JPS60264033A - 電子顕微鏡の雰囲気試料室用試料ホルダの支持部材 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、サイドエントリ傾斜装置を装着した電子顕微
鏡において、サイドエントリ傾斜装置に着脱自在に取付
けられる雰囲気試料室内に収容された試料を保持する試
料ホルダに着脱自在に連結され該試料ホルダを支持する
と共に、該試料ホルダのサイドエントリ傾斜装置への出
し入れ操作を行うようにした電子顕微鏡の雰囲気試料室
用試料ホルダの支持部材に関する。

〔発明の背景〕

第１図は、電子顕微鏡、例えば透過形電子顕微鏡の鏡体
（図示せず）に装着されたサイドエントリ傾斜装置１の
一部及び該サイドエン）　ＩＪ傾斜装置１に着脱自在に
取付けられた雰囲気試料室２における横断面図を示した
ものである。

同図において、３法セパレートバルブ、４は試料ホルダ
、５は支持部材、６は試料であり、該試材６は、試料ホ
ルダ４に保持されている。支持部材５は、適宜な連結手
段により着脱自在に試料ホルダ４に連結され、該試料ホ
ルダ４を支持するようになっている。また各部の接合部
分及び摺動部分は、Ｏリング８，９，１０，１１．１２
によりシールされている。

試料ホルダ４により保持された試料６は、大気に霧出し
ないように試料ホルダ４と共に雰囲気試料室２に収容さ
れ、支持部材５を矢印Ａの方向に移動させることにより
サイドエントリ傾斜装置１内に搬送され、装着される。

ここでサイドエントリ傾斜装置１内及び雰囲気試料室２
内を夫々真空排気した後、セパレートパルプ３を開いて
支持部材５を更に矢印Ａの方向に移動させ、試料ホルダ
４をサイドエントリ傾斜装置１に挿入する。この後、試
料ホルダ４と支持部材５との連結を解き、該支持部材５
を矢印Ｂの方向に移動させた後、雰囲気試料室２をサイ
ドエントリ傾斜装置１から分離する。

このようにしてサイドエントリ傾斜装置１内に収容され
た試料６は、Ｏリング１１によりシールされ真空保持さ
れているので、加工、処理後も大気に露出することなく
検鏡することができる。

上述のように、雰囲気試料室２に収容された試料ホルダ
４は、該試料ホルダ４に連結された支持部材５の操作に
より真空状態で軸方向に移動した９円周方向に回転し、
試料６がサイドエントリ傾斜装置１に装着された後、試
料ホルダ４と支持部材５との連結が解かれるものである
が、いまだ試料ホルダ４と支持部材５との適切な連結手
段は提案されていない。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、雰囲気試料室に収容される試料ホルダ
と、該試料ホルダを支持する支持部材との取付は及び取
外しを容易にすると共に、試料ホルダの移動を容易にし
た電子顕微鏡の雰囲気試料室用試料ホルダの支持部材を
提供することである。

〔発明の概要〕

この発明の電気顕微鏡の雰囲気試料室用試料ホルダの支
持部材は、雰囲気試料室に摺動自在に支承された軸筒と
、該軸筒の軸心に形成された貫通穴に嵌挿された連結軸
とからなシ、軸筒の一端を試料ホルダの一端に形成され
た嵌入部に嵌合させて固定すると共に、連結軸の一端に
形成されたねじ部を試料ホルダの嵌入部に形成されたね
じ部に螺着し、試料ホルダに連結されるように構成され
たものである。

上述の構成によると、支持部材の試料ホルダへの取付は
及び取外しが容易になると共に、試料ホルダの移動が容
易となる。

〔発明の実施例〕

以下、この発明の実施例を図面に基づいて説明する。な
お、第２図及び第３図においい、第１図と同一の部品及
び装置には同一符号を付してその説明は省略する。

支持部材５は、軸筒１５と連結軸１６とからなシ、軸筒
１５は、雰囲気試料室２の側壁２ａにＯリング１２を介
して摺動自在に支承されている。

軸筒１５の左端には、軸心と平行に切欠き面１５ａが形
成されてお夛、該軸筒１５の左端を試料ホルダ４の拡径
部４ａ右端に形成された凹状の嵌入部４ｂに嵌挿し、拡
径部４ａに螺着されたピンねじ１８を切欠き面１５ａに
締付けることによシ、軸筒１５は試料ホルダ４に一体的
に連結される。また軸筒１５の右端には、つまみ部１５
ｂが形成されている。

連結軸１６は、軸部１６ａと、７ランク部１６ｂと、つ
まみ部１６Ｃとからなシ、軸部１６ａは、軸筒１６の左
側に軸心を中心として形成された貫通穴１５ＣにＯリン
グ２０を介して嵌挿され、また軸部１６ａの左端に形成
されたねじ部１６ｄは、試料ホルダ４の嵌入部４ｂに形
成されたねじ部４Ｃに螺着されるようになっている。

フランジ部１６ｂは、軸筒１５に貫通穴１５Ｃと連通し
て形成された該貫通穴１５Ｃの直径よシ大きい直径の中
空穴１５ｄに嵌挿されている。

つぎに１本発明の実施例の動作を第１図をも参照にして
説明する。

第２図に示すように、支持部材５が試料ホルダ４に連結
され該試料ホルダ４を支持している状態において、大気
圧露出しないように雰囲気試料室２に収容されかつ試料
ホルダ４に保持された試料６をサイドエントリ傾斜装置
１内に搬送するには、軸筒１５のつまみ部１５ｂを把持
して支持部材５を矢印Ａの方向に移動させる。試料６を
サイドエントリ傾斜装置１に搬送し装着した後、上述の
如くサイドエントリ傾斜装置１内及び雰囲気試料室ｚ内
を真空排気し、化バレートパルプ３を開き、支持部材５
を更に矢印Ａの方向に移動させて、試料ボルダ４をサイ
ドエントリ傾斜装置１に挿入する。この後、軸筒１５の
つまみ部１５ｂを把持しながら、連結軸１６をねじ部１
６ｄがゆるむ方向（右ねじの場合は矢印Ｃの方向からみ
て反時計方向）に回転させて試料ホルダ４から離脱させ
る。

更にピンねじ１８をゆるめて軸筒１５を矢印Ｂの方向に
移動させて試料ホルダ４と支持部材５との連結を解く。

そして最後に雰囲気試料室２をサイドエントリ傾斜室１
から分離する。

このように試料ホルダ４と支持部材５との連結を解く場
合、まず連結軸１６を回転させて試料ホルダ４から離脱
させるが、軸筒１５のつまみ部１５ｂが把持されている
ので該軸筒１５と一体的に固定された試料ホルダ４は移
動することなく静止状態を維持することができる。また
軸１１１５を試料ホルダ４の嵌入部４ｂに嵌入させたシ
又は該嵌入部４ｂから離脱させる場合に連結軸１６に沿
って軸筒５を移動させればよいので、試料ホルダ４と支
持部材５との取付は及び取外しが容易となる。また試料
ホルダ４の移動は、軸１！１ｉｉ１５を移動することに
よシ行われ、その操作は容易である。

なお、試料ホルダ４の嵌入部４ｂを凸状にし、軸筒１５
の嵌入部を凹状にしてもよい。この場合、ピンねじ１８
は、軸筒１５側に取付けられる。その他、嵌入部は、溝
とピン又は角穴と角棒など種種の組合せが考えられる。

また連結軸１６のねじ部１６ｄをめすねじとし、試料ホ
ルダ４のねじ部４Ｃをおすねじとしてもよい。−また０
リング２０を連結軸１６に設けるかわりに軸筒１５の貫
通穴１５Ｃ側に設けてもよい。

〔発明の効果〕

上述のとおり、本発明によれば、支持部材を試料ホルダ
から離脱させるとき、試料ホルダを静止状態に保持する
ことができるので、試料は、サイドエントリ傾斜装置に
確実に装着され、正確な検鏡をすることができる。また
軸筒は、連結軸に沿って試料ホルダの嵌入部に嵌入した
シ又は該嵌入部から離脱するので、試料ホルダと支持部
材との連結が容易となる。また試料ホルダは、軸筒を移
動させることによって気密状態を保持したまま、移動す
ることができ、その操作は容易である。

【図面の簡単な説明】 第１図はサイドエン１１傾斜装置の一部と雰囲気試料室
における横断面図、第２図は本発明に係る試料ホルダと
支持部材との連結状態を示す横断面図、第３図は第２図
の■−■矢視縦断面図である。 １・・・サイドエントリ傾斜装置、２・・・雰囲気試料
室、４・・・試料ホルダ、４ｂ・・・嵌入部、４Ｃ・・
・試料ホルダのねじ部、５・・・支持部拐、６・・・試
料、１５・・・軸筒、１５Ｃ・・・貫通穴、１６・・・
連結軸、１６ｄ・・・連結軸のねじ部。 代理人　弁理士　高橋明夫 槽３図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、電子顕微鏡に装着ぜれたサイドエントリ傾斜装置に
   着脱自在に取付けられる雰囲気試料室に収容された試料
   を保持する試料ホルダに連結され、核試料ホルダを支持
   すると共に該試料ホルダの前記サイドエントリ傾斜装置
   への出し入れ操作を行う支持部材において、該支持部材
   が、前記雰囲気試料室に摺動自在に支承された軸筒と、
   該軸筒の軸心に形成された貫通穴に嵌挿された連結軸と
   からなり、前記軸筒の一端を前記試料ホルダの一端に形
   成された嵌入部に嵌合させて固定すると共に、前記連結
   軸の一端に形成されたねじ部を前記試料ホルダの嵌入部
   に形成されたねじ部に螺着し、前記試料ホルダに連結さ
   れるように構成したことを特徴とする電子顕微鏡の雰囲
   気試料室用試料ホルダの支持部材。