KR20130054326A - 포트 도어 위치 설정 장치 및 관련 방법 - Google Patents

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Abstract

로드포트는 포트 도어 및 프레임을 구비하고, 상기 프레임은 개구부를 포함하고, 상기 개구부를 통해서 포트 도어가 반도체 공작물들을 유지하기 위한 컨테이너의 컨테이너 도어와 인터페이싱한다. 일 실시예에서, 가동형 폐쇄 메커니즘이 포트 도어에 연결되고 그리고 포트 도어 및 프레임 모두에 대해서 제어된 방식으로 이동가능하도록 형성된다. 이러한 실시예에서, 고정식 폐쇄 메커니즘이 개구부에 근접하여 프레임 상에 배치된다. 다른 실시예에서, 고정식 폐쇄 메커니즘이 포트 도어에 연결되고, 그리고 가동형 폐쇄 메커니즘이 개구부에 근접하여 프레임 상에 배치된다. 양 실시예들에서, 가동형 폐쇄 메커니즘이 고정식 폐쇄 메커니즘과 결합하도록 형성되며, 그에 따라 고정식 폐쇄 메커니즘과 결합하기 위한 가동형 폐쇄 메커니즘의 운동이 포트 도어와 컨테이너 도어 사이에 폐쇄력을 인가한다.

Description

포트 도어 위치 설정 장치 및 관련 방법{PORT DOOR POSITIONING APPARATUS AND ASSOCIATED METHODS}
본 발명은 포트 도어 위치 설정 장치 및 관련 방법에 관한 것이다.
반도체 제조 중에, 반도체 웨이퍼는 복수의 프로세스 단계들을 거치게 되고, 그러한 각각의 단계는 특별하게 제조된 공정 툴에 의해서 실시된다. 포드들(pods)은 반도체 웨이퍼들을 하나의 툴로부터 다른 툴로 이송하기 위해서 이용된다. 포드의 예시적인 타입이 공정내 웨이퍼 운송용기(front-opening unified pod; FOUP)로 지칭된다. 각각의 포드는 특정 지름의 많은 수의 웨이퍼들을 이송할 수 있다. 예를 들어, 300 mm 웨이퍼들의 경우에 통상적인 FOUP이 25개 웨이퍼들의 용량을 가지고, 그에 따라 한번에 25개 또는 그 미만의 300 mm 웨이퍼들을 이송할 수 있다. 450mm 웨이퍼들의 경우에, 25개 웨이퍼들의 FOUP 용량이 또한 이용될 수 있을 것이나, 이러한 FOUP 크기는 보다 더 큰 웨이퍼 지름/두께 및 그에 상응하는 FOUP 내의 보다 더 큰 웨이퍼 적층 높이를 수용하기 위해서 보다 더 클 수 있을 것이다. 포드들은 웨이퍼들을, 예를 들어 포드 외부의 공기 내의 미립자들에 의해서 오염되지 않게 유지하기 위해서 보호된 내부 분위기를 유지하도록 디자인된다. 포드들은 또한 액정 패널들, 하드 디스크 드라이브들을 위한 강성 자기 매체, 태양 전지 등과 같은 다른 타입의 기판들을 이송하기 위한 것으로도 알려져 있다.
도 1은 표준형 300 mm, 25매 웨이퍼 포드(70)와 인터페이싱하도록 구성된 통상적인 로드포트(loadport)(10)를 도시한다. 로드포트(10)는, 예를 들어, Rosenquist 등에게 2003년 1월 7일자로 허여된 미국 특허 제 6,502,869 호의 도 1 및 2를 참조하여 기술된 바와 같이, 공정 툴의 전방 단부에 부착된다. 설명을 목적으로, 로드포트(10)의 "전방"은 좌표 축(21)에 의해서 표시된 바와 같은 양의 Y 방향을 향하는 로드포트(10)의 측부이다. 포드(70)의 "전방"은 로드포트(10)의 전방을 대면하는 측부이다.
로드포트(10)는 툴 인터페이스(20)를 포함한다. 반도체 산업에서, 툴 인터페이스(20)는 BOLTS 인터페이스 또는 BOLTS 플레이트로 통칭되는 "Box Opener/Loader-to-Tool Standard Interface"(BOLTS)로서 지칭되는 산업적인 표준과 종종 일치된다. 툴 인터페이스(20)는 개구(22) 즉, 개구부를 포함한다. 개구(22)는 포트 도어(30)에 의해서 폐쇄된다. 포트 도어(30)는 공정 툴의 내부(40)로 오염물질이 이동하는 것을 방지하기 위해서 개구(22)의 경계와 함께 근접 밀봉부를 형성한다. 근접 밀봉부는 그러한 근접 밀봉부를 형성하는 부품들 사이에 작은 양의 간극, 예를 들어 약 1 mm를 제공한다. 근접 밀봉부의 작은 간극은 높은 압력의 공기가 공정 툴의 내부(40)로부터 빠져나갈 수 있게 하고 그리고 근접 밀봉부의 밀봉 표면들로부터 미립자들을 청소할 수 있게 한다.
로드포트(10)는 또한 전진 플레이트(52)를 가지는 전진 플레이트 조립체(50)를 포함한다. 일 실시예에서, 정합 핀들(도시하지 않음)이 포드(70)의 하단부 지지부(72)의 상응하는 슬롯들 또는 함몰부들과 짝을 이루어, 포드(70)가 전진 플레이트(52)상에서 배치되는 것을 돕는다. 포드(70)는 공정내 웨이퍼 운송용기(FOUPs)를 위한 산업 표준들 또는 다른 표준들과 일치될 수 있을 것이다. 전진 플레이트 조립체(50)는 도 1에 도시된 후퇴 위치와 포드(70)를 툴 인터페이스(20)에 가까이 근접시키는 전진 위치 사이에서 Y 방향을 따라 전진 플레이트(52)를 슬라이딩시키는 액추에이터(도시하지 않음)를 구비한다.
포트 도어(30)의 전방 표면(34)은 래치 키이들(latch keys)(60)의 쌍을 포함한다. 래치 키이들(60)은 포트 도어(30) 반대측으로 연장하고 그리고 포트 도어(30)에 실질적으로 수직인 포스트, 그리고 포스트의 말단 단부에 위치되는 크로스 바아를 포함한다. 크로스 바아는 포스트에 대해서 수직으로 연장하여 "T" 자를 형성한다. 포트 도어(30)는 래치 키이들(60)과 상호작용하여 래치 키이들(60)이 포스트의 축 상에서 회전되게 하는 액추에이터를 포함한다. 포드(70)가 전진 위치로 이동하고 그리고 포트 도어(30)가 개구(22) 내로 이동할 때, 래치 키이들(60)이 포드 도어(74)의 상응하는 래치 키이 수용부들(61) 내로 삽입된다. 이어서, 래치 키이들(60)은 포스트의 축 상에서 회전되고, 그에 따라 포드 도어(74) 내부의 메커니즘과 상호작용하여, 포드 도어(74) 래치가 포드(70)의 플랜지(75)로부터 분리되게 한다. 래치 키이들을 수용하고 래치 키이들과 동작하도록 구성된 포드 도어 내부의 도어 래치 조립체의 예가 "Sealable Transportable Container Having Improved Latch Mechanism"라는 명칭의 미국 특허 제 4,995,430 호에 개시되어 있다. 다른 예가 2003년 1월 7일자로 Rosenquist 등에게 허여된 미국 특허 제 6,502,869 호에 제시되어 있다.
포드 도어(74)를 포드(70)로부터 분리하는 것에 더하여, 래치 키이들(60)의 회전은 키이들(60)을 그들의 개별적인 래치 키이 수용부들 내에 록킹하고, 그에 따라 포드 도어(74)를 포트 도어(30)에 커플링(coupling)시킨다. 통상적인 로드포트는 2개의 래치 키이들(60)을 포함하고, 그러한 래치 키이들은 구조적으로 그리고 동작적으로 서로 동일하다. 추가적으로, 정렬 핀들(36)이 포트 도어(30)와 포드 도어(74) 간의 정렬을 돕기 위해서 제공되고, 그에 따라 포드 도어(74)가 개구(22)를 통해서 공정 툴 내부(40)를 향해서 통과할 수 있게 하도록 충분하게 정렬될 것이다.
통상적인 로드포트(10)에서, 포트 도어(30)는 아암(32)에 연결된다. 아암(32)의 위치는 아암(32) 및 그러한 아암에 연결된 포트 도어(30)의, 화살표(35)에 의해서 표시된 바와 같은 수직 방향을 따른 그리고 화살표(33)로 표시된 바와 같은 툴 인터페이스(20)의 원/근으로 수평방향을 따른 운동을 제공하는 운동 메커니즘에 의해서 제어된다. 아암(32) 운동을 통해서, 포트 도어(30)가 개구(22)를 통해서 이동하여 포드 도어(74)와 결합되고/포드 도어(74)로부터 분리된다. 또한, 포트 도어(30)가 포드 도어(74)와 결합될 때, 아암(32)이 이동되어 포트 도어(30)/포드 도어(74) 조합을 공정 툴 내부(40) 내로 수평방향으로, 그리고 포드(70) 내의 공작물들(25)에 접근할 수 있도록 개구(22)를 비우기 위해서 수직 하향 방향으로 이동시킨다. 상보적인 방식으로, 포드(70)의 플랜지(75) 내의 포드 도어(74)를 교체할 수 있도록, 아암(32)이 포트 도어(30)/포드 도어(74) 조합체를 개구(22)를 향해서 이동시키도록 이동될 수 있다.
본 발명의 목적은 컨테이너 도어가 고정되거나 고정되지 않은 상태에서, 포트 도어의 수용될 수 없는 각도적/위치적 편향을 초래할 수 있는 불리한 모멘트 하중들을 도입하지 않고, 큰 포트 도어 폐쇄력과 관련된 제어된 수평방향 포트 도어 운동을 위한 수단을 포함하는 로드포트를 제공하고자 하는 것이다.
일 실시예에서, 로드포트가 개시된다. 로드포트는 전방 표면, 후방 표면, 그리고 제 1 및 제 2 수직 측부 표면들을 구비하는 포트 도어를 포함한다. 포트 도어의 전방 표면은, 반도체 공작물들이 존재할 때, 그러한 반도체 공작물들을 유지하기 위해서 컨테이너의 컨테이너 도어와 인터페이싱하도록 형성된다. 로드포트는 개구부를 가지도록 형성된 프레임을 포함하고, 상기 개구부를 통해서 포트 도어가 컨테이너 도어와 인터페이싱한다. 로드포트는 또한 포트 도어에 연결된 위치 설정 디바이스를 포함하여 포트 도어의 제어된 위치 설정 및 운동을 제공한다. 가동형 폐쇄 메커니즘이 포트 도어의 후방 표면에 연결되어 포트 도어의 제 1 및 제 2 수직 측부 표면들의 각각을 지나서 외측으로 연장한다. 가동형 폐쇄 메커니즘은 포트 도어 및 프레임 모두에 대해서 제어된 방식으로 이동가능하도록 형성된다. 고정형 폐쇄 메커니즘이 프레임의 개구부에 근접하여 프레임 상에 배치되고 그리고 가동형 폐쇄 메커니즘과 결합하도록 형성된다. 고정형 폐쇄 메커니즘과 결합하기 위한 가동형 폐쇄 메커니즘의 운동은 포트 도어의 전방 표면과 컨테이너 도어 사이에 폐쇄력을 인가한다.
다른 실시예에서, 로드포트가 개시된다. 로드포트는 전방 표면, 후방 표면, 그리고 제 1 및 제 2 수직 측부 표면들을 구비하는 포트 도어를 포함한다. 포트 도어의 전방 표면은, 반도체 공작물들이 존재할 때, 그러한 반도체 공작물들을 유지하기 위해서 컨테이너의 컨테이너 도어와 인터페이싱하도록 형성된다. 로드포트는 개구부를 가지도록 형성된 프레임을 포함하고, 상기 개구부를 통해서 포트 도어가 컨테이너 도어와 인터페이싱한다. 로드포트는 또한 포트 도어에 연결된 위치 설정 디바이스를 포함하여 포트 도어의 제어된 위치 설정 및 운동을 제공한다. 고정형 폐쇄 메커니즘이 포트 도어의 후방 표면에 연결되어 포트 도어의 제 1 및 제 2 수직 측부 표면들의 각각을 지나서 외측으로 연장한다. 가동형 폐쇄 메커니즘은 프레임의 개구부에 근접하여 프레임 상에 배치되고 그리고 고정형 폐쇄 메커니즘과 결합하도록 형성된다. 가동형 폐쇄 메커니즘이 프레임 및 포트 도어 모두에 대해서 제어되는 방식으로 이동가능하도록 형성된다. 고정형 폐쇄 메커니즘과 결합하기 위한 가동형 폐쇄 메커니즘의 운동은 포트 도어의 전방 표면과 컨테이너 도어 사이에 폐쇄력을 인가한다.
다른 실시예에서, 로드포트를 동작시키기 위한 방법이 개시된다. 그러한 방법은 프레임의 개구부 내에서 포트 도어를 위치 설정하기 위한 동작을 포함한다. 반도체 공작물들을 유지하기 위한 컨테이너의 컨테이너 도어가 포트 도어의 전방 표면에 고정된다. 프레임의 개구부 내에서 포트 도어를 위치 설정하는 것은 컨테이너의 도어 개구부 내에서 컨테이너 도어를 위치 설정하는 것에 상응한다. 그러한 방법은 또한, 포트 도어를 제 1 방향으로 이동시키지 않고, 포트 도어에 연결된 가동형 폐쇄 메커니즘을 제 1 방향으로 이동시키기 위한 동작을 포함한다. 이러한 방식으로, 가동형 폐쇄 메커니즘이 이동되어 프레임에 고정된 고정형 폐쇄 메커니즘과 결합된다. 고정형 폐쇄 메커니즘과 결합하기 위한 가동형 폐쇄 메커니즘의 운동은 컨테이너 도어와 포트 도어의 전방 표면 사이에 폐쇄력을 인가한다. 그러한 방법은 컨테이너 도어와 포트 도어의 전방 표면 사이에 폐쇄력이 인가되는 동안 컨테이너 도어를 컨테이너에 고정하기 위한 동작을 더 포함한다.
다른 실시예에서, 로드포트를 동작시키기 위한 방법이 개시된다. 그러한 방법은 프레임의 개구부 내에서 포트 도어를 위치 설정하기 위한 동작을 포함한다. 반도체 공작물들을 유지하기 위한 컨테이너의 컨테이너 도어가 포트 도어의 전방 표면에 고정된다. 프레임의 개구부 내에서 포트 도어를 위치 설정하는 것은 컨테이너의 도어 개구부 내에서 컨테이너 도어를 위치 설정하는 것에 상응한다. 그러한 방법은 또한, 포트 도어 또는 프레임을 제 1 방향으로 이동시키지 않고, 프레임에 연결된 가동형 폐쇄 메커니즘을 제 1 방향으로 이동시키기 위한 동작을 포함한다. 이러한 방식으로, 가동형 폐쇄 메커니즘이 이동되어 포트 도어에 고정된 고정형 폐쇄 메커니즘과 결합된다. 고정형 폐쇄 메커니즘과 결합하기 위한 가동형 폐쇄 메커니즘의 운동은 컨테이너 도어와 포트 도어의 전방 표면 사이에 폐쇄력을 인가한다. 그러한 방법은 컨테이너 도어와 포트 도어의 전방 표면 사이에 폐쇄력이 인가되는 동안 컨테이너 도어를 컨테이너에 고정하기 위한 동작을 더 포함한다.
첨부 도면을 함께 참고하여, 적용예를 통해서 본원 발명을 설명하는 이하의 상세한 설명으로부터, 본원 발명의 다른 양태들 및 장점들을 보다 더 명확하게 이해할 수 있을 것이다.
본 발명에 따르면, 로드포트는 많은 수의 공작물들을 수용하도록 형성된 컨테이너를 수용, 지지 및 조작하도록 구성되며, 그에 따라 공정 툴 내부의 청정도를 손상시키지 않고, 공정 툴 내의 로봇 핸들러에 의해서 공작물들이 컨테이너로부터 회수될 수 있고 또는 컨테이너 내로 배치될 수 있게 된다.
도 1은 표준형의 25매 웨이퍼 포드와 인터페이싱하도록 구성된 통상적인 로드포트를 도시한 도면이다.
도 2a는, 본원 발명의 일 실시예에 따른, 가동형 롤러가 포트 도어에 연결되고 고정형 캠 플레이트가 프레임에 연결된 상보적인 가동형 및 고정형 포트 도어 폐쇄 메커니즘들을 이용하는 로드포트를 도시한 도면이다.
도 2b는, 본원 발명의 일 실시예에 따른, 고정형 캠 플레이트에 대한 가동형 폐쇄 메커니즘의 롤러를 도시한 측면도로서, 포트 도어가 폐쇄-준비 위치에 있는 상태에서 도시한 측면도이다.
도 2c는, 본원 발명의 일 실시예에 따른, 고정형 캠 플레이트의 채널을 따라서 이동하는 롤러를 도시한 측면도이다.
도 2d는, 본원 발명의 일 실시예에 따른, 고정형 캠 플레이트의 채널 내의 롤러를 포트 도어의 완전 폐쇄 위치에서 도시한 측면도이다.
도 2e는, 본원 발명의 일 실시예에 따른, 고정형 캠 플레이트의 다른 구성을 포트 도어의 폐쇄-준비 위치에서 도시한 측면도이다.
도 3a는, 본원 발명의 일 실시예에 따른, 가동형 캠 플레이트가 포트 도어에 연결되고 고정형 롤러가 프레임에 연결된 상보적인 가동형 및 고정형 포트 도어 폐쇄 메커니즘들을 이용하는 로드포트를 도시한 도면이다.
도 3b는, 본원 발명의 일 실시예에 따른, 고정형 롤러에 대한 가동형 폐쇄 메커니즘의 캠 플레이트를 도시한 측면도로서, 포트 도어가 폐쇄-준비 위치에 있는 상태에서 도시한 측면도이다.
도 3c는, 본원 발명의 일 실시예에 따른, 롤러를 따라서 이동하는 캠 플레이트의 채널을 도시한 측면도이다.
도 3d는, 본원 발명의 일 실시예에 따른, 가동형 캠 플레이트와 고정형 롤러를 포트 도어의 완전 폐쇄 위치에서 도시한 측면도이다.
도 4는, 본원 발명의 일 실시예에 따른, 상보적인 가동형 및 고정형 포트 도어 폐쇄 메커니즘들을 이용하는 로드포트를 도시한 도면으로서, 프레임에 연결된 가동형 롤러 및 포트 도어에 연결된 고정된 캠 플레이트와 함께 도시한 도면이다.
도 5는, 본원 발명의 일 실시예에 따른, 가동형 캠 플레이트가 프레임에 연결되고 고정형 롤러가 포트 도어에 연결된 상보적인 가동형 및 고정형 포트 도어 폐쇄 메커니즘들을 이용하는 로드포트를 도시한 도면이다.
도 6은, 본원 발명의 일 실시예에 따른, 도 2a의 로드포트 실시예에서의 포트 도어의 예시적인 구현예를 도시한 도면이다.
도 7은, 본원 발명의 일 실시예에 따른, 상보적인 고정형 및 가동형 폐쇄 메커니즘들의 하나의 세트를 구현한 로드포트를 도시한 도면이다.
도 8a-8d는, 본원 발명의 일 실시예에 따른, 도 2a의 로드포트의 동작 시퀀스들을 도시한 도면이다.
이하의 설명에서, 본원 발명의 완전한 이해를 제공하기 위해서 여러 가지 특정된 구체적인 사항들이 기술된다. 그러나, 그러한 특정된 구체적인 사항들의 일부 또는 전부가 없이도 본원 발명을 실시할 수 있다는 것을 소위 당업자는 분명하게 이해할 수 있을 것이다. 다른 경우들에서, 본원 발명을 불필요하게 불명료하게 만들지 않기 위해서, 주지의 프로세스 동작들을 상세하게 설명하지 않았다.
공정 툴을 위한 로드포트의 여러 실시예들이 본원에서 개시된다. 본원에서 개시된 로드포트의 각각의 실시예는 로드포트에 위치된 컨테이너의 컨테이너 도어, 예시적인 FOUP와 포트 도어 사이에 증대된 힘을 인가하도록 형성된 포트 도어 위치 설정 장치를 구비한다. 본원에서 개시된 임의의 로드포트 실시예는 본질적으로 모든 공정 툴과 함께 이용될 수 있고, 그리고 청정한 공정 툴 내부 분위기를 요구하는 공정 툴과 함께 사용하기에 특히 적합하다. 예를 들어, 일 실시예에서, 로드포트는 반도체 제조 공정 툴에 대한 접근 포털(access portal)을 제공하기 위해서 이용될 수 있다. 이러한 실시예에서, 로드포트는 많은 수의 공작물들을 수용하도록 형성된 컨테이너를 수용, 지지 및 조작하도록 구성되며, 그에 따라 공정 툴 내부의 청정도를 손상시키지 않고, 공정 툴 내의 로봇 핸들러에 의해서 공작물들이 컨테이너로부터 회수될 수 있고 또는 컨테이너 내로 배치될 수 있게 된다. 본질적으로, 각각의 공작물이 반도체 제조 프로세스를 통해서 형성된 임의 타입의 물품을 대표할 수 있을 것이다. 예를 들어, 공작물은 반도체 웨이퍼, 평판 디스플레이, 태양 전지 패널, 등등을 대표할 수 있을 것이다. 용이한 설명을 위해서, 본원에서 사용된 "공작물"이라는 용어는 공정 툴 내로 수용하고자 하는 또는 공정 툴로부터 회수하고자 하는 임의 타입의 물품을 지칭한다.
본원에서 개시된 로드포트와 인터페이싱하도록 형성된 컨테이너는, 본질적으로, 기계적으로 개방가능한 컨테이너 도어를 구비하고 그리고 많은 수의 공작물들을 수용하도록 형성된 임의 타입의 컨테이너일 수 있을 것이다. 예를 들어, 컨테이너는 공정내 웨이퍼 운송용기(FOUP), 표준형 기계적 인터페이스(SMIF) 포드, 레티클(reticle) 컨테이너, 평판 디스플레이 운송 디바이스 등등을 대표할 수 있을 것이다. 용이한 설명을 위해서, 본원에서 사용된 "컨테이너"라는 용어는 많은 수의 반도체 공작물들을 수용하도록 형성되고 그리고 기계적으로 개방가능한 도어를 구비하는 임의 타입의 컨테이너를 지칭한다.
통상적인 반도체 웨이퍼 제조에서의 공작물 크기가 300 mm 직경으로 규정되어 있다. 그러나, 반도체 웨이퍼 제조에서의 차세대 공작물의 크기는 보다 더 큰 지름, 예를 들어, 450 mm로 규정될 것으로 예상된다. 공작물 크기의 증가는, 로드포트 아키텍쳐(architecture)에서, 보다 큰 컨테이너 및 그에 따른 보다 큰 포트 도어를 필요로 한다. 공작물의 증대된 크기는 또한 공작물의 두께 증가를 포함하고, 그에 따라 보다 큰 공작물들을 가지는 전체 컨테이너 유효하중(payload) 중량은 이전의 보다 작은 공작물들을 가지는 총 컨테이너 유효하중 중량보다 약 2배 내지 3배 크다.
일 실시예에서, 가요성 공작물 리테이너 조립체가 컨테이너 도어의 내부 측부 상에 배치되고 그리고 컨테이너 도어가 폐쇄될 때 공작물들을 컨테이너 내의 요구되는 위치에서 보유하도록 형성된다. 가요성 공작물 리테이너 조립체에 의해서 공작물들에 대해서 제공되는 보유 효과는 컨테이너 도어의 폐쇄를 통해서 달성되며, 그러한 컨테이너 도어의 폐쇄는 가요성 공작물 리테이너로부터 컨테이너 내의 공작물들의 각각에 대해서 유지력을 인가한다. 컨테이너 도어의 폐쇄는 포트 도어에 의해서 제공되고, 상기 포트 도어에는 컨테이너 도어가, 컨테이너로부터 분리될 때, 고정된다.
컨테이너 도어가 컨테이너의 도어 개구부 내에 적절하게 안착되도록 폐쇄력에 반하는 힘들의 일부를 극복하기 위해서, 포트 도어가 컨테이너 도어에 대해서 충분한 폐쇄력을 가할 것이 요구된다. 포트 도어의 폐쇄력에 반하는 힘들의 합은 가요성 공작물 리테이너를 컨테이너 내부의 각각이 공작물과 결합시키기 위해서 필요한 전체 힘, 그리고 컨테이너 도어의 둘레 주위로 기밀(air-tight) 밀봉부를 구현할 수 있는데 필요한 힘을 포함한다. 일 실시예에서, 컨테이너 도어 둘레 주위의 기밀 밀봉부는, 실리콘, 또는 고무 등과 같은 가요성 밀봉부에 의해서 제공되고, 그러한 가요성 밀봉부에 대해서 컨테이너 도어가 반드시 확실하게 가압되어야 한다.
도 1과 관련하여 설명한 바와 같은 통상적인 로드포트에서, 포트 도어(30)가 아암(32)에 연결되고, 그리고 포트 도어(30)의 운동이 아암(32)의 운동에 의해서 제공된다. 그에 따라, 통상적인 실시예에서, 포트 도어(30)와 컨테이너 도어(74) 사이에 인가되는 폐쇄력은 컨테이너(70)를 향해서 수평 방향(33)을 따른 아암(32)의 운동에 의해서 제공되어야 한다. 300 mm 지름의 통상적인 반도체 공작물 크기에서, 전형적인 포트 도어(30) 폐쇄력 요건은 2 내지 10 파운드였으며, 그리고 아암(32)에 의해서 제공될 수 있었다. 그러나, 그보다 큰 새로운 반도체 공작물 크기들, 예를 들어 450 mm 지름의 경우에, 실질적으로 그보다 큰 포트 도어(30) 폐쇄력이 요구되고 그리고 아암(32)에 의해서 신뢰가능하게 제공될 수 없다.
보다 구체적으로, 증대된 컨테이너 크기로 인해서, 증가된 유효하중 중량 및 증가된 포트 도어 둘레 밀봉부 길이는 함께 상당히 큰 포트 도어 폐쇄력을 요구하며, 이는 100 파운드 이상이 될 수 있을 것이다. 또한, 상당한 포트 도어 폐쇄력 증가는 컨테이너 내의 증가된 공작물 적층 높이로 인해서 보다 더 높은 컨테이너와 연관된 보다 큰 높이의 포트 도어에 수반된다. 보다 더 높은 도어는 가동 아암(32)/포트 도어(30) 조립체의 증대된 모멘트 아암 길이를 초래한다. 증대된 폐쇄력 요건 및 증대된 모멘트 아암 길이의 조합으로 인해서, 포트 도어 아암 위치 설정 메커니즘을 위한 실질적으로 보다 더 큰 모멘트가 초래되고, 그러한 큰 모멘트는 컨테이너 폐쇄 프로세스 동안의 포트 도어의 각도방향 및 축방향 편향을 유발할 수 있고, 이는 다시 컨테이너 내에서의 컨테이너 도어의 적절한 배치 및 착석을 방해할 수 있다. 예를 들어, 컨테이너 도어가 컨테이너 내에 부적절하게 안착될 수 있고, 그에 따라 가요성 공작물 리테이너 조립체는 모든 공작물들과 적절하게 결합되지 못하고 및/또는 컨테이너 도어가 컨테이너 도어의 둘레 주위에 배치된 밀봉부와 적절하게 결합되지 못하고, 및/또는 포트 도어 상의 래치들은 컨테이너 도어 내에서 그들의 수용부들과 적절하게 결합되지 못한다.
포트 도어의 제어되지 않은 편향/위치 설정의 효과들은 공작물들의 손상, 및/또는 컨테이너 외장(shell) 내의 정확한 위치에서 컨테이너 도어의 적절한 폐쇄 및 물리적 록킹의 실패 가능성을 초래할 수 있다. 컨테이너 도어를 적절하게 폐쇄하지 못하는 것은 공작물 손상 또는 오염뿐만 아니라 프로세싱 툴의 정상적인 동작의 중단을 초래할 수 있을 것이다. 추가적으로, 컨테이너의 개방시에, 래치 키이들과 결합하기 전에, 포트 도어의 래치 키이들이 컨테이너 도어의 각각의 수용부들 내로 적절하게 위치되도록 보장하기 위해서, 포트 도어가 컨테이너 도어를 향해서 동일한 거리로 밀려날(push) 필요가 있다. 포트 도어의 제어되지 않은 편향/위치 설정은 컨테이너의 개방시에 컨테이너 도어에 대한 포트 도어의 적절한 위치 설정을 방해할 수 있다.
본원에 개시된 로드포트 실시예들은, 컨테이너 도어가 고정되거나 고정되지 않은 상태에서, 포트 도어의 수용될 수 없는 각도적/위치적 편향을 초래할 수 있는 불리한 모멘트 하중들을 도입하지 않고, 큰 포트 도어 폐쇄력과 관련된 제어된 수평방향 포트 도어 운동을 위한 수단을 제공한다. 불리한 모멘트 하중들을 도입하지 않고 필요한 폐쇄력을 제공하기 위해서, 본원에 개시된 로드포트 실시예는 포트 도어 조립체로 수평방향 변위력을 인가하는 독립적인 운동 제어 메커니즘을 구현하며, 그에 따라 인가된 폐쇄력 벡터의 작용선(line-of-action)이 가요성 공작물 리테이너 조립체 및 컨테이너 도어 둘레 밀봉부의 조합에 의해서 생성되는 저항력 벡터들에 대해서 완전히 반대가 된다.
도 2a는 본원 발명의 일 실시예에 따른 로드포트(200)를 도시한다. 로드포트(200)는 전방 표면(230), 후방 표면(232), 제 1 및 제 2 수직 측부 표면들(234/236), 상단부 수평 측부 표면(238), 및 하단부 수평 측부 표면(240)을 구비하는 포트 도어(201)를 포함한다. 포트 도어(201)의 전방 표면(230)은, 반도체 공작물들이 존재할 때, 그러한 반도체 공작물들을 유지하기 위한 컨테이너의 컨테이너 도어와 인터페이싱하도록 형성된다. 또한, 로드포트(200)는 개구부(211)를 가지도록 형성된 프레임(205)을 포함하고, 상기 개구부를 통해서 포트 도어(201)가 컨테이너 도어와 인터페이싱한다. 일 실시예에서, 프레임(205)이 BOLTS 플레이트로서 형성된다. 위치 설정 디바이스(203)가 포트 도어(201)에 연결되어, 화살표들(213)에 의해서 표시된 바와 같이, 수직 방향을 따라서, 그리고 화살표들(215)에 의해서 표시된 바와 같이, 프레임(205)으로부터의 수평적인 원근 방향을 따라서 포트 도어의 제어된 위치 설정 및 운동을 제공한다. 일 실시예에서, 프레임(205)의 원근으로 수평 방향(215)을 따른 포트 도어(201)의 운동을 제공하기 위해서, 수평 방향(215)을 따라서 실질적으로 선형 방식으로 이동되도록 위치 설정 디바이스(203)가 형성된다. 그러나, 다른 실시예에서, 위치 설정 디바이스(203)는 포트 도어(201)로부터 실질적으로 멀리 떨어진 피봇 지점을 중심으로 프레임(205)으로부터 원근으로 피봇팅되도록 형성되며, 그에 따라 프레임(205)의 원근으로의 포트 도어(201)의 운동이, 엄격하게 선형 방식은 아니고, 넓은 원호 방식이지만, 실질적으로 수평 방향이 된다. 도 2a에 도시된 실시예에서, 위치 설정 디바이스(203)는 아암 부재로서 형성된다. 그러나, 다른 실시예들에서, 위치 설정 디바이스(203)는, 화살표들(213 및 215)에 의해서 각각 표시된 바와 같이, 수직 및 수평 방향들을 따라서 포트 도어(201)를 위치 설정 및 이동시킬 수 있는 다른 타입의 구조적 부재로서 형성될 수 있다.
로드포트(200)는, 포트 도어(201)의 제 1 및 제 2 수직 측부 표면들(234/236)의 각각을 지나서, 외측으로 즉, 수평으로 연장하도록, 포트 도어(201)의 후방 표면(232)에 연결된 가동형 폐쇄 메커니즘(207A/B)을 포함한다. 가동형 폐쇄 메커니즘(207A/207B)은 포트 도어(201) 및 프레임(205) 모두에 대해서 제어된 방식으로 이동가능하도록 형성된다. 도 2a의 실시예에서, 가동형 폐쇄 메커니즘(207A/B)은 화살표(213)에 의해서 표시된 바와 같은 실질적으로 수직인 방향을 따라 이동하도록 형성된다. 가동형 폐쇄 메커니즘(207A/B)이 포트 도어(201)에 대해서 이동될 때, 포트 도어(201)가 위치 설정 디바이스(203)에 의해서 고정된 수직 위치에서 유지될 수 있다는 것을 이해하여야 할 것이다.
또한, 로드포트(200)는 프레임(205)의 개구부(211)에 근접하여 프레임(205) 상에 배치되는 고정형 폐쇄 메커니즘(209A/B)을 포함한다. 고정형 폐쇄 메커니즘(209A/B)은 포트 도어(201)에 연결된 가동형 폐쇄 메커니즘(207A/B)과 결합되도록 형성되고 배치된다. 위치 설정 디바이스(203)가 동작되어 포트 도어(201)를 프레임(205)의 개구부(211) 내에 위치될 수 있고, 그에 따라 가동형 폐쇄 메커니즘(207A/B)이 고정형 폐쇄 메커니즘(209A/B)과 결합될 준비가 된다. 이어서, 고정형 폐쇄 메커니즘(209A/B)과의 결합을 위한 가동형 폐쇄 메커니즘(207A/B)의 이동은 컨테이너 도어와 포트 도어(201)의 전방 표면(230) 사이에 폐쇄력을 인가한다. 폐쇄력은 포트 도어(201)의 전방 표면(230)과 컨테이너 도어 사이에서 실질적으로 수직한 방향으로 지향된다. 컨테이너를 폐쇄하기 위해서 컨테이너 도어를 교체할 때와 같이, 컨테이너 도어가 포트 도어(201)의 전방 표면(230)에 대해서 이미 고정될 수 있고, 또는 컨테이너 도어를 그 컨테이너로부터 제거할 때와 같이, 개구부(211)에 근접하여 유지되는 컨테이너 내에 컨테이너 도어가 배치될 수 있다는 것을 이해하여야 할 것이다.
일 실시예에서, 도 2a에 도시된 바와 같이, 가동형 폐쇄 메커니즘(207A/B)은 포트 도어(201)의 후방 표면(232) 뒤의 위치에서 포트 도어(201)의 제 1 및 제 2 수직 측부 표면들(234/236) 중의 각각의 하나를 지나서 외측으로 각각 연장하는 롤러들(206A/B)의 쌍을 포함한다. 이러한 실시예에서, 롤러들(206A/B)의 쌍의 각각이 중앙 핀의 축 주위로 회전하도록 형성되며, 상기 중앙 핀은 프레임(205)에 대해서 평행한 실질적으로 수평인 방향으로 배향된다. 롤러들(206A/B)의 쌍의 각각의 중앙 핀이 가동형 폐쇄 메커니즘(207A/B)에 고정되고, 그에 따라, 화살표들(213)에 의해서 표시된 바와 같이, 포트 도어(201)에 대해서 실질적으로 수직인 방향을 따른 가동형 폐쇄 메커니즘(207A/B)의 운동에 의해서 롤러들(206A/B)의 쌍의 각각의 운동이 실질적으로 동시적인 방식으로 유발된다. 또한, 가동형 폐쇄 메커니즘(207A/B)은 실질적으로 동시적인 방식으로 롤러들(206A/B)의 상의 운동을 유발하도록 형성된다. 일 실시예에서, 롤러들(206A/B)의 쌍의, 강성(rigid) 안내 핀들의 쌍 또는 회전가능한 안내 핀들의 쌍 등등과 같은 여러 가지 형태의 안내 부재로 대체될 수 있다는 것을 이해하여야 할 것이다.
또한, 도 2a의 로드포트 실시예에서, 고정형 폐쇄 메커니즘(209A/B)이 프레임(205)의 개구부(211)의 수직 측부들에 근접하여 각각 고정된 캠 플레이트들(209A/B)의 쌍으로서 형성된다. 가동형 폐쇄 메커니즘(207A/B)이 고정형 폐쇄 메커니즘(209A/B)과 결합되도록 배치되고 이동될 때, 캠 플레이트들(209A/B)의 쌍의 각각은 롤러들(206A/B)의 쌍의 각각의 하나를 수용하도록 형성된 채널(210A/B)을 포함한다. 각각의 채널(210A/B)은, 롤러(206A/B)의 운동을 폐쇄력을 인가하기 위한 컨테이너 도어를 향하는 포트 도어(201)의 운동으로 수직으로 변환시키도록 형성된다.
도 2b는, 본원 발명의 일 실시예에 따른, 고정형 폐쇄 메커니즘(209A/B)에 대한 가동형 폐쇄 메커니즘(207A/B)의 롤러(206A/B)의 측면도를 도시한 도면으로서, 롤러(206A/B)가 캠 플레이트(209A/B)와 결합할 준비가 되도록 포트 도어(201)가 폐쇄-준비 위치에 있는 상태에서 도시한 측면도이다. 포트 도어(201)는 위치 설정 디바이스(203)에 의해서 폐쇄-준비 위치로 이동된다. 폐쇄 프로세스 동안에, 위치 설정 디바이스(203)는 포트 도어(201)의 수직 위치를 유지하도록 동작하는 한편, 프레임(205)에 대해서 수직한 방향을 따른 포트 도어(201)의 수평 운동을 허용한다. 하나의 실시예에서, 위치 설정 디바이스(203)의 운동과 연관된 수평 구동부가 분리되어 폐쇄 프로세스 동안에 프레임(205)에 대해서 수직인 방향을 따른 포트 도어(201)의 자유로운 수평 운동을 허용한다. 다른 실시예에서, 위치 설정 디바이스(203)의 운동과 연관된 수평 구동부가 결합되어 유지되나, 폐쇄 프로세스 동안에 프레임(205)에 대해서 수직인 방향을 따른 포트 도어(201)의 수평 방향 운동을 따르도록/지원하도록 동작된다.
도 2c는, 본원 발명의 일 실시예에 따른, 고정형 캠 플레이트(209A/B)의 채널(210A/B)을 따라서 이동하는 롤러(206A/B)를 도시한 측면도이다. 가동형 폐쇄 메커니즘(207A/B)이 수직 방향(217)으로 이동함에 따라, 롤러(206A/B)는 방향(219)을 따라 캠 플레이트(209A/B)의 채널(210A/B)과 접촉하고 그리고 채널을 따른다. 포트 도어(201)의 수직 위치가 위치 설정 디바이스(203)에 의해서 고정되어 유지되기 때문에, 그리고 채널(210A/B)이 프레임(205)에 대해 각을 이루기 때문에, 채널(210A/B)을 따른 롤러(206A/B)의 운동은 프레임(205)에 대해서 수직인 실질적으로 수평인 방향(221)을 따른 포트 도어(201)의 상응하는 운동을 유발하며, 그에 따라 포트 도어(201)를 개구부(211)를 통해서 이동시켜 컨테이너 폐쇄 프로세스를 실행한다.
수평 방향(221)으로 인가되는 폐쇄력이 수직 방향(217)을 따라 가동형 폐쇄 메커니즘(207A/B)을 이동시키기 위해서 인가된 수직 힘 및 수직 방향(217)에 대해서 형성된 바와 같은 채널(210A/B)의 각도(218)에 의존한다는 것을 이해하여야 한다. 일 실시예에서, 수평 방향(221)을 따라 인가된 폐쇄력은 채널(210A/B) 각도(218)의 접선 및 수직 방향(217)을 따라 가동형 폐쇄 메커니즘(207A/B)을 이동시키기 위해서 인가된 수직방향 힘의 생성에 비례한다. 또한, 포트 도어(201)가 강성 구조물로서 형성되기 때문에, 수직 방향(217)을 따라 가동형 폐쇄 메커니즘(207A/B)을 이동시키기 위해서 상당한 수직 방향 힘을 인가할 수 있을 것이다. 그에 따라, 수평 방향(221)을 따른 상응하는 상당한 포트 도어(201) 폐쇄력을 획득할 수 있다. 하나의 예시적인 실시예에서, 200 파운드 이하의 포트 도어(201) 폐쇄력이 본원에서 개시된 상보적인 가동형 및 고정형 폐쇄 메커니즘들에 의해서 생성될 수 있다.
도 2d는, 본원 발명의 일 실시예에 따른, 고정형 폐쇄 메커니즘(209A/B)의 채널(210A/B) 내의 롤러(206A/B)를 포트 도어의 완전 폐쇄 위치에서 도시한 측면도이다. 일 실시예에서, 채널(210A/B)은 포트 도어(201)의 완전 폐쇄에 필요한 것 보다 더 길게 형성되고, 포트 도어(201)의 폐쇄는 제어 수단에 의해서 중단된다. 일 실시예에서, 포트 도어(201)의 폐쇄를 중단하기 위한 제어 수단이 가동형 폐쇄 메커니즘(207A/B)을 이동시키기 위해서 연결된 구동원의 제어를 통해서 제공된다. 여러 가지 예시적인 실시예들에서, 구동원은, 가동형 폐쇄 메커니즘(207A/B)의 운동을 제공하기 위해서 기계적으로 연결될 수 있고 그리고 로드포트 장비와 연관된 주변 요건들과 양립될 수 있는, 전기 모터, 서보 모터, 스텝퍼 모터일 수 있고, 또는 본질적으로 다른 타입의 모터일 수 있다. 이러한 여러 가지 예시적인 실시예들에서, 구동원 모터가 제어 수단을 제공하도록 동작될 수 있고, 그에 의해서 포트 도어(201)가 정지된다.
추가적으로, 여러 가지 실시예들에서, 포트 도어(201)의 폐쇄를 정지시키기 위해서 구동원, 예를 들어, 모터에 대해서 지시하도록 여러 가지 타입들의 트리거링 메커니즘들이 실행될 수 있다. 예를 들어, 하나 또는 둘 이상의 광학적 센서, 기계적 스위치, 전기적 스위치, 전기적 센서, 또는 본질적으로 임의의 다른 타입의 위치 탐지 디바이스를 이용하여 포트 도어(201) 위치 피드백 신호들을 제공할 수 있을 것이고, 상기 신호들은 다시 구동원을 제어하여 포트 도어(201) 및 가동형 폐쇄 메커니즘(207A/B)의 적절한 운동 중단을 제공하도록 이용될 수 있다. 또한, 인코더(encoder)-제어식 모터가 구동원으로서 이용되는 실시예에서, 모터의 운동 정지 및 그에 상응하는 포트 도어(201)의 운동 정지를 제어하기 위해서 인코더 셋팅이 제공될 수 있다.
다른 대안적인 실시예에서, 많은 수의 하드 스탑들(hard stops)이 포트 도어(201)와 프레임(205) 사이에 배치되어 포트 도어(201)의 운동을 정지시킬 수 있다. 이러한 실시예의 하나의 예에서, 하드 스탑들이 프레임(205)의 후방부에 장착되고, 그리고 그에 대응하는 콘택(contact) 요소들이 포트 도어(201)에 장착된다. 이러한 실시예에서, 포트 도어(201)의 폐쇄는, 상보적인 가동형 및 고정형 폐쇄 메커니즘들을 통해서, 포트 도어(201) 상의 접촉 요소들이 프레임(205)의 하드 스탑들과 접촉할 때까지 계속되고, 그에 따라 프레임(205)의 전방 평면에 대한 포트 도어(201) 전방 표면(230) 평면의 정밀하고 엄격한 위치 설정을 달성하게 된다. 또한, 포트 도어(201) 전방 표면(230) 평면의 배향 조정을 가능하게 하기 위해서, 접촉 요소들 및/또는 하드 스탑들의 두께 및 포트 도어(201) 둘레 주위의 위치가 조정될 수 있을 것이다. 전술한 바와 같은 하드 스탑들의 이용은, 예를 들어, 가동형 폐쇄 메커니즘(207A/B)의 운동을 제공하도록 연결된 공압 실린더 구동원과 같은, 특정 타입의 압력-제어형 구동원들과 쌍을 이룰 때 특히 유리할 수 있을 것이다. 추가적으로, 다른 대안적인 실시예에서, 포트 도어(201)에 대한 완전-밀폐 정지를 제공하도록, 채널(210A/B)의 길이가 규정될 수 있을 것이다. 또한, 그 대신에, 포트 도어(201)에 대한 조정가능한 완전-폐쇄 정지를 제공하도록, 세트 스크류(set screw)가 채널(210A/B)의 단자 단부 내에 배치될 수 있다.
도 2e는, 본원 발명의 일 실시예에 따른, 고정형 캠 플레이트(209A/B)의 대안적인 구성의 측면도로서, 폐쇄-준비 위치의 포트 도어(201)와 함께 도시한 측면도이다. 롤러(206A/B)는 가동형 폐쇄 메커니즘(207A/B)의 수직 운동에 의해서 고정형 캠 플레이트(209A/B)의 채널(210A/B)과 결합하기 위한 준비가 된다. 그러나, 이러한 실시예에서, 고정형 캠 플레이트(209A/B)는 또한 수평 방향(230)을 따른 롤러(206A/B)의 운동을 제공하기 위해서 수평방향 간극 채널(212)을 포함한다. 이러한 실시예에서, 폐쇄-준비 위치로부터 포트 도어(201)의 폐쇄를 위한 2개의 옵션들이 이용될 수 있다. 하나의 옵션은, 도 2b-2d와 관련하여 전술한 바와 같이 큰-힘 폐쇄를 인가하기 위해서, 가동형 폐쇄 메커니즘(207A/B)을 수직 방향을 따라 이동시켜 채널(210A/B)을 통해서 롤러(206A/B)를 이동시키는 것이다. 다른 옵션은 가동형 폐쇄 메커니즘(207A/B)을 이동시키는 것이 아니고, 위치 설정 아암(203)을 수평 방향(230)으로 이동시켜 포트 도어(201)가 수평 방향(230)으로 이동되게 하며, 그에 따라 롤러(206A/B)가 간극 채널(212)을 통해서 이동되게 하는 것이다.
도 3a는 본원 발명의 다른 실시예에 따른 로드포트(300)를 도시한다. 도 3a의 로드포트(300)는 도 2a의 로드포트(200)와 본질적으로 유사하고, 이때 롤러(206A/B) 및 캠 플레이트(209A/B)가 서로 효율적으로 교환되어 있다. 로드포트(300)는, 도 2a와 관련하여 전술한 바와 같이, 포트 도어(201), 위치 설정 디바이스(203), 및 프레임(205)을 포함한다. 이러한 실시예에서, 로드포트(300)는, 포트 도어(201)의 제 1 및 제 2 수직 측부 표면들(234/236)의 각각을 지나서, 외측으로 즉, 수평으로 연장하도록, 포트 도어(201)의 후방 표면(232)에 연결된 가동형 폐쇄 메커니즘(307A/B)을 포함한다. 화살표들(213)에 의해서 표시된 바와 같이, 가동형 폐쇄 메커니즘(307A/B)은 포트 도어(201) 및 프레임(205) 모두에 대해서 제어된 방식으로 이동가능하도록 형성된다. 가동형 폐쇄 메커니즘(307A/B)이 포트 도어(201)에 대해서 이동될 때, 포트 도어(201)가 위치 설정 디바이스(203)에 의해서 고정된 수직 위치에서 유지될 수 있다. 각각의 가동형 폐쇄 메커니즘이 캠 플레이트(301A/B)를 포함한다.
또한, 로드포트(300)는 프레임(205)의 개구부(211)에 근접하여 프레임(205) 상에 배치되는 고정형 폐쇄 메커니즘(303A/B)을 포함한다. 고정형 폐쇄 메커니즘(303A/B)은 포트 도어(201)에 연결된 가동형 폐쇄 메커니즘(307A/B)과 결합되도록 형성된 롤러들(305A/B)을 포함한다. 고정형 폐쇄 메커니즘(303A/B)에 대해서 고정된 각각의 중앙 핀 주위로 회전되도록, 롤러들(305A/B)의 각각이 형성된다. 다른 실시예들에서, 롤러들(305A/B)이, 강성 안내 핀들의 쌍 또는 회전가능한 안내 핀들 등등과 같은 다른 형태의 안내 부재로 대체될 수 있다는 것을 이해하여야 할 것이다. 위치 설정 디바이스(203)가 프레임(205)의 개구부(211) 내에서 포트 도어(201)를 위치 설정시키기 위해서 동작될 수 있고, 그에 따라 가동형 폐쇄 메커니즘(307A/B)의 캠 플레이트(301A/B)의 각각이 고정형 폐쇄 메커니즘(303A/B)의 개별적인 롤러들(305A/B)과 결합될 준비가 된다. 고정형 폐쇄 메커니즘(303A/B)과 결합하기 위한 가동형 폐쇄 메커니즘(307A/B)의 운동은 포트 도어(201)의 전방 표면(230)과 컨테이너 도어 사이에 폐쇄력을 인가한다. 그러한 폐쇄력은 포트 도어(201)의 전방 표면(230)과 컨테이너 도어 사이의 실질적으로 수직인 방향을 따라 지향된다.
도 3b는, 본원 발명의 일 실시예에 따른, 고정형 롤러들(305A/B)에 대한 가동형 폐쇄 메커니즘(307A/B)의 캠 플레이트(301A/B)의 측면도로서, 캠 플레이트(301A/B)가 롤러(305A/B)와 결합될 준비가 되도록 포트 도어(201)가 폐쇄-준비 위치에 있는 상태에서 도시한 측면도이다. 다시, 폐쇄 프로세스 동안에, 프레임(205)에 대해서 수직인 방향으로 포트 도어(201)의 수평 방향 운동을 허용하면서, 위치 설정 디바이스(203)가 포트 도어(201)의 수직 위치를 유지하도록 동작한다.
도 3c는, 본원 발명의 일 실시예에 따른, 롤러(305A/B)를 따라서 이동하는 캠 플레이트(301A/B)의 채널(310A/B)을 도시한 측면도이다. 가동형 폐쇄 메커니즘(307A/B)이 수직 방향(317)으로 이동됨에 따라, 캠 플레이트(301A/B) 채널(310A/B)이 방향(319)으로 고정된 롤러(305A/B)와 접촉하고 그 고정된 롤러(305A/B)를 따른다. 포트 도어(201)의 수직 위치가 위치 설정 디바이스(203)에 의해서 고정되어 유지되기 때문에 그리고 채널(310A/B)이 프레임(205)에 대해 각을 이루기 때문에, 롤러(305A/B)를 따른 채널(310A/B)의 운동은 프레임(205)에 대해서 수직인 실질적으로 수평인 방향(321)을 따른 포트 도어(201)의 상응하는 운동을 유발하며, 그에 따라 포트 도어(201)를 개구부(211)를 통해서 이동시켜 컨테이너 폐쇄 프로세스를 실행한다.
도 3d는, 본원 발명의 일 실시예에 따른, 가동형 캠 플레이트(301A/B)와 고정형 롤러(305A/B)를 포트 도어의 완전 폐쇄 위치에서 도시한 측면도이다. 포트 도어(201)의 운동 정지와 관련하여 도 2d에 대해서 전술한 여러 가지 실시예들이 도 3d의 실시예에서의 포트 도어(201)의 운동 정지를 제어하기 위해서 마찬가지로 적용될 수 있다.
도 4는, 본원 발명의 다른 실시예에 따른, 로드포트(400)를 도시한 도면이다. 로드포트(400)는, 도 2a와 관련하여 전술한 바와 같이, 포트 도어(201), 위치 설정 디바이스(203), 및 프레임(205)을 포함한다. 이러한 실시예에서, 로드포트(400)는 포트 도어(201)의 제 1 및 제 2 수직 측부 표면들(234/236)의 각각을 지나서, 외측으로 즉, 수평으로 연장하도록, 포트 도어(201)의 후방 표면(232)에 연결된 고정형 폐쇄 메커니즘(401A/B)을 포함한다. 도 4에 도시된 예시적인 실시예는 고정형 폐쇄 메커니즘(401A/B)으로서 고정된 캠 플레이트(401A/B)의 쌍을 이용하고, 상기 고정된 캠 플레이트(401A/B)의 쌍의 각각은 개별적인 각도형 채널(410A/B)을 가지도록 형성된다.
또한, 로드포트(400)는 프레임(205)의 개구부(211)에 근접하여 프레임(205) 상에 배치되는 가동형 폐쇄 메커니즘(403A/B)을 포함한다. 가동형 폐쇄 메커니즘(403A/B)은 고정형 폐쇄 메커니즘(401A/B)과 결합하도록 형성된다. 도 4의 예시적인 실시예에서, 가동형 폐쇄 메커니즘(403A/B)은 개별적인 롤러들(404A/B)을 포함한다. 다른 실시예들에서, 롤러들(404A/B)이, 강성 안내 핀들 또는 회전가능한 안내 핀들 등등과 같은 다른 형태의 안내 부재로 대체될 수 있다는 것을 이해하여야 할 것이다. 가동형 폐쇄 메커니즘(403A/B)이, 화살표(213)에 의해서 표시된 바와 같이, 프레임(205) 및 포트 도어(201) 모두에 대해서 제어된 방식으로 수직으로 이동될 수 있도록 형성된다. 도 2b-2d와 관련하여 설명한 것과 유사한 방식에서, 고정형 폐쇄 메커니즘(401A/B)의 캠 플레이트들(401A/B)의 채널들(410A/B)을 이용하여 롤러들(404A/B)과 결합하기 위한 가동형 폐쇄 메커니즘(403A/B)의 운동은 포트 도어(201)의 전방 표면(230)과 컨테이너 도어 사이에 폐쇄력을 인가한다.
도 5는, 본원 발명의 일 실시예에 따른, 로드포트(500)를 도시한다. 로드포트(500)는, 도 2a와 관련하여 전술한 바와 같이, 포트 도어(201), 위치 설정 디바이스(203), 및 프레임(205)을 포함한다. 이러한 실시예에서, 로드포트(500)는 포트 도어(201)의 제 1 및 제 2 수직 측부 표면들(234/236)의 각각을 지나서, 외측으로 즉, 수평으로 연장하도록, 포트 도어(201)의 후방 표면(232)에 연결된 고정형 폐쇄 메커니즘(501A/B)을 포함한다. 도 5에 도시된 예시적인 실시예는 고정형 폐쇄 메커니즘(501A/B)으로서 고정된 롤러들(503A/B)의 쌍을 포함한다. 다른 실시예들에서, 롤러들(503A/B)이, 강성 안내 핀들 또는 회전가능한 안내 핀들 등등과 같은 다른 형태의 안내 부재로 대체될 수 있다는 것을 이해하여야 할 것이다.
또한, 로드포트(500)는 프레임(205)의 개구부(211)에 근접하여 프레임(205) 상에 배치되는 가동형 폐쇄 메커니즘(505A/B)을 포함한다. 가동형 폐쇄 메커니즘(505A/B)은 고정형 폐쇄 메커니즘(501A/B)과 결합하도록 형성된다. 도 5의 예시적인 실시예에서, 가동형 폐쇄 메커니즘(505A/B)은 개별적인 가동형 캠 플레이트(505A/B)의 쌍으로서 형성되고, 각각의 가동형 캠 플레이트(505A/B)는 개별적인 각도형 채널(510A/B)을 구비한다. 가동형 폐쇄 메커니즘(505A/B)은, 화살표(213)에 의해서 표시된 바와 같이, 프레임(205) 및 포트 도어(201) 모두에 대해서 제어된 방식으로 수직으로 이동될 수 있도록 형성된다. 도 3b-3d와 관련하여 설명한 것과 유사한 방식에서, 고정형 폐쇄 메커니즘(501A/B)에 연결된 롤러들(503A/B)을 이용하여 개별적인 각도형 채널들(510A/B)과 결합하기 위한 프레임(205) 상의 캠 플레이트(505A/B)의 운동이 포트 도어(201)의 전방 표면(230)과 컨테이너 도어 사이에 폐쇄력을 인가한다.
도 6은, 본원 발명의 일 실시예에 따른, 도 2a의 로드포트 실시예에서의 포트 도어(201)의 예시적인 구현예를 도시한 도면이다. 가동형 폐쇄 메커니즘(207A/B)은 개별적으로 연결된 롤러들(206A/B)의 쌍을 가지는 구동 플레이트들(601A/B)의 쌍에 의해서 형성된다. 다시, 다른 실시예들에서, 롤러들(206A/B)의 쌍이, 강성 안내 핀들의 쌍 또는 회전가능한 안내 핀들의 쌍 등등과 같은 다른 형태의 안내 부재로 대체될 수 있다는 것을 이해하여야 할 것이다. 롤러들(206A/B)의 각각이 포트 도어(201)의 후방 표면(232) 뒤의 위치에서 포트 도어(201)의 수직 측부 표면들(234/236) 중의 각각의 하나를 지나서 외측으로 연장한다. 일 실시예에서, 구동 트랙들(603A/B)의 쌍이 포트 도어(201)의 후방 표면(232)에 연결된다. 구동 플레이트(601A/B)의 각각이 구동 트랙들(603A/B)의 각각의 하나에 연결되고 그리고 그러한 구동 플레이트가 연결되는 구동 트랙(603A/B)을 따라서 이동하도록 형성된다. 구동 트랙에 연결된 구동 플레이트(601A/B)의 운동을 실질적으로 수직인 방향(213)으로 지향시키도록, 구동 트랙들(603A/B)의 각각이 배향된다. 일 실시예에서, 구동 트랙들(603A/B)이 베어링 레일들 상에서 금속 슬라이드들로서 형성된다. 그러나, 다른 실시예들에서, 구동 트랙들(603A/B)이 그러한 구동 트랙에 연결된 구동 플레이트들(601A/B)의 선형 운동을 제공하기만 한다면 그리고 프로세싱 분위기 사양(specification)과 양립될 수만 있다면, 구동 트랙들(603A/B)이 다른 방식으로 형성될 수 있을 것이다.
다른 실시예에서, 구동 트랙들(603A/B)이 포트 도어(201) 내에, 또는 포트 도어(201)에 연결된 부재 내에 형성된 수직 배향형 안내 채널들의 쌍에 의해서 대체될 수 있을 것이다. 이러한 실시예에서, 구동 플레이트(601A/B)의 각각은 상응하는 안내 채널 내에서 유지되는 방식으로 피팅되는 슬라이딩 부재를 가지도록 형성될 수 있고, 그에 따라 슬라이딩 부재가 안내 채널을 따라서 이동될 수 있다.
포트 도어(201) 조립체는 또한 개별적인 구동 트랙들(603A/B)을 따라서 구동 플레이트(601A/B)의 쌍의 운동을 제어하도록 형성된 구동원을 포함한다. 또한, 기계적인 연결 기구가 구동원의 작업을 구동 플레이트(601A/B)의 쌍의 실질적으로 동시적인 운동으로 전환하도록 형성된다.
도 6의 예시적인 실시예에서, 기계적인 연결 기구가 포트 도어(201)에 대해서 실질적으로 수평인 방향(607)으로 이동하도록 형성된 운동 전달 플레이트(605)로서 형성된다. 일 실시예에서, 많은 수의 안내 롤러들(609)이 운동 전달 플레이트(605)의 수평 배향된 엣지들과 결합되도록 배치된다. 이러한 방식으로, 안내 롤러들(609)이 운동 전달 플레이트(605)의 운동을 포트 도어(201)에 대해서 실질적으로 수평인 방향(607)으로 지향시킨다. 추가적으로, 많은 수의 슬롯들(611)(이러한 예시적인 실시예에서 2개의 슬롯들(611))이 운동 전달 플레이트(605) 내에 형성된다. 슬롯들(611)에 상응하는 안내 핀들(613)이 포트 도어(201)의 후방 표면(232)에 고정된다. 안내 핀들(613)이 슬롯들(611)을 통해서 연장하고 그리고 그 내부에서 이동하도록 형성된다. 슬롯들(611)이 실질적으로 수평인 방향(607)으로 연장하도록 형성되기 때문에, 고정된 안내 핀들(613)과 슬롯들(611)의 인터페이싱은 실질적으로 수평인 방향(607)으로 운동 전달 플레이트(605)를 안내하는 것을 돕는다.
운동 전달 플레이트(605)는 구동 플레이트(601A/B)의 쌍의 각각과 결합하도록 형성되고, 그에 따라 방향(607)을 따른 운동 전달 플레이트(605)의 실질적으로 수평인 운동은, 구동 플레이트들(601A/B)의 쌍의 각각의 수직 방향(213)을 따른 실질적으로 균등하고 그리고 동시적인 수직 운동을, 상응하는 롤러들(206A/B)의 쌍의 수직 운동과 함께 유도한다. 도 6의 실시예에서, 운동 전달 플레이트(605)는 각도형 슬롯들(615)의 쌍을 포함한다. 또한, 구동 플레이트(601A/B)의 쌍의 각각은, 그러한 구동 플레이트에 견고하게 연결되고 그리고 각도형 슬롯들(615)의 쌍 중 각각의 하나 내에서 이동되도록 형성된 개별적인 핀(617)을 포함한다. 각도형 슬롯들(615)의 각각은, 포트 도어(201)에 대해서 평행한 기준 평면 내에서 움직일 때, 수직 방향(213)으로부터 오프셋된 공통 각도(627)를 따라서 연장하도록 형성된다. 운동 전달 플레이트(605)가 수평인 방향(607)을 따라 이동함에 따라, 각각의 구동 플레이트(601A/B)의 핀(617)이 운동 전달 플레이트(605)의 개별적인 슬롯(615)에 의해서 결합된다는 것을 이해하여야 할 것이다. 이러한 방식에서, 슬롯들(615)의 공통 각도(627)는, 운동 전달 플레이트(605)의 수평방향 운동이 개별적인 구동 트랙들(603A/B)을 따라서 구동 플레이트들(601A/B)의 수직 운동으로 전환되게 한다.
도 6의 예시적인 실시예에서, 구동원이 모터(619)가 되며, 그러한 모터(619)는 모터(619)에 의한 회전을 위해서 그 모터에 연결된 리드 스크류(625)를 가진다. 모터(619)는 고정된 위치에서 포트 도어(201)의 후방 표면(232)에 강성으로 연결된다. 예를 들어, 브래킷 조립체(621)가 모터(619)를 포트 도어(201)에 연결하기 위해서 이용될 수 있다. 모터(619)가 전력을 공급받도록 그리고 제어되도록 전기적으로 연결된다는 것을 이해하여야 한다. 리드 스크류(625)와 상보적인 방식으로 나사 체결된 너트(623)가 리드 스크류(625)를 수용하도록 운동 전달 플레이트(605)에 강성으로 연결된다. 리드 스크류(625) 및 너트(623)가 포트 도어(201)에 대해서 실질적으로 수평인 방향(607)으로 배향되고, 그에 따라 너트(623) 내에서의 리드 스크류(625)의 회전이 너트(623) 및 상기 너트에 연결된 운동 전달 플레이트(605)를 실질적으로 수평인 방향(607)으로 이동시킨다. 그에 따라, 리드 스크류(625)를 회전시키기 위한 모터(619)의 동작은 운동 전달 플레이트(605)의 수평 운동 및 그에 상응하는 구동 플레이트(601A/B)의 수직 운동을 제공한다.
여러 가지 예시적인 실시예들에서, 모터(619)는, 구동 플레이트(601A/B)의 제어된 운동을 제공하도록 기계적으로 연결될 수 있고 그리고 로드포트 장비와 연관된 분위기 요건들과 양립될 수 있는, 전기 모터, 서보 모터, 스텝퍼 모터일 수 있고, 또는 본질적으로 다른 타입의 모터일 수 있다. 이러한 여러 가지 예시적인 실시예들에서, 포트 도어(201)의 폐쇄를 개시하고 그리고 폐쇄를 정지시키는 제어 수단을 제공하도록, 모터(619)가 동작될 수 있다. 추가적으로, 여러 가지 실시예들에서, 포트 도어(201)의 폐쇄를 정지시키도록 모터(619)를 지향시키기 위해서, 여러 가지 타입들의 트리거링 메커니즘들이 구현될 수 있을 것이다. 예를 들어, 하나 또는 둘 이상의 광학적 센서, 기계적 스위치, 전기적 스위치, 전기적 센서, 또는 본질적으로 임의의 다른 타입의 위치 검출 디바이스를 이용하여 포트 도어(201) 위치 피드백 신호들을 제공할 수 있으며, 그러한 신호들은 다시 구동 플레이트(601A/B) 및 포트 도어(201)의 적절한 운동 정지를 제공하도록 모터(619)를 제어하기 위해서 이용될 수 있다. 또한, 모터(619)가 인코더-제어형 모터인 실시예에서, 모터(619)의 운동 정지 및 그에 상응하는 구동 플레이트들(601A/B) 및 포트 도어(201)의 운동 정지를 제어하기 위해서, 인코더 셋팅이 제공될 수 있다.
구동원은 모터(619)/리드 스크류(625)/너트(623) 조합으로 제한되지 않는다는 것을 이해하여야 할 것이다. 다른 실시예들에서, 제어된 수평방향 운동을 운동 전달 플레이트(605)로 부여하기 위해서, 다른 구동원들 및 구성들이 적용될 수 있을 것이다. 예를 들어, 일 실시예에서, 구동원은, 그 구동원에 연결되고 모터 전달 플레이트(605)에 연결된 구동 로드(rod)를 가지는 공압 실린더이다. 보다 구체적으로, 공압 실린더는 고정된 위치에서 포트 도어(201)의 후방 표면에 연결되고, 그리고 구동 로드가 운동 전달 플레이트(605)에 연결되며, 그에 따라 구동 로드의 운동이 운동 전달 플레이트(605)의 실질적으로 수평인 방향으로의 운동을 유발한다. 또 다른 실시예에서, 피니언 기어의 원 운동을 운동 전달 플레이트(605)에 연결된 랙 기어의 선형 운동으로, 그리고 그 반대로 전환하도록, 랙-및-피니언 기어 시스템 및 연관된 구동 모터가 형성될 수 있을 것이다. 또한, 본원에 개시된 로드포트들(200, 300, 400, 500)의 대안적인 실시예에서, 가동형 폐쇄 메커니즘들의 실질적으로 동시적인 그리고 균등한 운동을 제공하기 위해서 탠덤(tandem) 방식으로 동작되도록 일반적으로 인코딩된 독립적인 각각의 구동원들을 이용하여, 가동형 폐쇄 메커니즘들이 독립적으로 이동될 수 있다.
특정 실시예와 관계 없이, 구동 플레이트들(601A/B)을 수직 방향(213)으로 이동시키도록 구현된 구동원 및 그에 상응하는 기계적인 연결 기구는 필요한 유지 보수를 최적으로 제한하도록 그리고 반도체 공작물을 오염시킬 수 있는 입자 생성을 감소시키도록 형성된다. 또한, 포트 도어(201) 위치 모니터링 디바이스들 및 구동원 힘 모니터링 디바이스들을 이용하여 반도체 공작물들 및/또는 다른 시스템 요소들을 보호하기 위한 보호수단을 제공할 수 있을 것이다. 추가적으로, 도 6의 예시적인 로드포트 구현예가 또한 도 3a-3d에 도시된 로드포트 실시예들과 함께 이용될 수 있다는 것을 이해하여야 할 것이다. 이러한 경우에, 캠 플레이트들(301A/B)이 롤러들(601A/B)을 대체한다. 캠 플레이트(301A/B)는 구동 플레이트들(601A/B)의 일부로서 형성될 수 있고, 또는 구동 플레이트들(601A/B)과 독립적으로 형성되고 그 구동 플레이트(601A/B)들에 연결될 수 있을 것이다.
일 실시예에서, 폐쇄력 벡터의 작용선이 공칭적으로(nominally) 포트 도어(201)의 중심선을 통과하도록, 로드포트들(200, 300, 400, 500)과 관련하여 설명된 상보적인 고정형 및 가동형 폐쇄 메커니즘들이 배치되며, 상기 중심선은 일반적으로 폐쇄력에 반하도록 지향된 힘들의 합의 작용선에 대해서 완전히 반대되며, 상기 지향된 힘들의 합은, 예를 들어, 가요성 공작물 리테이너를 컨테이너 내부의 각각의 공작물과 결합시키기 위해서 필요한 전체적인 힘과 컨테이너 도어의 둘레 주위의 기밀 밀봉을 가능하게 하기 위해서 필요한 힘의 합이다. 다른 실시예에서, 폐쇄력 벡터의 작용선이 포트 도어(201)의 중심선으로부터 오프셋되도록, 그러나 폐쇄력에 대항하여 지향된 반대되는 힘들의 합을 극복하게끔 배치되도록, 로드포트들(200, 300, 400, 500)과 관련하여 설명된 상보적인 고정형 및 가동형 폐쇄 메커니즘들이 배치된다.
또한, 로드포트들(200, 300, 400, 500)과 관련하여 설명된 상보적인 고정형 및 가동형 폐쇄 메커니즘들을 이용하여 포트 도어(201)의 쎄타(theta) 위치/배향을 정밀하게 제어할 수 있다는 것을 이해하여야 할 것이다. 포트 도어(201)의 쎄타 위치/배향이 x-y 평면 즉, 수평 평면 내에서 y 및 x 기준 평면들 사이에서 연장하는 각도(214)(도 2a의 좌표 축들 참조)에 의해서 규정된다. 포트 도어(201)의 적절한 쎄타 위치/배향은, 포트 도어(201) 래치 키이들 모두, 예를 들어 도 1의 래치 키이들(60)이 그들의 상응하는 컨테이너 도어 수용부들 내로 동일하게 삽입되는 것을 보장한다. 포트 도어(201)의 적절한 쎄타 위치/배향은 또한, 컨테이너 도어 래칭 수단이 컨테이너 외장 내의 연관된 함몰부들과 정확하게 결합하는 것을 보장한다. 포트 도어(201)의 정밀한 쎄타 위치/배향은, 포트 도어(201)의 일 측부 상에서 상보적인 고정형 및 가동형 폐쇄 메커니즘들을 포트 도어(201)의 타 측부에 대해서 조정함으로써 달성될 수 있다. 예를 들어, 포트 도어(201)의 일 측부 상의 상보적인 고정형 및 가동형 폐쇄 메커니즘들의 위치가 프레임(205)에 대해서 수직인 방향으로, 즉 y 기준 방향으로 조정되어, 프레임(205)에 대한 포트 도어(201)의 쎄타 위치/배향을 조정할 수 있을 것이다.
도 7은, 본원 발명의 일 실시예에 따른, 상보적인 고정형 및 가동형 폐쇄 메커니즘들(705/701)의 단일 세트를 구현하는 로드포트(700)를 도시한다. 이러한 실시예에서, 단일 가동형 폐쇄 메커니즘(701)은, 포트 도어(201)의 상단부 수평 측부 표면(238)에 근접하여, 그리고 포트 도어(201)의 수직 중심선(703) 상에서, 포트 도어(201)의 후방 표면(232)에 연결된다. 상응하는 고정된 단일 고정형 폐쇄 메커니즘(705)이 하나의 가동형 폐쇄 메커니즘(701)에 의해서 결합되도록 프레임(205) 상에 장착된다. 대안적인 실시예에서, 단일 가동형 폐쇄 메커니즘(701)이 프레임(205) 상에 장착될 수 있고, 그리고 단일 고정형 폐쇄 메커니즘(705)이 포트 도어(201)의 후방 표면(232) 상에 장착될 수 있다. 로드포트(700) 구성에서, 상보적인 고정형 및 가동형 폐쇄 메커니즘들의 단일 세트의 폐쇄 구동 운동이 위치 설정 디바이스(203)의 수평 구동부와 협력하여 적절한 포트 도어(201) 폐쇄를 제공한다.
일 실시예에서, 단일 가동형 폐쇄 메커니즘(701)이 수직으로 드라이빙될 수 있는 롤러로서 형성되고, 그리고 단일 고정형 폐쇄 메커니즘(705)이 상기 롤러를 수용하도록 겸용될 수 있는 캠 플레이트로서 형성되며, 그에 따라 캠 플레이트의 각도형 채널 내의 롤러의 운동은 프레임(205)에 대해서 수직인 방향을 따른 포트 도어(201)의 운동을 유도한다. 다른 실시예에서, 단일 가동형 폐쇄 메커니즘(701)이 수직으로 드라이빙될 수 있는 캠 플레이트로서 형성되고, 그리고 단일 고정형 폐쇄 메커니즘이 상기 캠 플레이트 내에 수용되도록 겸용될 수 있는 롤러로서 형성되며, 그에 따라 캠 플레이트의 각도형 채널 내에 위치된 롤러를 가지는 캠 플레이트의 운동이 프레임에 대해서 수직인 방향을 따른 포트 도어(201)의 운동을 유도한다.
도 8a-8d는, 본원 발명의 일 실시예에 따른, 로드포트(200)의 동작 시퀀스들을 도시한 도면이다. 도 8a는 로드포트(200) 상에 배치된 컨테이너(801)를, 컨테이너 도어(803)가 폐쇄된 구성으로, 도시한다. 컨테이너(801)를 개방하기 위해서, 포트 도어(201)가 컨테이너 도어(803)와 인터페이싱하도록 이동된다. 도 8b는, 개구부(211)를 통한 포트 도어(201)의 수평적인 운동을 가능하게 하기 위해서, 프레임(205) 개구부(211)와 수직으로 정렬되도록 포트 도어(201)를 위치시키기 위해서 수직으로 이동된 위치 설정 디바이스(203)를 도시한다. 도 8c는, 고정형 폐쇄 메커니즘(프레임(205)에 연결됨)의 캠 플레이트(209A/B)와 결합하기 위해서 가동형 폐쇄 메커니즘(209A/B)(포트 도어(201)에 연결됨)의 롤러들(206A/B)이 위치되도록, 개구부(211) 내에 포트 도어(201)를 수평적으로 이동시키도록 이동된 위치 설정 디바이스(203)를 도시한다.
도 8d는 롤러(206A/B)가 캠 플레이트(209A/B)의 채널을 통해서 이동하도록 수직으로 이동된 가동형 폐쇄 메커니즘(207A/B)을 도시한 도면으로서, 그러한 이동에 의해서, 포트 도어(201)가 컨테이너 도어(803)와 인터페이싱하도록 수평으로 이동된다. 컨테이너 도어(803)와 인터페이싱하기 위해서 포트 도어(201)가 개구부(211)를 통해서 이동함에 따라, 위치 설정 디바이스(203)가 포트 도어(201)를 그 수직 위치에서 유지하도록 제어된다는 것을 이해하여야 한다. 또한, 상보적인 가동형 및 고정형 폐쇄 메커니즘들(207A/B 및 209A/B) 각각에 의해서 지향된 바와 같이 포트 도어(201)의 수평 운동이 이루어질 수 있도록 위치 설정 디바이스(203)가 제어된다는 것을 이해하여야 한다.
컨테이너(801)로부터 컨테이너 도어(803)를 제거하기 위해서, 도 8a-8d와 관련하여 전술한 동작들의 시퀀스가 본질적으로 반대가 될 수 있을 것이고, 이때, 예를 들어, 포트 도어(201)로부터 컨테이너 도어(803) 내로 연장하는 래치 키이들을 통해서, 컨테이너 도어(803)가 포트 도어(201)에 고정된다. 이어서, 도 8a-8d와 관련하여 전술한 동작들의 시퀀스를 반복하여 컨테이너(801) 내의 폐쇄된 위치에서 컨테이너 도어(803)를 교체할 수 있을 것이다.
본원 발명을 몇몇 실시예들과 관련하여 설명하였지만, 소위 당업자는 전술한 상세한 설명과 도면들을 참조하여, 본원 발명의 여러 가지 변경예들, 부가예들, 치환예들 및 균등물들을 구현할 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그에 따라, 상기 변경예들, 부가예들, 치환예들 및 균등물들이 본원 발명의 진정한 사상 및 범위에 포함된다면 그 모두가 본원 발명에 포함될 것이다.

Claims (36)

  1. 로드포트로서:
    전방 표면, 후방 표면, 그리고 제 1 및 제 2 수직 측부 표면들을 구비하는 포트 도어로서, 상기 포트 도어의 전방 표면은, 반도체 공작물들이 존재할 때, 그러한 반도체 공작물들을 유지하기 위한 컨테이너의 컨테이너 도어와 인터페이싱하도록 형성되는 것인 포트 도어;
    개구부를 가지도록 형성된 프레임을 포함하고, 상기 개구부를 통해서 상기 포트 도어가 상기 컨테이너 도어와 인터페이싱하는 프레임;
    상기 포트 도어에 연결되어 상기 포트 도어의 제어된 위치 설정 및 운동을 제공하는 위치 설정 디바이스;
    상기 포트 도어의 후방 표면에 연결되어 상기 포트 도어의 제 1 및 제 2 수직 측부 표면들의 각각을 지나서 외측으로 연장하는 가동형 폐쇄 메커니즘으로서, 상기 포트 도어 및 상기 프레임 모두에 대해서 제어된 방식으로 이동가능하도록 형성되는 가동형 폐쇄 메커니즘; 그리고
    상기 프레임의 개구부에 근접하여 상기 프레임 상에 배치되고 그리고 상기 가동형 폐쇄 메커니즘과 결합하도록 형성되는 고정형 폐쇄 메커니즘을 포함하고,
    상기 고정형 폐쇄 메커니즘과 결합하기 위한 상기 가동형 폐쇄 메커니즘의 운동은 상기 포트 도어의 전방 표면과 상기 컨테이너 도어 사이에 폐쇄력을 인가하는 것인 로드포트.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 폐쇄력이 상기 포트 도어의 전방 표면과 상기 컨테이너 도어 사이에서 실질적으로 수직한 방향으로 지향되는 것인 로드포트.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 위치 설정 디바이스는 상기 프레임의 개구부에 대해서 수직 방향을 따라 상기 포트 도어를 이동시키도록 형성되고, 그리고 상기 위치 설정 디바이스는 상기 프레임의 개구부 내에서 수평 방향으로 포트 도어를 이동시키도록 형성되는 것인 로드포트.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 가동형 폐쇄 메커니즘은 포트 도어의 후방 표면 뒤의 위치에서 포트 도어의 제 1 및 제 2 수직 측부 표면 각각을 지나서 외측으로 각각 연장하는 안내 부재들의 쌍으로서 형성되고, 상기 안내 부재들의 쌍의 각각의 안내 부재는 상기 포트 도어에 대해서 실질적으로 수직인 방향으로 그리고 실질적으로 동시적인 방식으로 이동되도록 형성되고,
    상기 고정형 폐쇄 메커니즘은 상기 프레임의 개구부의 제 1 및 제 2 수직 측부들에 근접하여 각각 고정된 캠 플레이트들의 쌍으로서 형성되고, 상기 캠 플레이트들의 쌍의 각각의 캠 플레이트는 상기 안내 부재들의 쌍의 각각의 안내 부재를 수용하도록 형성된 채널을 포함하고, 상기 각각의 채널은 내부의 상기 안내 부재의 운동을 상기 컨테이너 도어를 향해서 수직인 포트 도어의 운동으로 전환시켜 폐쇄력을 인가하도록 형성되는 것인 로드포트.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 안내 부재들의 쌍의 각각의 안내 부재가 연결되는 구동 플레이트들의 쌍;
    구동 트랙들의 쌍으로서, 상기 구동 트랙들의 쌍에는 상기 구동 플레이트들의 쌍의 각각의 구동 플레이트가 연결되고, 상기 구동 트랙들의 쌍의 각각의 구동 트랙이 상기 포트 도어의 후방 표면에 연결되고 그리고 상기 구동 트랙들의 쌍에 연결된 구동 플레이트의 운동을 실질적으로 수직인 방향으로 지향시키도록 배향되는 것인 구동 트랙들의 쌍;
    상기 구동 플레이트들의 각각의 구동 트랙들을 따라서 상기 구동 플레이트들의 쌍의 운동을 제어하도록 형성되는 구동원; 그리고
    상기 구동원의 작업을 상기 구동 플레이트들의 쌍의 동시적인 운동으로 전환하도록 형성된 기계적인 연결 기구를 더 포함하는 로드포트.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 기계적인 연결 기구는 상기 포트 도어에 대해서 실질적으로 수평인 방향으로 이동하도록 형성된 운동 전달 플레이트로서 형성되고, 상기 운동 전달 플레이트는 구동 플레이트들의 쌍의 각각의 플레이트와 결합하도록 형성되고, 그에 따라 상기 운동 전달 플레이트의 실질적으로 수평인 운동은 구동 플레이트들의 쌍 그리고 상기 구동 플레이트들의 쌍에 각각 연결된 안내 부재들의 쌍 각각의 실질적으로 동일하고 그리고 동시적인 수직 운동을 유발하는 것인 로드포트.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 구동원이 모터가 되며, 상기 모터는 모터에 의한 회전을 위해서 연결된 리드 스크류를 가지며, 상기 모터는 고정된 위치에서 포트 도어의 후방 표면에 연결되며, 리드 스크류와 상보적인 방식으로 나사 체결된 너트가 리드 스크류를 수용하도록 운동 전달 플레이트에 연결되며, 상기 리드 스크류 및 너트가 포트 도어에 대해서 실질적으로 수평인 방향으로 배향되고, 그에 따라 너트 내에서의 리드 스크류의 회전이 너트 및 상기 너트에 연결된 운동 전달 플레이트를 실질적으로 수평인 방향으로 이동시키는, 로드포트.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 구동원은, 구동 로드가 연결된 공압 실린더이고, 상기 공압 실린더는 고정된 위치에서 포트 도어의 후방 표면에 연결되고, 상기 구동 로드가 또한 운동 전달 플레이트에 연결되며, 그에 따라 상기 구동 로드의 운동이 운동 전달 플레이트의 실질적으로 수평인 방향으로의 운동을 유발하는 것인 로드포트.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 고정형 폐쇄 메커니즘이 상기 프레임의 개구부의 제 1 및 제 2 수직 측부들에 근접하여 각각 고정된 안내 부재들의 쌍으로서 형성되고,
    상기 가동형 폐쇄 메커니즘은 상기 포트 도어의 후방 표면의 후방 외측의 각각의 위치에서 상기 포트 도어의 제 1 및 제 2 수직 측부 표면들을 따라서 각각 배치된 가동형 캠 플레이트들의 쌍으로서 형성되고, 상기 가동형 캠 플레이트들의 쌍의 각각의 가동형 캠 플레이트가 상기 포트 도어에 대해서 실질적으로 수직인 방향으로 그리고 실질적으로 동시적인 방식으로 이동하도록 형성되고, 상기 가동형 캠 플레이트들의 쌍의 각각은 상기 안내 부재들의 쌍의 각각의 안내 부재를 수용하도록 형성된 채널을 포함하고, 폐쇄력을 인가하기 위해서 상기 각각의 채널은, 상기 안내 부재에 대한 상기 채널의 가동형 캠 플레이트의 운동을 컨테이너 도어로 수직으로 향하는 포트 도어의 운동으로 변환시키도록 형성되는 것인 로드포트.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 가동형 캠 플레이트들의 쌍이 각각 연결되는 구동 플레이트들의 쌍;
    구동 트랙들의 쌍으로서, 상기 구동 트랙들의 쌍에는 상기 구동 플레이트들의 쌍이 각각 연결되고, 상기 구동 트랙들의 쌍의 각각의 구동 트랙이 상기 포트 도어의 후방 표면에 연결되고 그리고 상기 구동 트랙들의 쌍에 연결된 구동 플레이트의 운동을 실질적으로 수직인 방향으로 지향시키도록 배향되는 것인 구동 트랙들의 쌍;
    상기 구동 플레이트들의 각각의 구동 트랙들을 따른 상기 구동 플레이트들의 쌍의 운동을 제어하도록 형성되는 구동원; 그리고
    상기 구동원의 작업을 상기 구동 플레이트들의 쌍의 동시적인 운동으로 전환하도록 형성된 기계적인 연결 기구를 더 포함하는 로드포트.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 기계적인 연결 기구는 상기 포트 도어에 대해서 실질적으로 수평인 방향으로 이동하도록 형성된 운동 전달 플레이트로서 형성되고, 상기 운동 전달 플레이트는 구동 플레이트들의 쌍의 각각의 플레이트와 결합하도록 형성되고, 그에 따라 상기 운동 전달 플레이트의 실질적으로 수평인 운동은 구동 플레이트들의 쌍 그리고 상기 구동 플레이트들의 쌍에 각각 연결된 가동형 캠 플레이트들의 쌍 각각의 실질적으로 동일한 수직 운동을 유발하는 것인 로드포트.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 구동원이 모터가 되며, 상기 모터는 모터에 의한 회전을 위해서 연결된 리드 스크류를 가지며, 상기 모터는 고정된 위치에서 포트 도어의 후방 표면에 연결되며, 리드 스크류와 상보적인 방식으로 나사 체결된 너트가 리드 스크류를 수용하도록 운동 전달 플레이트에 연결되며, 상기 리드 스크류 및 너트가 포트 도어에 대해서 실질적으로 수평인 방향으로 배향되고, 그에 따라 너트 내에서의 리드 스크류의 회전이 너트 및 상기 너트에 연결된 운동 전달 플레이트를 실질적으로 수평인 방향으로 이동시키는 것인 로드포트.
  13. 제 11 항에 있어서,
    상기 구동원은, 구동 로드가 연결된 공압 실린더이고, 상기 공압 실린더는 고정된 위치에서 포트 도어의 후방 표면에 연결되고, 상기 구동 로드가 또한 운동 전달 플레이트에 연결되며, 그에 따라 상기 구동 로드의 운동이 운동 전달 플레이트의 실질적으로 수평인 방향으로의 운동을 유발하는 것인 로드포트.
  14. 제 10 항에 있어서,
    상기 가동형 캠 플레이트들의 쌍이 구동 플레이트들의 쌍의 각각의 부분들로서 형성되는 것인 로드포트.
  15. 로드포트로서:
    전방 표면, 후방 표면, 그리고 제 1 및 제 2 수직 측부 표면들을 구비하는 포트 도어로서, 상기 포트 도어의 전방 표면은, 반도체 공작물들이 존재할 때, 그러한 반도체 공작물들을 유지하기 위한 컨테이너의 컨테이너 도어와 인터페이싱하도록 형성되는 것인 포트 도어;
    개구부를 가지도록 형성된 프레임으로서, 상기 개구부를 통해서 포트 도어가 컨테이너 도어와 인터페이싱하는 것인 프레임;
    상기 포트 도어의 제어된 위치 설정 및 운동을 제공하기 위해서 상기 포트 도어에 연결된 위치 설정 디바이스;
    상기 포트 도어의 후방 표면에 연결되어 포트 도어의 제 1 및 제 2 수직 측부 표면들의 각각을 지나서 외측으로 연장하는 고정형 폐쇄 메커니즘;
    상기 프레임의 개구부에 근접하여 프레임 상에 배치되고 그리고 고정형 폐쇄 메커니즘과 결합하도록 형성되는 가동형 폐쇄 메커니즘으로서, 프레임 및 포트 도어 모두에 대해서 제어되는 방식으로 이동가능하도록 형성되는 가동형 폐쇄 메커니즘을 포함하고,
    상기 고정형 폐쇄 메커니즘과 결합하기 위한 가동형 폐쇄 메커니즘의 운동은 상기 포트 도어의 전방 표면과 상기 컨테이너 도어 사이에 폐쇄력을 인가하는 것인 로드포트.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 폐쇄력이 상기 포트 도어의 전방 표면과 상기 컨테이너 도어 사이에서 실질적으로 수직한 방향으로 지향되는 것인 로드포트.
  17. 제 15 항에 있어서,
    상기 위치 설정 디바이스는 상기 프레임의 개구부에 대해서 수직 방향을 따라 상기 포트 도어를 이동시키도록 형성되고, 상기 위치 설정 디바이스는 상기 프레임의 개구부 내에서 수평 방향으로 포트 도어를 이동시키도록 형성되는 것인 로드포트.
  18. 제 15 항에 있어서,
    상기 고정형 폐쇄 메커니즘은 상기 포트 도어의 후방 표면 뒤의 위치에서 포트 도어의 제 1 및 제 2 수직 측부 표면 각각을 지나서 외측으로 각각 연장하는 안내 부재들의 쌍으로서 형성되고,
    상기 가동형 폐쇄 메커니즘은 상기 프레임의 개구부의 제 1 및 제 2 수직 측부들에 근접하여 각각 배치된 가동형 캠 플레이트들의 쌍으로서 형성되고, 상기 캠 플레이트들의 쌍의 각각은 상기 프레임 및 포트 도어 모두에 대해서 실질적으로 수직인 방향으로 그리고 실질적으로 동시적인 방식으로 이동되도록 형성되고, 상기 가동형 캠 플레이트들의 쌍의 각각의 가동 캠 플레이트는 상기 안내 부재들의 쌍의 각각의 안내 부재를 수용하도록 형성된 채널을 포함하고, 상기 각각의 채널은 내부의 상기 안내 부재에 대한 상기 가동형 캠 플레이트의 운동을 상기 컨테이너 도어를 향해서 수직인 포트 도어의 운동으로 전환시켜 폐쇄력을 인가하도록 형성되는 것인 로드포트.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 가동형 캠 플레이트들의 쌍이 각각 연결되는 구동 플레이트들의 쌍;
    구동 트랙들의 쌍으로서, 상기 구동 트랙들의 쌍에는 상기 구동 플레이트들의 쌍이 각각 연결되고, 상기 구동 트랙들의 쌍의 각각의 구동 트랙이 상기 프레임에 연결되고 상기 구동 트랙들의 쌍에 연결된 구동 플레이트의 운동을 실질적으로 수직인 방향으로 지향시키도록 배향되는 것인 구동 트랙들의 쌍;
    상기 구동 플레이트들의 각각의 구동 트랙들을 따라서 상기 구동 플레이트들의 쌍의 운동을 제어하도록 형성되는 구동원; 그리고
    상기 구동원의 작업을 상기 구동 플레이트들의 쌍의 동시적인 운동으로 전환하도록 형성된 기계적인 연결 기구를 더 포함하는 로드포트.
  20. 제 19 항에 있어서,
    상기 기계적인 연결 기구는 프레임에 대해서 실질적으로 수평인 방향으로 이동하도록 형성된 운동 전달 플레이트로서 형성되고, 상기 운동 전달 플레이트는 구동 플레이트들의 쌍의 각각의 플레이트와 결합하도록 형성되고, 그에 따라 상기 운동 전달 플레이트의 실질적으로 수평인 운동은 구동 플레이트들의 쌍 그리고 상기 구동 플레이트들의 쌍에 각각 연결된 가동형 캠 플레이트들의 쌍 각각의 실질적으로 동일하고 그리고 동시적인 수직 운동을 유발하는 것인 로드포트.
  21. 제 20 항에 있어서,
    상기 구동원이 모터가 되며, 상기 모터는 모터에 의한 회전을 위해서 연결된 리드 스크류를 가지며, 상기 모터는 고정된 위치에서 상기 프레임에 연결되며, 리드 스크류와 상보적인 방식으로 나사 체결된 너트가 리드 스크류를 수용하도록 운동 전달 플레이트에 연결되며, 상기 리드 스크류 및 너트가 상기 프레임에 대해서 실질적으로 수평인 방향으로 배향되고, 그에 따라 너트 내에서의 리드 스크류의 회전이 너트 및 상기 너트에 연결된 운동 전달 플레이트를 실질적으로 수평인 방향으로 이동시키는 것인 로드포트.
  22. 제 20 항에 있어서,
    상기 구동원은, 구동 로드가 연결된 공압 실린더이고, 상기 공압 실린더는 고정된 위치에서 상기 프레임에 연결되고, 상기 구동 로드가 또한 운동 전달 플레이트에 연결되며, 그에 따라 상기 구동 로드의 운동이 상기 운동 전달 플레이트의 실질적으로 수평인 방향으로의 운동을 유발하는 것인 로드포트.
  23. 제 19 항에 있어서,
    상기 가동형 캠 플레이트들의 쌍이 구동 플레이트들의 쌍의 각각의 일부로서 형성되는 것인 로드포트.
  24. 제 15 항에 있어서,
    상기 가동형 폐쇄 메커니즘이 상기 프레임의 개구부의 제 1 및 제 2 수직 측부들에 근접하여 각각 배치된 안내 부재들의 쌍으로서 형성되고, 상기 안내 부재들의 쌍의 각각의 안내 부재가 실질적으로 동시적인 방식으로 실질적으로 수직인 방향을 따라서 이동하도록 형성되고,
    상기 고정형 폐쇄 메커니즘은 상기 포트 도어의 후방 표면의 후방 외측의 각각의 위치에서 상기 포트 도어의 제 1 및 제 2 수직 측부 표면들을 따라서 각각 고정된 캠 플레이트들의 쌍으로서 형성되고, 상기 캠 플레이트들의 쌍의 각각의 캠 플레이트가 상기 안내 부재들의 쌍의 각각의 안내 부재를 수용하도록 형성된 채널을 포함하고, 폐쇄력을 인가하기 위해 상기 각각의 채널은, 상기 채널 내부의 안내 부재의 운동을 컨테이너 도어로 수직으로 향하는 포트 도어의 운동으로 변환시키도록 형성되는 것인 로드포트.
  25. 제 24 항에 있어서,
    상기 안내 부재들의 쌍이 각각 연결되는 구동 플레이트들의 쌍;
    구동 트랙들의 쌍으로서, 상기 구동 트랙들의 쌍에는 상기 구동 플레이트들의 쌍이 각각 연결되고, 상기 구동 트랙들의 쌍의 각각의 구동 트랙이 상기 프레임에 연결되고 상기 구동 트랙들의 쌍에 연결된 구동 플레이트의 운동을 실질적으로 수직인 방향으로 지향시키도록 배향되는 것인 구동 트랙들의 쌍;
    상기 구동 플레이트들의 각각의 구동 트랙들을 따라서 상기 구동 플레이트들의 쌍의 운동을 제어하도록 형성되는 구동원; 그리고
    상기 구동원의 작업을 상기 구동 플레이트들의 쌍의 동시적인 운동으로 전환하도록 형성된 기계적인 연결 기구를 더 포함하는 로드포트.
  26. 제 25 항에 있어서,
    상기 기계적인 연결 기구는 상기 프레임에 대해서 실질적으로 수평인 방향으로 이동하도록 형성된 운동 전달 플레이트로서 형성되고, 상기 운동 전달 플레이트는 구동 플레이트들의 쌍의 각각의 구동 플레이트와 결합하도록 형성되고, 그에 따라 상기 운동 전달 플레이트의 실질적으로 수평인 운동은 구동 플레이트들의 쌍 그리고 상기 구동 플레이트들의 쌍에 각각 연결된 안내 부재들의 쌍 각각의 실질적으로 동일한 수직 운동을 유발하는 것인 로드포트.
  27. 제 26 항에 있어서,
    상기 구동원이 모터가 되며, 상기 모터는 모터에 의한 회전을 위해서 연결된 리드 스크류를 가지며, 상기 모터는 고정된 위치에서 상기 프레임에 연결되며, 리드 스크류와 상보적인 방식으로 나사 체결된 너트가 리드 스크류를 수용하도록 운동 전달 플레이트에 연결되며, 상기 리드 스크류 및 너트가 상기 프레임에 대해서 실질적으로 수평인 방향으로 배향되고, 그에 따라 너트 내에서의 리드 스크류의 회전이 너트 및 상기 너트에 연결된 운동 전달 플레이트를 실질적으로 수평인 방향으로 이동시키는 것인 로드포트.
  28. 제 26 항에 있어서,
    상기 구동원은, 구동 로드가 연결된 공압 실린더이고, 상기 공압 실린더는 고정된 위치에서 상기 프레임에 연결되고, 상기 구동 로드가 또한 운동 전달 플레이트에 연결되며, 그에 따라 상기 구동 로드의 운동이 운동 전달 플레이트의 실질적으로 수평인 방향으로의 운동을 유발하는 것인 로드포트.
  29. 로드포트를 동작시키기 위한 방법으로서:
    프레임의 개구부 내에서 포트 도어를 위치 설정하기 위한 단계로서, 반도체 공작물들을 유지하기 위한 컨테이너의 컨테이너 도어가 포트 도어의 전방 표면에 고정되고, 상기 프레임의 개구부 내에서 포트 도어를 위치 설정하는 것은 상기 컨테이너의 도어 개구부 내에서 상기 컨테이너 도어를 위치 설정하는 것에 상응하는 것인 포트 도어를 위치 설정하기 위한 단계;
    상기 포트 도어를 제 1 방향으로 이동시키지 않고, 상기 포트 도어에 연결된 가동형 폐쇄 메커니즘을 제 1 방향으로 이동시키기 위한 단계로서, 상기 가동형 폐쇄 메커니즘이 이동되어 상기 프레임에 고정된 고정형 폐쇄 메커니즘과 결합되며, 상기 고정형 폐쇄 메커니즘과 결합하기 위한 가동형 폐쇄 메커니즘의 운동은 상기 포트 도어의 전방 표면과 상기 컨테이너 도어 사이에 폐쇄력을 인가하는 것인 가동형 폐쇄 메커니즘을 이동시키는 단계; 그리고
    상기 포트 도어의 전방 표면과 상기 컨테이너 도어 사이에 폐쇄력이 인가되는 동안 상기 컨테이너 도어를 컨테이너에 고정하는 단계를 포함하는 로드포트 동작 방법.
  30. 제 29 항에 있어서,
    상기 폐쇄력이 상기 포트 도어의 전방 표면과 상기 컨테이너 도어 사이에서 실질적으로 수직한 방향으로 지향되는 것인 로드포트 동작 방법.
  31. 제 29 항에 있어서,
    상기 가동형 폐쇄 메커니즘은 상기 포트 도어의 제 1 및 제 2 수직 측부 표면 각각을 지나서 외측으로 각각 연장하는 안내 부재들의 쌍을 포함하고, 상기 포트 도어에 연결된 가동형 폐쇄 메커니즘의 제 1 방향을 따른 운동은 실질적으로 동시적인 방식으로 실질적으로 수직인 방향을 따른 상기 안내 부재들의 쌍의 운동에 상응하고, 그리고
    상기 고정형 폐쇄 메커니즘은 상기 프레임의 개구부의 제 1 및 제 2 수직 측부들에 근접하여 각각 고정된 캠 플레이트들의 쌍으로서 형성되고, 상기 캠 플레이트들의 쌍의 각각의 캠 플레이트는 상기 안내 부재들의 쌍의 각각의 안내 부재를 수용하도록 형성된 채널을 포함하고, 상기 각각의 채널은 내부의 상기 안내 부재의 운동을 상기 컨테이너 도어를 향해서 수직인 포트 도어의 운동으로 전환시켜 폐쇄력을 인가하도록 형성되는 것인 로드포트 동작 방법.
  32. 제 29 항에 있어서,
    상기 고정형 폐쇄 메커니즘이 상기 프레임의 개구부의 제 1 및 제 2 수직 측부들에 근접하여 각각 고정된 안내 부재들의 쌍으로서 형성되고, 그리고
    상기 가동형 폐쇄 메커니즘은 상기 포트 도어의 제 1 및 제 2 수직 측부 표면들을 따라서 각각 배치된 가동형 캠 플레이트들의 쌍으로서 형성되고, 상기 가동형 캠 플레이트들의 쌍의 각각의 가동형 캠 플레이트가 실질적으로 수직인 방향으로 그리고 실질적으로 동시적인 방식으로 이동하도록 형성되고, 상기 가동형 캠 플레이트들의 쌍의 각각의 가동형 캠 플레이트는 상기 안내 부재들의 쌍의 각각의 안내 부재를 수용하도록 형성된 채널을 포함하고, 상기 각각의 채널은 상기 채널 내부의 안내 부재에 대한 가동형 캠 플레이트의 운동을 폐쇄력을 인가하기 위해서 컨테이너 도어로 수직으로 향하는 포트 도어의 운동으로 변환시키도록 형성되는 것인 로드포트 동작 방법.
  33. 로드포트를 동작시키기 위한 방법으로서:
    프레임의 개구부 내에서 포트 도어를 위치 설정하기 위한 단계로서, 반도체 공작물들을 유지하기 위한 컨테이너의 컨테이너 도어가 포트 도어의 전방 표면에 고정되며, 상기 프레임의 개구부 내에서 포트 도어를 위치 설정하는 것은 상기 컨테이너의 도어 개구부 내에서 컨테이너 도어를 위치 설정하는 것에 상응하는 것인 포트 도어를 위치 설정하기 위한 단계;
    상기 포트 도어 또는 프레임을 제 1 방향으로 이동시키지 않고, 프레임에 연결된 가동형 폐쇄 메커니즘을 제 1 방향으로 이동시키기 위한 단계로서, 상기 가동형 폐쇄 메커니즘이 이동되어 포트 도어에 고정된 고정형 폐쇄 메커니즘과 결합되며, 상기 고정형 폐쇄 메커니즘과 결합하기 위한 상기 가동형 폐쇄 메커니즘의 운동은 상기 포트 도어의 전방 표면과 상기 컨테이너 도어 사이에 폐쇄력을 인가하는, 가동형 폐쇄 메커니즘을 제 1 방향으로 이동시키기 위한 단계; 그리고
    상기 포트 도어의 전방 표면과 상기 컨테이너 도어 사이에 폐쇄력이 인가되는 동안 상기 컨테이너 도어를 상기 컨테이너에 고정하는 단계를 포함하는 로드포트 동작 방법.
  34. 제 33 항에 있어서,
    상기 폐쇄력이 상기 포트 도어의 전방 표면과 상기 컨테이너 도어 사이에서 실질적으로 수직한 방향으로 지향되는 것인 로드포트 동작 방법.
  35. 제 33 항에 있어서,
    상기 고정형 폐쇄 메커니즘은 상기 포트 도어의 제 1 및 제 2 수직 측부 표면 각각을 지나서 외측으로 각각 연장하는 안내 부재들의 쌍을 포함하도록 형성되고,
    상기 가동형 폐쇄 메커니즘은 상기 프레임의 개구부의 제 1 및 제 2 수직 측부들에 근접하여 각각 배치된 가동형 캠 플레이트들의 쌍으로서 형성되고, 상기 가동형 캠 플레이트들의 쌍의 각각의 캠 플레이트가 실질적으로 수직인 방향으로 그리고 실질적으로 동시적인 방식으로 이동하도록 형성되고, 상기 가동형 캠 플레이트들의 쌍의 각각의 가동형 캠 플레이트는 상기 안내 부재들의 쌍의 각각의 안내 부재를 수용하도록 형성된 채널을 포함하고, 상기 각각의 채널은, 안내 부재에 대한 상기 채널의 가동형 캠 플레이트의 운동을 폐쇄력을 인가하기 위해서 컨테이너 도어로 수직으로 향하는 포트 도어의 운동으로 변환시키도록 형성되는 것인 로드포트 동작 방법.
  36. 제 33 항에 있어서,
    상기 가동형 폐쇄 메커니즘은 상기 프레임의 개구부의 제 1 및 제 2 수직 측부들에 근접하여 각각 배치된 안내 부재들의 쌍으로서 형성되고, 상기 안내 부재들의 쌍의 각각의 안내 부재가 실질적으로 수직인 방향으로 그리고 실질적으로 동시적인 방식으로 이동하도록 형성되고,
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