JPH06349436A - 電子顕微鏡等の試料交換装置 - Google Patents
電子顕微鏡等の試料交換装置Info
- Publication number
- JPH06349436A JPH06349436A JP14174293A JP14174293A JPH06349436A JP H06349436 A JPH06349436 A JP H06349436A JP 14174293 A JP14174293 A JP 14174293A JP 14174293 A JP14174293 A JP 14174293A JP H06349436 A JPH06349436 A JP H06349436A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 簡単に操作性良く試料ホルダの脱着を行うこ
とができ、また、ホルダの試料交換棒からの脱落を防止
し得る電子顕微鏡等の試料交換装置を実現するを実現す
る。 【構成】 試料ホルダ８を試料ステージ３上に載せるた
めに、試料交換棒６を図中右側に移動させる。ホルダ８
を装着したＣ状の弾性体を試料室２内部に導入し、ステ
ージ３上の逆Ｃ状の弾性体１３に当接させる。交換棒６
を更に押すと、Ｃ状の弾性体１２の開口部Ａの径がホル
ダ８が装着されているために開かれているので、逆Ｃ状
の弾性体１３の先端部はＣ状の弾性体１２の開口部Ａの
内側から入り込み、ホルダ８の外側に逆Ｃ状の弾性体１
３が挿入され、その外側にＣ状の弾性体１２が位置す
る。次に交換棒６を左側に引き抜くと、試料ホルダ８は
逆Ｃ状の弾性体１３に保持されるため、ステージ３上に
残され、試料交換棒６先端のＣ状の弾性体１３からはホ
ルダ８が外される。試料交換棒６を更に引き抜き、Ｃ状
の弾性体１２部分を試料交換室５内にまで移した後、仕
切弁４が閉じらる。
とができ、また、ホルダの試料交換棒からの脱落を防止
し得る電子顕微鏡等の試料交換装置を実現するを実現す
る。 【構成】 試料ホルダ８を試料ステージ３上に載せるた
めに、試料交換棒６を図中右側に移動させる。ホルダ８
を装着したＣ状の弾性体を試料室２内部に導入し、ステ
ージ３上の逆Ｃ状の弾性体１３に当接させる。交換棒６
を更に押すと、Ｃ状の弾性体１２の開口部Ａの径がホル
ダ８が装着されているために開かれているので、逆Ｃ状
の弾性体１３の先端部はＣ状の弾性体１２の開口部Ａの
内側から入り込み、ホルダ８の外側に逆Ｃ状の弾性体１
３が挿入され、その外側にＣ状の弾性体１２が位置す
る。次に交換棒６を左側に引き抜くと、試料ホルダ８は
逆Ｃ状の弾性体１３に保持されるため、ステージ３上に
残され、試料交換棒６先端のＣ状の弾性体１３からはホ
ルダ８が外される。試料交換棒６を更に引き抜き、Ｃ状
の弾性体１２部分を試料交換室５内にまで移した後、仕
切弁４が閉じらる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、走査電子顕微鏡等の真
空排気される試料室と大気との間で試料の交換を行うよ
うにした電子顕微鏡等の試料交換装置に関する。
空排気される試料室と大気との間で試料の交換を行うよ
うにした電子顕微鏡等の試料交換装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図１は従来の走査電子顕微鏡の試料交換
装置の概要を示しており、１は走査電子顕微鏡の電子光
学鏡筒である。鏡筒１の下部には図示していない真空ポ
ンプによって排気される試料室２が設けられている。試
料室２内には試料ステージ３が配置されている。試料室
２の側部には、仕切弁４を介して試料交換室５が取り付
けられている。６は試料交換棒であり、試料交換棒６は
試料交換室５の側壁を貫通して直線状に移動可能に構成
されている。試料交換棒６の先端には雄ネジ部７が形成
されており、この雄ネジ部７と試料ステージ３上に配置
される試料ホルダ８に設けられた雌ネジ部９とが接合で
きるように形成されている。
装置の概要を示しており、１は走査電子顕微鏡の電子光
学鏡筒である。鏡筒１の下部には図示していない真空ポ
ンプによって排気される試料室２が設けられている。試
料室２内には試料ステージ３が配置されている。試料室
２の側部には、仕切弁４を介して試料交換室５が取り付
けられている。６は試料交換棒であり、試料交換棒６は
試料交換室５の側壁を貫通して直線状に移動可能に構成
されている。試料交換棒６の先端には雄ネジ部７が形成
されており、この雄ネジ部７と試料ステージ３上に配置
される試料ホルダ８に設けられた雌ネジ部９とが接合で
きるように形成されている。
【０００３】図２は試料ステージ３上に試料ホルダ８が
配置されたときの、試料交換棒６から見た断面図を示し
ている。試料ステージ３にはカンナ台１０が設けられて
おり、カンナ台１０はバネ１１によって常に試料ステー
ジ３側に力を受けている。試料ホルダ８にはカンナ台１
０と接合する溝１２が形成されている。このような構成
の動作を次に説明する。
配置されたときの、試料交換棒６から見た断面図を示し
ている。試料ステージ３にはカンナ台１０が設けられて
おり、カンナ台１０はバネ１１によって常に試料ステー
ジ３側に力を受けている。試料ホルダ８にはカンナ台１
０と接合する溝１２が形成されている。このような構成
の動作を次に説明する。
【０００４】試料ホルダ８を試料ステージ３上に載せ、
走査電子顕微鏡観察を行う場合、まず、試料交換棒６先
端の雄ネジ部７を試料ホルダ８の雌ネジ部９に捩じ込
み、試料交換棒６と試料ホルダ８とを一体化する。試料
ホルダ８を試料交換室５内部に搬送し、試料交換室５内
部を図示していない真空ポンプで排気する。この時仕切
弁４は閉じられている。この状態のときの試料ホルダ８
が点線で示してある。試料交換室５内部の粗引きが終了
した後、仕切弁４を開け試料交換棒６を図中右側に移動
させ、試料ホルダ８を試料ステージ３上に配置する。
走査電子顕微鏡観察を行う場合、まず、試料交換棒６先
端の雄ネジ部７を試料ホルダ８の雌ネジ部９に捩じ込
み、試料交換棒６と試料ホルダ８とを一体化する。試料
ホルダ８を試料交換室５内部に搬送し、試料交換室５内
部を図示していない真空ポンプで排気する。この時仕切
弁４は閉じられている。この状態のときの試料ホルダ８
が点線で示してある。試料交換室５内部の粗引きが終了
した後、仕切弁４を開け試料交換棒６を図中右側に移動
させ、試料ホルダ８を試料ステージ３上に配置する。
【０００５】この時、試料ホルダ８に形成されている溝
１２がカンナ台１０に接合し、カンナ台１０がバネ１１
によって下向きに力を受けているので、試料ホルダ８は
試料ステージ３に固定されることになる。この状態で試
料交換棒８を外部から回転させ、試料交換棒８先端の雄
ネジ部７を試料ホルダ８の雌ネジ部９から取り外し、試
料交換棒６のみを試料室２から取り外す。その後、仕切
弁４を閉じ、試料ホルダ８に取り付けられた試料の走査
電子顕微鏡観察が行われる。
１２がカンナ台１０に接合し、カンナ台１０がバネ１１
によって下向きに力を受けているので、試料ホルダ８は
試料ステージ３に固定されることになる。この状態で試
料交換棒８を外部から回転させ、試料交換棒８先端の雄
ネジ部７を試料ホルダ８の雌ネジ部９から取り外し、試
料交換棒６のみを試料室２から取り外す。その後、仕切
弁４を閉じ、試料ホルダ８に取り付けられた試料の走査
電子顕微鏡観察が行われる。
【０００６】次に試料の観察が終了し、試料ホルダ８を
外部に取り出す場合、仕切弁４を開け試料交換棒６を試
料室２内に導入し、試料交換棒６先端の雄ネジ部７を試
料ホルダ８の雌ネジ部９に捩じ込む。その後、試料交換
棒６を図中左側に移動し、試料ホルダ８を試料交換室５
内に搬送する。そして仕切弁４を閉じ、試料交換室５を
大気に解放してホルダ８を外部に取り出す。
外部に取り出す場合、仕切弁４を開け試料交換棒６を試
料室２内に導入し、試料交換棒６先端の雄ネジ部７を試
料ホルダ８の雌ネジ部９に捩じ込む。その後、試料交換
棒６を図中左側に移動し、試料ホルダ８を試料交換室５
内に搬送する。そして仕切弁４を閉じ、試料交換室５を
大気に解放してホルダ８を外部に取り出す。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記した構成では、試
料交換棒６に試料ホルダ８を脱着する際、試料交換棒６
を回転させねばならず面倒である。また、試料ホルダ８
に形成されている雌ネジ部９は装置のスペース上大きい
ネジにできないため、ネジ部が早期に磨耗損傷し、時と
して試料交換棒６と試料ホルダ８との脱着ができなくな
る事故が発生する。
料交換棒６に試料ホルダ８を脱着する際、試料交換棒６
を回転させねばならず面倒である。また、試料ホルダ８
に形成されている雌ネジ部９は装置のスペース上大きい
ネジにできないため、ネジ部が早期に磨耗損傷し、時と
して試料交換棒６と試料ホルダ８との脱着ができなくな
る事故が発生する。
【０００８】更に、試料ホルダ８を試料室２内の試料ス
テージ３上から取り出す場合に、大気中から試料交換棒
６を操作し、試料ステージ３上の試料ホルダ８の雌ネジ
部９と交換棒６の雄ネジ部７とを接合させねばならない
が、この接合部は外部から大変見ずらく、作業者に不安
感を与える。更にまた、雄ネジ部７と雌ネジ部９とが完
全に接合されていない場合には、試料ホルダ搬送中にホ
ルダ８が落下し、試料や他の構成部品を破損させる事故
も生じる。
テージ３上から取り出す場合に、大気中から試料交換棒
６を操作し、試料ステージ３上の試料ホルダ８の雌ネジ
部９と交換棒６の雄ネジ部７とを接合させねばならない
が、この接合部は外部から大変見ずらく、作業者に不安
感を与える。更にまた、雄ネジ部７と雌ネジ部９とが完
全に接合されていない場合には、試料ホルダ搬送中にホ
ルダ８が落下し、試料や他の構成部品を破損させる事故
も生じる。
【０００９】本発明は、このような点に鑑みてなされた
もので、その目的は、簡単に操作性良く試料ホルダの脱
着を行うことができ、また、ホルダの試料交換棒からの
脱落を防止し得る電子顕微鏡等の試料交換装置を実現す
るにある。
もので、その目的は、簡単に操作性良く試料ホルダの脱
着を行うことができ、また、ホルダの試料交換棒からの
脱落を防止し得る電子顕微鏡等の試料交換装置を実現す
るにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明に基づく電子顕微
鏡等の試料交換装置は、内部が真空排気され、試料ホル
ダが配置される試料ステージを有した試料室と、試料交
換室と、試料交換室と試料室とを仕切る仕切弁と、試料
交換室を介して試料室内に試料ホルダを搬送する試料交
換棒と、試料交換棒の先端に取り付けられＣ状に形成さ
れた弾性部材と、試料ステージ上に固定され逆Ｃ状に形
成された弾性部材とを備えており、試料交換棒先端のＣ
状の弾性部材と試料ステージ上の逆Ｃ状の弾性部材と
は、それぞれ、試料ホルダーが装着されたときには開口
部が比較的大きく開かれることを特徴としている。
鏡等の試料交換装置は、内部が真空排気され、試料ホル
ダが配置される試料ステージを有した試料室と、試料交
換室と、試料交換室と試料室とを仕切る仕切弁と、試料
交換室を介して試料室内に試料ホルダを搬送する試料交
換棒と、試料交換棒の先端に取り付けられＣ状に形成さ
れた弾性部材と、試料ステージ上に固定され逆Ｃ状に形
成された弾性部材とを備えており、試料交換棒先端のＣ
状の弾性部材と試料ステージ上の逆Ｃ状の弾性部材と
は、それぞれ、試料ホルダーが装着されたときには開口
部が比較的大きく開かれることを特徴としている。
【００１１】
【作用】本発明に基づく電子顕微鏡等の試料交換装置
は、試料ホルダを試料交換棒の先端のＣ状の弾性体に装
着し、試料ステージ上の逆Ｃ状の弾性体部分に搬送す
る。Ｃ状の弾性体は試料ホルダが装着されているので比
較的その開口部が大きく開かれ、Ｃ状の弾性体と試料ホ
ルダの間に逆Ｃ状の弾性体が入り込み、Ｃ状の弾性体を
引き抜くと試料ホルダはステージ状に残されることにな
る。
は、試料ホルダを試料交換棒の先端のＣ状の弾性体に装
着し、試料ステージ上の逆Ｃ状の弾性体部分に搬送す
る。Ｃ状の弾性体は試料ホルダが装着されているので比
較的その開口部が大きく開かれ、Ｃ状の弾性体と試料ホ
ルダの間に逆Ｃ状の弾性体が入り込み、Ｃ状の弾性体を
引き抜くと試料ホルダはステージ状に残されることにな
る。
【００１２】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。図３は本発明の一実施例である試料交換装
置の試料室２と試料交換室５部分の平面図を示し、図４
はその立面図を示しており、図１の従来装置と同一番号
は同一構成要素を示す。この実施例で、試料交換棒６の
先端には図１の従来装置における雄ネジ部７に代え、Ｃ
状の弾性体１２が設けられている。Ｃ状の弾性体１２は
断面が円形の試料ホルダ８を挟み付け保持できるように
形成されている。すなわち、Ｃ状の弾性体１２は通常は
その径がホルダ８の外径よりも小さくされているが、開
口部Ａをホルダ８に押し付けることにより、開口部Ａが
開き、ホルダ８を弾性体１２内部に装着し、その弾性力
によりホルダを適切に保持できるようになっている。
に説明する。図３は本発明の一実施例である試料交換装
置の試料室２と試料交換室５部分の平面図を示し、図４
はその立面図を示しており、図１の従来装置と同一番号
は同一構成要素を示す。この実施例で、試料交換棒６の
先端には図１の従来装置における雄ネジ部７に代え、Ｃ
状の弾性体１２が設けられている。Ｃ状の弾性体１２は
断面が円形の試料ホルダ８を挟み付け保持できるように
形成されている。すなわち、Ｃ状の弾性体１２は通常は
その径がホルダ８の外径よりも小さくされているが、開
口部Ａをホルダ８に押し付けることにより、開口部Ａが
開き、ホルダ８を弾性体１２内部に装着し、その弾性力
によりホルダを適切に保持できるようになっている。
【００１３】試料室２内部の試料ステージ３上には逆Ｃ
状の弾性体１３が取り付けられている。この逆Ｃ状の弾
性体１３は、Ｃ状の弾性体１２と形状は同一で、その開
口部Ｂの向きが逆となっており、図中Ｐ部でステージ３
に固定されている。なお、Ｃ状の弾性体１２と逆Ｃ状の
弾性体１３は、試料ホルダ８が内部に装着されたとき
は、その径が大きくなり、その開口部ＡあるいはＢは比
較的大きく開かれる。このような構成の動作を次に説明
する。
状の弾性体１３が取り付けられている。この逆Ｃ状の弾
性体１３は、Ｃ状の弾性体１２と形状は同一で、その開
口部Ｂの向きが逆となっており、図中Ｐ部でステージ３
に固定されている。なお、Ｃ状の弾性体１２と逆Ｃ状の
弾性体１３は、試料ホルダ８が内部に装着されたとき
は、その径が大きくなり、その開口部ＡあるいはＢは比
較的大きく開かれる。このような構成の動作を次に説明
する。
【００１４】図３の状態は試料交換棒６先端のＣ状の弾
性体１２に試料ホルダ８が装着された状態である。試料
ホルダ８を試料ステージ３上に載せるために、仕切弁４
が開かれ、試料交換棒６が図中右側に移動させられ、ホ
ルダ８が試料室２内部に導入される。更に交換棒６を移
動させ、ステージ３上の逆Ｃ状の弾性体１３に当接させ
る。そして、交換棒６を更に押すと、Ｃ状の弾性体１２
の開口部Ａの径がホルダ８が装着されているために開か
れているので、逆Ｃ状の弾性体１３の先端部はＣ状の弾
性体１２の開口部Ａの内側から入り込み、最終的には図
５に示すようにホルダ８の外側に逆Ｃ状の弾性体１３が
挿入され、その外側にＣ状の弾性体１２が位置すること
になる。
性体１２に試料ホルダ８が装着された状態である。試料
ホルダ８を試料ステージ３上に載せるために、仕切弁４
が開かれ、試料交換棒６が図中右側に移動させられ、ホ
ルダ８が試料室２内部に導入される。更に交換棒６を移
動させ、ステージ３上の逆Ｃ状の弾性体１３に当接させ
る。そして、交換棒６を更に押すと、Ｃ状の弾性体１２
の開口部Ａの径がホルダ８が装着されているために開か
れているので、逆Ｃ状の弾性体１３の先端部はＣ状の弾
性体１２の開口部Ａの内側から入り込み、最終的には図
５に示すようにホルダ８の外側に逆Ｃ状の弾性体１３が
挿入され、その外側にＣ状の弾性体１２が位置すること
になる。
【００１５】この状態で次に交換棒６を左側に引き抜く
と、試料ホルダ８は逆Ｃ状の弾性体１３に保持されるた
め、試料ステージ３上に残され、試料交換棒６先端のＣ
状の弾性体１３からはホルダ８が外される。試料交換棒
６を更に引き抜き、Ｃ状の弾性体１２部分を試料交換室
５内にまで移した後、仕切弁４が閉じられ、試料ホルダ
８上の試料の走査電子顕微鏡像の観察が実行される。
と、試料ホルダ８は逆Ｃ状の弾性体１３に保持されるた
め、試料ステージ３上に残され、試料交換棒６先端のＣ
状の弾性体１３からはホルダ８が外される。試料交換棒
６を更に引き抜き、Ｃ状の弾性体１２部分を試料交換室
５内にまで移した後、仕切弁４が閉じられ、試料ホルダ
８上の試料の走査電子顕微鏡像の観察が実行される。
【００１６】次に、試料ホルダ８を試料ステージ３上か
ら取り外す場合には、仕切弁４を開け、試料交換棒６を
試料室２内に導入し、試料交換棒６のＣ状の弾性体１２
を試料ホルダ８部分に押し付ける。この時、Ｃ状の弾性
体１２はその開口部Ａの径がホルダ８を保持した逆Ｃ状
の弾性体１３の開口部Ｂの径よりも小さいので、今度は
逆にＣ状の弾性体１２が試料ホルダ８と逆Ｃ状の弾性体
１３との間に入り込む。そして、交換棒６を左側に移動
させると、Ｃ状の弾性体１２に試料ホルダ８は保持され
てステージ３上から取り外され、試料交換室５内に戻さ
れる。
ら取り外す場合には、仕切弁４を開け、試料交換棒６を
試料室２内に導入し、試料交換棒６のＣ状の弾性体１２
を試料ホルダ８部分に押し付ける。この時、Ｃ状の弾性
体１２はその開口部Ａの径がホルダ８を保持した逆Ｃ状
の弾性体１３の開口部Ｂの径よりも小さいので、今度は
逆にＣ状の弾性体１２が試料ホルダ８と逆Ｃ状の弾性体
１３との間に入り込む。そして、交換棒６を左側に移動
させると、Ｃ状の弾性体１２に試料ホルダ８は保持され
てステージ３上から取り外され、試料交換室５内に戻さ
れる。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に基づく電
子顕微鏡等の試料交換装置は、内部が真空排気され、試
料ホルダが配置される試料ステージを有した試料室と、
試料交換室と、試料交換室と試料室とを仕切る仕切弁
と、試料交換室を介して試料室内に試料ホルダを搬送す
る試料交換棒と、試料交換棒の先端に取り付けられＣ状
に形成された弾性部材と、試料ステージ上に固定され逆
Ｃ状に形成された弾性部材とを備えるように構成してい
るので、単に試料交換棒を押し込む操作により試料ホル
ダを試料ステージ上に配置することができ、極めて操作
性が良い。
子顕微鏡等の試料交換装置は、内部が真空排気され、試
料ホルダが配置される試料ステージを有した試料室と、
試料交換室と、試料交換室と試料室とを仕切る仕切弁
と、試料交換室を介して試料室内に試料ホルダを搬送す
る試料交換棒と、試料交換棒の先端に取り付けられＣ状
に形成された弾性部材と、試料ステージ上に固定され逆
Ｃ状に形成された弾性部材とを備えるように構成してい
るので、単に試料交換棒を押し込む操作により試料ホル
ダを試料ステージ上に配置することができ、極めて操作
性が良い。
【００１８】また、ネジを用いていないので、従来装置
のように、ネジ部が早期に磨耗し、試料交換棒と試料ホ
ルダとの脱着ができなくなるようなことは防止される。
更に、本発明では、試料ホルダは試料交換棒のＣ状の弾
性体に装着されて搬送されるため、搬送中に試料ホルダ
が落下するような事故はなくなる。
のように、ネジ部が早期に磨耗し、試料交換棒と試料ホ
ルダとの脱着ができなくなるようなことは防止される。
更に、本発明では、試料ホルダは試料交換棒のＣ状の弾
性体に装着されて搬送されるため、搬送中に試料ホルダ
が落下するような事故はなくなる。
【図１】従来の走査電子顕微鏡の試料交換装置を示す図
である。
である。
【図２】図１の装置の試料ホルダ部分の断面を示す図で
ある。
ある。
【図３】本発明に基づく走査電子顕微鏡の試料交換装置
の一実施例の平面図である。
の一実施例の平面図である。
【図４】本発明に基づく走査電子顕微鏡の試料交換装置
の一実施例の立面図である。
の一実施例の立面図である。
【図５】図３の実施例における試料ホルダの装着の様子
を示す図である。
を示す図である。
１ 電子光学鏡筒 ２ 試料室 ３ 試料ステージ ４ 仕切弁 ５ 試料交換室 ６ 試料交換棒 ８ 試料ホルダ １２ Ｃ状の弾性体 １３ 逆Ｃ状の弾性体
Claims (1)
- 【請求項１】 内部が真空排気され、試料ホルダが配置
される試料ステージを有した試料室と、試料交換室と、
試料交換室と試料室とを仕切る仕切弁と、試料交換室を
介して試料室内に試料ホルダを搬送する試料交換棒と、
試料交換棒の先端に取り付けられＣ状に形成された弾性
部材と、試料ステージ上に固定され逆Ｃ状に形成された
弾性部材とを備えており、試料交換棒先端のＣ状の弾性
部材と試料ステージ上の逆Ｃ状の弾性部材とは、それぞ
れ、試料ホルダーが装着されたときには開口部が比較的
大きく開かれることを特徴とする電子顕微鏡等の試料交
換装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14174293A JP2959695B2 (ja) | 1993-06-14 | 1993-06-14 | 電子顕微鏡等の試料交換装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14174293A JP2959695B2 (ja) | 1993-06-14 | 1993-06-14 | 電子顕微鏡等の試料交換装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06349436A true JPH06349436A (ja) | 1994-12-22 |
| JP2959695B2 JP2959695B2 (ja) | 1999-10-06 |
Family
ID=15299150
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14174293A Expired - Fee Related JP2959695B2 (ja) | 1993-06-14 | 1993-06-14 | 電子顕微鏡等の試料交換装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2959695B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20040032659A (ko) * | 2002-10-10 | 2004-04-17 | 삼성전자주식회사 | 시편 홀더 |
| JP2007324128A (ja) * | 2006-05-29 | 2007-12-13 | Fei Co | 試料キャリア及び試料ホルダ |
| JP2008305679A (ja) * | 2007-06-07 | 2008-12-18 | Sanyu Electron Co Ltd | 電子顕微鏡用の引張装置 |
| JP2013196863A (ja) * | 2012-03-16 | 2013-09-30 | Hitachi High-Tech Science Corp | 荷電粒子ビーム装置及び試料搬送装置 |
-
1993
- 1993-06-14 JP JP14174293A patent/JP2959695B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| KR20040032659A (ko) * | 2002-10-10 | 2004-04-17 | 삼성전자주식회사 | 시편 홀더 |
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| JP2008305679A (ja) * | 2007-06-07 | 2008-12-18 | Sanyu Electron Co Ltd | 電子顕微鏡用の引張装置 |
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