JP2002062226A - Fib試料作製装置 - Google Patents
Fib試料作製装置Info
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Abstract
させ、追加工を容易に行えるようにする。 【解決手段】 収束イオンビームを用いてウエハ3の観
察目標部分を局所的に切り出し透過電子顕微鏡により観
察可能な試料12に加工するFIB試料作製装置であっ
て、ウエハ3を載置して観察目標部分を局所的に切り出
すウエハ用試料ステージ4と、切り出した試料12を装
着して透過電子顕微鏡により観察可能な試料に加工する
TEM試料ステージ6と、ウエハ用試料ステージ4で切
り出した試料をつかみだしTEM試料ステージ6に固定
するマニピュレータ5とをFIB試料室2内に備えると
共に、ウエハ用試料ステージ4とTEM試料ステージ6
は、お互いのステージが干渉せずFIB加工位置に移動
可能とする移動機構を有する。
Description
を用いてウエハの観察目標部分を局所的に切り出して透
過電子顕微鏡により観察可能な試料に加工するFIB試
料作製装置に関する。
ウエハを透過電子顕微鏡(TEM)により観察する場
合、まず、FIBを用いウエハの観察目標部分を局所的
に切り出して、その試料をマニピュレータ(プローブ)
を使って試料ホルダに取り付ける。試料ホルダは、ホル
ダカセットを介してウエハ用試料ステージに固定されて
いる。試料をTEM試料ホルダに取り付ける場合、FI
BによりTEM観察が可能なように試料を加工した後、
試料が固定されている試料ホルダをFIBより真空外に
持ち出し、大気中でTEM試料ホルダに取り付けるしか
ない。
する場合には、試料ホルダをTEM試料ホルダから取り
外し、再度、FIBステージ上のホルダカセットに取り
付け、再加工を行うか、別のTEM試料ステージが取り
付けられたFIBに移して再加工を行うようになる。そ
のため、TEM観察用試料作製の操作、作業性が悪く、
大気中での手作業によりコンタミが付着して観察等に悪
影響を及ぼすという問題がある。
決するものであって、TEM観察用試料作製の操作、作
業性を向上させ、追加工を容易に行えるようにするもの
である。
用いてウエハの観察目標部分を局所的に切り出し透過電
子顕微鏡により観察可能な試料に加工するFIB試料作
製装置であって、ウエハを載置して観察目標部分を局所
的に切り出すウエハ用試料ステージと、前記切り出した
試料を装着して透過電子顕微鏡により観察可能な試料に
加工するTEM試料ステージと、前記ウエハ用試料ステ
ージで切り出した試料をつかみだし前記TEM試料ステ
ージに固定するマニピュレータとをFIB試料室内に備
えると共に、前記ウエハ用試料ステージと前記TEM試
料ステージは、お互いのステージが干渉せずFIB加工
位置に移動可能とする移動機構を有することを特徴と
し、前記移動機構は、前記ウエハ用試料ステージを前記
FIB加工位置から下方へ移動させる機構と、前記TE
M試料ステージを前記FIB加工位置から横方向へ移動
させる機構からなることを特徴とするものである。
を参照しつつ説明する。図1〜図4は本発明に係るFI
B試料作製装置の実施の形態を示す図であり、図1はウ
エハ用試料ステージ上でウエハの切り出しを行う状態の
正面図、図2はウエハ用試料ステージ上でウエハの切り
出しを行う状態の側面図、図3はTEM試料ホルダ上に
試料を装着した状態の正面図、図4はTEM試料ホルダ
上に試料を装着した状態の側面図である。図中、1はイ
オンビーム照射系、2はFIB試料室、3はウエハ、4
はウエハ用試料ステージ、5はマニピュレータ、6はT
EM試料ステージ、7は検出器、8はデポジション用ガ
ス源、9は試料ステージ上下駆動機構、10はTEM試
料ステージ仕切弁、11はTEM試料ホルダ、12は試
料を示す。
イオン銃を有するイオンビーム照射系からイオンビーム
を照射し収束イオンビームを用いてウエハの観察目標部
分を局所的に切り出してTEMにより観察可能な試料に
加工するものであり、そのためにFIBに必要な検出器
7、デポジション用ガス源8などの各構成要素が取り付
けられていると共に、ウエハ用試料ステージ4とTEM
試料ステージ6を取り付け、お互いにステージが干渉せ
ずにFIB加工位置に移動できる機構を有する。
テージ4は、試料ステージ上下駆動機構9により図2か
ら図4に示すように上下方向(Z方向)Aに大移動が可
能な構造にし、TEM試料ステージ6は、鏡筒中心軸に
対して、図1から図3に示すように直交方向Bにスライ
ド可能(リトラクタブル)な構造になっている。
3を載置し収束イオンビームを用いてウエハの観察目標
部分を局所的に試料12として切り出し、その切り出し
た試料12をTEM試料ステージ6のTEM試料ホルダ
11に装着してTEMにより観察可能な試料に加工す
る。
エハ用試料ステージ4に載置して切り出したウエハ3の
必要な観察個所を試料12としてつかみだし、図3、図
4に示すようにTEM試料ホルダ11に固定するために
使用される。
の試料を作製する一連の作業を説明する。まず、図1に
示すようにFIB加工位置に設定したTEM試料ステー
ジ6を鏡筒中心より後方にスライドさせ、ウエハ3を載
置したウエハ用試料ステージ4を上方向に移動させてF
IB加工位置に設定する。
ンビームで切り出し、ウエハ3からイオンビームで切り
出した試料12をマニピュレータ5で掴みだす。このと
き、TEM試料ステージ6は、図1に示すようにTEM
試料ホルダ11が引き抜かれTEM試料ステージ仕切弁
10により仕切られた状態でセットされている。したが
って、切り出した試料12をマニピュレータ5で保持し
ながら、図3、図4に示すようにウエハ用試料ステージ
4を下方に移動させ、TEM試料ステージ6が内側に入
ってきても干渉せず、TEM試料ホルダ11がFIB加
工位置に挿入されてきてもぶつからない位置に設定し待
機する。
工位置に設定し、図3に示すようにTEM試料ステージ
仕切弁10を開けてTEM試料ホルダ11を挿入し、試
料装着位置にマニピュレータ5で切り出した試料12を
固定する。試料12をTEM試料ホルダ11に固定した
状態で、TEM観察形状にFIB加工を行う。観察試料
の追加工を行う場合には、TEM試料ステージ6がFI
B加工位置に設定された状態でTEM試料ホルダ11を
再挿入し、追加工を行う。
れるものではなく、種々の変形が可能である。例えば上
記実施の形態では、ウエハ用試料ステージ4を上下方向
(Z方向)に移動させる試料ステージ上下駆動機構9の
位置に対し、90度横方向にスライド可能になったTE
M試料ステージ6の位置を設定した構成を示したが、お
互いにステージが干渉しない位置であれば、例えば試料
ステージ上下駆動機構9の位置の反対側の位置に設定し
てもよい。
によれば、収束イオンビームを用いてウエハの観察目標
部分を局所的に切り出し透過電子顕微鏡により観察可能
な試料に加工するFIB試料作製装置であって、ウエハ
を載置して観察目標部分を局所的に切り出すウエハ用試
料ステージと、切り出した試料を装着して透過電子顕微
鏡により観察可能な試料に加工するTEM試料ステージ
と、ウエハ用試料ステージで切り出した試料をつかみだ
しTEM試料ステージに固定するマニピュレータとをF
IB試料室内に備えると共に、ウエハ用試料ステージと
TEM試料ステージは、お互いのステージが干渉せずF
IB加工位置に移動可能とする移動機構を有するので、
ウエハ内の必要な観察個所をFIBで試料として切り出
し、試料をマニピュレータでつかみだして、TEM試料
ホルダに装着し、TEM観察形状にFIB加工を行うま
での一連の作業を真空のFIB試料室内で行うことがで
き、TEM観察試料作製の操作、作業性の大幅な向上を
図ることができる。しかも、真空内で、且つオペレータ
の手で触れる作業がなくなるため、試料加工作製時に、
観察等悪影響を及ぼすコンタミの付着も防止できる。さ
らに、1台のFIBで、試料をTEM試料ホルダに取り
付けたままで容易に追加工が可能になる。
を行う状態の正面図である。
を行う状態の側面図である。
正面図である。
側面図である。
ハ、4…ウエハ用試料ステージ、5…マニピュレータ、
6…TEM試料ステージ、7…検出器、8…デポジショ
ン用ガス源、9…試料ステージ上下駆動機構、10…T
EM試料ステージ仕切弁、11…TEM試料ホルダ、1
2…試料
Claims (2)
- 【請求項1】 収束イオンビームを用いてウエハの観察
目標部分を局所的に切り出して透過電子顕微鏡により観
察可能な試料に加工するFIB試料作製装置であって、
ウエハを載置して観察目標部分を局所的に切り出すウエ
ハ用試料ステージと、前記切り出した試料を装着して透
過電子顕微鏡により観察可能な試料に加工するTEM試
料ステージと、前記ウエハ用試料ステージで切り出した
試料をつかみだし前記TEM試料ステージに固定するマ
ニピュレータとをFIB試料室内に備えると共に、前記
ウエハ用試料ステージと前記TEM試料ステージは、お
互いのステージが干渉せずFIB加工位置に移動可能と
する移動機構を有することを特徴とするFIB試料作製
装置。 - 【請求項2】 前記移動機構は、前記ウエハ用試料ステ
ージを前記FIB加工位置から下方へ移動させる機構
と、前記TEM試料ステージを前記FIB加工位置から
横方向へ移動させる機構からなることを特徴とする請求
項1記載のFIB試料作製装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000248030A JP2002062226A (ja) | 2000-08-18 | 2000-08-18 | Fib試料作製装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000248030A JP2002062226A (ja) | 2000-08-18 | 2000-08-18 | Fib試料作製装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002062226A true JP2002062226A (ja) | 2002-02-28 |
Family
ID=18738016
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000248030A Pending JP2002062226A (ja) | 2000-08-18 | 2000-08-18 | Fib試料作製装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2002062226A (ja) |
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-
2000
- 2000-08-18 JP JP2000248030A patent/JP2002062226A/ja active Pending
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