KR101147283B1 - 기판 반출입 장치 및 기판 반출입 방법 - Google Patents

기판 반출입 장치 및 기판 반출입 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 기판 수납용기인 풉(FOUP)의 도어 개방설비를 간소화하면서, 기판 처리 설비의 대기영역에 주요 구성요소를 배치하는 기판 반출입 장치 및 기판 반출입 방법에 관한 것으로서, 본 발명의 일실시예에 따른 기판 반출입 장치는 기판의 반출/반입을 위한 개구부가 형성되고, 상하방향으로 마련되는 메인 베이스와; 상기 개구부의 전방에서 기판 수납용기를 전후진시키는 스테이지유닛과; 상기 개구부를 둘러싸도록 설치되고, 일단이 상기 메인 베이스의 전면에 설치되고, 타단이 상기 기판 수납용기에 밀착되며, 상기 기판 수납용기의 전후진에 대응하여 플렉서블하게 변형되어 기밀이 유지되는 이동 베이스유닛과; 상기 메인 베이스의 후면에 설치되어 상기 기판 수납용기의 도어를 개폐하고, 상기 메인 베이스에 밀착되도록 전후방으로 이동되는 도어유닛을 포함한다.

Description

기판 반출입 장치 및 기판 반출입 방법{APPARATUS FOR LOADING/UNLOADING SUBSTRAT AND METHOD FOR LOADING/UNLOADING SUBSTRAT}
본 발명은 기판 반출입 장치 및 기판 반출입 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판 수납용기인 풉(FOUP)의 도어 개방설비를 간소화하면서, 기판 처리 설비의 대기영역에 주요 구성요소를 배치하는 기판 반출입 장치 및 기판 반출입 방법에 관한 것이다.
기판 반출입 장치, 즉 핌스(FIMS) 로더는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼(Wafer) 또는 레티클(Reticle) 등과 같은 자재의 반송과 관련된 자동화 장비로서, 세계 반도체 협회의 하나인 SEMI(Semiconductor Equipment and Meterials Internationl)에서 권고하는 표준안 중 SMI(Standard Mechanical Interface) 시스템을 구성하는 장비에 포함된다.
FIMS 시스템의 구성 요소 중에서 밀폐형 웨이퍼 저장용기는 200mm 웨이퍼에 주로 사용되는 카세트가 분리형이고 하방 개방형인 파드와, 300mm 웨이퍼에 주로 사용되는 카세트 일체형이고 전방 개방형인 풉(FOUP;Front Open Unified Pod)이 있다.
통상 풉은 합성수지로 제작되며, 외부와의 실링은 고무재 등의 패킹에 의해 이루어진다. 따라서, 공정과 공정 간에 웨이퍼를 풉에 수납하는 경우 어느 정도 시간이 경과하면 외부의 산소나 오염 물질이 침투하여 웨이퍼 상에 자연 산화막이 형성되어 불량 웨이퍼 발생의 원인이 된다.
따라서, 종래에는 다음 공정으로 웨이퍼를 투입하기 전 풉의 일측에 형성된 가스 공급구로 불활성 가스를 주입하고 다른 일측에 형성된 가스 배기구로 산소 등의 오염 물질을 배출시키도록 하고 있다.
그러나, 이러한 풉으로의 불활성 가스 주입에 의한 국부 청정방법은 퍼징 타임이 길고 일부 오염 물질은 잘 배출되지 않는 문제점이 있으며, 풉의 규격마다 국부 청정방법이 달라 공정이 지연되는 문제점이 있었던 바, 최근에는 종래의 문제점을 감안하여 이중도어 구조를 갖는 핌스 로더가 제안된 바가 있다.
상기한 이중도어 구조를 갖는 핌스 로더는 수직형태의 베이스의 전면부에 풉을 적재할 수 있는 스테이지부를 형성하고 풉의 도어를 개폐시 외부와의 밀폐를 위하여 수직형태 베이스부의 후면부에 이중도어 구조의 풉 도어 개폐장치를 형성하여 상기한 종래의 문제점을 해결하고자 한 바가 있다. 여기서 베이스의 전면부는 기판 처리 설비의 대기영역을 의미하고, 베이스의 후면부는 기판 처리 설비의 처리영역을 의미한다.
그러나 종래의 이중도어 구조를 갖는 핌스 로더는 다음과 같은 문제점이 지적된다.
첫째, 수직상태의 베이스 전면부는 외부환경에 노출이 된 상태이며, 내부는 청결을 유지해야 하는 공간이다. 풉의 도어를 개폐시 효과적인 국부 청정 방법을 실행하고자 이중도어 구조를 갖는 핌스 로더를 제안하였지만 그에 따른 많은 기구의 집합체가 수직형태의 베이스 후면부에 형성되어 극한의 청결을 유지하여야 하는 공간에서 많은 오염물질이 발생되는 단점이 있다.
둘째, 이중도어 구조가 베이스의 후면부에 위치하여 유지/보수가 어려워 생산 수율이 높지 않다.
셋째, 부품 구성이 복잡하여 원가 상승의 요인이 된다.
넷째, 불활성 가스의 공급라인을 이중도어의 내부에 형성하여 이동 구조가 불가피하게 되므로 이중도어의 구조를 과다하게 구성하게 된다.
다섯째, 향후에는 200mm, 300mm 반도체 웨이퍼를 생산하는 공정보다는 450mm 반도체 웨이퍼를 생산하는 공정으로 바뀌는 실태에서 이중도어 상태의 풉 도어 개폐 구조는 그 안전성에 문제가 있다 할 수 있다.
따라서, 이러한 종래 핌스 로더의 문제점을 극복하고 보다 효과적인 국부 청정방법을 제공하고 웨이퍼 반송 효율을 높여 궁극적으로 반도체 수율 향상에 기여할 수 있는 핌스 로더에 대한 요구가 높아지고 있는 실정이다.
본 발명의 실시형태는 풉의 도어를 개폐 시 더욱 안정적이고, 동작을 간소화시킨 기판 반출입 장치를 제공한다.
그리고, 설비의 주요 구성요소를 외부환경에 노출되는 메인 베이스의 전면부에 배치하여 공정 중 오염물 발생에 따른 설비의 오염을 방지하고, 유지 및 보수를 용이하게 실시할 수 있는 기판 반출입 장치 및 기판 반출입 방법을 제공한다.
본 발명의 일실시예에 따른 기판 반출입 장치는 기판의 반출/반입을 위한 개구부가 형성되고, 상하방향으로 마련되는 메인 베이스와; 상기 개구부의 전방에서 기판 수납용기를 전후진시키는 스테이지유닛과; 상기 개구부를 둘러싸도록 설치되고, 일단이 상기 메인 베이스의 전면에 설치되고, 타단이 상기 기판 수납용기에 밀착되며, 상기 기판 수납용기의 전후진에 대응하여 플렉서블하게 변형되어 기밀이 유지되는 이동 베이스유닛과; 상기 메인 베이스의 후면에 설치되어 상기 기판 수납용기의 도어를 개폐하고, 상기 메인 베이스에 밀착되도록 전후방으로 이동되는 도어유닛을 포함한다.
상기 메인 베이스에는 상기 개구부를 둘러싸고, 전면으로 상기 이동 베이스유닛의 일단이 설치되고, 후면으로 상기 도어유닛이 밀착되어 기밀성이 유지되는 서브 베이스가 구비되는 것을 특징으로 한다.
상기 서브 베이스에는 상기 기판 수납용기, 이동 베이스유닛 및 도어유닛에 의해 형성된 국부공간으로 불활성 가스를 주입 및 배기시키는 주입라인 및 배기라인이 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 스테이지유닛은 상기 메인 베이스의 개구부 하측에서 전방으로 돌출되도록 설치되는 프레임과; 상기 프레임 상면에서 상기 기판 수납용기를 적재한 상태로 전방 및 후방으로 슬라이딩 되는 슬라이드 베이스와; 상기 슬라이드 베이스를 슬라이딩시키는 슬라이딩 구동수단을 포함한다.
상기 프레임에는 LM가이드가 설치되고, 상기 LM가이드에서 슬라이딩 되는 LM블록 상에 상기 슬라이드 베이스가 설치되는 것을 특징으로 한다.
상기 슬라이딩 구동수단은 일직선상에 구비되는 두 개의 슬라이딩 실린더를 포함하여 각각의 슬라이딩 실린더 구동에 의해 상기 슬라이드 베이스를 2단계로 슬라이딩시키는 것을 특징으로 한다.
상기 이동 베이스유닛은 일단이 상기 메인 베이스의 전면에 설치되어 플렉서블하게 휘어지는 플렉서블 실링재와; 상기 플렉서블 실링재의 타단에 형성되어 상기 기판 수납용기의 전단부가 밀착 또는 분리되는 클램프 패드부와; 상기 클램프 패드부에 구비되어 상기 기판 수납용기의 전단부가 밀착되는 밀착 실링재를 포함한다.
상기 이동 베이스유닛에 구비되어 상기 기판 수납용기가 상기 이동 베이스유닛의 타단에 밀착시키는 클램프유닛을 포함한다.
상기 클램프유닛은 상기 개구부의 양측으로 설치되도록 상기 이동 베이스유닛의 타단에 입설되는 적어도 한 쌍의 마운트 블록과; 상기 마운트 블록의 단부에 고정되어 상기 개구부의 양측으로 설치되는 한 쌍의 마운트 베이스와; 상기 각각의 마운트 베이스 상에 설치되는 적어도 하나의 클램프 실린더와; 상기 마운트 블록에 설치되고, 상기 클램프 실린더의 로드 작동에 연동하여 회동됨에 따라 상기 기판 수납용기의 전단부를 상기 이동 베이스유닛에 클램핑시키는 클램프 블록을 포함한다.
상기 클램프유닛은 상기 마운트 베이스를 관통하여 상기 이동 베이스유닛 타단에 설치되는 스토퍼 샤프트가 설치되고, 상기 클램프 실린더의 로드 단부에는 상기 스토퍼 샤프트의 단부에 단속되는 스토퍼 패드가 형성되어, 상기 클램프 실린더가 후진 작동된 언클램핑 상태에서는 상기 스토퍼 패드가 상기 스토퍼 샤프트의 단부에 단속되어 상기 이동 베이스유닛의 이동이 제한되는 것을 특징으로 한다.
상기 클램프유닛은 상기 이동 베이스유닛의 전후방 이동을 가이드 하도록 상기 마운트 베이스를 관통하여 상기 메인 베이스에 설치되고, 단부에는 상기 마운트 베이스의 이탈을 방지하는 스토퍼 캡이 구비되어 상기 이동 베이스유닛의 최대 이동 구간을 제한하는 마운트 로드를 포함한다.
상기 도어유닛은 전면으로 상기 기판 수납용기의 도어를 개폐하기 위한 적어도 하나 이상의 래치 키 및 진공흡착 패드가 구비되고, 전면의 가장자리로 상기 메인 베이스에 밀착되는 베이스 밀착 패드부가 형성되는 이동 도어와; 상기 이동 도어가 전후방으로 이동되도록 설치되는 도어 베이스와; 상기 이동 도어를 상기 도어 베이스에서 전후방으로 이동시키는 전후 이동수단과; 상기 도어 베이스를 좌우방향으로 이동시키는 좌우 이동수단을 포함한다.
상기 전후 이동수단은 상기 도어 베이스에 설치되고 로드가 상기 이동 도어에 고정되는 전후구동 실린더와; 상기 이동 도어의 전후방 이동을 가이드 하도록 상기 이동 도어의 후면을 관통하도록 상기 도어 베이스에 설치되는 도어 로드를 포함한다.
상기 좌우 이동수단은 상기 메인 베이스의 후면에서 좌우 방향으로 설치되는 한 쌍의 가이드 샤프트와; 상기 가이드 샤프트 상에 슬라이딩 되고, 상기 도어 베이스에 고정되는 좌우 볼부시와; 상기 도어 베이스를 좌우 방향으로 구동시키는 좌우구동 실린더를 포함한다.
그리고, 본 발명의 일실시예에 따른 기판 반출입 방법은 전방 개방형의 기판 수납용기에 수용된 기판을 기판 처리 설비의 처리영역과 대기영역을 연결하는 개구부로 반입 및 반출시키는 방법으로서, 기판 수납용기의 전단부로 상기 개구부를 밀폐시키고, 상기 기판 수납용기의 도어를 취부한 상태에서 상기 기판 수납용기를 상기 개구부의 반대방향으로 이동시켜 상기 기판 수납용기로부터 도어를 분리한 다음, 상기 도어를 상기 개구부의 직후방에서 이탈시켜 상기 기판 수납용기의 내부와 기판 처리 설비의 처리영역이 연통되도록 한 다음, 상기 기판 수납용기와 기판 처리 설비의 처리영역 사이에 기판의 반입 및 반출이 이루어지도록 하는 것을 특징으로 한다.
상기 기판 수납용기로부터 기판을 기판 처리 설비의 처리영역으로 반입시키는 공정은, 상기 개구부를 기판 처리 설비의 처리영역에서 이동 도어 수단으로 밀폐시키는 단계와; 기판 수납용기를 상기 개구부 전방에 위치시키는 단계와; 기판 수납용기의 전단부가 개구부를 둘러싸는 이동 베이스 수단에 밀착되도록 기판 수납용기를 전진시켜서 기밀을 유지시키는 단계와; 기판 수납용기를 더 전진시키고, 기판 수납용기의 도어를 이동 도어 수단으로 취부하는 단계와; 기판 수납용기를 후진시켜 도어를 기판 수납용기에서 분리시키는 단계와; 도어를 취부한 이동 도어 수단을 이동시켜 기판 수납용기의 전방을 개방시키는 단계와; 전방이 개방된 기판 수납용기에서 기판 처리 설비의 처리영역으로 기판을 반입시키는 단계를 포함한다.
기판 수납용기를 전진시켜서 기밀을 유지시키는 단계에서, 상기 기판 수납용기의 전단부를 이동 베이스 수단에 밀착시킨 다음 클램프 수단으로 고정시키는 공정을 포함한다.
상기 도어를 기판 수납용기에서 분리시키는 단계 이후에는, 상기 기판 수납용기, 상기 이동 베이스 수단 및 이동 도어 수단에 의해 국부공간으로 불활성 가스를 주입 및 배기시키는 단계를 포함한다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 극한의 청결을 유지해야 하는 처리영역인 메인 베이스의 후면부에 위치하는 구성요소를 간소화시킴에 따라 처리영역에서 수행되는 유지 및 보수 작업을 간소화 및 생략시켜 유지 및 보수가 용이하고, 설비의 작동에 따른 파티클 발생을 감소시켜 청결 공간인 핌스 장치의 내부의 오염을 방지할 수 있다.
또한, 풉의 도어 개폐에 사용되는 설비 및 공정을 간소화하여 웨이퍼의 처리 수율을 향상시켜 생산성을 향상시키고, 생산 원가를 절감할 수 있다.
그리고, 풉의 도어 개폐 방식을 도어의 분해(OPEN) 방식에서 스테이지 분해 방식으로 전환함에 따라 도어의 개방에 따른 공정을 단순화시킬 수 있고, 향후 생산될 450mm 이상의 대형 기판 생산에 적용할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 핌스 로더를 보여주는 전면 사시도이다.
도 2a 및 도 2b는 본 발명의 일실시예에 따른 핌스 로더를 보여주는 후면 사시도이다.
도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 일실시예에 따른 스테이지유닛을 보여주는 상세도이다.
도 4a 내지 도 4c는 본 발명의 일실시예에 따른 이동 베이스유닛을 보여주는 상세도이다.
도 5a 내지 도 5c는 본 발명의 일실시예에 따른 도어 유닛을 보여주는 상세도이다.
도 6a 내지 도 6e는 본 발명의 일실시예에 따른 핌스 로더의 작동 과정을 보여주는 상세도 및 단면도이다.
도 7a 및 도 7b는 본 발명의 일실시예에 따른 핌스 로더에 웨이퍼 수납용기가 장착된 것을 보여주는 사시도이다.
도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 핌스 로더가 구비되는 기판 열처리 설비를 보여주는 사시도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 더욱 상세히 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다
본 발명에서는 기판 수납용기로 300mm 웨이퍼를 수납하는데 주로 사용되는 풉(FOUP)을 예로하여 설명하도록 한다. 하지만 본 발명에 따른 핌스 로더에 적용되는 기판 수납용기는 풉에 한정되지 않고, 전방 개방형으로 형성되는 다양한 종류의 기판 수납용기가 적용될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 핌스 로더를 보여주는 전면 사시도이고, 도 2a 및 도 2b는 본 발명의 일실시예에 따른 핌스 로더를 보여주는 후면 사시도이며, 도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 핌스 로더가 구비되는 기판 열처리 설비를 보여주는 사시도이다.
도 1, 도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이 본 발명의 일실시예에 따른 핌스 로더(1000)는 기판의 반출/반입을 위한 개구부(101)가 형성된 수직형의 메인 베이스(100)와; 상기 개구부(101)의 하측에 위치되도록 상기 메인 베이스(100)의 전면에 설치되고, 풉(10)을 적재하여 전후방으로 이동시키는 스테이지유닛(200)과; 상기 개구부(101)를 둘러싸도록 설치되고, 일단이 상기 메인 베이스(100)의 전면에 설치되고, 타단이 상기 풉(10)의 전단부에 밀착되어 상기 개구부(101)를 밀폐시키며, 상기 풉(10)의 이동에 대응하여 플렉서블하게 변형되는 이동 베이스유닛(300)과; 상기 이동 베이스유닛(300)에 구비되어 상기 풉(10)이 상기 이동 베이스유닛(300)의 타단에 밀착되도록 상기 풉(10)을 상기 이동 베이스유닛(300)에 탈착시키는 클램프유닛(400)과; 상기 메인 베이스(100)의 후면에 설치되어 상기 풉(10)의 도어(11)를 개폐하고, 상기 메인 베이스(100)에 밀착되도록 전후방향 및 좌우방향으로 이동되는 도어유닛(500)을 포함한다.
먼저 도 8을 참조하여 본 발명의 일실시예에 따른 핌스 로더()가 구비되는 기판 열처리 설비(20)에 대하여 설명한다.
기판 열처리 설비는 메인 베이스에 의해 기판이 대기되는 공간인 대기영역과 기판이 처리되는 공간인 처리영역으로 구분된다. 예를 들어 대기영역은 기판이 외부에 노출되지 않고 기판 수납용기인 풉에 의해 보관 및 이송되는 공간을 통칭하여 의미하고, 처리영역은 기판이 풉에서 빠져나와 기판 단위로 이송 및 처리되는 공간을 통칭한다. 예를 들어 대기영역은 풉의 보관 및 이송이 이루어지는 공간이고, 처리영역은 기판의 열처리가 이루어지는 공간이다.
그리고, 본 발명의 명확한 설명을 위하여 도 1에서 X축의 (+)방향을 전방향, (-)방향을 후방향, Y축의 (+)방향을 우측방향, (-)방향을 좌측방향, Z축의 (+)방향을 상방향, (-)방향을 하방향으로 정의하도록 한다.
메인 베이스(100)는 기판 열처리 설비(20)에서 기판이 수용된 풉(10)을 대기시키는 공간인 대기영역(21)과 풉(10)으로부터 기판을 인계받아 기판을 처리하는 공간인 처리영역(23)을 구분하는 격벽으로서, 상기 메인 베이스(100)은 기판 열처리 설비(20)의 대기영역(21)과 처리영역(23) 사이에서 상하방향으로 소정면적을 갖도록 구비되는 플레이트이다. 상기 메인 베이스(100)에는 풉(10)과 상기 도어유닛(500)의 결합 통로인 개구부(101)가 형성된다.
그리고, 상기 메인 베이스(100)에는 상기 개구부(101)를 둘러싸면서, 전면으로 상기 이동 베이스유닛(300)의 일단이 설치되고, 후면으로 상기 도어유닛(500)이 밀착되어 기밀성이 유지되는 서브 베이스(110)가 구비된다. 따라서 상기 서브 베이스(110)는 상기 개구부(101)의 형상에 대응한 링 형상을 갖는다. 예를 들어 사각의 링 형상을 가질 수 있다.
상기 서브 베이스(110)는 후면에 상기 도어유닛(500)이 밀착되도록 도어 밀착 패드부(111)가 형성되고, 상기 도어 밀착 패드부(111)에는 도어 밀착 실링재(미도시)가 형성 및 도포되는 것이 바람직하다.
그리고, 상기 서브 베이스(110)에는 풉(10), 상기 이동 베이스유닛(300) 및 상기 도어유닛(500)에 의해 형성된 국부공간으로 불활성 가스를 주입 및 배기시키는 주입라인(미도시) 및 배기라인(미도시)이 형성된다. 상기 서브 베이스(110)는 상기 메인 베이스(100)에 고정설치되는 구성요소로서 상기 주입라인 및 배기라인은 상기 서브 베이스(110)의 내주면으로 개구되도록 고정되어 형성 및 설치되는 것이 바람직하다. 이때 상기 주입라인 및 배기라인은 불활성 가스를 상기 국부공간으로 주입 및 배기시킬 수 있다면 사이 서브 베이스(110)의 어느 위치라도 형성 및 설치가 가능할 것이다.
도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 일실시예에 따른 스테이지유닛을 보여주는 상세도로서, 스테이지유닛(200)은 풉(10)을 적재(안착)한 상태로 상기 메인 베이스(100)의 전면부에서 전후방으로 이동시키는 수단이다.
도 3a 내지 도 3c에 도시된 바와 같이 상기 스테이지유닛(200)은 상기 메인 베이스(100)의 개구부 하측에서 전방 수평방향으로 돌출되도록 설치되는 프레임(210)과; 상기 프레임(210) 상면에서 상기 풉(10)을 적재한 상태로 전후방으로 슬라이딩 되는 슬라이드 베이스(220)와; 상기 슬라이드 베이스(220)를 슬라이딩시키는 슬라이딩 구동수단(230)을 포함한다.
상기 프레임(210)은 예를 들어 대략 "ㄷ"자로 형성되어 양측부가 상기 메인 베이스(100)의 전방으로 향하도록 돌출되어 설치된다. 이때 상기 프레임(210)의 양측부의 돌출영역에는 LM가이드(211)가 상기 프레임(210)의 돌출방향과 대응하는 길이방향으로 설치되고, 상기 LM가이드(211)에는 LM가이드(211)를 따라 슬라이딩 되는 LM블록(213)이 구비된다. 물론, 상기 LM가이드(211) 및 LM블록(213)의 구성은 제시된 실시예에 한정되지 않고, 봉 형상의 샤프트와 샤프트를 따라 슬라이딩 되는 볼부시와 같은 구성요소로 변경될 수 있다.
상기 슬라이드 베이스(220)는 풉(10)이 안착되는 수단으로서, 풉(10)이 안착된 다음 고정되도록 상기 슬라이드 베이스(220)의 상면에는 다수개의 가이드 핀(221)이 구비되는 것이 바람직하다. 그리고, 상기 슬라이드 베이스(220)는 풉(10)을 전후방으로 바람직하게 이동시키기 위하여 상기 LM블록(213)에 고정된다.
상기 슬라이딩 구동수단(230)은 상기 슬라이드 베이스(220)를 구동시키는 수단으로서, 상기 슬라이딩 구동수단(230)은 일직선상에 구비되는 두 개의 슬라이딩 실린더(231,232)를 포함한다. 그래서, 두 개의 슬라이딩 실린더(231,232)가 각각 구동됨에 따라 상기 슬라이드 베이스(220)가 2단계(two step)로 슬라이딩 된다. 상세하게는 제 2 슬라이딩 실린더(232)의 작동에 의해 풉(10)을 이동 베이스유닛(300)에 밀착되고, 제 1 슬라이딩 실린더(231)의 작동에 의해 풉(10)의 도어(11)를 개폐하기 위한 풉(10)의 이동이 이루어지는 것이 바람직하다. 물론 상기 슬라이딩 실린더는 제시된 실시예에 한정되지 않고, 제 1 슬라이딩 실린더(231) 및 제 2 슬라이딩 실린더(232)의 역할이 반대가 될 수도 있고, 슬라이딩 실린더를 하나만 구비되어 하나의 슬라이딩 실린더의 동작량을 제어하여 슬라이드 베이스(220)를 2단계로 슬라이딩시킬 수 있다.
도 4a 내지 도 4c는 본 발명의 일실시예에 따른 이동 베이스유닛을 보여주는 상세도로서, 이동 베이스유닛(300)은 풉(10)의 전단부가 밀착된 상태에서 풉(10)의 전후방향 이동에 대응하여 풉(10)과 메인 베이스(100) 사이의 기밀성을 유지하기 위한 수단이다. 여기서 풉(10)의 전단부라 함은 풉(10)의 도어(11)가 구비되는 방향의 단부를 의미한다.
도 4a 내지 도 4c에 도시된 바와 같이 상기 이동 베이스유닛(300)은 일단이 상기 메인 베이스(100)의 전면에 설치되어 플렉서블하게 휘어지는 플렉서블 실링재(310)와; 상기 플렉서블 실링재(310)의 타단에 형성되어 풉(10)의 전단부가 밀착 또는 분리되는 클램프 패드부(320)와; 상기 클램프 패드부(320)에 구비되어 풉(10)의 전단부가 밀착되는 풉 밀착 실링재(330)를 포함한다.
상기 플렉서블 실링재(310)는 풉(10)과 상기 메인 베이스(100) 사이에서 기밀을 유지하면서 풉(10)의 전후방 이동에 대응하여 형상이 자유롭게 변형될 수 있다면 어떠한 재질의 실링재료가 사용되어도 무방하다. 예를 들어 본 실시예에서는 대략 사각의 띠 형상으로 형성되는 고무재료로 일단이 상기 메인 베이스(100)에 고정되고, 타단은 내부 방향으로 굴곡되도록 휘어져서 상기 클램프 패드부(320)가 형성된다.
상기 클램프 패드부(320)는 풉(10)의 전단부가 밀착되는 프레임으로서, 풉(10)의 전단부 형상에 대응하는 형상으로 형성된다. 그래서 상기 클램프 패드부(320)가 풉(10)의 이동에 따라 이동될 때 상기 플렉서블 실링재(310)는 클램프 패드부(320)의 이동에 대응하여 변형된다.
상기 풉 밀착 실링재(330)는 상기 클램프 패드부(320) 중 풉(10)의 전단부가 밀착되는 영역에 형성되어 클램프 패드부(320)와 풉(10) 전단부 사이의 기밀을 유지하는 수단이다. 상기 풉 밀착 실링재(330)는 기밀을 유지할 수 있는 어떠한 재질의 실링재료가 사용되어도 무방하다.
그리고, 상기 이동 베이스유닛(300)에는 상기 클램프 패드부(320)에 풉(10)의 전단부를 밀착시켜 고정시키기 위한 클램프유닛(400)이 구비된다.
상기 클램프유닛(400)은 상기 개구부(101)의 양측으로 설치되도록 상기 이동 베이스유닛(300)의 타단에 구비되는 적어도 한 쌍의 마운트 블록(410)과; 상기 마운트 블록(410)의 단부에 고정되어 상기 개구부(101)의 양측으로 설치되는 한 쌍의 마운트 베이스(420)와; 상기 각각의 마운트 베이스(420) 상에 설치되는 적어도 하나의 클램프 실린더(430)와; 상기 마운트 블록(410)에 설치되고, 상기 클램프 실린더(430)의 로드 작동에 연동하여 회동됨에 따라 상기 풉(10)의 전단부를 상기 이동 베이스유닛(300)에 클램핑 시키는 클램프 블록(440)을 포함한다.
상기 마운트 블록(410)은 상기 마운트 베이스(420)를 고정시키기 위한 수단으로서, 상기 마운트 베이스(420)를 상기 이동 베이스유닛(300)의 클램프 패드부(320)에 견고하게 고정시킬 수 있다면 그 설치 개수는 특정 개수에 한정되지 않는다. 본 실시예에서는 클램프 패드부(320)의 양측에 각 2개씩 총 4개를 구성하였고, 양측에 구성된 2개의 마운트 블록(410)이 하나의 마운트 베이스(420)를 지지하도록 구성하였다.
상기 마운트 베이스(420)는 클램프 패드부(320)의 양측에 각 1개씩 한 쌍이 구성되고, 풉(10)의 전면부와 수평을 이루는 평면으로 구성되는 것이 바람직하다.
상기 클램프 실린더(430)는 상기 마운트 베이스(420)에 좌우방향 수평으로 설치되고, 클램프 실린더(430)의 로드가 내부 방향을 향하도록 설치되어 클램프 패드부(320)에 양측으로 설치되는 클램프 실린더(430)의 로드가 서로 대면되는 방향으로 작동된다.
그리고, 각 클램프 실린더(430)의 전방, 즉 상기 클램프 실린더(430)의 로드가 전진되는 영역에 상기 클램프 블록(440)이 회동 가능하도록 설치된다.
상기 클램프 블록(440)은 대략 "ㄱ"자 형상으로 형성되어 일단이 상기 마운트 블록(410)에 구비되는 핀으로 고정되어 클램프 블록(440) 회동의 중심이 되고, 타단이 상기 클램프 실린더(430)의 로드의 이동영역에 위치됨에 따라 도 4b에 도시된 바와 같이 상기 클램프 실린더(430)가 작동되면 상기 클램프 실린더(430)의 로드가 상기 클램프 블록(440)의 타단을 밀고, 이에 따라 상기 클램프 블록(440)이 회동되면서 상기 클램프 블록(440)의 일측부가 풉(10)의 전단부를 밀어 상기 클램프 패드부(320)에 밀착되는 것이다.
이때 상기 마운트 베이스(420)를 관통하여 상기 클램프 패드부(320)에 설치되는 스토퍼 샤프트(450)가 설치되고, 상기 클램프 실린더(430)의 로드 단부에는 상기 스토퍼 샤프트(450)의 단부에 단속되는 스토퍼 패드(431)가 형성되어, 도 4a에 도시된 바와 같이 상기 클램프 실린더(430)가 후진 작동된 언클램핑 상태에서는 상기 스토퍼 패드(431)가 상기 스토퍼 샤프트(450)의 단부에 단속되어 상기 클램프 패드부(320)의 이동이 제한할 수 있다. 그리고, 클램프 실린더(430)가 전진 작동되는 클램핑 상태에서는 도 4b에 도시된 바와 같이 상기 스토퍼 패드(431)가 상기 스토퍼 샤프트(450)의 단부에 단속되는 것이 해제되어 상기 클램프 패드부(320)의 이동이 자유로워진다.
또한, 상기 클램프 패드부(320)의 전후방 이동을 가이드 하도록 상기 마운트 베이스(420)를 관통하여 상기 메인 베이스(100)에 설치되고, 단부에는 상기 마운트 베이스(420)의 이탈을 방지하는 스토퍼 캡(461)이 형성되는 마운트 로드(460)가 구비된다. 그래서, 도 4a에 도시된 바와 같이 상기 스토퍼 캡(461)이 상기 마운트 베이스(420)를 단속하여 상기 클램프 패드부(320)의 최대 이동 구간을 제한할 수 있다.
하지만, 클램프유닛(400)의 구성은 제시된 실시예에 한정되지 않고, 풉(10)의 전단부를 클램프 패드부(320)에 밀착 또는 분리시킬 수 있는 다양한 방식으로 변경되어 구현될 수 있다.
도 5a 내지 도 5c는 본 발명의 일실시예에 따른 도어 유닛을 보여주는 상세도로서, 도어유닛(500)은 상기 메인 베이스(100)의 후면부에 구성되어 풉(10)의 도어(11)를 취부하여 개폐시키고 이동시키는 수단이다.
도 5a 내지 도 5c에 도시된 바와 같이 상기 도어유닛(500)은 풉(10)의 도어(11)를 취부하여 개폐하는 이동 도어(510)와; 상기 이동 도어(510)가 전후방으로 이동되도록 설치되는 도어 베이스(520)와; 상기 이동 도어(510)를 상기 도어 베이스(520)에서 전후방으로 이동시키는 전후 이동수단(530)과; 상기 도어 베이스(520)를 좌우방향으로 이동시키는 좌우 이동수단(540)을 포함한다.
상기 이동 도어(510)는 풉(10)의 도어(11) 오픈시 메인 베이스(100)의 처리영역(23)과 대기영역(21)을 격리시킬 수 있도록 메인 베이스(100)에 기밀하게 밀착되는 동시에 풉(10)의 도어(11)를 취부하는 수단으로서, 전면으로 상기 풉(10)의 도어(11)를 개폐하고 취부하기 위한 적어도 하나 이상의 래치 키(511) 및 진공흡착 패드(513)가 구비된다. 그리고, 상기 이동 도어(510)의 전면 가장자리에는 상기 메인 베이스(100)에 밀착되는 베이스 밀착 패드부(515)가 형성되는 것이 바람직하다.
상기 도어 베이스(520)는 상기 이동 도어(510)가 설치되는 수단이면서, 상기 이동 도어(510)와 일체로 좌우방향 이동되는 수단이다.
상기 전후 이동수단(530)은 풉(10)의 도어(11) 개폐를 위하여 상기 이동 도어(510)를 상기 도어 베이스(520)에서 전후방 방향으로 이동시키는 수단으로서, 상기 도어 베이스(520)에 설치되고 로드가 상기 이동 도어(510)에 고정되는 전후구동 실린더(531)와; 상기 이동 도어(510)의 전후방 이동을 가이드 하도록 상기 이동 도어(510)의 후면을 관통하도록 상기 도어 베이스(520)에 설치되는 도어 로드(521)를 포함한다. 그래서 상기 전후구동 실린더(531)의 작동에 의해 이동 도어(510)가 전후방향으로 이동되고, 상기 도어 로드(521)에 의해 이동 도어(510)의 이동이 바람직하게 가이드 된다. 이때 상기 이동 도어(510)와 상기 도어 로드(521)가 결합되는 부분에는 도어 로드(521)가 원활하게 슬라이딩 되도록 볼부시가 구비될 수 있다.
상기 좌우 이동수단(540)은 상기 이동 도어(510)가 풉(10)의 도어(11)를 취부한 상태에서 풉(10)의 개방을 위하여 풉(10)의 도어를 좌우방향으로 수평이동시키기 위하여 상기 도어 베이스(520)를 이동시키는 수단으로서, 상기 메인 베이스(100)의 후면에서 좌우방향 수평으로 설치되는 한 쌍의 가이드 샤프트(541)와; 상기 가이드 샤프트(541) 상에 슬라이딩 되고, 상기 도어 베이스(520)에 고정되는 전후 볼부시(535)와; 상기 도어 베이스(520)를 좌우방향으로 구동시키는 좌우구동 실린더(545)를 포함한다.
이때 상기 좌우구동 실린더(545)의 로드는 상기 도어 베이스(520)에 고정된다. 그래서 상기 좌우구동 실린더(545)의 구동에 의해 상기 도어 베이스(520)가 좌우방향으로 이동된다. 바람직하게는 좌우 볼부시(543)가 가이드 샤프트(541) 상에서 슬라이딩 되면서 상기 도어 베이스(520)가 가이드 되는 것이다.
그리고, 상기 좌우구동 실린더(545)의 구동에 필요한 각종 라인이 내장되는 케이블베이어(547)가 구비되어 각종 라인에 의해 기판 열처리 설비(20)의 처리영역에서 발생될 수 있는 파티클의 발생에 따른 오염을 방지하는 것이 바람직하다.
상기와 같이 구성되는 본 발명의 일실시예에 따른 핌스 로더(1000)의 작동방법, 즉 기판을 기판 열처리 설비(20)로 반입하는 방법에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.
도 6a 내지 도 6e는 본 발명의 일실시예에 따른 핌스 로더의 작동 과정을 보여주는 상세도 및 단면도이고, 도 7a 및 도 7b는 본 발명의 일실시예에 따른 핌스 로더에 웨이퍼 수납용기, 예를 들어 풉이 장착된 것을 보여주는 사시도이다.
도 6a 내지 도 6e에 도시된 바와 같이 본 발명의 일실시예에 따른 핌스 로더(1000)를 이용한 기판 반입 방법은 다음과 같다.
먼저, 메인 베이스(100)에 형성된 개구부(101)를 이동 도어(510)로 밀폐시켜서 기판 열처리 설비(20)의 처리영역(23)과 대기영역(21)을 격리시킨다. 정확하게는 이동 도어(510)를 메인 베이스(100) 방향으로 이동시켜 메인 베이스(100)에 구비되는 서브 베이스(110)의 후면에 이동 도어(510)를 밀착시킨다.
그리고, 도 6a에 도시된 바와 같이 풉(10)을 스테이지유닛(200)의 슬라이드 베이스(220)에 안착시킨다. 이때 슬라이드 베이스(220)의 상면에 구비된 가이드 핀(221)에 의해 풉(10)이 슬라이드 베이스(220) 상면에 올바르게 안착된 다음 그 위치가 고정된다.
그런 다음, 도 6b에 도시된 바와 같이 제 2 슬라이딩 실린더(232)를 작동시켜 풉(10)의 전단부가 이동 베이스유닛(300)의 클램프 패드부(320)에 밀착되도록 한다. 그리고, 도 7a에 도시된 바와 같이 클램프유닛(400)을 작동시켜 풉(10)의 전단부를 클램프 패드부(320)에 고정시켜 기밀이 유지되도록 한다. 이때 클램프 실린더(430)가 작동되면 상기 클램프 실린더(430)의 로드가 상기 클램프 블록(440)의 타단을 밀고, 이에 따라 상기 클램프 블록(440)이 회동되면서 상기 클램프 블록(440)의 일측부가 풉(10)의 전단부를 밀어 상기 클램프 패드부(320)에 밀착되는 것이다.
그리고, 도 6c에 도시된 바와 같이 제 1 슬라이딩 실린더(231)를 작동시켜 풉(10)의 전단부가 밀착된 클램프 패드부(320)가 전진되도록 하여 이동 도어(510)로 풉(10)의 도어(11)를 취부한다. 이때 이동 도어(510)에 구비되는 진공흡착 패드(513)를 작동시켜 풉(10)의 도어(11)를 이동 도어(510)에 흡착시킨 다음 래치 키(511)를 작동시켜 풉(10)에서 도어(11)를 잠금 해제시킨다.
그런 다음, 도 6d에 도시된 바와 같이 제 1 슬라이딩 실린더(231)를 역으로 작동시켜 풉(10)을 후진시킨다. 그러면 풉(10)의 도어(11)와 풉(10)이 분리된다. 이때 풉(10)과 이동 베이스유닛(300) 및 이동 도어(510)에 의해 국부공간이 형성된다. 그래서 국부공간으로 불활성 가스를 주입 및 배기시켜서 풉(10)의 내부를 청정한 상태가 되도록 한다.
그리고, 도 6e에 도시된 바와 같이 전후구동 실린더(531)를 작동시켜 이동 도어(510)를 후진시켜서 이동 도어(510)를 서브 베이스(110)의 후면에서 분리시킨다. 그리고, 도 7b에 도시된 바와 같이 좌우구동 실린더(545)를 작동시켜 이동 도어(510)가 설치된 도어 베이스(520)를 좌우방향 수평으로 이동시킨다. 그러면 도어 베이스(520)와 일체로 이동 도어(510)가 상기 개구부(101)의 직후방에서 좌우방향 수평으로 이동되면서 풉(10)의 전방이 오픈되는 것이다. 이렇게 풉(10)의 전방이 오픈 되었다면 제 1 슬라이딩 실린더(231)를 작동시켜서 풉(10)을 전진시킴에 따라 풉(10)에 수용된 기판을 용이하게 반입시킬 수 있는 위치에 배치시키고, 기판을 로봇 암 등에 의해서 기판 열처리 설비(20)의 처리영역(23)으로 반입시킨다.
본 발명을 첨부 도면과 전술된 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였으나, 본 발명은 그에 한정되지 않으며, 후술되는 특허청구범위에 의해 한정된다. 따라서, 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 후술되는 특허청구범위의 기술적 사상에서 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 변형 및 수정할 수 있다.
10: 풉(FOUP) 20: 핌스(FIMS) 설비
1000: 핌스 로더 100: 메인 베이스
110: 서브 베이스 200: 스테이지유닛
210: 프레임 230: 슬라이드 베이스
230: 슬라이딩 구동수단 300: 이동 베이스유닛
310: 플렉서블 실링재 320: 클램프 패드부
330: 풉 밀착 실링재 400: 클램프유닛
410: 마운트 블록 420: 마운트 베이스
430: 클램프 실린더 440: 클램프 블록
450: 스토퍼 샤프트 460: 마운트 로드
500: 도어유닛 510: 이동 도어
520: 도어 베이스 530: 전후 이동수단
540: 좌우 이동수단

Claims (18)

  1. 기판의 반출/반입을 위한 개구부가 형성되고, 상하방향으로 마련되는 메인 베이스와;
    상기 개구부의 전방에서 기판 수납용기를 전후진시키는 스테이지유닛과;
    상기 개구부를 둘러싸도록 설치되고, 일단이 상기 메인 베이스의 전면에 설치되고, 타단이 상기 기판 수납용기에 밀착되며, 상기 기판 수납용기의 전후진에 대응하여 플렉서블하게 변형되어 기밀이 유지되는 이동 베이스유닛과;
    상기 메인 베이스의 후면에 설치되어 상기 기판 수납용기의 도어를 개폐하고, 상기 메인 베이스에 밀착되도록 전후방으로 이동되는 도어유닛을 포함하고,
    상기 메인 베이스에는 상기 개구부를 둘러싸고, 전면으로 상기 이동 베이스유닛의 일단이 설치되고, 후면으로 상기 도어유닛이 밀착되어 기밀성이 유지되는 서브 베이스가 구비되는 기판 반출입 장치.
  2. 삭제
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 서브 베이스에는 상기 기판 수납용기, 이동 베이스유닛 및 도어유닛에 의해 형성된 국부공간으로 불활성 가스를 주입 및 배기시키는 주입라인 및 배기라인이 형성되는 기판 반출입 장치.
  4. 청구항 1에 있어서, 상기 스테이지유닛은
    상기 메인 베이스의 개구부 하측에서 전방으로 돌출되도록 설치되는 프레임과;
    상기 프레임 상면에서 상기 기판 수납용기를 적재한 상태로 전방 및 후방으로 슬라이딩 되는 슬라이드 베이스와;
    상기 슬라이드 베이스를 슬라이딩시키는 슬라이딩 구동수단을 포함하는 기판 반출입 장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 프레임에는 LM가이드가 설치되고, 상기 LM가이드에서 슬라이딩 되는 LM블록 상에 상기 슬라이드 베이스가 설치되는 기판 반출입 장치.
  6. 청구항 4에 있어서,
    상기 슬라이딩 구동수단은 일직선상에 구비되는 두 개의 슬라이딩 실린더를 포함하여 각각의 슬라이딩 실린더 구동에 의해 상기 슬라이드 베이스를 2단계로 슬라이딩시키는 기판 반출입 장치.
  7. 청구항 1에 있어서, 상기 이동 베이스유닛은
    일단이 상기 메인 베이스의 전면에 설치되어 플렉서블하게 휘어지는 플렉서블 실링재와;
    상기 플렉서블 실링재의 타단에 형성되어 상기 기판 수납용기의 전단부가 밀착 또는 분리되는 클램프 패드부와;
    상기 클램프 패드부에 구비되어 상기 기판 수납용기의 전단부가 밀착되는 밀착 실링재를 포함하는 기판 반출입 장치.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 이동 베이스유닛에 구비되어 상기 기판 수납용기가 상기 이동 베이스유닛의 타단에 밀착시키는 클램프유닛을 포함하는 기판 반출입 장치.
  9. 청구항 8에 있어서, 상기 클램프유닛은
    상기 개구부의 양측으로 설치되도록 상기 이동 베이스유닛의 타단에 입설되는 적어도 한 쌍의 마운트 블록과;
    상기 마운트 블록의 단부에 고정되어 상기 개구부의 양측으로 설치되는 한 쌍의 마운트 베이스와;
    상기 각각의 마운트 베이스 상에 설치되는 적어도 하나의 클램프 실린더와;
    상기 마운트 블록에 설치되고, 상기 클램프 실린더의 로드 작동에 연동하여 회동됨에 따라 상기 기판 수납용기의 전단부를 상기 이동 베이스유닛에 클램핑시키는 클램프 블록을 포함하는 기판 반출입 장치.
  10. 청구항 9에 있어서, 상기 클램프유닛은
    상기 마운트 베이스를 관통하여 상기 이동 베이스유닛 타단에 설치되는 스토퍼 샤프트가 설치되고, 상기 클램프 실린더의 로드 단부에는 상기 스토퍼 샤프트의 단부에 단속되는 스토퍼 패드가 형성되어,
    상기 클램프 실린더가 후진 작동된 언클램핑 상태에서는 상기 스토퍼 패드가 상기 스토퍼 샤프트의 단부에 단속되어 상기 이동 베이스유닛의 이동이 제한되는 기판 반출입 장치.
  11. 청구항 9에 있어서, 상기 클램프유닛은
    상기 이동 베이스유닛의 전후방 이동을 가이드 하도록 상기 마운트 베이스를 관통하여 상기 메인 베이스에 설치되고, 단부에는 상기 마운트 베이스의 이탈을 방지하는 스토퍼 캡이 구비되어 상기 이동 베이스유닛의 최대 이동 구간을 제한하는 마운트 로드를 포함하는 기판 반출입 장치.
  12. 청구항 1에 있어서, 상기 도어유닛은
    전면으로 상기 기판 수납용기의 도어를 개폐하기 위한 적어도 하나 이상의 래치 키 및 진공흡착 패드가 구비되고, 전면의 가장자리로 상기 메인 베이스에 밀착되는 베이스 밀착 패드부가 형성되는 이동 도어와;
    상기 이동 도어가 전후방으로 이동되도록 설치되는 도어 베이스와;
    상기 이동 도어를 상기 도어 베이스에서 전후방으로 이동시키는 전후 이동수단과;
    상기 도어 베이스를 좌우방향으로 이동시키는 좌우 이동수단을 포함하는 기판 반출입 장치.
  13. 청구항 12에 있어서, 상기 전후 이동수단은
    상기 도어 베이스에 설치되고 로드가 상기 이동 도어에 고정되는 전후구동 실린더와;
    상기 이동 도어의 전후방 이동을 가이드 하도록 상기 이동 도어의 후면을 관통하도록 상기 도어 베이스에 설치되는 도어 로드를 포함하는 기판 반출입 장치.
  14. 청구항 12에 있어서, 상기 좌우 이동수단은
    상기 메인 베이스의 후면에서 좌우 방향으로 설치되는 한 쌍의 가이드 샤프트와;
    상기 가이드 샤프트 상에 슬라이딩 되고, 상기 도어 베이스에 고정되는 좌우 볼부시와;
    상기 도어 베이스를 좌우 방향으로 구동시키는 좌우구동 실린더를 포함하는 기판 반출입 장치.
  15. 삭제
  16. 전방 개방형의 기판 수납용기에 수용된 기판을 기판 처리 설비의 처리영역과 대기영역을 연결하는 개구부로 반입 및 반출시키는 방법으로서,
    상기 개구부를 기판 처리 설비의 처리영역에서 이동 도어 수단으로 밀폐시키는 단계와;
    기판 수납용기를 상기 개구부 전방에 위치시키는 단계와;
    기판 수납용기의 전단부가 개구부를 둘러싸는 이동 베이스 수단에 밀착되도록 기판 수납용기를 전진시켜서 기밀을 유지시키는 단계와;
    기판 수납용기를 더 전진시키고, 기판 수납용기의 도어를 이동 도어 수단으로 취부하는 단계와;
    기판 수납용기를 후진시켜 도어를 기판 수납용기에서 분리시키는 단계와;
    도어를 취부한 이동 도어 수단을 이동시켜 기판 수납용기의 전방을 개방시키는 단계와;
    전방이 개방된 기판 수납용기에서 기판 처리 설비의 처리영역으로 기판을 반입시키는 단계를 포함하는 기판 반출입 방법.
  17. 청구항 16에 있어서,
    기판 수납용기를 전진시켜서 기밀을 유지시키는 단계에서,
    상기 기판 수납용기의 전단부를 이동 베이스 수단에 밀착시킨 다음 클램프 수단으로 고정시키는 공정을 포함하는 기판 반출입 방법.
  18. 청구항 16에 있어서,
    상기 도어를 기판 수납용기에서 분리시키는 단계 이후에는,
    상기 기판 수납용기, 상기 이동 베이스 수단 및 이동 도어 수단에 의해 국부공간으로 불활성 가스를 주입 및 배기시키는 단계를 포함하는 기판 반출입 방법.
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