JP6101302B2 - ポートドア位置決め装置及び関連の方法 - Google Patents
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Description
201 ポートドア
203 位置決めデバイス
205 フレーム
206A、206B ローラ
211 開口部
Claims (20)
- 容器ドアがそれを通ってアクセス可能である開口部を有するように形成されたフレームと、
前記容器ドアとインタフェースするべく前記フレームの前記開口を通して嵌るように構成されたポートドアと、
を備える装置であって、
前記容器ドアは、半導体製造設備内の少なくとも一つの被加工物を運ぶように構成された容器に関連しており、
当該装置は、さらに、
前記フレームの前記開口の第1の側に沿った位置に取り付けられた第1の固定カム・プレートであって、前記フレームに向けて傾斜した第1のチャンネルを有する第1の固定カム・プレートと、
前記フレームの前記開口に対して前記第1の側とは実質的に反対側である前記フレームの前記開口の第2の側、に沿った位置に取り付けられた第2の固定カム・プレートであって、前記フレームに向けて傾斜した第2のチャンネルを有する第2の固定カム・プレートと、
前記ポートドアに固定され、前記ポートドア及び前記フレームの両方に対して移動できるように形成された第1の可動閉鎖機構であって、当該第1の可動閉鎖機構の一部は、当該第1の可動閉鎖機構が前記ポートドア及び前記フレームの両方に対して移動するにしたがって、前記第1の固定カム・プレートの前記第1のチャンネルに嵌り、当該第1のチャンネルに沿って移動する、というようになっている第1の可動閉鎖機構と、
前記ポートドアに固定され、前記ポートドア及び前記フレームの両方に対して移動できるように形成された第2の可動閉鎖機構であって、当該第2の可動閉鎖機構の一部は、当該第2の可動閉鎖機構が前記ポートドア及び前記フレームの両方に対して移動するにしたがって、前記第2の固定カム・プレートの前記第2のチャンネルに嵌り、当該第2のチャンネルに沿って移動する、というようになっている第2の可動閉鎖機構と、を備え、
前記フレームの前記開口の前記第1の側に沿った前記第1の固定カム・プレートの位置と、前記フレームの前記開口の前記第2の側に沿った前記第2の固定カム・プレートの位置とが、水平面内で測定される時の前記ポートドアと前記フレームとの間の角度の制御を可能にする
ことを特徴とする装置。 - 前記第1の可動閉鎖機構は、前記ポートドアの後面に固定されており、
前記第2の可動閉鎖機構は、前記ポートドアの後面に固定されている、請求項1に記載の装置。 - 前記第1の可動閉鎖機構は、前記ポートドアの左の側の隣に位置決めされており、
前記第2の可動閉鎖機構は、前記ポートドアの右の側の隣に位置決めされている、請求項2に記載の装置。 - 前記第1の可動閉鎖機構の一部は、前記ポートドアの後面の周囲を越えて、前記ポートドアの後面とほぼ平行方向に延び、
前記第2の可動閉鎖機構の一部は、前記ポートドアの後面の周囲を越えて、前記ポートドアの後面とほぼ平行方向に延びる、請求項3に記載の装置。 - 前記第1の可動閉鎖機構の一部は、第1のローラであり、
前記第2の可動閉鎖機構の一部は、第2のローラである、請求項4に記載の装置。 - 前記第1の可動閉鎖機構の一部は、第1の剛性ガイドピンであり、
前記第2の可動閉鎖機構の一部は、第2の剛性ガイドピンである、請求項4に記載の装置。 - 前記第1の可動閉鎖機構の一部は、第1の回転可能ガイドピンであり、
前記第2の可動閉鎖機構の一部は、第2の回転可能ガイドピンである、請求項4に記載の装置。 - 前記第1の可動閉鎖機構は、前記ポートドア及び前記フレームの両方に対して実質的に垂直方向に移動し、
前記第2の可動閉鎖機構は、前記ポートドア及び前記フレームの両方に対して実質的に垂直方向に移動する、請求項2に記載の装置。 - 前記ポートドアの前記後面に取り付けられた駆動源
を更に備え、
当該駆動原は、前記第1及び第2の可動閉鎖機構の動きを制御するように構成されている、請求項2に記載の装置。 - 前記ポートドアに接続された位置決めデバイス
を更に備え、
当該位置決めデバイスは、前記ポートドアを、
1)前記第1の可動閉鎖機構が前記ポートドア及び前記フレームの両方に対して移動されるときに、前記第1の可動閉鎖機構の一部が前記第1の固定カム・プレートの前記第1のチャンネルに沿って移動開始するように配置される位置、及び
2)前記第2の可動閉鎖機構が前記ポートドア及び前記フレームの両方に対して移動されるときに、前記第2の可動閉鎖機構の一部が前記第2の固定カム・プレートの前記第2のチャンネルに沿って移動開始するように配置される位置
に移動させるように構成されている、請求項9に記載の装置。 - 容器ドアがそれを通ってアクセス可能である開口部を有するように形成されたフレームと、
前記容器ドアとインタフェースするべく前記フレームの前記開口を通して嵌るように構成されたポートドアと、
を備える装置であって、
前記容器ドアは、半導体製造設備内の少なくとも一つの被加工物を運ぶように構成された容器に関連しており、
当該装置は、さらに、
前記ポートドアの第1の側に沿った位置に取り付けられた第1の固定カム・プレートであって、前記フレームに向けて傾斜した第1のチャンネルを有する第1の固定カム・プレートと、
前記ポートドアに対して前記第1の側とは実質的に反対側である前記ポートドアの第2の側、に沿った位置に取り付けられた第2の固定カム・プレートであって、前記フレームに向けて傾斜した第2のチャンネルを有する第2の固定カム・プレートと、
前記フレームに固定され、前記ポートドア及び前記フレームの両方に対して移動できるように形成された第1の可動閉鎖機構であって、当該第1の可動閉鎖機構の一部は、当該第1の可動閉鎖機構が前記ポートドア及び前記フレームの両方に対して移動するにしたがって、前記第1の固定カム・プレートの前記第1のチャンネルに嵌り、当該第1のチャンネルに沿って移動する、というようになっている第1の可動閉鎖機構と、
前記フレームに固定され、前記ポートドア及び前記フレームの両方に対して移動できるように形成された第2の可動閉鎖機構であって、当該第2の可動閉鎖機構の一部は、当該第2の可動閉鎖機構が前記ポートドア及び前記フレームの両方に対して移動するにしたがって、前記第2の固定カム・プレートの前記第2のチャンネルに嵌り、当該第2のチャンネルに沿って移動する、というようになっている第2の可動閉鎖機構と、を備え、
前記ポートドアの前記第1の側に沿った前記第1の固定カム・プレートの位置と、前記ポートドアの前記第2の側に沿った前記第2の固定カム・プレートの位置とが、水平面内で測定される時の前記ポートドアと前記フレームとの間の角度の制御を可能にする
ことを特徴とする装置。 - 前記第1の固定カム・プレートは、前記ドアポートの後面に固定されており、
前記第2の固定カム・プレートは、前記ドアポートの後面に固定されている、請求項11に記載の装置。 - 前記第1の固定カム・プレートは、前記ポートドアの左の側の隣に位置決めされており、
前記第2の固定カム・プレートは、前記ポートドアの右の側の隣に位置決めされている、請求項12に記載の装置。 - 前記第1のチャンネルを含む前記第1の固定カム・プレートの一部は、前記ポートドアの後面の周囲の外側に位置決めされ、
前記第2のチャンネルを含む前記第2の固定カム・プレートの一部は、前記ポートドアの後面の周囲の外側に位置決めされている、請求項13に記載の装置。 - 前記第1の可動閉鎖機構の一部は、第1のローラであり、
前記第2の可動閉鎖機構の一部は、第2のローラである、請求項14に記載の装置。 - 前記第1の可動閉鎖機構の一部は、第1の剛性ガイドピンであり、
前記第2の可動閉鎖機構の一部は、第2の剛性ガイドピンである、請求項14に記載の装置。 - 前記第1の可動閉鎖機構の一部は、第1の回転可能ガイドピンであり、
前記第2の可動閉鎖機構の一部は、第2の回転可能ガイドピンである、請求項14に記載の装置。 - 前記第1の可動閉鎖機構は、前記ポートドア及び前記フレームの両方に対して実質的に垂直方向に移動し、
前記第2の可動閉鎖機構は、前記ポートドア及び前記フレームの両方に対して実質的に垂直方向に移動する、請求項12に記載の装置。 - 実質的に同時に第1及び第2の可動閉鎖機構の動きを制御するように構成された駆動源を更に備える、請求項12に記載の装置。
- 前記ポートドアに接続された位置決めデバイス
を更に備え、
当該位置決めデバイスは、前記ポートドアを、
1)前記第1の可動閉鎖機構が前記ポートドア及び前記フレームの両方に対して移動されるときに、前記第1の可動閉鎖機構の一部が前記第1の固定カム・プレートの前記第1のチャンネルに沿って移動開始するように配置される位置、及び
2)前記第2の可動閉鎖機構が前記ポートドア及び前記フレームの両方に対して移動されるときに、前記第2の可動閉鎖機構の一部が前記第2の固定カム・プレートの前記第2のチャンネルに沿って移動開始するように配置される位置
に移動させるように構成されている、請求項19に記載の装置。
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