JP2007240226A - 試料作製装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】稼働率が向上し、コスト低減が図れる試料作製装置を提供することを課題とする。
【解決手段】試料基板1が載置された真空室3と、試料基板1に集束イオンビームを照射して、試料片を切り出す集束イオンビーム照射手段7と、切り出された試料片を保持する試料ホルダ83と、試料ホルダ83が取り付けられ、試料ホルダ83を移動させるマニピュレータ13と、を有する試料作製装置において、試料ホルダ83は、マニピュレータ13と着脱可能であるように構成する。
【選択図】図1
【解決手段】試料基板1が載置された真空室3と、試料基板1に集束イオンビームを照射して、試料片を切り出す集束イオンビーム照射手段7と、切り出された試料片を保持する試料ホルダ83と、試料ホルダ83が取り付けられ、試料ホルダ83を移動させるマニピュレータ13と、を有する試料作製装置において、試料ホルダ83は、マニピュレータ13と着脱可能であるように構成する。
【選択図】図1
Description
本発明は、試料基板から試料片を切り出す試料作製装置に関する。
透過型電子顕微鏡(TEM)で分析可能な試料片を作製する場合、集束イオンビームを利用して試料基板から試料片を切り出す装置が提案されている。
提案された装置は、試料基板が載置された真空室と、前記試料基板に集束イオンビームを照射して、試料片を切り出す集束イオンビーム照射手段と、切り出された前記試料片を保持する試料ホルダと、該試料ホルダが取り付けられ、前記試料ホルダを移動させるマニピュレータとを有している。
提案された装置は、試料基板が載置された真空室と、前記試料基板に集束イオンビームを照射して、試料片を切り出す集束イオンビーム照射手段と、切り出された前記試料片を保持する試料ホルダと、該試料ホルダが取り付けられ、前記試料ホルダを移動させるマニピュレータとを有している。
集束イオンビーム照射手段を用いて、真空室に載置された試料基板から試料片が切り出される。切り出された試料片は、マニピュレータに取り付けられた試料ホルダに保持される。
そして、試料片を保持した試料ホルダが取り付けられたマニピュレータが試料作製装置から取り外され、透過型電子顕微鏡にセットされる(例えば、特許文献1参照)。
特許第2774884号
上述した試料作製装置では、切り出された試料片を保持した試料ホルダは、試料作製装置のマニピュレータに取り付けられた状態で透過型電子顕微鏡にセットされる。従って、マニピュレータが1つしかない場合、透過型電子顕微鏡での観察が終了し、マニピュレータを試料作製装置に戻すまで、試料作製装置を稼働することができず、稼働率が悪い問題点がある。更に、稼働率を上げようとすると、マニピュレータを多数用意しなければならず、コスト増大につながる。
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたもので、その課題は、稼働率が向上する試料作製装置を提供することにある。更に、稼動効率を上げようとした場合のマニピュレータを多数用意する必要性をなくし、コスト低減を図ることにある。
上記課題を解決する請求項1に係る発明は、試料基板が載置された真空室と、前記試料基板に集束イオンビームを照射して、試料片を切り出す集束イオンビーム照射手段と、切り出された前記試料片を保持する試料ホルダと、該試料ホルダが取り付けられ、前記試料ホルダを移動させるマニピュレータと、を有する試料作製装置において、前記試料ホルダは、前記マニピュレータと着脱可能であることを特徴とする試料作製装置である。
真空室に載置された試料基板は、集束イオンビーム照射手段により試料片に切り出される。切り出された試料片はマニピュレータに設けられた試料ホルダに保持される。そして、試料作製装置からマニピュレータが取り出され、マニピュレータと試料ホルダとが取り外される。
請求項2に係る発明は、前記マニピュレータの前記試料ホルダが取り付けられる試料ホルダ取り付け面は回転することを特徴とする請求項1記載の試料作製装置である。
請求項3に係る発明は、前記試料ホルダは、前記マニピュレータと着脱可能な試料ホルダ本体と、基端部側が前記試料ホルダ本体に設けられ、先端部側に前記試料片を保持する針と、からなり、前記マニピュレータの試料ホルダ取り付け面には、該試料ホルダ取り付け面の回転中心を中心とした円周上に複数の試料ホルダが設けられることを特徴とする請求項2記載の試料作製装置である。
請求項3に係る発明は、前記試料ホルダは、前記マニピュレータと着脱可能な試料ホルダ本体と、基端部側が前記試料ホルダ本体に設けられ、先端部側に前記試料片を保持する針と、からなり、前記マニピュレータの試料ホルダ取り付け面には、該試料ホルダ取り付け面の回転中心を中心とした円周上に複数の試料ホルダが設けられることを特徴とする請求項2記載の試料作製装置である。
請求項4に係る発明は、前記試料ホルダは、前記マニピュレータと着脱可能な試料ホルダ本体と、基端部側が前記試料ホルダ本体に設けられ、先端部側に前記試料片を保持する複数の針と、からなり、前記マニピュレータの試料ホルダ取り付け面には、該試料ホルダ取り付け面の回転中心に前記試料ホルダが設けられることを特徴とする請求項2記載の試料作製装置である。
請求項1−4に係る発明によれば、試料ホルダはマニピュレータと着脱可能である。よって、切り出された試料片を保持した試料ホルダが取り付けられたマニピュレータを試料作製装置から取り出し、試料ホルダをマニピュレータより取り外し、試料片がない状態の試料ホルダをマニピュレータに取り付け、マニピュレータを試料作製装置にセットすることで、試料作製装置の稼働率が向上する。更に、マニピュレータを多数用意しなくても、試料作製装置の稼動効率向上が実現できコスト低減が図れる。
請求項2に係る発明によれば、前記マニピュレータの前記試料ホルダが取り付けられる試料ホルダ取り付け面は回転することにより、試料ホルダのハンドリングが容易となる。
請求項3に係る発明によれば、試料ホルダには1つの試料片が保持されるので、試料作製装置から一旦取り出した試料片を追加工する場合、追加工が必要な試料片が保持された試料ホルダのみを試料作製装置にセットすればよいので、効率がよい。
請求項3に係る発明によれば、試料ホルダには1つの試料片が保持されるので、試料作製装置から一旦取り出した試料片を追加工する場合、追加工が必要な試料片が保持された試料ホルダのみを試料作製装置にセットすればよいので、効率がよい。
請求項4に係る発明に係る発明によれば、試料ホルダには複数の試料片が保持されるので、試料ホルダを透過型顕微鏡にセットして、試料片を観察する場合、試料ホルダの交換なしで、複数の試料片を観察することができ、観察効率がよくなる。
最初に、図1を用いて、試料作製装置の全体構成を説明する。図において、半導体ウエハや半導体チップ等の試料基板1は、真空室3内のステージ5に載置される。真空室3には、試料基板1に集束イオンビームを照射して、試料片を切り出す集束イオンビーム照射手段7と、集束イオンビームによって試料基板1から放出する2次電子を検出する2次電子検出器9と、試料基板1の集束イオンビーム照射領域にデポジション膜を形成するデポジションガスを出射するデポジションガス銃11と、試料片1から切り出された試料片を搬送するマニピュレータ13とが設けられている。集束イオンビーム照射手段7は集束イオンビーム照射手段制御部27、2次電子検出器9は2次電子検出器制御手部29、デポジションガス銃11はデポジションガス銃制御部31、マニピュレータ13はマニピュレータ制御部33、ステージ5はステージ制御部25によって駆動されるようになっている。これら、集束イオンビーム照射手段制御部27、2次電子検出器制御手部29、デポジションガス銃制御部31、マニピュレータ制御部33、ステージ制御部25は、コンピュータ41によって制御されるようになっている。又、2次電子検出器9で検出された2次電子は、2次電子検出器制御部29、コンピュータ41を介して、表示手段43に表示されるようになっている。
次に、図2を用いて本形態例の試料作製装置のマニピュレータ13を説明する、
マニピュレータ13は、本体部61と、本体部61に第1の関節63を介して設けられた第1のアーム65と、第1のアーム65に第2の関節67を介して設けられた第2のアーム69と、第2のアーム69に設けられた第3のアーム71とからなっている。
マニピュレータ13は、本体部61と、本体部61に第1の関節63を介して設けられた第1のアーム65と、第1のアーム65に第2の関節67を介して設けられた第2のアーム69と、第2のアーム69に設けられた第3のアーム71とからなっている。
第1のアーム65は、第1の関節63により、本体部61に対してX軸を中心に回転(矢印X方向)するようになっている。第2のアーム69は、第2の関節67により、第1のアーム65に対してY軸を中心に回転(矢印Y方向)するようになっている。第3のアーム71は第2のアーム69に対して第2のアーム69の軸方向(矢印Z方向)に移動可能で、更に、第3のアーム71は第2のアーム69に対して第2のアーム69の軸を中心に回転(矢印R方向)するようになっている。
次に、図3−図5を用いてマニピュレータ13に取り付けられる試料ホルダ81を説明する。
図3、図4に示すように、本形態例の試料ホルダ81は、試料ホルダ本体83と、基端部側が試料ホルダ本体83に設けられ、先端部側に試料片85を保持する複数の針87とからなっている。
図3、図4に示すように、本形態例の試料ホルダ81は、試料ホルダ本体83と、基端部側が試料ホルダ本体83に設けられ、先端部側に試料片85を保持する複数の針87とからなっている。
図3、図5に示すように、マニピュレータ13の第3のアーム71の先端面は、試料ホルダ81が取り付けられる試料ホルダ取り付け面71aとなっている。この試料ホルダ取り付け面71aの回転中心に、試料ホルダ81の試料ホルダ本体83の基端部側が着脱可能な穴71bが形成されている。
次に、上記構成の装置の作動を説明する。
ステージ5上に試料基板1は載置される。一方、集束イオンビーム照射手段7から試料基板1に向かって集束イオンビームが照射され、試料基板1から試料片85を切り出す。そして、図5に示すように、マニピュレータ13を用いて、試料ホルダ81の針87の先端を試料片85に当接させた状態で、デポジションガス銃11から出射されたデポジションガスでた試料片85にデポジション膜を形成し、この膜により、試料片85と針87とは接続される。
ステージ5上に試料基板1は載置される。一方、集束イオンビーム照射手段7から試料基板1に向かって集束イオンビームが照射され、試料基板1から試料片85を切り出す。そして、図5に示すように、マニピュレータ13を用いて、試料ホルダ81の針87の先端を試料片85に当接させた状態で、デポジションガス銃11から出射されたデポジションガスでた試料片85にデポジション膜を形成し、この膜により、試料片85と針87とは接続される。
各針87に試料片85が接続されると、試料作製装置からマニピュレータ13が取り出され、マニピュレータ13と試料ホルダ81とが取り外される。
このような構成によれば、以下のような効果を得ることができる。
(1)試料ホルダ81はマニピュレータ13と着脱可能である。よって、切り出された試料片85を保持した試料ホルダ81が取り付けられたマニピュレータ13を試料作製装置から取り出し、試料ホルダ81をマニピュレータ13より取り外し、試料片がない状態の試料ホルダ81をマニピュレータ13に取り付け、マニピュレータ13を試料作製装置にセットすることで、試料作製装置の稼働率が向上する。更に、マニピュレータ13を多数用意しなくても、試料作製装置の稼動効率向上が実現できコスト低減が図れる。
(2)第3のアーム71は、第2のアーム69に対して第2のアーム69の軸を中心に回転(矢印R方向)するようになっている。よって、マニピュレータ13の試料ホルダ81が取り付けられる試料ホルダ取り付け面71aが回転し、試料ホルダ81のハンドリングが容易となる。
(3)試料ホルダ81には複数の試料片85が保持されるので、試料ホルダ81を透過型顕微鏡にセットして、試料片85を観察する場合、試料ホルダ81の交換なしで、複数の試料片85を観察することができ、観察効率がよくなる。
このような構成によれば、以下のような効果を得ることができる。
(1)試料ホルダ81はマニピュレータ13と着脱可能である。よって、切り出された試料片85を保持した試料ホルダ81が取り付けられたマニピュレータ13を試料作製装置から取り出し、試料ホルダ81をマニピュレータ13より取り外し、試料片がない状態の試料ホルダ81をマニピュレータ13に取り付け、マニピュレータ13を試料作製装置にセットすることで、試料作製装置の稼働率が向上する。更に、マニピュレータ13を多数用意しなくても、試料作製装置の稼動効率向上が実現できコスト低減が図れる。
(2)第3のアーム71は、第2のアーム69に対して第2のアーム69の軸を中心に回転(矢印R方向)するようになっている。よって、マニピュレータ13の試料ホルダ81が取り付けられる試料ホルダ取り付け面71aが回転し、試料ホルダ81のハンドリングが容易となる。
(3)試料ホルダ81には複数の試料片85が保持されるので、試料ホルダ81を透過型顕微鏡にセットして、試料片85を観察する場合、試料ホルダ81の交換なしで、複数の試料片85を観察することができ、観察効率がよくなる。
尚、本発明は上記形態例に限定するものではない。例えば、上記形態例では、試料ホルダ81に複数の針87を設け、1つの試料ホルダ81をマニピュレータ13の第3のアーム71の試料取り付け面71aの回転中心に設けた。しかし、図6に示すように、試料ホルダ81’の試料ホルダ本体83’に1本の針87’を設け、マニピュレータ13の試料ホルダ取り付け面71aの回転中心を中心とした円周上に複数の試料ホルダ81’を設けてもよい。
この場合、試料ホルダ83’には1つの試料片が保持されるので、試料作製装置から一旦取り出した試料片を追加工する場合、追加工が必要な試料片が保持された試料ホルダのみを試料作製装置にセットすればよいので、効率がよい。
1 試料基板
3 真空室
7 集束イオンビーム照射手段
13 マニピュレータ
83 試料ホルダ
3 真空室
7 集束イオンビーム照射手段
13 マニピュレータ
83 試料ホルダ
Claims (4)
- 試料基板が載置された真空室と、
前記試料基板に集束イオンビームを照射して、試料片を切り出す集束イオンビーム照射手段と、
切り出された前記試料片を保持する試料ホルダと、
該試料ホルダが取り付けられ、前記試料ホルダを移動させるマニピュレータと、
を有する試料作製装置において、
前記試料ホルダは、前記マニピュレータと着脱可能であることを特徴とする試料作製装置。 - 前記マニピュレータの前記試料ホルダが取り付けられる試料ホルダ取り付け面は回転することを特徴とする請求項1記載の試料作製装置。
- 前記試料ホルダは、
前記マニピュレータと着脱可能な試料ホルダ本体と、
基端部側が前記試料ホルダ本体に設けられ、先端部側に前記試料片を保持する針と、
からなり、
前記マニピュレータの試料ホルダ取り付け面には、該試料ホルダ取り付け面の回転中心を中心とした円周上に複数の試料ホルダが設けられることを特徴とする請求項2記載の試料作製装置。 - 前記試料ホルダは、
前記マニピュレータと着脱可能な試料ホルダ本体と、
基端部側が前記試料ホルダ本体に設けられ、先端部側に前記試料片を保持する複数の針と、
からなり、
前記マニピュレータの試料ホルダ取り付け面には、該試料ホルダ取り付け面の回転中心に前記試料ホルダが設けられることを特徴とする請求項2記載の試料作製装置。
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JP2006060488A JP2007240226A (ja) | 2006-03-07 | 2006-03-07 | 試料作製装置 |
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JP2006060488A Pending JP2007240226A (ja) | 2006-03-07 | 2006-03-07 | 試料作製装置 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009115677A (ja) * | 2007-11-08 | 2009-05-28 | Jeol Ltd | 試料作製方法及びシステム |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2774884B2 (ja) * | 1991-08-22 | 1998-07-09 | 株式会社日立製作所 | 試料の分離方法及びこの分離方法で得た分離試料の分析方法 |
JP2000251820A (ja) * | 1999-03-04 | 2000-09-14 | Hitachi Ltd | マニピュレータおよびそれを用いたプローブ装置、試料作製装置 |
JP2005026530A (ja) * | 2003-07-04 | 2005-01-27 | Jeol Ltd | 試料ホルダ移動機構及び真空装置並びに荷電粒子ビーム装置 |
-
2006
- 2006-03-07 JP JP2006060488A patent/JP2007240226A/ja active Pending
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