JPS5835851A - 電子線装置におけるフイラメント交換機構 - Google Patents
電子線装置におけるフイラメント交換機構Info
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- JPS5835851A JPS5835851A JP13509081A JP13509081A JPS5835851A JP S5835851 A JPS5835851 A JP S5835851A JP 13509081 A JP13509081 A JP 13509081A JP 13509081 A JP13509081 A JP 13509081A JP S5835851 A JPS5835851 A JP S5835851A
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- filament
- electron gun
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- wehnelt
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/18—Vacuum locks ; Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電子線露光ａｔｅにおいて電子銃室を真空に保
ったままで、フィラメントを簡易操作−ごて交換するこ
とのできる新規な機構に関する〇斯種装置におけるフィ
ラメントの交換は電子銃室と集束レンズとの境に設けら
れた仕切弁を閉じた後、電子銃室をリークして大気圧に
し、電子銃室を集束レンズから切り離す（とにより行な
っている０ところで近時の電子線露光装置は高真空を必
要とするため、フィラメント交換後、電子銃室を所定の
高真空まで排気するのに長い時間を費やす。又仕切弁が
汚染されてチャージアップの原因となり、それによって
電子線が不正ｌこ偏向され、正確な図形を描くことがで
きなくなる。
ったままで、フィラメントを簡易操作−ごて交換するこ
とのできる新規な機構に関する〇斯種装置におけるフィ
ラメントの交換は電子銃室と集束レンズとの境に設けら
れた仕切弁を閉じた後、電子銃室をリークして大気圧に
し、電子銃室を集束レンズから切り離す（とにより行な
っている０ところで近時の電子線露光装置は高真空を必
要とするため、フィラメント交換後、電子銃室を所定の
高真空まで排気するのに長い時間を費やす。又仕切弁が
汚染されてチャージアップの原因となり、それによって
電子線が不正ｌこ偏向され、正確な図形を描くことがで
きなくなる。
本発明は斯様な点に鑑み、電子銃室の真空を破ることな
（フィラメントの交換を行なうことのできる新規な１ａ
構を提供するもので、電子銃室内に設置された絶縁体に
着脱自在に取り付けられたウェーネルト電極と、該ウェ
ーネルト電極の内側に電気的に絶縁された状態で固定さ
れたフィラメントと、仕切弁の開閉Ｉこより前記電子銃
室と連通或は遮断可能な予備室と、該予備室内ＩＣ回転
可能に設置された外部から操作可能なネジ棒と、鎖ネジ
棒）Ｃ螺合された雌ネジ本と、ｍ記予備室内にネジ棒と
平行におかれた案内体と、該案内体に支持され前記維ネ
ジ体と一体に移動する移動体と、該移動体に回転可能に
取り付けられ、且つ一端にｍ紀ウつ一本ルト蝋極を着脱
可能に挾持するテコ体と、前記ネジ棒の回転に伴なって
維ネジ体が一往復するたびにこの維ネジ本を一定角度交
互に正転、逆転させて前記テコ体の一端を交互に押しと
げ、押し下げするための手段とを設けるように構成して
いる。
（フィラメントの交換を行なうことのできる新規な１ａ
構を提供するもので、電子銃室内に設置された絶縁体に
着脱自在に取り付けられたウェーネルト電極と、該ウェ
ーネルト電極の内側に電気的に絶縁された状態で固定さ
れたフィラメントと、仕切弁の開閉Ｉこより前記電子銃
室と連通或は遮断可能な予備室と、該予備室内ＩＣ回転
可能に設置された外部から操作可能なネジ棒と、鎖ネジ
棒）Ｃ螺合された雌ネジ本と、ｍ記予備室内にネジ棒と
平行におかれた案内体と、該案内体に支持され前記維ネ
ジ体と一体に移動する移動体と、該移動体に回転可能に
取り付けられ、且つ一端にｍ紀ウつ一本ルト蝋極を着脱
可能に挾持するテコ体と、前記ネジ棒の回転に伴なって
維ネジ体が一往復するたびにこの維ネジ本を一定角度交
互に正転、逆転させて前記テコ体の一端を交互に押しと
げ、押し下げするための手段とを設けるように構成して
いる。
以下本発明の一実施例を図面に基づき峰脱する０第１図
は縦＃面図％＃Ｅ２図は第１図のムーム断面図であり、
１は電子線露光装置の電子銃室である。２は該電子銃室
内の上部中央に固定された碍子で、下端には筒状の金具
６が固着されている。
は縦＃面図％＃Ｅ２図は第１図のムーム断面図であり、
１は電子線露光装置の電子銃室である。２は該電子銃室
内の上部中央に固定された碍子で、下端には筒状の金具
６が固着されている。
４は該金具６の内側に取り外し可能に嵌合されたウェー
ネルト取付台で、下端外局１こウェーネルト電極５が螺
着されており、又取付台４の中央部にはフィラメント６
を支持する電極棒７ｍ、７ｂを保持した支持板８がビス
（図示せず）等により固定されている５ ９ｍ、９ｂ、
９ｃ （９ｂ及び９ｃは図示せず）は金具５ｋＣ嵌会さ
れた取付台４を挾持、固定するための押棒で、各押棒は
光軸２を中心にして略対称におかれ、且つ板バネ１０畠
、１０ｂ、１０Ｃ（１０ｂ及び１０ｃは図示せず）によ
り常に光軸２に向って押圧されている。１１ｍ及びｌｌ
ｂは前記電極棒７畠、７ｂのソケットで、図示外のケー
ブル等を介してフィラメント加熱電源に接続されている
０ １２は電子銃室１のＩＩＩＩｉに形成した予備室で、穴
１６を介して電子銃室１と連通されている０該穴１６ｓ
分には二点鎖線で示す様６ζ仕切弁１４が設けてあり、
電子銃室１と予備室１２とを遮断することができる０又
前記予備室１２の開放端には有底状の筒体１５が嵌合さ
れ、それによって予備室は大気から遮断される。該筒体
１５内ｄζはネジ棒１６及び２本の案内棒１７ｍ、１７
ｂが夫々平行５こ配置されている。ネジ棒１６はその軸
心が光軸２と略交叉するようＩζおかれ、又一端は筒体
１５の底部を回転可能に貫通して大気中に取り出され、
その先端にハンドル１８が取り付けられており、更に該
ネジ棒１６には端部Ｉこ突起１９ａ、１９ｂを有するナ
ツト２０が螺合されている。尚図示しないが該ネジ棒１
６とナツト２０との螺合部分には多数のボールが介在さ
れていてボールネジを構成している０前記２つの案内棒
１７ｍ、１７ｂには断面コの字状の移動体２１が移動可
能に支持されており、該移動体２１の開口部２２内基こ
前記ナツト２０がおかれる。
ネルト取付台で、下端外局１こウェーネルト電極５が螺
着されており、又取付台４の中央部にはフィラメント６
を支持する電極棒７ｍ、７ｂを保持した支持板８がビス
（図示せず）等により固定されている５ ９ｍ、９ｂ、
９ｃ （９ｂ及び９ｃは図示せず）は金具５ｋＣ嵌会さ
れた取付台４を挾持、固定するための押棒で、各押棒は
光軸２を中心にして略対称におかれ、且つ板バネ１０畠
、１０ｂ、１０Ｃ（１０ｂ及び１０ｃは図示せず）によ
り常に光軸２に向って押圧されている。１１ｍ及びｌｌ
ｂは前記電極棒７畠、７ｂのソケットで、図示外のケー
ブル等を介してフィラメント加熱電源に接続されている
０ １２は電子銃室１のＩＩＩＩｉに形成した予備室で、穴
１６を介して電子銃室１と連通されている０該穴１６ｓ
分には二点鎖線で示す様６ζ仕切弁１４が設けてあり、
電子銃室１と予備室１２とを遮断することができる０又
前記予備室１２の開放端には有底状の筒体１５が嵌合さ
れ、それによって予備室は大気から遮断される。該筒体
１５内ｄζはネジ棒１６及び２本の案内棒１７ｍ、１７
ｂが夫々平行５こ配置されている。ネジ棒１６はその軸
心が光軸２と略交叉するようＩζおかれ、又一端は筒体
１５の底部を回転可能に貫通して大気中に取り出され、
その先端にハンドル１８が取り付けられており、更に該
ネジ棒１６には端部Ｉこ突起１９ａ、１９ｂを有するナ
ツト２０が螺合されている。尚図示しないが該ネジ棒１
６とナツト２０との螺合部分には多数のボールが介在さ
れていてボールネジを構成している０前記２つの案内棒
１７ｍ、１７ｂには断面コの字状の移動体２１が移動可
能に支持されており、該移動体２１の開口部２２内基こ
前記ナツト２０がおかれる。
２６は前記移動体２１の開口部２２内に支軸２４を介し
て回転可能に取り付けられた５字状の第１のテコ体で、
一端（作用点１ｍ１）は穴１６を通って電子銃室１内に
挿入され、又その先端には第３図に平面図を示す様に欠
切部２５が形成されている。
て回転可能に取り付けられた５字状の第１のテコ体で、
一端（作用点１ｍ１）は穴１６を通って電子銃室１内に
挿入され、又その先端には第３図に平面図を示す様に欠
切部２５が形成されている。
該欠切部２５にはコの字状の保持体２６が軸２７Ｊｌ。
２７ｂを介して回転可能に取り付けられている０保持体
２６の椀２６ｍ、２６ｂの対向面遥こは前記ウェーネル
ト取付台４１こ設けた鐸４１を挿入する凹溝２８１゜２
８ｂが形成しである。該各凹溝内基ζは板バネ２９Ｍ。
２６の椀２６ｍ、２６ｂの対向面遥こは前記ウェーネル
ト取付台４１こ設けた鐸４１を挿入する凹溝２８１゜２
８ｂが形成しである。該各凹溝内基ζは板バネ２９Ｍ。
２９ｂ＋こより押圧された押棒６０ａ、６０ｂが設けて
あり、これにより第３図中一点鎖線で示す様に鍔４ｍ（
即らウェーネルト電極５）を凹溝２８ｍ、２８ｂ内１ζ
挾持、同定させることができる０又前記保持体２６には
テコ体２３の＠面ｌこ支軸６１を介して回ノ転可能に取
り付けられたし・イー５２の一端がピン６６により枢着
されている。レバー６２の他端はピン３４１こより前記
移動体２１に枢着されている。
あり、これにより第３図中一点鎖線で示す様に鍔４ｍ（
即らウェーネルト電極５）を凹溝２８ｍ、２８ｂ内１ζ
挾持、同定させることができる０又前記保持体２６には
テコ体２３の＠面ｌこ支軸６１を介して回ノ転可能に取
り付けられたし・イー５２の一端がピン６６により枢着
されている。レバー６２の他端はピン３４１こより前記
移動体２１に枢着されている。
一方前記第重のテコ体２６の他端（力点側）はナツト２
０の突起１９ａ、１９ｂと対向する様におかれ、又先端
中央部には欠切部５５が形成されている０６６は第４図
１こ正面図を示す様に前記移動体２１に支軸６７鳳、６
７ｂを介して回転自在に取り付けられたＩＨ２のテコ体
で、一端（力点＠’）Ｐは前記第１のテコ体２６の欠切
部６５の位１ｌｉｌにおかれ、又他端（作用点１１）Ｑ
は第１のテコ体２６の力点側の側面Ｂに当接している。
０の突起１９ａ、１９ｂと対向する様におかれ、又先端
中央部には欠切部５５が形成されている０６６は第４図
１こ正面図を示す様に前記移動体２１に支軸６７鳳、６
７ｂを介して回転自在に取り付けられたＩＨ２のテコ体
で、一端（力点＠’）Ｐは前記第１のテコ体２６の欠切
部６５の位１ｌｉｌにおかれ、又他端（作用点１１）Ｑ
は第１のテコ体２６の力点側の側面Ｂに当接している。
該当接面（Ｉｌ１面Ｂ）はナツト２０の突起１９ｍ、１
９ｂが当接する面（側面Ｃ）の反対側である。
９ｂが当接する面（側面Ｃ）の反対側である。
６８は前記ナツト２８の外周１こおかれた半円縞状の規
制板で、移動体２１に固定されており、又＃Ｘ規制板に
はｇ５図に拡大平ｒＪ図を示す様＃Ｃ前記ネネジ棒６と
平行な長溝６９とこの長溝の右端から分岐した２つの斜
溝４０．４１が形成されている。該各科溝４０，４１の
終端部４０Ｂ 、 ４１５１は前記長溝６９と平行な直
線状に形成されており、又終端ｓ４０鳳と４１ｍとはネ
ジ棒１６を中心にしである一定角度、例えば９０ｆＩＬ
はなして設けである。更＃Ｃ該各溝５９，４０及び４１
内にはｍ紀ナツト２０１こ固定されたピン４２が遊嵌さ
れる０これによりナツト２０は規制板６８と一体化する
為、ハンドル１８を介してネジ棒１６を回転させること
によりナツト２Ｇは前後ｌζ移動する０４６及び４４は
ｔ１４に！、規制板６Ｂ上の斜溝４０と４１との間に軸
４５を介して回転可能に取り付けられた夫々短冊状及び
半円板状ｌこ形成された第１及び第２の案内板で、これ
らはナツト２０が一往復するととにピン４２を斜溝４０
と４１内に交互に切換んて導び（ための役目を果す。４
６は規制板６Ｂと第２の案内板４４との間に張架された
スプリングで、規制板との固定点は長＄３９の終端縁部
１こ設けられ、第２の案内板との固定点は軸４５を中心
にして反対側に設けられる。４７は第１と第２の案内板
４６と４４との関着こ張架されたスプリングで、このス
プリングにより第１の案内板４６は１１４５図にその状
態を示す様に第２の案内板４４が一方の斜溝４０をふさ
いでいるとき、他方の斜溝４１をふさぐような回転力が
与えられる。４８ａ、４８ｂ。
制板で、移動体２１に固定されており、又＃Ｘ規制板に
はｇ５図に拡大平ｒＪ図を示す様＃Ｃ前記ネネジ棒６と
平行な長溝６９とこの長溝の右端から分岐した２つの斜
溝４０．４１が形成されている。該各科溝４０，４１の
終端部４０Ｂ 、 ４１５１は前記長溝６９と平行な直
線状に形成されており、又終端ｓ４０鳳と４１ｍとはネ
ジ棒１６を中心にしである一定角度、例えば９０ｆＩＬ
はなして設けである。更＃Ｃ該各溝５９，４０及び４１
内にはｍ紀ナツト２０１こ固定されたピン４２が遊嵌さ
れる０これによりナツト２０は規制板６８と一体化する
為、ハンドル１８を介してネジ棒１６を回転させること
によりナツト２Ｇは前後ｌζ移動する０４６及び４４は
ｔ１４に！、規制板６Ｂ上の斜溝４０と４１との間に軸
４５を介して回転可能に取り付けられた夫々短冊状及び
半円板状ｌこ形成された第１及び第２の案内板で、これ
らはナツト２０が一往復するととにピン４２を斜溝４０
と４１内に交互に切換んて導び（ための役目を果す。４
６は規制板６Ｂと第２の案内板４４との間に張架された
スプリングで、規制板との固定点は長＄３９の終端縁部
１こ設けられ、第２の案内板との固定点は軸４５を中心
にして反対側に設けられる。４７は第１と第２の案内板
４６と４４との関着こ張架されたスプリングで、このス
プリングにより第１の案内板４６は１１４５図にその状
態を示す様に第２の案内板４４が一方の斜溝４０をふさ
いでいるとき、他方の斜溝４１をふさぐような回転力が
与えられる。４８ａ、４８ｂ。
４９、及び４９ｂはストッパーである０斯かる装置にお
ける動作を以下５こ詳説する◎第１図は予備室１２内に
おかれた移動体２１が最右端におかれ、碍子２（金具６
）に装着されているウェーネルト取付台４の鍔部４ｍを
第１のテコ体２６１こ取り付けられた保持体２６が挾持
した状態を示す０又このときナツト２０に固定されたピ
ン４．２は第５図で示す様に斜溝４１の終端ｆｓ４１
ａ内におかれ、ナツト２０ｇ：設けた突起１９ｍは第２
のテコ体６６と当接している。この状態におり１てネジ
棒１６を回してナツト２０を第１図中右方６ζ移動させ
ると、第２のテコ体６６が支軸！７畠、６１ｂを中心ｌ
こして時針方向６と回転すると同時＃Ｃ第１のテコ体２
５が支４Ｂ２４を中心にして時針方向に回転するため、
保持体２６が押し下り、ウェーネルト取付台４が金具６
から取り外される。このとき保持体２６の端部ａ（第り
図＃照）は第１のテコ体のテコ比と同じテコ比を有する
レバー６２によって押し下げられるため、姿勢を変えず
（例えば水平ｔＣ保たれたまま）に下降する。しかして
ウェーネルト取付台４が金具６から外れるとナツト２０
は図示外のストッパーにより移動が阻止され、同時番こ
ｍｌのテコ体２６は図示外のラチェット機構等のロック
機構によりその位置がロックされる。
ける動作を以下５こ詳説する◎第１図は予備室１２内に
おかれた移動体２１が最右端におかれ、碍子２（金具６
）に装着されているウェーネルト取付台４の鍔部４ｍを
第１のテコ体２６１こ取り付けられた保持体２６が挾持
した状態を示す０又このときナツト２０に固定されたピ
ン４．２は第５図で示す様に斜溝４１の終端ｆｓ４１
ａ内におかれ、ナツト２０ｇ：設けた突起１９ｍは第２
のテコ体６６と当接している。この状態におり１てネジ
棒１６を回してナツト２０を第１図中右方６ζ移動させ
ると、第２のテコ体６６が支軸！７畠、６１ｂを中心ｌ
こして時針方向６と回転すると同時＃Ｃ第１のテコ体２
５が支４Ｂ２４を中心にして時針方向に回転するため、
保持体２６が押し下り、ウェーネルト取付台４が金具６
から取り外される。このとき保持体２６の端部ａ（第り
図＃照）は第１のテコ体のテコ比と同じテコ比を有する
レバー６２によって押し下げられるため、姿勢を変えず
（例えば水平ｔＣ保たれたまま）に下降する。しかして
ウェーネルト取付台４が金具６から外れるとナツト２０
は図示外のストッパーにより移動が阻止され、同時番こ
ｍｌのテコ体２６は図示外のラチェット機構等のロック
機構によりその位置がロックされる。
しかる後、ネジ棒１６を前述とは逆の方向に回してナツ
ト２０を第１図中左方に移動させると、ピン４２を介し
て移動体２１が一体とぼって移動するため、ウェーネル
ト電極５は穴１６を通って予備室１２内１ζ移される。
ト２０を第１図中左方に移動させると、ピン４２を介し
て移動体２１が一体とぼって移動するため、ウェーネル
ト電極５は穴１６を通って予備室１２内１ζ移される。
前記ナツト２０が第１図中一点鎖線すで示す様に最左端
まで移動するとピン４２は斜溝４１をったって第５図で
示す斜溝６９の左端イの位置におかれる０ここで第１の
案内板４６が斜溝４１をふさいでいるわけであるが、ピ
ン４２が長溝６９側ｌζ向うときには第１の案内板４６
はフリーで、ピン４２の移動とともにストッパー４８ｂ
の位置まで回転し、ピン４２が斜溝４０側に進入するの
を阻止する〇 この状態において仕切弁１４にて穴１６を塞ぎ、電子銃
室１と予備室１２とを遮断した門、予備室内をリークし
て筒体１５を子側１２からぬき出すことＥこより新しい
フィラメントをウェーネルト取付台４に装着することが
できる。フィラメント交換後、筒体１５を予備１１２＋
こ挿入し、予備室内を粗引して仕切弁１４を開放するこ
とによりこの予備室と電子銃室とを連通゛させる。しか
して藺紀ネジ棒１６を前述とは逆方向に回転させて移動
体２１を第１図中最左端から実線で示す位置まで移動し
、第１のテコ体２６に挾持されたウェーネルト取付台４
を碍子２の直下１ζおく。このときピン４２は第５図で
示す長溝６９のイの位置から第１の案内板４６１こガイ
ドされて斜溝４０に進入し、更に鋏ビン４２は第２の案
内板４４を回転させながら移動して終端部４０鳳の口の
位置におかれる。
まで移動するとピン４２は斜溝４１をったって第５図で
示す斜溝６９の左端イの位置におかれる０ここで第１の
案内板４６が斜溝４１をふさいでいるわけであるが、ピ
ン４２が長溝６９側ｌζ向うときには第１の案内板４６
はフリーで、ピン４２の移動とともにストッパー４８ｂ
の位置まで回転し、ピン４２が斜溝４０側に進入するの
を阻止する〇 この状態において仕切弁１４にて穴１６を塞ぎ、電子銃
室１と予備室１２とを遮断した門、予備室内をリークし
て筒体１５を子側１２からぬき出すことＥこより新しい
フィラメントをウェーネルト取付台４に装着することが
できる。フィラメント交換後、筒体１５を予備１１２＋
こ挿入し、予備室内を粗引して仕切弁１４を開放するこ
とによりこの予備室と電子銃室とを連通゛させる。しか
して藺紀ネジ棒１６を前述とは逆方向に回転させて移動
体２１を第１図中最左端から実線で示す位置まで移動し
、第１のテコ体２６に挾持されたウェーネルト取付台４
を碍子２の直下１ζおく。このときピン４２は第５図で
示す長溝６９のイの位置から第１の案内板４６１こガイ
ドされて斜溝４０に進入し、更に鋏ビン４２は第２の案
内板４４を回転させながら移動して終端部４０鳳の口の
位置におかれる。
これによりナツト２０は前述したウェーネルト取付台４
を碍子２の金具６から敗り外す状態、即ち一往復する前
の状態から９０度回転し、ナツトの突起１９ｍ、１９ｂ
は第１のテコ体２５の側面Ｃと当接する。そこでネジ棒
１６を回してナツト２０を更５こ前進させれば、第２の
テコ体２６が支軸２４を中心１こして反時計方向に回転
するため、保持体２６が押しとげられ、第１図でその状
態を示す様にウェーネルト取付台４が金具６内に嵌合さ
れ、新しいフィラメント６がソケット１１鳳、１１ｂに
接続される０尚第１のテコ体２６はウェーネルト取付台
４を金具３内に押し込んだ際、図示外のラチェット機構
等のロック機構によりその位置がロックされる。しかる
後、ネジ棒１６を逆転させて移動体２１（第１のテコ体
２６）を第１図中最左端に移動させれば、試料の露光を
行なうことができる。ここで前述した様にピン４２が斜
溝４０を通って終端部４０ａ１こ移動する際第２の案内
板４４は回転され、それによって案内板６とはスプリン
グ４６による反時針方向の回転力から時針方向の回転力
が加わり、案内板は第６図にその状態を示す様に斜溝４
１側をふさく様１こ配置される。これによりスプリング
４７にて第２の案内板４５６ζ時針方向の回転力が加わ
り、案内板４６は斜溝４０＠１ζ配置される。従ってピ
ン４２が終端部４０ａ＃槍鷹Ｉこ位置している状１ｉｔ
（ウェーネルト取付台４を金具＆ＩＣ＠合した状態）か
ら移動体２１を第１図中最左端に移動させた際、ピン４
２は第２の案内板４４により阻害されることなく第１の
案内板４６を押しのけて長溝６９のイの位置まで移動す
る。
を碍子２の金具６から敗り外す状態、即ち一往復する前
の状態から９０度回転し、ナツトの突起１９ｍ、１９ｂ
は第１のテコ体２５の側面Ｃと当接する。そこでネジ棒
１６を回してナツト２０を更５こ前進させれば、第２の
テコ体２６が支軸２４を中心１こして反時計方向に回転
するため、保持体２６が押しとげられ、第１図でその状
態を示す様にウェーネルト取付台４が金具６内に嵌合さ
れ、新しいフィラメント６がソケット１１鳳、１１ｂに
接続される０尚第１のテコ体２６はウェーネルト取付台
４を金具３内に押し込んだ際、図示外のラチェット機構
等のロック機構によりその位置がロックされる。しかる
後、ネジ棒１６を逆転させて移動体２１（第１のテコ体
２６）を第１図中最左端に移動させれば、試料の露光を
行なうことができる。ここで前述した様にピン４２が斜
溝４０を通って終端部４０ａ１こ移動する際第２の案内
板４４は回転され、それによって案内板６とはスプリン
グ４６による反時針方向の回転力から時針方向の回転力
が加わり、案内板は第６図にその状態を示す様に斜溝４
１側をふさく様１こ配置される。これによりスプリング
４７にて第２の案内板４５６ζ時針方向の回転力が加わ
り、案内板４６は斜溝４０＠１ζ配置される。従ってピ
ン４２が終端部４０ａ＃槍鷹Ｉこ位置している状１ｉｔ
（ウェーネルト取付台４を金具＆ＩＣ＠合した状態）か
ら移動体２１を第１図中最左端に移動させた際、ピン４
２は第２の案内板４４により阻害されることなく第１の
案内板４６を押しのけて長溝６９のイの位置まで移動す
る。
この状態でネジ棒１６を逆転させて移動＄２１を第１図
中実線の位置まで移動させると、保持体２６がウェーネ
ルト取付台４の鍔４畠を挾持し、更に長＃Ｉ６９のイの
位置におかれたピン４２は斜溝４１を通って終端部４１
ａｊ（：おかれるため、ナツト２０は逆転し、その突起
１９ａが１ｇ２のテコ体６６と当接する０このとき第１
の案内板はピン４２によって回転されるため、第１及び
第２の案内板４６゜４４は第６図の状態から第５図の状
−６ζ復帰する。
中実線の位置まで移動させると、保持体２６がウェーネ
ルト取付台４の鍔４畠を挾持し、更に長＃Ｉ６９のイの
位置におかれたピン４２は斜溝４１を通って終端部４１
ａｊ（：おかれるため、ナツト２０は逆転し、その突起
１９ａが１ｇ２のテコ体６６と当接する０このとき第１
の案内板はピン４２によって回転されるため、第１及び
第２の案内板４６゜４４は第６図の状態から第５図の状
−６ζ復帰する。
以下鋳述した動作を行なうことにより新しいフィラメン
トと交換することができる０ 以上の如き構成となすことにより本発＠１こおいては電
子銃室の真空を破ることなくフィラメントの交換を行な
うことができるため、交換を短時間で行なうことができ
、しかも電子線通路土に仕切弁を設置する必要がなくな
るため、チャージアップによる電子線の不正偏向を防止
でき、正確な図形を描（ことができる０又／１ンドルを
回転するだけでフィラメント交換を行なうことができる
ため、取り扱い操作が非常に容易となり、夾用性大であ
る。
トと交換することができる０ 以上の如き構成となすことにより本発＠１こおいては電
子銃室の真空を破ることなくフィラメントの交換を行な
うことができるため、交換を短時間で行なうことができ
、しかも電子線通路土に仕切弁を設置する必要がなくな
るため、チャージアップによる電子線の不正偏向を防止
でき、正確な図形を描（ことができる０又／１ンドルを
回転するだけでフィラメント交換を行なうことができる
ため、取り扱い操作が非常に容易となり、夾用性大であ
る。
尚前述の説明では本発明を電子線露光装置に実施した場
合について述べたが、これに限定されることなく他の高
真空を必要とする電子顕微鏡等の電子線装置にも同様に
実施することができるＯ１函の簡単な！！明 第１図は本発明の一実施例を示す縦断両回、第２図は第
１図のＡ−ム断面図、第３図は第１のテコ体の平面図、
第４図は第２のテコ体の左側面図、第５図及び第６図は
規制板の拡大平面図であるロ１：電子銃室ζ２：碍子、
６：金具、４：つ工−ネルト取付台、５：ウェーネルト
電極、６：フィラメント、１２：予備室、１Ｓ：穴、１
４：仕切弁、１５：ｌｉｉ体、１６ ： ネジ棒、１８
：／％７Ｆル、１９ｍ、１９ｂ：突起、２０：ナツト、
２１：移動体、２６：第１のテコ体、２４：支軸、２６
：保持体、５１：支軸、６２ニレバー、６６：第２のテ
コ体、３７ｍ、６７ｂ：支軸、６８：規制板、６９：長
溝、４０．４１ ：斜溝、４２：ピン、４６：第１の案
内板、４４：第２の案内板、４６．４７：スプリング。
合について述べたが、これに限定されることなく他の高
真空を必要とする電子顕微鏡等の電子線装置にも同様に
実施することができるＯ１函の簡単な！！明 第１図は本発明の一実施例を示す縦断両回、第２図は第
１図のＡ−ム断面図、第３図は第１のテコ体の平面図、
第４図は第２のテコ体の左側面図、第５図及び第６図は
規制板の拡大平面図であるロ１：電子銃室ζ２：碍子、
６：金具、４：つ工−ネルト取付台、５：ウェーネルト
電極、６：フィラメント、１２：予備室、１Ｓ：穴、１
４：仕切弁、１５：ｌｉｉ体、１６ ： ネジ棒、１８
：／％７Ｆル、１９ｍ、１９ｂ：突起、２０：ナツト、
２１：移動体、２６：第１のテコ体、２４：支軸、２６
：保持体、５１：支軸、６２ニレバー、６６：第２のテ
コ体、３７ｍ、６７ｂ：支軸、６８：規制板、６９：長
溝、４０．４１ ：斜溝、４２：ピン、４６：第１の案
内板、４４：第２の案内板、４６．４７：スプリング。
特許出願人
日本電子株式会社
代表者加勢忠雄
Claims (1)
- 電子銃室内に設置された絶縁体に着脱自在に取り付けら
れたウェーネルト電極と、該ウェーネルト電極の内ｌｌ
１１ｃ電気的に絶縁された状態で固定されたフィラメン
トと、仕切弁の開閉により前記電子銃室と連通或は遮断
可能な予備室と、咳予備室内に回転可能に設置された外
部から操作可能なネジ棒と、該ネジ棒に蝶合された一ネ
ジ体と、前記予備室内Ｊこネジ棒と平行におかれた案内
体と、咳案内体に支持され前記雌ネジ体と一体に移動す
る移動体と、該移動体＃ｃＩｇ１転可能に取り付けられ
、且つ一端に前記ウェーネルト電極を着脱可能に挾持す
るテコ体と、前記ネジ棒の回転に伴なって雌ネジ体が一
往復するたびにこの維ネジ体を一定角度交互遥こ正転、
逆転させて前記テコ体の一端を交互Ｉζ押し上げ、押し
下げするための手段とを設けたことを特徴とする電子線
俟Ｋｌこおけるフィラメント交換機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13509081A JPS5835851A (ja) | 1981-08-28 | 1981-08-28 | 電子線装置におけるフイラメント交換機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13509081A JPS5835851A (ja) | 1981-08-28 | 1981-08-28 | 電子線装置におけるフイラメント交換機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5835851A true JPS5835851A (ja) | 1983-03-02 |
| JPH0352177B2 JPH0352177B2 (ja) | 1991-08-09 |
Family
ID=15143595
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13509081A Granted JPS5835851A (ja) | 1981-08-28 | 1981-08-28 | 電子線装置におけるフイラメント交換機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5835851A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4721918A (en) * | 1984-07-19 | 1988-01-26 | High Voltage Engineering Europa B.V. | Process and apparatus for the exchange of emission sources |
| JP2009245725A (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Jeol Ltd | 電子ビーム発生装置 |
| CN103426705A (zh) * | 2012-05-22 | 2013-12-04 | 日新离子机器株式会社 | 灯丝更换器和灯丝更换结构 |
-
1981
- 1981-08-28 JP JP13509081A patent/JPS5835851A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4721918A (en) * | 1984-07-19 | 1988-01-26 | High Voltage Engineering Europa B.V. | Process and apparatus for the exchange of emission sources |
| JP2009245725A (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Jeol Ltd | 電子ビーム発生装置 |
| CN103426705A (zh) * | 2012-05-22 | 2013-12-04 | 日新离子机器株式会社 | 灯丝更换器和灯丝更换结构 |
| JP2013243098A (ja) * | 2012-05-22 | 2013-12-05 | Nissin Ion Equipment Co Ltd | フィラメント交換器及びフィラメント交換構造 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0352177B2 (ja) | 1991-08-09 |
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