が一方の斜溝４０をふさいでいるとき、他方の
斜溝４１をふさぐような回転力が与えられる。４
８ａ，４８ｂ，４９ａ及び４９ｂはストツパーで
ある。
状の規制板で、移動体２１に固定されており、又
該規制板には第５図に拡大平面図を示す様に前記
ネジ棒１６と平行な長溝３９とこの長溝の右端か
ら分岐した２つの斜溝４０，４１が形成されてい
る。該各斜溝４０，４１の終端部４０ａ，４１ａ
は前記長溝３９と平行な直線状に形成されてお
り、又終端部４０ａと４１ａとはネジ棒１６を中
心にしてある一定角度、例えば90度はなして設け
てある。更に該各溝３９，４０及び４１内には前
記ナツト２０に固定されたピン４２が遊嵌され
る。これによりナツト２０は規制板３８と一体化
する為、ハンドル１８を介してネジ棒１６を回転
させることによりナツト２０は前後に移動する。
４３及び４４は前記規制板３８上の斜溝４０と４
１との間に軸４５を介して回転可能に取り付けら
れた夫々短冊状及び半円板状に形成された第１及
び第２の案内板で、これらはナツト２０が一往復
するごとにピン４２を斜溝４０と４１内に交互に
切換えて導びくための役目を果す。４６は規制板
３８と第２の案内板４４との間に張架されたスプ
リングで、規制板との固定点は長溝３９の終端縁
部に設けられ、第２の案内板との固定点は軸４５
を中心にして反対側に設けられる。４７は第１と
第２の案内板４３と４４との間に張架されたスプ
リングで、このスプリングにより第１の案内板４
３は第５図にその状態を示す様に第２の案内板４
４が一方の斜溝４０をふさいでいるとき、他方の
斜溝４１をふさぐような回転力が与えられる。４
８ａ，４８ｂ，４９ａ及び４９ｂはストツパーで
ある。
斯かる装置における動作を以下に詳説する。第
１図は予備室１２内におかれた移動体２１が最右
端におかれ、碍子２（金具３）に装着されている
ウエーネルト取次台４の鍔部４ａを第１のテコ体
２３に取り付けられた保持体２６が挾持した状態
を示す。又このときナツト２０に固定されたピン
４２は第５図で示す様に斜溝４１の終端部４１ａ
内におかれ、ナツト２０に設けた突起１９ａは第
２のテコ体３６と当接している。この状態におい
てネジ棒１６を回してナツト２０を第１図中右方
に移動させると、第２のテコ体３６が支軸３７
ａ，３７ｂを中心にして時計方向に回転すると同
時に第１のテコ体２３が支軸２４を中心にして時
計方向に回転するため、保持体２６が押し下り、
ウエーネルト取付台４が金具３から取り外され
る。このとき保持体２６の端部ａ（第３図参照）
は第１のテコ体のテコ比と同じテコ比を有するレ
バー３２によつて押し下げられるため、姿勢を変
えず（例えば水平に保たれたまま）に下降する。
しかしてウエーネルト取付台４が金具３から外れ
るとナツト２０は図示外のストツパーにより移動
が阻止され、同時に第１のテコ体２３は図示外の
ラチエツト機構等のロツク機構によりその位置が
ロツクされる。しかる後、ネジ棒１６を前述とは
逆の方向に回してナツト２０を第１図中左方に移
動させると、ピン４２を介して移動体２１が一体
となつて移動するため、ウエーネルト電極５は穴
１３を通つて予備室１２内に移される。前記ナツ
ト２０が第１図中一点鎖線ｂで示す様に最左端ま
で移動するとピン４２は斜溝４１をつたつて第５
図で示す長溝３９の左端イの位置におかれる。こ
こで第１の案内板４３が斜溝４１をふさいでいる
わけであるが、ピン４２が長溝３９側に向うとき
には第１の案内板４３はフリーで、ピン４２の移
動とともにストツパー４８ｂの位置まで回転し、
ピン４２が斜溝４０側に進入するのを阻止する。
１図は予備室１２内におかれた移動体２１が最右
端におかれ、碍子２（金具３）に装着されている
ウエーネルト取次台４の鍔部４ａを第１のテコ体
２３に取り付けられた保持体２６が挾持した状態
を示す。又このときナツト２０に固定されたピン
４２は第５図で示す様に斜溝４１の終端部４１ａ
内におかれ、ナツト２０に設けた突起１９ａは第
２のテコ体３６と当接している。この状態におい
てネジ棒１６を回してナツト２０を第１図中右方
に移動させると、第２のテコ体３６が支軸３７
ａ，３７ｂを中心にして時計方向に回転すると同
時に第１のテコ体２３が支軸２４を中心にして時
計方向に回転するため、保持体２６が押し下り、
ウエーネルト取付台４が金具３から取り外され
る。このとき保持体２６の端部ａ（第３図参照）
は第１のテコ体のテコ比と同じテコ比を有するレ
バー３２によつて押し下げられるため、姿勢を変
えず（例えば水平に保たれたまま）に下降する。
しかしてウエーネルト取付台４が金具３から外れ
るとナツト２０は図示外のストツパーにより移動
が阻止され、同時に第１のテコ体２３は図示外の
ラチエツト機構等のロツク機構によりその位置が
ロツクされる。しかる後、ネジ棒１６を前述とは
逆の方向に回してナツト２０を第１図中左方に移
動させると、ピン４２を介して移動体２１が一体
となつて移動するため、ウエーネルト電極５は穴
１３を通つて予備室１２内に移される。前記ナツ
ト２０が第１図中一点鎖線ｂで示す様に最左端ま
で移動するとピン４２は斜溝４１をつたつて第５
図で示す長溝３９の左端イの位置におかれる。こ
こで第１の案内板４３が斜溝４１をふさいでいる
わけであるが、ピン４２が長溝３９側に向うとき
には第１の案内板４３はフリーで、ピン４２の移
動とともにストツパー４８ｂの位置まで回転し、
ピン４２が斜溝４０側に進入するのを阻止する。
この状態において仕切弁１４にて穴１３を塞
ぎ、電子銃室１と予備室１２とを遮断した後、予
備室内をリークして筒体１５を予備室１２からぬ
き出すことにより新しいフイラメントをウエーネ
ルト取付台４に装着することができる。フイラメ
ント交換後、筒体１５を予備室１２に挿入し、予
備室内を粗引して仕切弁１４を開放することによ
りこの予備室と電子銃室とを連通させる。しかし
て前記ネジ棒１６を前述とは逆方向に回転させて
移動体２１を第１図中最左端から実線で示す位置
まで移動し、第１のテコ体２３に挾持させたウエ
ーネルト取付台４を碍子２の直下におく。このと
きピン４２は第５図で示す長溝３９のイの位置か
ら第１の案内板４３にガイドされて斜溝４０に進
入し、更に該ピン４２は第２の案内板４４を回転
させながら移動して終端部４０ａのロの位置にお
かれる。これによりナツト２０は前述したウエー
ネルト取付台４を碍子２の金具３から取り外す状
態、即ち一往復する前の状態から90度回転し、ナ
ツトの突起１９ａ，１９ｂは第１のテコ体２３の
側面Ｃと当接する。そこでネジ棒１６を回してナ
ツト２０を更に前進させれば、第２のテコ体２３
が支軸２４を中心にして反時計方向に回転するた
め、保持体２６が押し上げられ、第１図でその状
態を示す様にウエーネルト取付台４が金具３内に
嵌合され、新しいフイラメント６がソケツト１１
ａ，１１ｂに接続される。尚第１のテコ体２３は
ウエーネルト取付台４を金具３内に押し込んだ
際、図示外のラチエツト機構等のロツク機構によ
りその位置がロツクされる。しかる後、ネジ棒１
６を逆転させて移動体２１（第１のテコ体２３）
を第１図中最左端に移動させれば、試料の露光を
行なうことができる。ここで前述した様にピン４
２が斜溝４０を通つて終端部４０ａに移動する際
第２の案内板４４は回転され、それによつて案内
板にはスプリング４６による反時計方向の回転力
から時計方向の回転力が加わり、案内板は第６図
にその状態を示す様に斜溝４１側をふさぐ様に配
置される。これによりスプリング４７にて第２の
案内板４３に時計方向の回転力が加わり、案内板
４３は斜溝４０側に配置される。従つてピン４２
が終端部４０ａに位置している状態（ウエーネル
ト取付台４を金具３に嵌合した状態）から移動体
２１を第１図中最左端に移動させた際、ピン４２
は第２の案内板４４により阻害されることなく第
１の案内板４３を押しのけて長溝３９のイの位置
まで移動する。この状態でネジ棒１６を逆転させ
て移動体２１を第１図中実線の位置まで移動させ
ると、保持体２６がウエーネルト取付台４の鍔４
ａを挾持し、更に長溝３９のイの位置におかれた
ピン４２は斜溝４１を通つて終端部４１ａにおか
れるため、ナツト２０は逆転し、その突起１９ａ
が第２のテコ体３６と当接する。このとき第１の
案内板はピン４２によつて回転されるため、第１
及び第２の案内板４３，４４は第６図の状態から
第５図の状態に復帰する。以下前述した動作を行
なうことにより新しいフイラメントと交換するこ
とができる。
ぎ、電子銃室１と予備室１２とを遮断した後、予
備室内をリークして筒体１５を予備室１２からぬ
き出すことにより新しいフイラメントをウエーネ
ルト取付台４に装着することができる。フイラメ
ント交換後、筒体１５を予備室１２に挿入し、予
備室内を粗引して仕切弁１４を開放することによ
りこの予備室と電子銃室とを連通させる。しかし
て前記ネジ棒１６を前述とは逆方向に回転させて
移動体２１を第１図中最左端から実線で示す位置
まで移動し、第１のテコ体２３に挾持させたウエ
ーネルト取付台４を碍子２の直下におく。このと
きピン４２は第５図で示す長溝３９のイの位置か
ら第１の案内板４３にガイドされて斜溝４０に進
入し、更に該ピン４２は第２の案内板４４を回転
させながら移動して終端部４０ａのロの位置にお
かれる。これによりナツト２０は前述したウエー
ネルト取付台４を碍子２の金具３から取り外す状
態、即ち一往復する前の状態から90度回転し、ナ
ツトの突起１９ａ，１９ｂは第１のテコ体２３の
側面Ｃと当接する。そこでネジ棒１６を回してナ
ツト２０を更に前進させれば、第２のテコ体２３
が支軸２４を中心にして反時計方向に回転するた
め、保持体２６が押し上げられ、第１図でその状
態を示す様にウエーネルト取付台４が金具３内に
嵌合され、新しいフイラメント６がソケツト１１
ａ，１１ｂに接続される。尚第１のテコ体２３は
ウエーネルト取付台４を金具３内に押し込んだ
際、図示外のラチエツト機構等のロツク機構によ
りその位置がロツクされる。しかる後、ネジ棒１
６を逆転させて移動体２１（第１のテコ体２３）
を第１図中最左端に移動させれば、試料の露光を
行なうことができる。ここで前述した様にピン４
２が斜溝４０を通つて終端部４０ａに移動する際
第２の案内板４４は回転され、それによつて案内
板にはスプリング４６による反時計方向の回転力
から時計方向の回転力が加わり、案内板は第６図
にその状態を示す様に斜溝４１側をふさぐ様に配
置される。これによりスプリング４７にて第２の
案内板４３に時計方向の回転力が加わり、案内板
４３は斜溝４０側に配置される。従つてピン４２
が終端部４０ａに位置している状態（ウエーネル
ト取付台４を金具３に嵌合した状態）から移動体
２１を第１図中最左端に移動させた際、ピン４２
は第２の案内板４４により阻害されることなく第
１の案内板４３を押しのけて長溝３９のイの位置
まで移動する。この状態でネジ棒１６を逆転させ
て移動体２１を第１図中実線の位置まで移動させ
ると、保持体２６がウエーネルト取付台４の鍔４
ａを挾持し、更に長溝３９のイの位置におかれた
ピン４２は斜溝４１を通つて終端部４１ａにおか
れるため、ナツト２０は逆転し、その突起１９ａ
が第２のテコ体３６と当接する。このとき第１の
案内板はピン４２によつて回転されるため、第１
及び第２の案内板４３，４４は第６図の状態から
第５図の状態に復帰する。以下前述した動作を行
なうことにより新しいフイラメントと交換するこ
とができる。
以上の如き構成となすことにより本発明におい
ては電子銃室の真空を破ることなくフイラメント
の交換を行なうことができるため、交換を短時間
で行なうことができ、しかも電子線通路上に仕切
弁を設置する必要がなくなるため、チヤージアツ
プによる電子線の不正偏向を防止でき、正確な図
形を描くことができる。又ハンドルを回転するだ
けでフイラメント交換を行なうことができるた
め、取り扱い操作が非常に容易となり、実用性大
である。
ては電子銃室の真空を破ることなくフイラメント
の交換を行なうことができるため、交換を短時間
で行なうことができ、しかも電子線通路上に仕切
弁を設置する必要がなくなるため、チヤージアツ
プによる電子線の不正偏向を防止でき、正確な図
形を描くことができる。又ハンドルを回転するだ
けでフイラメント交換を行なうことができるた
め、取り扱い操作が非常に容易となり、実用性大
である。
尚前述の説明では本発明を電子線露光装置に実
施した場合について述べたが、これに限定される
ことなく他の高真空を必要とする電子顕微鏡等の
電子線装置にも同様に実施することができる。
施した場合について述べたが、これに限定される
ことなく他の高真空を必要とする電子顕微鏡等の
電子線装置にも同様に実施することができる。
第１図は本発明の一実施例を示す縦断面図、第
２図は第１図のＡ−Ａ断面図、第３図は第１のテ
コ体の平面図、第４図は第２のテコ体の左側面
図、第５図及び第６図は規制板の拡大平面図であ
る。 １：電子銃室、２：碍子、３：金具、４：ウエ
ーネルト取付台、５：ウエーネルト電極、６：フ
イラメント、１２：予備室、１３：穴、１４：仕
切弁、１５：筒体、１６：ネジ棒、１８：ハンド
ル、１９ａ，１９ｂ：突起、２０：ナツト、２
１：移動体、２３：第１のテコ体、２４：支軸、
２６：保持体、３１：支軸、３２：レバー、３
６：第２のテコ体、３７ａ，３７ｂ：支軸、３
８：規制板、３９：長溝、４０，４１：斜溝、４
２：ピン、４３：第１の案内板、４４：第２の案
内板、４６，４７：スプリング。
２図は第１図のＡ−Ａ断面図、第３図は第１のテ
コ体の平面図、第４図は第２のテコ体の左側面
図、第５図及び第６図は規制板の拡大平面図であ
る。 １：電子銃室、２：碍子、３：金具、４：ウエ
ーネルト取付台、５：ウエーネルト電極、６：フ
イラメント、１２：予備室、１３：穴、１４：仕
切弁、１５：筒体、１６：ネジ棒、１８：ハンド
ル、１９ａ，１９ｂ：突起、２０：ナツト、２
１：移動体、２３：第１のテコ体、２４：支軸、
２６：保持体、３１：支軸、３２：レバー、３
６：第２のテコ体、３７ａ，３７ｂ：支軸、３
８：規制板、３９：長溝、４０，４１：斜溝、４
２：ピン、４３：第１の案内板、４４：第２の案
内板、４６，４７：スプリング。
Claims (1)
- １ 電子銃室内に設置された絶縁体に着脱自在に
取り付けられたウエーネルト電極と、該ウエーネ
ルト電極の内側に電気的に絶縁された状態で固定
されたフイラメントと、仕切弁の開閉により前記
電子銃室と連通或は遮断可能な予備室と、該予備
室内に回転可能に設置された外部から操作可能な
ネジ棒と、該ネジ棒に螺合された雌ネジ体と、前
記予備室内にネジ棒と平行におかれた案内体と、
該案内体に支持され前記雌ネジ体と一体に移動す
る移動体と、該移動体に回転可能に取り付けら
れ、且つ一端に前記ウエーネルト電極を着脱可能
に挾持するテコ体と、前記ネジ棒の回転に伴なつ
て雌ネジ体が一往復するたびにこの雌ネジ体を一
定角度交互に正転、逆転させて前記テコ体の一端
を交互に押し上げ、押し下げするための手段とを
設けたことを特徴とする電子線装置におけるフイ
ラメント交換機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13509081A JPS5835851A (ja) | 1981-08-28 | 1981-08-28 | 電子線装置におけるフイラメント交換機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13509081A JPS5835851A (ja) | 1981-08-28 | 1981-08-28 | 電子線装置におけるフイラメント交換機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5835851A JPS5835851A (ja) | 1983-03-02 |
| JPH0352177B2 true JPH0352177B2 (ja) | 1991-08-09 |
Family
ID=15143595
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13509081A Granted JPS5835851A (ja) | 1981-08-28 | 1981-08-28 | 電子線装置におけるフイラメント交換機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5835851A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL8402284A (nl) * | 1984-07-19 | 1986-02-17 | High Voltage Eng Europ | Werkwijze en inrichting voor het verwisselen van emissiebronnen. |
| JP2009245725A (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Jeol Ltd | 電子ビーム発生装置 |
| JP6094786B2 (ja) * | 2012-05-22 | 2017-03-15 | 日新イオン機器株式会社 | フィラメント交換器及びフィラメント交換構造 |
-
1981
- 1981-08-28 JP JP13509081A patent/JPS5835851A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5835851A (ja) | 1983-03-02 |
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