CN103155132B - 端口门定位装置及相关的方法 - Google Patents

端口门定位装置及相关的方法 Download PDF

Info

Publication number
CN103155132B
CN103155132B CN201180041909.6A CN201180041909A CN103155132B CN 103155132 B CN103155132 B CN 103155132B CN 201180041909 A CN201180041909 A CN 201180041909A CN 103155132 B CN103155132 B CN 103155132B
Authority
CN
China
Prior art keywords
pair
port door
door
motion
plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201180041909.6A
Other languages
English (en)
Other versions
CN103155132A (zh
Inventor
A.C.波诺拉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Azenta Inc
Original Assignee
Brooks Automation Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Brooks Automation Inc filed Critical Brooks Automation Inc
Priority to CN201610416629.3A priority Critical patent/CN106024680B/zh
Publication of CN103155132A publication Critical patent/CN103155132A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN103155132B publication Critical patent/CN103155132B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67772—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving removal of lid, door, cover
    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E06—DOORS, WINDOWS, SHUTTERS, OR ROLLER BLINDS IN GENERAL; LADDERS
    • E06B—FIXED OR MOVABLE CLOSURES FOR OPENINGS IN BUILDINGS, VEHICLES, FENCES OR LIKE ENCLOSURES IN GENERAL, e.g. DOORS, WINDOWS, BLINDS, GATES
    • E06B7/00—Special arrangements or measures in connection with doors or windows
    • E06B7/28—Other arrangements on doors or windows, e.g. door-plates, windows adapted to carry plants, hooks for window cleaners
    • E06B7/32—Serving doors; Passing-through doors ; Pet-doors
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67766—Mechanical parts of transfer devices
    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E06—DOORS, WINDOWS, SHUTTERS, OR ROLLER BLINDS IN GENERAL; LADDERS
    • E06B—FIXED OR MOVABLE CLOSURES FOR OPENINGS IN BUILDINGS, VEHICLES, FENCES OR LIKE ENCLOSURES IN GENERAL, e.g. DOORS, WINDOWS, BLINDS, GATES
    • E06B3/00—Window sashes, door leaves, or like elements for closing wall or like openings; Layout of fixed or moving closures, e.g. windows in wall or like openings; Features of rigidly-mounted outer frames relating to the mounting of wing frames
    • E06B3/32—Arrangements of wings characterised by the manner of movement; Arrangements of movable wings in openings; Features of wings or frames relating solely to the manner of movement of the wing
    • E06B3/50—Arrangements of wings characterised by the manner of movement; Arrangements of movable wings in openings; Features of wings or frames relating solely to the manner of movement of the wing with more than one kind of movement
    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E06—DOORS, WINDOWS, SHUTTERS, OR ROLLER BLINDS IN GENERAL; LADDERS
    • E06B—FIXED OR MOVABLE CLOSURES FOR OPENINGS IN BUILDINGS, VEHICLES, FENCES OR LIKE ENCLOSURES IN GENERAL, e.g. DOORS, WINDOWS, BLINDS, GATES
    • E06B3/00—Window sashes, door leaves, or like elements for closing wall or like openings; Layout of fixed or moving closures, e.g. windows in wall or like openings; Features of rigidly-mounted outer frames relating to the mounting of wing frames
    • E06B3/32—Arrangements of wings characterised by the manner of movement; Arrangements of movable wings in openings; Features of wings or frames relating solely to the manner of movement of the wing
    • E06B3/50—Arrangements of wings characterised by the manner of movement; Arrangements of movable wings in openings; Features of wings or frames relating solely to the manner of movement of the wing with more than one kind of movement
    • E06B3/5009—Arrangements of wings characterised by the manner of movement; Arrangements of movable wings in openings; Features of wings or frames relating solely to the manner of movement of the wing with more than one kind of movement where the sliding and rotating movements are necessarily performed simultaneously
    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E06—DOORS, WINDOWS, SHUTTERS, OR ROLLER BLINDS IN GENERAL; LADDERS
    • E06B—FIXED OR MOVABLE CLOSURES FOR OPENINGS IN BUILDINGS, VEHICLES, FENCES OR LIKE ENCLOSURES IN GENERAL, e.g. DOORS, WINDOWS, BLINDS, GATES
    • E06B5/00—Doors, windows, or like closures for special purposes; Border constructions therefor
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S414/00—Material or article handling
    • Y10S414/135—Associated with semiconductor wafer handling

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Civil Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Pressure Vessels And Lids Thereof (AREA)

Abstract

一种装载端口具有端口门和带开口的框体，所述端口门通过所述开口与用于保持半导体工件的容器的容器门进行交接。在一个实施例中，活动的关闭机构连接到端口门并且限定成相对于端口门和框体两者能够以受控的方式活动。在此实施例中，静止的关闭机构设置在框体上接近于所述开口。在另一个实施例中，静止的关闭机构连接到端口门，并且活动的关闭机构设置在框体上接近于所述开口。在该两个实施例中，活动的关闭机构限定成与静止的关闭机构进行接合，使得活动的关闭机构与静止的关闭机构进行接合的运动在端口门与容器门之间施加闭合力。

Description

端口门定位装置及相关的方法
背景技术
在半导体制造过程中，半导体晶片经过多个处理步骤，每个步骤由专用处理工具（processtool）执行。传送盒（pod）用于将半导体晶片从一个工具传送到另一个工具。一种示例类型的传送盒称为前开口式通用传送盒（front-openingunifiedpod,FOUP）。各传送盒能够传输具有特定直径的多个晶片。例如，对于300mm的晶片，传统的FOUP具有传输25个晶片的能力，并且因此可一次携载25个或以下的300mm晶片。对于450mm的晶片，也可以使用具有25个晶片传输能力的FOUP，但此FOUP尺寸可能更大以适应该更大的晶片直径/厚度和对应的在FOUP内的更大的晶片堆叠高度。所述传送盒设计成维持受保护的内部环境，以保持所述晶片免于污染，例如免于被传送盒外空气中的微粒污染。也已知的是用传送盒传送其它类型的基片，例如液晶面板、用于硬盘驱动器的刚性（rigid）磁媒体、太阳能电池等。
图1示出一种传统装载端口10，该传统装载端口10配置成与标准的传送25个300mm晶片的传送盒70交接（interface）。装载端口10附接到处理工具的前端，所述处理工具例如参考2003年1月7日颁发给Rosenquist等人的美国专利No.6,502,869的图1和图2所描述的。为描述的目的，装载端口10的"前侧"是装载端口10的面向如坐标轴21所指示的正Y方向的一侧。传送盒70的"前侧"是面向装载端口10的前侧的一侧。
装载端口10包括工具接口20。在半导体工业中，工具接口20通常符合称为"传送盒开启器/装载器－工具标准接口"（BoxOpener/Loader-to-ToolStandardInterface,BOLTS）的工业标准，通常称为BOLTS接口或BOLTS板。工具接口20包括开孔22，即开口。开孔22大致由端口门30封闭。端口门30利用开孔22的边界形成近似密封（proximityseal），以防止污染物迁移到处理工具的内部40。近似密封提供少量的例如大约1mm的余隙（clearance），从而在部件之间形成近似密封。所述近似密封的小的余隙容许高压空气从处理工具的内部40逸出并且从该近似密封的密封表面扫除任何微粒。
装载端口10还包括具有推进板（advanceplate）52的推进板组件50。在一个实施例中，配准销（未示出）与传送盒70的底部支撑72中的对应的槽或凹部配合，以帮助传送盒70在推进板52上对齐。传送盒70可符合针对前开口式通用传送盒（FOUP）的工业标准或不同标准。推进板组件50具有致动器（未示出），该致动器使推进板52在图1所示的缩回位置与其中使传送盒70与工具接口20紧密接近的推进位置之间沿Y方向滑动。
端口门30的前表面34包括一对闩锁匙60。闩锁匙60包括延伸离开端口门30且大致垂直于端口门30的支柱、和位于所述支柱远端处的横杆（crossbar）。横杆垂直于支柱延伸以与所述支柱形成"T"形。端口门30包括与闩锁匙60相互作用的致动器，从而引起闩锁匙60在所述支柱的轴线上旋转。当传送盒70运动到所述推进位置并且端口门30运动到开孔22中时，闩锁匙60插入传送盒门74的对应的闩锁匙插孔61中。闩锁匙60然后在所述支柱的轴线上旋转，由此与传送盒门74内部的机构相互作用，使传送盒门74闩锁以与传送盒70的凸缘75脱开。适用于接收闩锁匙和利用闩锁匙操作的传送盒门内的门闩锁组件的示例，在标题为"具有改进的闩锁机构的可密封的可传输容器（SealableTransportableContainerHavingImprovedLatchMechanism）"的美国专利No.4,995,430中公开。另一个示例在2003年1月7日颁布给Rosenquist等人的美国专利No.6,502,869中提出。
除使传送盒门74与传送盒70脱开（disengage）之外，闩锁匙60的旋转将闩锁匙60锁止在它们相应的闩锁匙插孔中，由此将传送盒门74联接到端口门30。传统的装载端口包括两个闩锁匙60，该两个闩锁匙60在结构和操作上彼此相同。另外，对齐销36被提供用来帮助端口门30与传送盒门74之间的对齐，使得传送盒门74充分对齐以能够朝向处理工具内部40穿过开孔22。
在传统的装载端口10中，端口门30连接到臂32。臂32的位置由运动机构控制，所述运动机构提供：臂32及其连接的端口门30如箭头35所指示的沿竖直方向的运动以及如箭头33所指示的沿水平方向朝向/远离工具接口20的运动。借由臂32的运动，端口门30可运动经过开孔22以与传送盒门74接合/脱开。此外，当端口门30与传送盒门74接合时，臂32可被移动以将端口门30/传送盒门74组合水平送入处理工具内部40，并且竖直向下越过（clear）开孔22、以便在传送盒70内取用工件25。以互补方式，臂32可被移动以使端口门30/传送盒门74组合运动经过开孔22，以便将传送盒门74重新放置(replace)在传送盒70的凸缘75内。
发明内容
在一个实施例中，公开一种装载端口。该装载端口包括具有前表面、后表面、以及第一和第二竖直侧表面的端口门。所述端口门的前表面限定成当存在用于保持半导体工件的容器时，与该容器的容器门进行交接。所述装载端口包括框体，其限定成具有开口，而所述端口门通过所述开口与所述容器门进行交接。所述装载端口还包括定位设备，其连接到所述端口门以提供所述端口门的受控的定位和运动。活动的关闭机构连接到所述端口门的后表面，以向外延伸超出所述端口门的第一和第二竖直侧表面的每一个。所述活动的关闭机构限定成相对于所述端口门和所述框体两者能够以受控的方式活动。静止的关闭机构设置在所述框体上接近于所述框体的开口，并且限定成与所述活动的关闭机构进行接合。所述活动的关闭机构与所述静止的关闭机构进行接合的运动，在所述端口门的前表面与所述容器门之间施加闭合力。
在另一个实施例中，公开一种装载端口。该装载端口包括具有前表面、后表面、以及第一和第二竖直侧表面的端口门。所述端口门的前表面限定成当存在用于保持半导体工件的容器时，与该容器的容器门进行交接。所述装载端口包括框体，其限定成具有开口，而所述端口门通过所述开口与所述容器门进行交接。所述装载端口还包括定位设备，其连接到所述端口门以提供所述端口门的受控的定位和运动。静止的关闭机构连接到所述端口门的后表面，以向外延伸超出所述端口门的第一和第二竖直侧表面的每一个。活动的关闭机构设置在所述框体上接近于所述框体的开口、并且限定成与所述静止的关闭机构进行接合。所述活动的关闭机构限定成相对于所述框体和所述端口门两者能够以受控的方式活动。所述活动的关闭机构与所述静止的关闭机构进行接合的运动，在所述端口门的前表面与所述容器门之间施加闭合力。
在另一个实施例中，公开一种用于操作装载端口的方法。该方法包括在框体的开口内定位端口门的操作。用于保持半导体工件的容器的容器门固定到所述端口门的前表面。在所述框体的开口内所述端口门的定位对应于在所述容器的门开口内定位所述容器门。该方法还包括下述操作：使连接到所述端口门的活动的关闭机构沿第一方向运动，而不使所述端口门沿第一方向运动。以此方式，所述活动的关闭机构运动成与固定到所述框体的静止的关闭机构进行接合。所述活动的关闭机构与所述静止的关闭机构进行接合的运动，在所述端口门的前表面与所述容器门之间施加闭合力。该方法进一步包括下述操作：将所述容器门固定到所述容器，同时在所述端口门的前表面与所述容器门之间施加所述闭合力。
在另一个实施例中，公开一种用于操作装载端口的方法。该方法包括在框体的开口内定位端口门的操作。用于保持半导体工件的容器的容器门固定到所述端口门的前表面。在所述框体的开口内所述端口门的定位对应于在所述容器的门开口内定位所述容器门。该方法还包括下述操作：使连接到所述框体的活动的关闭机构沿第一方向运动，而不使所述端口门或所述框体沿第一方向运动。以此方式，所述活动的关闭机构运动成与固定到所述端口门的静止的关闭机构进行接合。所述活动的关闭机构与所述静止的关闭机构进行接合的运动，在所述端口门的前表面与所述容器门之间施加闭合力。该方法进一步包括下述操作：将所述容器门固定到所述容器，同时在所述端口门的前表面与所述容器门之间施加所述闭合力。
本发明的其它方面和优点将从以下结合附图、以示例方式示出本发明的详细描述而变得更加明显。
附图说明
图1示出一种配置成与标准的传送25个晶片的传送盒交接的传统装载端口；
图2A示出根据本发明的一个实施例的、一种利用互补的活动的和静止的端口门关闭机构的装载端口，其中活动的辊连接到端口门并且固定的板形凸轮连接到框体；
图2B示出根据本发明的一个实施例的、相对于静止的凸轮板的、活动的关闭机构的辊的侧视图，其中端口门处于关闭预备（closure-ready）位置；
图2C示出根据本发明的一个实施例的、沿静止的板形凸轮的通道运动的所述辊的侧视图；
图2D示出根据本发明的一个实施例的、在端口门的完全闭合位置处的、在静止的板形凸轮的通道内的所述辊的侧视图；
图2E示出根据本发明的一个实施例的、静止的板形凸轮的替代构造的侧视图，其中端口门处于关闭预备位置；
图3A示出根据本发明的一个实施例的、一种利用互补的活动的和静止的端口门关闭机构的装载端口，其中活动的板形凸轮连接到端口门并且固定的辊连接到框体；
图3Β示出根据本发明的一个实施例的、相对于静止的辊的、活动的关闭机构的板形凸轮的侧视图，其中端口门处于关闭预备位置；
图3C示出根据本发明的一个实施例的、沿所述辊运动的板形凸轮的通道的侧视图；
图3D示出根据本发明的一个实施例的、在端口门的完全闭合位置处的、活动的板形凸轮和静止的辊的侧视图；
图4示出根据本发明的一个实施例的、一种利用互补的活动的和静止的端口门关闭机构的装载端口，其中活动的辊连接到框体并且固定的板形凸轮连接到端口门；
图5示出根据本发明的一个实施例的、一种利用互补的活动的和静止的端口门关闭机构的装载端口，其中活动的板形凸轮连接到框体并且固定的辊连接到端口门；
图6示出根据本发明的一个实施例的、图2A的装载端口实施例中的端口门的示例实施方式；
图7示出根据本发明的一个实施例的、一种实现单组（singleset）的互补的静止和活动的关闭机构的装载端口；和
图8A至图8D示出根据本发明的一个实施例的、图2A的装载端口的操作顺序。
具体实施方式
在以下描述中，提出了许多具体细节以提供对本发明的透彻理解。然而，对本领域技术人员显然的是，在不具有这些具体细节的全部或一些的情况下，本发明亦可得以实施。在其它实例中，熟知的处理操作未详细描述，以免不必要地使本发明含混不清。
在此公开针对处理工具的装载端口的各种实施例。在此公开的装载端口的各种实施例配备有端口门定位装置，所述端口门定位装置限定成在端口门与定位在装载端口上的容器例如FOUP的容器门之间施加增大的力。在此公开的任一装载端口实施例可基本上与任一处理工具一起使用，并且具体地适合于与要求清洁的处理工具内部环境的处理工具一起使用。例如，在一个实施例中，装载端口可用于为半导体制造处理工具提供取用入口（accessportal）。在此实施例中，装载端口配置成接收、支撑、和操纵被限定成收纳多个工件的容器，使得工件可由处理工具内的机器人式操控装置（robotichandler）从所述容器中取回或置入所述容器中，而无损于处理工具内部的清洁度。各工件基本上可以指任何类型的经由半导体制造处理而形成的物品。例如，工件可以指半导体晶片、平板显示器、太阳能面板等等。为了便于描述，术语"工件"在此用于意指任何类型的待接收到处理工具中或从处理工具取回的物品。
限定成与在此公开的装载端口实施例进行交接的所述容器，基本上可以是任何类型的、限定成收纳多个工件且配备有可机械地开启的容器门的容器。例如，所述容器可以指：前开口式通用传送盒（FOUP）、标准机械接口（StandardMechanicalInterface，SMIF）传送盒，分划板（reticle）容器、平板显示器传输设备等等。为了便于描述，术语"容器"在此用于意指任何类型的、限定成收纳多个半导体工件且配备有可机械地开启的门的容器。
工件尺寸在传统的半导体晶片制造中已限定为300mm的直径。然而，在半导体晶片制造中的下一代工件尺寸有望限定为较大的例如450mm的直径。工件尺寸的增大必然需要更大的容器和在所述装载端口架构内的对应的更大的端口门。工件尺寸的增大也包括工件厚度的增大，使得载有较大工件的总的容器有效载荷（payload）重量为近似二至三倍大于载有先前较小工件的总的容器有效载荷重量。
在一个实施例中，挠性的（flexible）工件固持器组件设置在容器门的内侧上，并且限定成当所述容器门闭合时将所述工件按它们的所要求的位置固持在所述容器中。由所述挠性工件固持器组件所提供的针对所述工件的固持效果通过所述容器门的闭合而实现，所述容器门的闭合转而施加来自所述挠性的工件固持器的针对所述容器内各工件的保持力。所述容器门的闭合由所述容器门所固定至的端口门在被移离容器时提供。
所述端口门需要施加足够的对抗容器门的闭合力，以克服与所述闭合力方向相逆的力的总和，使得所述容器门正确地就位于所述容器的门开口内。与所述端口门的闭合力方向相逆的力的总和，包括：使挠性的工件固持器与所述容器内部各工件相接合所需的总的力、和实现围绕所述容器门的周边的气密式密封所需的力。在一个实施例中，围绕所述容器门的周边的气密式密封由挠性的密封例如硅酮、橡胶或类似物提供，所述容器门必须牢固地压抵所述挠性的密封。
在传统的装载端口中，例如关于图1所描述的，端口门30连接到臂32，并且端口门30的运动由臂32的运动而提供。因此，在该传统的实施例中，在端口门30与容器门74之间施加的闭合力必须由臂32沿水平方向33朝向容器70的运动而提供。对于传统的300mm直径的半导体工件尺寸，通常的端口门30闭合力要求是在2至10磅的范围内并且可由臂32提供。然而，对于新的较大的半导体工件尺寸，例如450mm直径，要求大得多的端口门30闭合力，并且该闭合力无法由臂32可靠地提供。
更具体地，由于增大的容器尺寸而引起的增大的有效载荷重量和增大的端口门周边密封长度，都要求大得多的端口门闭合力，该闭合力可达到100磅或以上。此外，所述显著的端口门闭合力增加，伴随着与由所述容器内增大的工件堆叠高度所造成的更高容器相关联的更高端口门实现。所述更高的端口门导致活动臂32/端口门30组件的增大的力矩臂长度。增大的闭合力要求和增大的力矩臂长度的组合，导致对于端口门臂定位机构的大得多的力矩，所述端口门臂定位机构可引起在所述容器关闭过程中端口门的角向（angular）和轴向偏转，其转而会妨碍所述容器门在所述容器内的正确置位和就位。例如，所述容器门可能不正确地就位于所述容器内，使得所述挠性工件固持器组件无法正确地接合全部所述工件、和/或所述容器门无法正确地接合围绕所述容器门的周边设置的密封、和/或所述端口门上的闩锁无法正确地接合所述容器门中它们的插孔。
所述端口门的未受控制的偏转/定位的效果，可能导致潜在的对工件的损害、和/或无法将所述容器门正确地闭合和物理地锁止在所述容器壳体内它的正确位置中。所述无法正确地闭合所述容器门，可能导致工件损害或污染以及处理工具的正常操作的中断。另外，当开启所述容器时，在接合所述闩锁匙之前，所述端口门需要被朝向所述容器门推动一段相等的距离、以确保所述端口门的闩锁匙正确地定位在所述容器门中它们的相应插孔内。所述端口门的未受控制的偏转/定位会在开启所述容器时阻止所述端口门抵靠所述容器门的正确定位。
在此公开的装载端口实施例提供一种用于受控的水平端口门运动的手段（means），其中实现了相关联的较高的端口门关闭力且不引入可能导致不可接受的、所述端口门的角向/位置偏转的不利的力矩载荷，而无论所述容器门是否固定于所述端口门。为提供所要求的闭合力而不引入不利的力矩载荷，在此公开的装载端口实施例实现一种独立的运动控制机构，该独立的运动控制机构将水平位移力施加到所述端口门组件，使得所施加的闭合力矢量的作用线处于相反于由所述挠性工件固持器组件与容器门周边密封的组合所产生的阻力矢量的方向。
图2A示出根据本发明的一个实施例的装载端口200。装载端口200包括端口门201，该端口门201具有：前表面230、后表面232、第一和第二竖直侧表面234/236、顶部水平侧表面238、和底部水平侧表面240。端口门201的前表面230限定成当存在用于保持半导体工件的容器时，与该容器的容器门进行交接。装载端口200还包括限定成具有开口211的框体205，而端口门201通过所述开口211与所述容器门进行交接。在一个实施例中，框体205限定为BOLTS板。定位设备203连接到端口门201，以提供所述端口门沿如箭头213所指示的竖直方向和沿如箭头215所指示的朝向/远离框体205的水平方向的受控制的定位和运动。在一个实施例中，定位设备203限定成沿水平方向215以大致线性方式运动，以提供端口门201沿水平方向215朝向/远离框体205的运动。然而，在另一个实施例中，定位设备203限定成围绕一枢转点朝向/远离框体205枢转，所述枢转点大致距离端口门201一段距离，使得端口门201朝向/远离框体205的运动虽不是以严格线性的方式、而以宽弧线（broadarcing）的方式处于大致水平方向。在图2A的实施例中，定位设备203限定为臂构件。然而，在其它实施例中，定位设备203可限定为不同类型的的结构构件，该结构构件能够沿如箭头213和215分别指示的竖直方向和水平方向移动和定位端口门201。
装载端口200包括活动的关闭机构207A/B，所述活动的关闭机构207A/B与端口门201的后表面232连接，以便向外地即水平地延伸超出端口门201的第一和第二竖直侧表面234/236的每一个。活动的关闭机构207A/207B限定成相对于端口门201和框体205两者能够以受控的方式活动。在图2A的实施例中，活动的关闭机构207A/B限定成沿如箭头213所指示的大致竖直方向运动。应理解，在活动的关闭机构207A/B相对于所述端口门201运动时，端口门201可由定位设备203保持处于固定的竖直位置。
装载端口200也包括：静止的关闭机构209A/B，其设置在框体205上接近于框体205的开口211。该静止的关闭机构209A/B限定成和设置成：与连接到端口门201的活动的关闭机构207A/B接合。定位设备203可被操作以将端口门201定位在框体205的开口211内，使得活动的关闭机构207A/B预备与静止的关闭机构209A/B接合。然后，活动的关闭机构207A/B与静止的关闭机构209A/B进行接合的运动在端口门201的前表面230与所述容器门之间施加闭合力。该闭合力在端口门201的前表面230与容器门之间沿大致垂直方向导向。应理解，所述容器门可以已经固定到端口门201的前表面230，例如当重新放置（replace）所述容器门以关闭所述容器时；或所述容器门可以设置在保持成接近于开口211的容器内，例如当将所述容器门从它的容器移除时。
在一个实施例中，例如图2A所示，活动的关闭机构207A/B包括一对辊206A/B，所述一对辊206A/B各自在端口门201的后表面232后方的位置处向外延伸超出端口门201的第一和第二竖直侧表面234/236中的相应一个。在此实施例中，一对辊206A/B的每一个限定成围绕平行于框体205沿大致水平方向定向的中央销的轴线旋转。一对辊206A/B的每一个的中央销固定到活动的关闭机构207A/B，使得：活动的关闭机构207A/B如箭头213所指示相对于所述端口门201沿大致竖直方向的运动，引起一对辊206A/B的每一个也相对于所述端口门201沿大致竖直方向运动。此外，活动的关闭机构207A/B限定成引起一对辊206A/B以大致同步方式的运动。应理解，在其它实施例中，一对辊206A/B可由不同形式的引导构件取代，所述不同形式的引导构件例如为一对刚性的引导销或一对可旋转的引导销等等。
此外，在图2A的装载端口实施例中，静止的关闭机构209A/B限定为：接近于框体205的开口211的竖直侧而分别固定的一对板形凸轮209A/B。一对板形凸轮209A/B的每一个包括通道210A/B，所述通道210A/B形成为在活动的关闭机构207A/B定位和运动成与静止的关闭机构209A/B接合时，接收一对辊206A/B中的相应一个的通道210A/B。各通道210A/B限定成将其内的辊206A/B的运动转换成端口门201的垂直朝向所述容器门的运动，以便施加闭合力。
图2B示出根据本发明的一个实施例的、相对于静止的板形凸轮209A/B的、活动的关闭机构207A/B的辊206A/B的侧视图，其中端口门201处于关闭预备位置，使得辊206A/B预备接合板形凸轮209A/B。端口门201由定位设备203运动到关闭预备位置。在所述关闭过程中，定位设备203操作以维持端口门201的竖直位置，而容许端口门201沿垂直于框体205的方向的水平运动。在一个实施例中，与定位设备203的运动关联的水平驱动被脱开，以容许在所述关闭过程中端口门201沿垂直于框体205的方向的自由的水平运动。在另一个实施例中，与定位设备203的运动关联的水平驱动保留接合，但其操作以跟随（follow）/支持所述关闭过程中端口门201沿垂直于框体205的方向的水平运动。
图2C示出根据本发明的一个实施例的、沿静止的板形凸轮209A/B的通道210A/B运动的辊206A/B的侧视图。当活动的关闭机构207A/B沿竖直方向217运动时，辊206A/B沿方向219接触和跟随板形凸轮209A/B的通道210A/B。因为端口门201的竖直位置由定位设备203保持固定，并且因为通道210A/B呈角度地朝向框体205，所以辊206A/B沿通道210A/B的运动引起端口门201垂直于框体205沿大致水平方向221的对应运动，由此使端口门201运动经过开口211以执行所述容器关闭过程。
应理解，沿水平方向221施加的关闭力取决于：被施加用于使活动的关闭机构207A/B沿竖直方向217运动的竖直力、和如通道210A/B的相对于竖直方向217限定出的角度218。在一个实施例中，所述沿水平方向221施加的关闭力正比于：被施加用于使活动的关闭机构207A/B沿竖直方向217运动的竖直力与通道210A/B角度218的正切的乘积。此外，因为端口门201限定为刚性的结构，所以可施加显著的竖直力以使活动的关闭机构207A/B沿竖直方向217运动。因此，可获得对应显著的沿水平方向221的端口门201关闭力。在一个示例实施例中，在此公开的互补的活动的和静止的关闭机构可产生高达200磅的端口门201关闭力。
图2D示出根据本发明的一个实施例的、在端口门201的完全闭合位置处、在静止的板形凸轮209A/B的通道210A/B内的辊206A/B位置的俯视图。在一个实施例中，通道210A/B限定为长于端口门201的完全关闭所需的长度，而端口门201的关闭借由一种控制手段（means）而停止。在一个实施例中，所述用于停止端口门201的关闭的控制手段，经由对被连接用于使活动的关闭机构207A/B运动的驱动源的控制而实现。在各种示例实施例中，所述驱动源可以是：电动电机、伺服电机、步进电机、或基本上任何其它类型的可被机械地连接以提供活动的关闭机构207A/B的运动且与所述装载端口装备关联的环境要求兼容的电机。在这各种示例实施例中，所述驱动源电机可操作来提供所述使端口门201的关闭停止的控制手段。
另外，在各种实施例中，可实施不同类型的触发机构以对所述驱动源例如电机进行导向以停止端口门201的关闭。例如，可利用一个或多个光学传感器、机械开关、电开关、电传感器、或基本上任何其它类型的位置检测设备来提供端口门201位置反馈信号，所述端口门201位置反馈信号可转而用于控制所述驱动源以提供端口门201及活动的关闭机构207A/B的适宜的运动停止（stoppage）。此外，在使用编码器控制式电机作为所述驱动源的实施例中，可设置编码器设定来控制所述电机的运动停止和端口门201的对应的运动停止。
在另一个替代实施例中，若干硬止动件（hardstop）可设置在端口门201和框体205之间以停止端口门201的运动。在此实施例的一个示例中，所述硬止动件安装在框体205的背部，并且对应的接触元件安装在端口门201上。在此实施例中，端口门201的关闭，借由所述互补的活动的和静止的关闭机构，持续直到端口门201上的所述接触元件接触框体205上的所述硬止动件，由此实现端口门201前表面230平面相对于框体205的前平面的精确的且刚性的定位。此外，所述接触元件和/或所述硬止动件可以在围绕端口门201周边的位置及厚度上是可调节的，以实现端口门201前表面230平面的方位调节。如上所述的硬止动件的使用，在与一定类型的压力控制的驱动源配对使用的情况下，可能是特别有益的，所述压力控制的驱动源举例而言例如为连接成提供活动的关闭机构207A/B的运动的气动缸驱动源。另外，在另一替代实施例中，通道210A/B的长度可限定成用于为端口门201提供完全关闭止动。或者，替代地，定位螺钉（setscrew）可设置在通道210A/B的终端、用于为端口门201提供可调节的完全关闭止动。
图2E示出根据本发明的一个实施例的、静止的板形凸轮209A/B的替代构造的侧视图，其中端口门201处于关闭预备位置。辊206A/B预备借由活动的关闭机构207A/B的竖直运动而接合静止的板形凸轮209A/B的通道210A/B。然而，在此实施例中，静止的板形凸轮209A/B还包括水平余隙通道212，以提供辊206A/B沿水平方向230的运动。在此实施例中，为了从所述关闭预备位置的关闭端口门201可以有两种可选方案。一种可选方案是：使活动的关闭机构207A/B沿竖直方向运动，以使辊206A/B运动经过通道210A/B，以施加高力量的关闭，如以上关于图2B至图2D所述。另一个可选方案是：不运动活动的关闭机构207A/B，而使定位臂203沿水平方向230运动，以引起端口门201沿水平方向230的运动，由此引起辊206A/B运动经过所述余隙通道212。
图3A示出根据本发明的另一个实施例的装载端口300。图3A的装载端口300基本上如同图2A的装载端口200，其中辊206A/B和板形凸轮209A/B实际上彼此交换。装载端口300包括：端口门201、定位设备203、和框体205，如前面关于图2A所述。在此实施例中，装载端口300包括活动的关闭机构307A/B，所述活动的关闭机构307A/B连接到端口门201的后表面232以便向外地即水平地延伸超出端口门201的第一和第二竖直侧表面234/236的每一个。活动的关闭机构307A/B限定成如箭头213所指示相对于端口门201和框体205两者以竖直受控方式能够活动。当活动的关闭机构307A/B相对于所述端口门201运动时，端口门201可由定位设备203保持处于固定的竖直位置。各活动的关闭机构包括板形凸轮301A/B。
装载端口300还包括：静止的关闭机构303A/B，其设置在框体205上接近于框体205的开口211。静止的关闭机构303A/B包括：辊305A/B，所述辊305A/B限定成与连接到端口门201的活动的关闭机构307A/B接合。辊305A/B的每一个限定成围绕固定到静止的关闭机构303A/B的相应中央销旋转。应理解，在其它实施例中辊305A/B可由不同形式的引导构件取代，所述不同形式的引导构件例如为刚性的引导销或可旋转的引导销等等。定位设备203可操作以将端口门201定位在框体205的开口211内，使得活动的关闭机构307A/B的板形凸轮301A/B的每一个预备与静止的关闭机构303A/B的相应辊305A/B接合。活动的关闭机构307A/B与静止的关闭机构303A/B进行接合的运动在端口门201的前表面230与所述容器门之间施加闭合力。该闭合力在端口门201的前表面230与所述容器门之间沿大致垂直方向导向。
图3B示出根据本发明的一个实施例的、相对于静止的辊305A/B的、活动的关闭机构307A/B的板形凸轮301A/B的侧视图，其中端口门201处于关闭预备位置、使得板形凸轮301A/B预备接合辊305A/B。再次地，在所述关闭过程中，定位设备203操作以维持端口门201的竖直位置，同时容许端口门201沿垂直于框体205的方向的水平运动。
图3C示出根据本发明的一个实施例的、沿辊305A/B运动的板形凸轮301A/B的通道310A/B的侧视图。当活动的关闭机构307A/B沿竖直方向317运动时，板形凸轮301A/B通道310A/B沿方向319接触和跟随固定的辊305A/B。因为端口门201的竖直位置由定位设备203保持固定，并且因为通道310A/B成角度地朝向框体205，所以通道310A/B沿辊305A/B的运动引起端口门201垂直于框体205沿大致水平方向321的对应运动，由此使端口门201运动经过开口211以执行所述容器关闭过程。
图3D示出根据本发明的一个实施例的、在端口门201的完全闭合位置处、静止的辊305A/B和活动的板形凸轮301A/B的侧视图。应理解，以上关于图2D所讨论的、有关端口门201的运动停止的各种实施例，同样地可适用于控制图3D的实施例中的端口门201的运动停止。
图4示出根据本发明的另一个实施例的装载端口400。装载端口400包括：端口门201、定位设备203、和框体205，如前面关于图2A所述。在此实施例中，装载端口400包括静止的关闭机构401A/B，所述静止的关闭机构401A/B连接到端口门201的后表面232，以向外地即水平地延伸超出端口门201的第一和第二竖直侧表面234/236的每一个。图4所示的示例实施例利用一对固定的板形凸轮401A/B作为静止的关闭机构401A/B，而一对固定的板形凸轮401A/B的每一个限定成具有相应的成角度的通道410A/B。
装载端口400还包括：活动的关闭机构403A/B，其设置在框体205上接近于框体205的开口211。活动的关闭机构403A/B限定成与静止的关闭机构401A/B接合。在图4的示例实施例中，活动的关闭机构403A/B包括相应的辊404A/B。应理解，在其它实施例中辊404A/B可由不同形式的引导构件取代，所述不同形式的引导构件例如为刚性的引导销或可旋转的引导销等等。活动的关闭机构403A/B限定成相对于框体205和端口门201两者以受控的方式竖直运动，如箭头213所指示。以相似于关于图2B至图2D而描述的方式，活动的关闭机构403A/B的、使辊404A/B与静止的关闭机构401A/B的板形凸轮401A/B的通道410A/B进行接合的运动，在端口门201的前表面230与所述容器门之间施加闭合力。
图5示出根据本发明的另一个实施例的装载端口500。装载端口500包括：端口门201、定位设备203、和框体205，如前面关于图2A所述。在此实施例中，所述装载端口包括静止的关闭机构501A/B，所述静止的关闭机构501A/B连接到端口门201的后表面232，以向外地即水平地延伸超出端口门201的第一和第二竖直侧表面234/236的每一个。图5所示的示例实施例包括连接到静止的关闭机构501A/B的一对固定的辊503A/B。应理解，在其它实施例中辊503A/B可由不同形式的引导构件取代，所述不同形式的引导构件例如为刚性的引导销或可旋转的引导销等等。
装载端口500还包括：活动的关闭机构505A/B，其设置在框体205上接近于框体205的开口211。活动的关闭机构505A/B限定成与静止的关闭机构501A/B接合。在图5的示例实施例中，活动的关闭机构505A/B限定为一对活动的板形凸轮505A/B，而活动的板形凸轮505A/B的每一个具有相应的成角度的通道510A/B。活动的关闭机构505A/B限定成相对于框体205和端口门201两者以受控的方式竖直运动，如箭头213所指示。以相似于关于图3B至图3D而描述的方式，框体205上的板形凸轮505A/B的、使它们的相应的成角度的通道510A/B与连接到静止的关闭机构501A/B的辊503A/B进行接合的运动，在端口门201的前表面230与所述容器门之间施加闭合力。
图6示出根据本发明的一个实施例的、图2A的装载端口实施例中的端口门201的示例实施方式。活动的关闭机构207A/B由与一对辊206A/B分别连接的一对驱动板601A/B限定。再次地，应理解，在其它实施例中一对辊206A/B可由不同形式的引导构件取代，所述不同形式的引导构件例如为一对刚性的引导销或一对可旋转的引导销等等。辊206A/B的每一个在端口门201的后表面232后方的位置处向外延伸超出端口门201的竖直侧表面234/236中的相应一个。在一个实施例中，一对驱动轨603A/B连接到端口门201的后表面232。驱动板601A/B的每一个连接到驱动轨603A/B中的相应一个，并且限定成沿它所连接到的驱动轨603A/B运行。驱动轨603A/B的每一个定向成将与其连接的驱动板601A/B的运动沿大致竖直方向213导向。在一个实施例中，驱动轨603A/B限定为承载轨上的金属滑块。然而，在其它实施例中，驱动轨603A/B可以其它方式确定，只要驱动轨603A/B提供与其连接的驱动板601A/B的线性运动，并且与所述处理环境规范相兼容。
在另一个实施例中，驱动轨603A/B可由形成在连接到端口门201的构件内的或在端口门201内的一对竖直定向的引导通道取代。在此实施例中，驱动板601A/B的每一个可形成为具有滑动构件，所述滑动构件以受固持方式装配在它的对应的引导通道内，使得滑动构件可沿引导通道运动。
端口门201组件也包括驱动源，所述驱动源限定成控制一对驱动板601A/B沿它们的相应驱动轨603A/B的运动。此外，机械连杆限定成将所述驱动源的功转换成所述一对驱动板601A/B的大致同步的运动。
在图6的示例实施例中，所述机械连杆限定为：运动传递板605，其限定成相对于所述端口门201沿大致水平方向607运动。在一个实施例中，多个引导辊609设置成接合运动传递板605的水平定向的边缘。以此方式，引导辊609引导运动传递板605相对于所述端口门201沿大致水平方向607运动。另外，若干槽611（在此示例实施例中为两个槽611）形成在运动传递板605内。对应于槽611的引导销613固定到端口门201的后表面232。引导销613限定成延伸经过槽611并且在槽611内行进。因为槽611形成为沿大致水平方向607延伸，所以槽611与固定的引导销613的交接有助于将运动传递板605沿大致水平方向607引导。
运动传递板605限定成接合一对驱动板601A/B的每一个，使得运动传递板605沿方向607的大致水平运动引起一对驱动板601A的每一个沿竖直方向213的大致相同且同步的竖直运动以及一对辊206A/B的对应的竖直运动。在图6的实施例中，运动传递板605包括一对成角度的槽615。此外，一对驱动板601A/B的每一个包括刚性地与其连接并且形成为在所述一对成角度的槽615中的相应一个内行进的相应的销617。所述成角度的槽615的每一个形成为沿公共角度627延伸，所述公共角度627偏离于竖直方向213，如在平行于端口门201的参考平面内所绘。应理解，当运动传递板605沿水平方向607运动时，各驱动板601A/B的销617由运动传递板605的其相应的槽615接合。以此方式，槽615的公共角度627使运动传递板605的水平运动被转换成驱动板601A/B沿它们的相应驱动轨603A/B的竖直运动。
在图6的示例实施例中，驱动源是电机619，所述电机619具有与其连接的、受该电机619驱动旋转的导螺杆（leadscrew）625。电机619在固定的位置处刚性地连接到端口门201的后表面232。例如，支架组件621可用于将电机619连接到端口门201。应理解，电机619通过电连接供电和受控。带有与导螺杆625呈互补方式螺纹的螺母623刚性地连接到运动传递板605以接收导螺杆625。导螺杆625和螺母623相对于所述端口门201沿大致水平方向607定向，使得导螺杆625在螺母623内的旋转运动使螺母623及与其连接的运动传递板605沿大致水平方向607运动。由此，电机619旋转导螺杆625的操作提供运动传递板605的水平运动和驱动板601A/B的对应的竖直运动。
在各种示例实施例中，电机619可以是：电动电机、伺服电机、步进电机、或基本上任何其它类型的可被机械地连接以提供驱动板601A/B的受控运动且与所述装载端口装备关联的环境要求兼容的电机。在这各种示例实施例中，电机619可操作以提供启动和停止端口门201的关闭的所述控制手段。另外，在各种实施例中，可实施不同类型的触发机构来引导电机619停止端口门201的关闭。例如，可利用一个或多个光学传感器、机械开关、电开关、电传感器、或基本上任何其它类型的位置检测设备来提供端口门201位置反馈信号，所述端口门201位置反馈信号可转而用于控制电机619以提供端口门201及驱动板601A/B的适宜的运动停止。此外，在电机619是编码器控制式电机的实施例中，可设置编码器设定来控制电机619的运动停止和端口门201及驱动板601A/B的对应的运动停止。
应理解，所述驱动源不限于电机619/导螺杆625/螺母623组合。在其它实施例中，可应用不同的驱动源和构造以赋予运动传递板605受控的水平运动。例如，在一个实施例中，所述驱动源是具有驱动杆的气动缸，所述驱动杆连接到该气动缸自身并且连接到运动传递板605。更具体地，该气动缸在固定的位置处连接到端口门201的后表面，并且所述驱动杆连接到运动传递板605，使得所述驱动杆的运动引起运动传递板605沿大致水平方向的运动。在又一个实施例中，齿条-小齿轮（rack-and-piniongear）系统和关联的驱动电机可限定成将小齿轮的圆形运动转换成连接到运动传递板605的齿条的线性运动，反之亦然。此外，在此公开的装载端口200，300，400，500的替代实施例中，所述活动的关闭机构可利用单独的相应驱动源而独立运动，所述单独的相应驱动源通常编码成以串联方式操作，以提供所述活动的关闭机构的大致同步和相同的运动。
无关于具体实施例，被实施用于使驱动板601A/B沿竖直方向213运动的所述驱动源和对应的机械连杆限定成最优地限制所要求的维护和减少微粒的产生，微粒的产生会导致半导体工件污染。此外，可利用端口门201位置监测设备和驱动源力监测设备以提供保护半导体工件和/或其它系统元件的防护（safeguard）。另外，应理解，图6的实施方式中的示例装载端口也可用于图3A至图3D中所绘的装载端口实施例用。在此情况下，板形凸轮301A/B取代辊601A/B。板形凸轮301A/B可限定为驱动板601A/B的一部分、或可单独限定且连接到驱动板601A/B。
在一个实施例中，关于装载端口200，300，400，500而描述的互补的静止的和活动的关闭机构，设置成使得所述关闭力矢量的作用线名义地穿过端口门201的中心线，所述中心线通常处于与逆着所述闭合力的力的总和的作用线相反的方向，所述闭合力例如为使所述挠性的工件固持器与所述容器内部的各工件接合所需的全部力以及实现围绕所述容器门周边的气密式密封件所需的力的总和。在另一个实施例中，关于装载端口200，300，400，500而描述的互补的静止的和活动的关闭机构，设置成使得所述关闭力矢量的作用线偏离于端口门201的中心线，而定位成克服逆着所述闭合力的反向力之和。
此外，应理解，关于装载端口200，300，400，500而描述的互补的静止的和活动的关闭机构，可用于精确控制端口门201的theta位置/方位。所述端口门201的theta位置/方位由在x-y平面中即在水平平面中在y和x基准方向之间延伸的角度214（见图2A中的坐标轴）确定。端口门201的正确的theta位置/方位确保端口门201闩锁匙例如图1的闩锁匙60都相同地插入到它们的对应的容器门插孔中。端口门201的正确的theta位置/方位也确保：所述容器门闩锁机构与所述容器壳体中的它的关联的凹部正确地接合。端口门201的精确的theta位置/方位可通过将端口门201一侧上的所述互补的静止的和活动的关闭机构相对于端口门201的另一侧进行调节而实现。例如，在端口门201的一侧的互补的静止的和活动的关闭机构的位置可沿垂直于框体205方向即沿y基准方向调节，以相对于框体205调节端口门201的theta位置/方位。
图7示出根据本发明的一个实施例的、一种实现单组的互补的静止和活动的关闭机构705/701的装载端口700。在此实施例中，单个活动的关闭机构701连接到端口门201的后表面232，位于端口门201的顶部水平侧表面238附近且处在端口门201的竖直中心线703上。对应的固定的单个静止的关闭机构705安装在框体205上，待与所述单个的活动的关闭机构701接合。在替代实施例中，所述单个的活动的关闭机构701可安装在框体205上，并且所述单个的静止的关闭机构705可安装在端口门201的后表面232上。利用装载端口700的构造，所述单组的互补的静止和活动的关闭机构的关闭驱动运动与定位设备203的水平驱动协调，以提供端口门201的正确的关闭。
在一个实施例中，所述单个的活动的关闭机构701限定为可被竖直驱动的辊，并且所述单个的静止的关闭机构705限定为适于接收所述辊的板形凸轮，使得所述辊在所述板形凸轮的的成角度的通道内的运动引起端口门201沿垂直于框体205方向的运动。在另一个实施例中，所述单个的活动的关闭机构701限定为可被竖直驱动的板形凸轮，并且所述单个的静止的关闭机构限定为适于接收在所述板形凸轮内的辊，使得所述板形凸轮的随定位在所述板形凸轮的成角度的通道内的辊的运动引起端口门201沿垂直于框体方向的运动。
图8A至图8D示出根据本发明的一个实施例的、装载端口200的可操作顺序。图8A示出定位在装载端口200上的容器801，其中它的容器门803处于关闭配置。为了开启容器801，端口门201运动成与容器门803交接。图8B示出所述定位设备203竖直运动以将端口门201定位处于与框体203开口211竖直对齐，以允许实现端口门201的经过开口211的水平运动。图8C示出位置设备203水平运动以将端口门201定位在开口211内，使得（连接到端口门201的）活动的关闭机构209A/B的辊206A/B定位成接合（连接到框体205的）静止的关闭机构的板形凸轮209A/B。
图8D示出活动的关闭机构207A/B竖直运动使得辊206A/B运动经过板形凸轮209A/B的通道，由此使端口门201水平运动以与容器门803交接。应理解，定位设备203受控以在端口门201经过开口211运动以与容器门803交接时保持端口门201处于它的竖直位置。此外，应理解，定位设备203受控以容许端口门201如由互补的活动的和静止的关闭机构207A/B和209A/B分别导向的那样水平运动。
以上关于图8A至图8D而描述的操作的顺序可基本上颠倒，以例如借由从端口门201延伸到容器门803中的闩锁匙，而在容器门803固定到端口门201时将容器门803从容器801移除。然后，以上关于图8A至图8D而描述的操作的顺序，可重复以将容器门803重新放置到容器801内它的闭合位置上。
虽然本发明已就多个实施例进行了描述，但是应理解，本领域技术人员在阅读前述说明和研究附图时将意识到本发明的各种更改、添加、排列和等同方案。因此，在本发明的真实精神和范围内，本发明旨在包括全部这类更改、添加、排列和等同方案。

Claims (36)

1.一种装载端口，包括：
具有前表面、后表面、顶部表面、底部表面以及第一和第二竖直侧表面的端口门，所述第一和第二竖直侧表面中的每个都在所述顶部表面和所述底部表面之间延伸，其中，所述端口门的前表面限定成当存在用于保持半导体工件的容器的容器门时，与该容器门进行交接；
框体，其限定成具有开口，而所述端口门通过所述开口与所述容器门进行交接；
定位设备，连接到所述端口门以提供所述端口门的受控的定位和运动；
活动的关闭机构，其连接到所述端口门的后表面在所述端口门的顶部表面和底部表面之间，所述活动的关闭机构定位成与所述定位设备分开，所述活动的关闭机构包括在水平方向上向外延伸超出所述端口门的第一和第二竖直侧表面的每一个的活动部分；所述活动的关闭机构的活动部分限定成相对于所述端口门和所述框体两者能够以受控的方式活动；和
静止的关闭机构，设置在所述框体上接近于所述框体的开口，位于当所述端口门存在于所述框体的开口内时与所述活动的关闭机构的活动部分进行接合的位置处，
其中，当存在所述容器门时，所述活动的关闭机构的活动部分分别与所述静止的关闭机构进行接合的运动，在所述端口门的前表面与所述容器门之间施加闭合力。
2.如权利要求1所述的装载端口，其中，所述闭合力在所述端口门的前表面与所述容器门之间沿垂直方向。
3.如权利要求1所述的装载端口，其中，所述定位设备限定成使所述端口门相对于所述框体的开口沿竖直方向运动，并且所述定位设备限定成使所述端口门在所述框体的开口内沿水平方向运动。
4.如权利要求1所述的装载端口，其中，所述活动的关闭机构的活动部分限定为一对引导构件，所述一对引导构件的每一个在所述端口门的后表面后方的位置处向外延伸超出所述端口门的第一和第二竖直侧表面中的相应一个，并且所述一对引导构件的每一个限定成相对于所述端口门沿竖直方向且以同步方式运动，以及
其中，所述静止的关闭机构限定为分别接近于所述框体的开口的第一和第二竖直侧而固定的一对板形凸轮，所述一对板形凸轮的每一个包括被形成用以接收所述一对引导构件中的相应一个的通道，其中，各通道限定成将其内所述引导构件的运动转换成所述端口门的垂直朝向所述容器门的运动，以施加所述闭合力。
5.如权利要求4所述的装载端口，进一步包括：
所述一对引导构件所分别连接到的一对驱动板；
所述一对驱动板所分别连接到的一对驱动轨，所述一对驱动轨的每一个连接到所述端口门的后表面，并且定向成对其所连接的所述驱动板的运动沿竖直方向导向；
驱动源，限定成控制所述一对驱动板沿它们相应的驱动轨的运动；和
机械连杆，限定成将所述驱动源的功转换成所述一对驱动板的同步运动。
6.如权利要求5所述的装载端口，其中，所述机械连杆限定为限定成相对于所述端口门沿水平方向运动的运动传递板，所述运动传递板限定成接合所述一对驱动板的每一个，使得所述运动传递板的水平运动引起所述一对驱动板及分别连接到所述一对驱动板的所述一对引导构件的每一个的相等且同步的竖直运动。
7.如权利要求6所述的装载端口，其中，所述驱动源是电机，所述电机连接有被该电机驱动旋转的导螺杆，所述电机在固定的位置处连接到所述端口门的后表面；与所述导螺杆呈互补形式的带螺纹的螺母连接到所述运动传递板以接收所述导螺杆，所述导螺杆和所述螺母相对于所述端口门沿水平方向定向，使得所述导螺杆在所述螺母内的旋转使所述螺母及其连接的运动传递板沿水平方向运动。
8.如权利要求6所述的装载端口，其中，所述驱动源是连接有驱动杆的气动缸，所述气动缸在固定的位置处连接到所述端口门的后表面；所述驱动杆也连接到所述运动传递板，使得所述驱动杆的运动引起所述运动传递板沿水平方向的运动。
9.如权利要求1所述的装载端口，其中，所述静止的关闭机构限定为分别接近于所述框体的开口的第一和第二竖直侧而固定的一对引导构件，以及
其中，所述活动的关闭机构的活动部分限定为沿所述端口门的第一和第二竖直侧表面、在所述端口门的后表面的后方和外侧的相应位置处分别设置的一对活动的板形凸轮，所述一对活动的板形凸轮的每一个限定成相对于所述端口门沿竖直方向且以同步方式运动，所述一对活动的板形凸轮的每一个包括被形成用以接收所述一对引导构件中的相应一个的通道，其中，各通道限定成将它的活动的板形凸轮相对于其内所述引导构件的运动转换成所述端口门的垂直朝向所述容器门的运动，以施加所述闭合力。
10.如权利要求9所述的装载端口，进一步包括：
所述一对活动的板形凸轮所分别连接到的一对驱动板；
所述一对驱动板所分别连接到的一对驱动轨，所述一对驱动轨的每一个连接到所述端口门的后表面，并且定向成对其所连接的所述驱动板的运动沿竖直方向导向；
驱动源，限定成控制所述一对驱动板沿它们相应的驱动轨的运动；和
机械连杆，限定成将所述驱动源的功转换成所述一对驱动板的同步运动。
11.如权利要求10所述的装载端口，其中，所述机械连杆限定为限定成相对于所述端口门沿水平方向运动的运动传递板，所述运动传递板限定成接合所述一对驱动板的每一个，使得所述运动传递板的水平运动引起所述一对驱动板及分别连接到所述一对驱动板的所述一对活动的板形凸轮的每一个的相等的竖直运动。
12.如权利要求11所述的装载端口，其中，所述驱动源是电机，所述电机连接有被该电机驱动旋转的导螺杆，所述电机在固定的位置处连接到所述端口门的后表面；与所述导螺杆呈互补形式的带螺纹的螺母连接到所述运动传递板以接收所述导螺杆，所述导螺杆和所述螺母相对于所述端口门沿水平方向定向，使得所述导螺杆在所述螺母内的旋转使所述螺母及其连接的运动传递板沿水平方向运动。
13.如权利要求11所述的装载端口，其中，所述驱动源是连接有驱动杆的气动缸，所述气动缸在固定的位置处连接到所述端口门的后表面；所述驱动杆也连接到所述运动传递板，使得所述驱动杆的运动引起所述运动传递板沿水平方向的运动。
14.如权利要求10所述的装载端口，其中，所述一对活动的板形凸轮形成为所述一对驱动板的相应部分。
15.一种装载端口，包括：
具有前表面、后表面、顶部表面、底部表面以及第一和第二竖直侧表面的端口门，所述第一和第二竖直侧表面中的每个都在所述顶部表面和所述底部表面之间延伸，其中，所述端口门的前表面限定成当存在用于保持半导体工件的容器的容器门时，与该容器的容器门进行交接；
框体，其限定成具有开口，而所述端口门通过所述开口与所述容器门进行交接；
定位设备，连接到所述端口门以提供所述端口门的受控的定位和运动；
静止的关闭机构，连接到所述端口门的后表面在所述端口门的顶部表面和底部表面之间，所述静止的关闭机构定位成与所述定位设备分开，所述静止的关闭机构包括向外延伸超出所述端口门的第一和第二竖直侧表面的每一个的固定部分；和
活动的关闭机构，设置在所述框体上接近于所述框体的开口，位于当所述端口门存在于所述框体的开口内时与所述静止的关闭机构的固定部分进行接合的位置处；所述活动的关闭机构限定成相对于所述框体和所述端口门两者能够以受控的方式活动；
其中，当存在所述容器门时，所述活动的关闭机构与所述静止的关闭机构的固定部分进行接合的运动，在所述端口门的前表面与所述容器门之间施加闭合力。
16.如权利要求15所述的装载端口，其中，所述闭合力在所述端口门的前表面与所述容器门之间沿垂直方向导向。
17.如权利要求15所述的装载端口，其中，所述定位设备限定成使所述端口门相对于所述框体的开口沿竖直方向运动，并且所述定位设备限定成使所述端口门在所述框体的开口内沿水平方向运动。
18.如权利要求15所述的装载端口，其中，所述静止的关闭机构的固定部分限定为一对引导构件，所述一对引导构件的每一个在所述端口门的后表面后方的位置处向外延伸超出所述端口门的第一和第二竖直侧表面中的相应一个；以及
其中，所述活动的关闭机构限定为分别接近于所述框体的开口的第一和第二竖直侧而设置的一对活动的板形凸轮，所述一对板形凸轮的每一个限定成相对于所述框体和所述端口门两者沿竖直方向且以同步方式运动，所述一对活动的板形凸轮的每一个包括被形成用以接收所述一对引导构件中的相应一个的通道，其中，各通道限定成将它的活动的板形凸轮相对于其内所述引导构件的运动转换成所述端口门的垂直朝向所述容器门的运动，以施加所述闭合力。
19.如权利要求18所述的装载端口，进一步包括：
所述一对活动的板形凸轮所分别连接到的一对驱动板；
所述一对驱动板所分别连接到的一对驱动轨，所述一对驱动轨的每一个连接到所述框体，并且定向成对其所连接的所述驱动板的运动沿竖直方向导向；
驱动源，限定成控制所述一对驱动板沿它们相应的驱动轨的运动；和
机械连杆，限定成将所述驱动源的功转换成所述一对驱动板的同步运动。
20.如权利要求19所述的装载端口，其中，所述机械连杆限定为限定成相对于所述框体沿水平方向运动的运动传递板，所述运动传递板限定成接合所述一对驱动板的每一个，使得所述运动传递板的水平运动引起所述一对驱动板及分别连接到所述一对驱动板的所述一对活动的板形凸轮的每一个的相等且同步的竖直运动。
21.如权利要求20所述的装载端口，其中，所述驱动源是电机，所述电机连接有被该电机驱动旋转的导螺杆，所述电机在固定的位置处连接到所述框体；与所述导螺杆呈互补形式的带螺纹的螺母连接到所述运动传递板以接收所述导螺杆，所述导螺杆和所述螺母相对于所述框体沿水平方向定向，使得所述导螺杆在所述螺母内的旋转使所述螺母及其连接的运动传递板沿水平方向运动。
22.如权利要求20所述的装载端口，其中，所述驱动源是连接有驱动杆的气动缸，所述气动缸在固定的位置处连接到所述框体；所述驱动杆也连接到所述运动传递板，使得所述驱动杆的运动引起所述运动传递板沿水平方向的运动。
23.如权利要求19所述的装载端口，其中，所述一对活动的板形凸轮形成为所述一对驱动板的相应部分。
24.如权利要求15所述的装载端口，其中，所述活动的关闭机构限定为分别接近于所述框体的开口的第一和第二竖直侧而设置的一对引导构件，所述一对引导构件的每一个限定成沿竖直方向以同步方式运动；以及
其中，所述静止的关闭机构的固定部分限定为沿所述端口门的第一和第二竖直侧表面、在所述端口门的后表面的后方和外侧的相应位置处分别固定的一对板形凸轮，所述一对板形凸轮的每一个包括被形成用以接收所述一对引导构件中的相应一个的通道，其中，各通道限定成将其内所述引导构件的运动转换成所述端口门的垂直朝向所述容器门的运动，以施加所述闭合力。
25.如权利要求24所述的装载端口，进一步包括：
所述一对引导构件所分别连接到的一对驱动板；
所述一对驱动板所分别连接到的一对驱动轨，所述一对驱动轨的每一个连接到所述框体，并且定向成对其所连接的所述驱动板的运动沿竖直方向导向；
驱动源，限定成控制所述一对驱动板沿它们相应的驱动轨的运动；和
机械连杆，限定成将所述驱动源的功转换成所述一对驱动板的同步运动。
26.如权利要求25所述的装载端口，其中，所述机械连杆限定为限定成相对于所述框体沿水平方向运动的运动传递板，所述运动传递板限定成接合所述一对驱动板的每一个，使得所述运动传递板的水平运动引起所述一对驱动板及分别连接到所述一对驱动板的所述一对引导构件的每一个的相等的竖直运动。
27.如权利要求26所述的装载端口，其中，所述驱动源是电机，所述电机连接有被该电机驱动旋转的导螺杆，所述电机在固定的位置处连接到所述框体；与所述导螺杆呈互补形式的带螺纹的螺母连接到所述运动传递板以接收所述导螺杆，所述导螺杆和所述螺母相对于所述框体沿水平方向定向，使得所述导螺杆在所述螺母内的旋转使所述螺母及其连接的运动传递板沿水平方向运动。
28.如权利要求26所述的装载端口，其中，所述驱动源是连接有驱动杆的气动缸，所述气动缸在固定的位置处连接到所述框体；所述驱动杆也连接到所述运动传递板，使得所述驱动杆的运动引起所述运动传递板沿水平方向的运动。
29.一种用于操作装载端口的方法，包括：
操作定位设备以在框体的开口内定位端口门，所述端口门具有前表面、后表面、顶部表面、底部表面以及第一和第二竖直侧表面，该第一和第二竖直侧表面中的每个都在所述顶部表面和所述底部表面之间延伸，其中，用于保持半导体工件的容器的容器门固定到所述端口门的前表面，在所述框体的开口内定位所述端口门对应于在所述容器的门开口内定位所述容器门；
操作独立的运动控制机构，以通过使连接到所述端口门的后表面的活动的关闭机构沿第一方向运动而不使所述端口门沿第一方向运动，来向所述端口门施加闭合力，其中所述活动的关闭机构被连接到所述端口门的后表面位于所述端口门的顶部表面和底部表面之间，其中所述活动的关闭机构定位成与所述定位设备分开，其中所述活动的关闭机构包括在水平方向上向外延伸超出所述端口门的第一和第二竖直侧表面的每一个的活动部分，其中所述活动的关闭机构的活动部分限定成相对于所述端口门和所述框体两者能够以受控的方式活动，其中所述活动的关闭机构的活动部分运动成与固定到所述框体的相应的静止的关闭机构进行接合，其中，所述活动的关闭机构的活动部分与所述静止的关闭机构进行接合的运动，在所述端口门的前表面与所述容器门之间施加闭合力；以及
将所述容器门固定到所述容器，同时所述闭合力被施加在所述端口门的前表面与所述容器门之间。
30.如权利要求29所述的方法，其中，所述闭合力在所述端口门的前表面与所述容器门之间沿垂直方向。
31.如权利要求29所述的方法，其中，所述活动的关闭机构的活动部分包括一对引导构件，所述一对引导构件的每一个向外延伸超出所述端口门的第一和第二竖直侧表面中的相应一个，其中，连接到所述端口门的所述活动的关闭机构的活动部分沿第一方向的运动对应于所述一对引导构件沿竖直方向以同步方式的运动，以及
其中，所述静止的关闭机构限定为分别接近于所述框体的开口的第一和第二竖直侧而固定的一对板形凸轮，所述一对板形凸轮的每一个包括被形成用以接收所述一对引导构件中的相应一个的通道，其中，各通道限定成将其内所述引导构件的运动转换成所述端口门的垂直朝向所述容器门的运动，以施加所述闭合力。
32.如权利要求29所述的方法，其中，所述静止的关闭机构限定为接近于所述框体的开口的第一和第二竖直侧而分别固定的一对引导构件，以及
其中，所述活动的关闭机构的活动部分限定为分别沿所述端口门的第一和第二竖直侧表面而设置的一对活动的板形凸轮，所述一对活动的板形凸轮的每一个限定成沿竖直方向以同步方式运动，所述一对活动的板形凸轮的每一个包括被形成用以接收所述一对引导构件中的相应一个的通道，其中，各通道限定成将它的活动的板形凸轮相对于其内所述引导构件的运动转换成所述端口门的垂直朝向所述容器门的运动，以施加所述闭合力。
33.一种用于操作装载端口的方法，包括：
操作定位设备以在框体的开口内定位端口门，所述端口门具有前表面、后表面、顶部表面、底部表面以及第一和第二竖直侧表面，该第一和第二竖直侧表面中的每个都在所述顶部表面和所述底部表面之间延伸，其中，用于保持半导体工件的容器的容器门固定到所述端口门的前表面，在所述框体的开口内定位所述端口门对应于在所述容器的门开口内定位所述容器门；
操作独立的运动控制机构，以通过使连接到所述框体的活动的关闭机构沿第一方向运动而不使所述端口门或所述框体沿第一方向运动，由此所述活动的关闭机构运动成与固定到所述端口门的相应的静止的关闭机构进行接合，来向所述端口门施加闭合力，其中所述静止的关闭机构被连接到所述端口门的后表面位于所述端口门的顶部表面和底部表面之间，其中所述静止的关闭机构定位成与所述定位设备分开，其中所述静止的关闭机构包括向外延伸超出所述端口门的第一和第二竖直侧表面的每一个的固定部分，其中，所述活动的关闭机构与所述静止的关闭机构进行接合的运动，在所述端口门的前表面与所述容器门之间施加闭合力；以及
将所述容器门固定到所述容器，同时所述闭合力被施加在所述端口门的前表面与所述容器门之间。
34.如权利要求33所述的方法，其中，所述闭合力在所述端口门的前表面与所述容器门之间沿垂直方向。
35.如权利要求33所述的方法，其中，所述静止的关闭机构限定为一对引导构件，所述一对引导构件的每一个向外延伸超出所述端口门的第一和第二竖直侧表面中的相应一个；以及
其中，所述活动的关闭机构限定为分别接近于所述框体的开口的第一和第二竖直侧而设置的一对活动的板形凸轮，所述一对活动的板形凸轮的每一个限定成沿竖直方向以同步方式运动，所述一对活动的板形凸轮的每一个包括被形成用以接收所述一对引导构件中的相应一个的通道，其中，各通道限定成将它的活动的板形凸轮相对于其内所述引导构件的运动转换成所述端口门的垂直朝向所述容器门的运动，以施加所述闭合力。
36.如权利要求33所述的方法，其中，所述活动的关闭机构限定为分别接近于所述框体的开口的第一和第二竖直侧而设置的一对引导构件，所述一对引导构件的每一个限定成沿竖直方向以同步方式运动；以及
其中，所述静止的关闭机构限定为分别接近于所述端口门的第一和第二竖直侧表面而固定的一对板形凸轮，所述一对板形凸轮的每一个包括被形成用以接收所述一对引导构件中的相应一个的通道，其中，各通道限定成将其内所述引导构件的运动转换成所述端口门的垂直朝向所述容器门的运动，以施加所述闭合力。
CN201180041909.6A 2010-06-30 2011-06-29 端口门定位装置及相关的方法 Active CN103155132B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610416629.3A CN106024680B (zh) 2010-06-30 2011-06-29 端口门定位装置及相关的方法

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US12/828,236 2010-06-30
US12/828,236 US8870516B2 (en) 2010-06-30 2010-06-30 Port door positioning apparatus and associated methods
PCT/US2011/042455 WO2012003240A2 (en) 2010-06-30 2011-06-29 Port door positioning apparatus and associated methods

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201610416629.3A Division CN106024680B (zh) 2010-06-30 2011-06-29 端口门定位装置及相关的方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN103155132A CN103155132A (zh) 2013-06-12
CN103155132B true CN103155132B (zh) 2016-08-03

Family

ID=45398872

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201180041909.6A Active CN103155132B (zh) 2010-06-30 2011-06-29 端口门定位装置及相关的方法
CN201610416629.3A Active CN106024680B (zh) 2010-06-30 2011-06-29 端口门定位装置及相关的方法

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201610416629.3A Active CN106024680B (zh) 2010-06-30 2011-06-29 端口门定位装置及相关的方法

Country Status (5)

Country Link
US (2) US8870516B2 (zh)
JP (2) JP5732132B2 (zh)
KR (1) KR101545067B1 (zh)
CN (2) CN103155132B (zh)
WO (1) WO2012003240A2 (zh)

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6918731B2 (en) 2001-07-02 2005-07-19 Brooks Automation, Incorporated Fast swap dual substrate transport for load lock
JP5736686B2 (ja) * 2010-08-07 2015-06-17 シンフォニアテクノロジー株式会社 ロードポート
JP5729148B2 (ja) * 2011-06-07 2015-06-03 東京エレクトロン株式会社 基板搬送容器の開閉装置、蓋体の開閉装置及び半導体製造装置
KR101611487B1 (ko) * 2011-07-06 2016-04-11 히라따기꼬오 가부시키가이샤 용기 개폐 장치
JP5993252B2 (ja) * 2012-09-06 2016-09-14 東京エレクトロン株式会社 蓋体開閉装置及びこれを用いた熱処理装置、並びに蓋体開閉方法
CN103214474B (zh) * 2013-05-02 2016-04-27 南开大学 一类含4,5-二氢噻唑醇酸酯的5-甲基-1,2,3-噻二唑衍生物及其制备方法和用途
US20150345810A1 (en) * 2014-05-30 2015-12-03 Denso International America, Inc. Dual layer door
DK178586B1 (en) * 2015-02-02 2016-07-25 Vestas Wind Sys As Wind turbine access panel and method for securing same
KR101695948B1 (ko) * 2015-06-26 2017-01-13 주식회사 테라세미콘 기판처리 시스템
USD811627S1 (en) 2016-06-16 2018-02-27 Curtis Alan Roys LED lamp
JP6414535B2 (ja) * 2015-10-28 2018-10-31 株式会社ダイフク 収納容器
US10622236B2 (en) 2017-08-30 2020-04-14 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Apparatus and method for handling wafer carrier doors
JP6697428B2 (ja) * 2017-11-01 2020-05-20 ファナック株式会社 ファンユニットを備えるモータ駆動装置
KR101831202B1 (ko) 2017-12-20 2018-02-22 주식회사 싸이맥스 로드포트의 포트도어 구동장치
CN108005549B (zh) * 2018-01-12 2024-03-26 珠海市优氧健康产业有限公司 一种健康舱舱门密封结构
CN109615781B (zh) * 2018-12-17 2023-09-19 航天信息股份有限公司 自动出货装置
KR20230007951A (ko) * 2021-07-06 2023-01-13 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 카세트 덮개 개방 장치
US20230116011A1 (en) * 2021-10-12 2023-04-13 Caterpillar Inc. Secondary control system and method for mounting with service orientation

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5302120A (en) * 1992-06-15 1994-04-12 Semitool, Inc. Door assembly for semiconductor processor
US6106213A (en) * 1998-02-27 2000-08-22 Pri Automation, Inc. Automated door assembly for use in semiconductor wafer manufacturing
TWI278057B (en) * 2004-10-26 2007-04-01 Tdk Corp Enclosed container lid opening/closing system and enclosed container lid opening/closing method
TW200943463A (en) * 2007-10-03 2009-10-16 Tokyo Electron Ltd Inlet port mechanism for introducing object and treatment system

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US659699A (en) * 1900-01-29 1900-10-16 Harold Rowntree Door mechanism.
US4367915A (en) * 1978-06-29 1983-01-11 Georges Michael P Automatic microscope slide
JPH05109863A (ja) * 1991-10-17 1993-04-30 Shinko Electric Co Ltd 機械式インターフエース装置
ATE275759T1 (de) * 1995-03-28 2004-09-15 Brooks Automation Gmbh Be- und entladestation für halbleiterbearbeitungsanlagen
US6082949A (en) * 1996-10-11 2000-07-04 Asyst Technologies, Inc. Load port opener
CA2265639A1 (en) * 1997-07-14 1999-01-21 Vertical Mobility, Llc Convertible lift mechanism
JPH11145269A (ja) 1997-11-11 1999-05-28 Starlite Co Ltd 密閉式基板用カセット及びそれを用いたデバイスの製造方法
US6178361B1 (en) * 1998-11-20 2001-01-23 Karl Suss America, Inc. Automatic modular wafer substrate handling device
US6443686B1 (en) * 1999-03-05 2002-09-03 Pri Automation, Inc. Material handling and transport system and process
TW484750U (en) * 2000-09-08 2002-04-21 Ind Tech Res Inst Opening/closing device for front-opened type wafer box
US6530736B2 (en) * 2001-07-13 2003-03-11 Asyst Technologies, Inc. SMIF load port interface including smart port door
US6883274B2 (en) * 2001-11-09 2005-04-26 Knaack Manufacturing Company Device and method for opening a door
KR100729699B1 (ko) * 2003-05-15 2007-06-19 티디케이가부시기가이샤 클린 박스 개폐 장치를 구비하는 클린 장치
KR100589702B1 (ko) 2004-08-05 2006-06-19 (주)아이씨디 진공챔버용 도어 조립체
FR2874744B1 (fr) * 2004-08-30 2006-11-24 Cit Alcatel Interface sous vide entre une boite de mini-environnement et un equipement
JP2009070868A (ja) 2007-09-11 2009-04-02 Panasonic Corp 基板収納用容器
JP4624458B2 (ja) * 2008-11-11 2011-02-02 Ｔｄｋ株式会社 密閉容器及び該密閉容器の蓋開閉システム
JP4748816B2 (ja) * 2008-11-28 2011-08-17 Ｔｄｋ株式会社 密閉容器の蓋開閉システム

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5302120A (en) * 1992-06-15 1994-04-12 Semitool, Inc. Door assembly for semiconductor processor
US6106213A (en) * 1998-02-27 2000-08-22 Pri Automation, Inc. Automated door assembly for use in semiconductor wafer manufacturing
TWI278057B (en) * 2004-10-26 2007-04-01 Tdk Corp Enclosed container lid opening/closing system and enclosed container lid opening/closing method
TW200943463A (en) * 2007-10-03 2009-10-16 Tokyo Electron Ltd Inlet port mechanism for introducing object and treatment system

Also Published As

Publication number Publication date
JP2015128197A (ja) 2015-07-09
CN106024680A (zh) 2016-10-12
WO2012003240A2 (en) 2012-01-05
US9378995B2 (en) 2016-06-28
JP5732132B2 (ja) 2015-06-10
JP6101302B2 (ja) 2017-03-22
US20120000816A1 (en) 2012-01-05
KR101545067B1 (ko) 2015-08-17
CN106024680B (zh) 2019-02-19
JP2013539203A (ja) 2013-10-17
CN103155132A (zh) 2013-06-12
KR20130054326A (ko) 2013-05-24
WO2012003240A3 (en) 2012-04-12
US8870516B2 (en) 2014-10-28
US20150021230A1 (en) 2015-01-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103155132B (zh) 端口门定位装置及相关的方法
US8651796B2 (en) Substrate transport apparatus with multiple independently movable articulated arms
US8789678B2 (en) Multi-mode and multi-pitch conveyor system
TWI614831B (zh) 基板處理裝置
WO2022193347A1 (zh) 晶圆载具的夹取装置
KR102359364B1 (ko) 기판 프로세싱 장치
CN107598909A (zh) 基板处理设备
WO2002003431A2 (en) Apparatus and methods for semiconductor wafer processing equipment
US8979463B2 (en) Load port apparatus
CN107068604B (zh) 晶圆盒输送装载系统
JP7003131B2 (ja) ガイドピンセット装置及び電池製造機
TWI463592B (zh) 搬送裝置
CN110265279B (zh) 一种工件侧进式双真空室离子束加工系统
KR20130063256A (ko) 웨이퍼 처리장치
CN110349879B (zh) 机械手传动机构、传输腔及半导体加工设备
CN214255012U (zh) 正反双卡接线端子夹爪
WO2010143371A1 (ja) 真空処理装置及び光学部品の製造方法
US9275885B2 (en) Horizontal displacement mechanism for cleanroom material transfer systems

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant