KR100801631B1 - 핌스로더의 맵핑장치 - Google Patents

핌스로더의 맵핑장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은, 좁게 보면 핌스로더에 부설된 채, 파드 내에 적재된 웨이퍼의 적재상태가 양호한 지의 여부를 검사하는 맵핑장치에 관련한 것으로서, 더 상세하게는 맵핑시 맵핑공간을 완전하게 밀폐할 수 있는 구조를 갖추도록 함으로써 외부의 파티클(이물질)이 맵핑공간으로 유입되는 것을 원천적으로 봉쇄할 수 있는 핌스로더의 맵핑장치에 관한 것이다.
본 발명의 주요 특징은,
핌스로더의 맵핑장치에 있어서;
제 1 승강수단에 의해 상기 핌스로더의 프레임 상에 승강 가능하게 설치되며, 파드의 뒷뚜껑을 개방함과 아울러 개방된 뒷뚜껑을 파지하는 역할을 겸하는 뚜껑개방유닛과; 상기 파드측으로 가깝거나 먼쪽으로 출몰 가능하도록 상기 뚜껑개방유닛의 외주상에 슬라이드식으로 설치되며, 내부 상측으로 에어토출부가 구비된 밀폐박스와; 상기 밀폐박스를 상기 뚜껑개방유닛 또는 파드에 선택적으로 클램핑 할 수 있도록 상기 밀폐박스에 구비되는 클램핑 유닛으로 이루어진 맵핑박스; 상기 밀폐박스가 파드를 향해 전진하였을 때 제 2 승강수단에 의해 밀폐박스의 내부로 상승한 후, 하강하면서 파드 내에 적층된 웨이퍼의 적층상태를 검사하는 맵핑바;로 구성된 것이다.
핌스로더, 맵핑, 기밀유지

Description

핌스로더의 맵핑장치{Mapping apparatus of FIMS Loader}
본 발명은, 넓게 보면 웨이퍼의 반송과 관련된 자동화 설비인 핌스로더에 관련한 것이다.
본 발명은, 좁게 보면 핌스로더에 부설된 채, 파드 내에 적재된 웨이퍼의 적재상태가 양호한 지의 여부를 검사하는 맵핑장치에 관련한 것으로서, 더 상세하게는 맵핑시 맵핑공간을 완전하게 밀폐할 수 있는 구조를 갖추도록 함으로써 외부의 파티클(이물질)이 맵핑공간으로 유입되는 것을 원천적으로 봉쇄할 수 있는 핌스로더의 맵핑장치에 관한 것이다.
일반적으로 핌스로더(10)는 도 1 및 도 2에서 도시된 바와 같이 파드(1) 내의 웨이퍼가 정상적으로 적재되었는지를 검사한 후 이상 없음이 확인되면 파드를 로드포터(12)에 의해 이송로봇(미도시)으로 인계해 주는 장치를 일컫는다.
여기서, 파드 내의 웨이퍼가 정상적으로 적재되어 있는지를 검사하는 부속장치를 맵핑장치(14)라고 하는데, 본 발명은 상기 맵핑장치에 주안점을 둔 것으로서, 이하에서는 종래 맵핑장치의 구조를 설명하고 그에 따른 문제점을 지적하기로 한다.
종래의 맵핑장치(14)는 핌스로더(10)의 후방에 승강 가능하게 설치되는 외부커버(14a)와; 상기 외부커버(14a)와 함께 승강 가능하도록 내장된 채 상기 파드(1)의 뒷커버(1a)를 개폐하는 역할을 하는 커버 개폐유닛(14b)과; 상기 커버 개폐유닛(14b)의 상측에 회전식으로 절첩 가능하게 설치되어 파드(1) 내의 웨이퍼가 정상적으로 적재되어 있는지를 검사하는 맵핑바(14c)와; 핌스로더(10)의 최상측에 설치되어 맵핑시 파드(1)의 내부로 이물질이 유입되는 것을 차단하기 위해 에어를 하향으로 고압 토출하여 주는 에어커튼장치(14d)로 크게 구성된다.
이러한 구성으로 부터, 맵핑시에는 도 3a 및 3b에서와 같이 핌스로더(10)의 하부에 위치하고 있던 외부커버(14a)와 커버 개폐유닛(14b)이 함께 에어커튼장치(14d)가 위치한 곳까지 상승한다.
다음, 도 3b에서와 같이 상기 파드(1)가 상기 커버 개폐유닛(14b)이 위치한 곳까지 전진한다.
다음, 상기 커버 개폐유닛(14b)에 의해 상기 파드(1) 뒷커버(1a)의 록킹을 해제한다(미도시).
다음, 도 3c에서와 같이 상기 파드(1)가 약간 후진하여 파드로 부터 뒷커버(1a)가 분리되게 한다.
다음, 도 3d에서와 같이 접혀있던 맵핑바(14c)가 펼쳐지고, 외부커버(14a)는 그대로 있는 상태에서 커버 개폐유닛(14b)과 맵핑바(14c)가 함께 하강하면서 파 드(1) 내의 웨이퍼(미도시)가 정상적으로 적재되어 있는지를 검사한다.
여기서, 상기 커버 개폐유닛(14b)이 하강할 때, 에어커튼장치(14d)에서는 외부커버(14a)의 내부로 에어를 토출하여 줌으로써 맵핑중에 개방된 파드(1)의 내부로 파티클이 유입되는 것을 차단하게 된다.
그러나, 상기한 종래의 맵핑장치는 다음과 같은 문제점이 있다.
첫 째, 맵핑바(14c)와 커버 개폐유닛(14b)이 함께 승,하강되는 구조를 취하고 있어서 파드(1)의 밀폐는 외부커버(14a)에 의존되어야 하지만, 외부커버(14a)도 승,하강동작을 해야 하는 관계로 파드(1)와의 사이가 완전히 밀폐되기 어려운 상태에 있다.
따라서, 에어커튼장치(14d)에서 에어가 토출될 때 외부커버(14a)와 핌스로더(10) 프레임(11)의 이격된 틈새 사이로 외부공기가 유입된다.
즉, 외부커버(14a)의 내부로 에어가 토출되면, 외부커버 외부와의 압력차에 의해 외부공기가 내부로 유입된다. 이 과정에서 외부공기에 포함된 이물질(파티클)도 함께 유입되어 파드(1) 내부에 적재된 웨이퍼를 오염시키는 결과를 가져오게 된다.
둘 째, 맵핑시 비교적 중량물인 커버 개폐유닛(14b)이 승강되어야 하므로 이를 승강시키기 위한 강력한 동력이 뒷받침되어야 한다. 이렇듯, 구조적으로 동력손실이 많은 맹점을 갖고 있어서 이에 대한 개선책이 요구되고 있다.
이에, 본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 제안된 것으로서, 본 발명의 주요 목적은, 맵핑시 맵핑공간을 완전하게 밀폐할 수 있도록 구조를 개선한 핌스로더의 맵핑장치를 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은, 맵핑시 중량물의 움직임은 제한하고, 경량물인 맵핑바 만이 움직이도록 함에 따라 동력을 효율적으로 활용하여 동력손실을 최소화할 수 있도록 한 핌스로더의 맵핑장치를 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 주요 특징은,
본원의 청구항 1에서와 같이.
핌스로더의 맵핑장치에 있어서;
제 1 승강수단에 의해 상기 핌스로더의 프레임 상에 승강 가능하게 설치되며, 파드의 뒷뚜껑을 개방함과 아울러 개방된 뒷뚜껑을 파지하는 역할을 겸하는 뚜껑개방유닛과; 상기 파드측으로 가깝거나 먼쪽으로 출몰 가능하도록 상기 뚜껑개방유닛의 외주상에 슬라이드식으로 설치되며, 내부 상측으로 에어토출부가 구비된 밀폐박스와; 상기 밀폐박스를 상기 뚜껑개방유닛 또는 파드에 선택적으로 클램핑 할 수 있도록 상기 밀폐박스에 구비되는 클램핑 유닛으로 이루어진 맵핑박스;
상기 밀폐박스가 파드를 향해 전진하였을 때 제 2 승강수단에 의해 밀폐박스의 내부로 상승한 후, 하강하면서 파드 내에 적층된 웨이퍼의 적층상태를 검사하는 맵핑바;로 구성된 것을 특징으로 하는 핌스로더의 맵핑장치이다.
본원의 청구항 2에서와 같이,
상기 뚜껑개방유닛과 밀폐박스의 좌,우측을 가이드 핀에 의해 연결하여, 밀폐박스가 가이드 핀의 길이범위 이내에서 출몰되도록 한 것을 특징으로 하는 핌스로더의 맵핑장치이다.
본원의 청구항 3에서와 같이,
상기 에어토출부는, 밀폐박스의 내측 상부에 에어수집공간이 마련되고, 상기 에어수집공간의 하부에는 다수의 에어토출공이 형성된 에어토출판이 설치되며, 상기 밀폐박스의 일측에는 상기 에어수집공간으로 에어를 공급하기 위한 에어공급관이 설치되어서 구성됨을 특징으로 하는 핌스로더의 맵핑장치이다.
본원의 청구항 4에서와 같이,
상기 클램핑 유닛은,
상기 밀폐박스의 좌우측에 설치되는 양축 실린더와; 상기 양축 실린더의 일 축단에 회절링크에 의해 90°범위내에서 회전동작되면서 상기 뚜껑개방유닛의 좌,우측단에 걸림되는 제 1 걸림쇠와, 상기 양축 실린더의 다른 일 축단에 회절링크에 의해 90°범위내에서 회전동작되면서 상기 파드의 좌우측단에 걸림되는 한 쌍의 제 2 걸림쇠로 구성된 것을 특징으로 하는 핌스로더의 맵핑장치이다.
본원의 청구항 5에서와 같이,
상기 밀폐박스의 파드측 표면에, 이와 접촉되는 파드와의 기밀을 유지하기 위한 기밀패킹이 구비된 것을 특징으로 하는 핌스로더의 맵핑장치이다.
본원의 청구항 6에서와 같이,
상기 제 1 승강수단은, 상기 핌스로드의 프레임에 설치되는 로드리스 실린더인 것을 특징으로 하는 핌스로더의 맵핑장치이다.
본원의 청구항 7에서와 같이,
상기 제 2 승강수단은, 상기 핌스로더의 프레임에 설치되는 벨트 및 벨트차와, 이를 구동시키기 위한 구동모터로 구성된 것을 특징으로 하는 핌스로더의 맵핑장치이다.
본 발명에 따른 핌스로더의 맵핑장치는,
첫 째, 파드의 커버를 개폐하기 위한 장치와 맵핑바가 별개로 구성되고 별개로 동작되므로, 커버를 개폐하기 위한 장치인 맵핑박스와 파드 간의 기밀을 긴밀히 할 수 있어서 맵핑도중 외부의 파티클이 파드의 내부로 유입됨을 원천적으로 봉쇄할 수 있다. 따라서, 제품의 신뢰도를 높일 수 있다.
둘 째, 맵핑시 중량물인 맵핑박스의 움직임을 제한하고 경량물인 맵핑바 만이 움직이도록 함에 따라 소요동력을 줄일 수 있어서 장치의 실용성을 향상시켰다.
본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도 4 내지 9e를 참조하여 상세히 설명한다.
본 발명에 따른 핌스로더의 맵핑장치(100)는, 도 4 및 도 5에서와 같이 파드(1)의 뒷뚜껑(1a)을 개방함과 아울러 뒷뚜껑(1a)을 파지하는 역할과, 맵핑시 맵핑공간을 외부와 완전하게 차단되도록 하는 맵핑박스(200)와; 맵핑을 시행하는 맵핑바(300)로 크게 구성된다.
상기 맵핑박스(200)는 뚜껑개방유닛(210)과, 밀폐박스(230), 클램핑 유닛(250)으로 구성된다.
상기 뚜껑개방유닛(210)은, 제 1 승강수단(220)에 의해 상기 핌스로더(10)의 프레임(11) 상에 승강 가능하게 설치되며, 파드(1)의 뒷뚜껑(1a)을 개방한 후 파지하는 역할을 하는 것이다.
상기 뚜껑개방유닛(210)은 도 6a 및 6b에서와 같이 사각형의 외부박스(211)와, 상기 외부박스의 파드를 향하는 면에 구비되어 파드(1)의 뒷뚜껑(1a)에 비치된 나사홈(1b)을 돌려서 뒷뚜껑을 개폐하는 드라이버(212)와, 상기 외부박스(211)의 파드를 향하는 면에 구비되어 뒷뚜껑(1a)을 흡착하기 위한 흡착패킹(213)으로 구성된다.
또한, 상기 외부박스(211)의 하부에는 상기 제 1 승강수단(220)과 연결되는 브래킷(214)이 구비되며, 상기 브래킷(214)은 핌스로더(10)의 프레임(11)에 수직상으로 설치된 레일(215)을 타고 승강이 안내된다.
상기에서 제 1 승강수단(220)은 상기 핌스로더(10)의 프레임(11) 상에 고정 설치되는 로드리스 실린더(Roadless Cylinder)로 하는 것이 바람직하나, 반드시 이 에 한정하는 것은 아니다.
상기 밀폐박스(230)는 도 7a 및 7b에서와 같이 파드(1)측으로 가깝거나 먼쪽으로 출몰 가능하도록 상기 뚜껑개방유닛(210)의 외주상에 슬라이드식으로 설치되며, 내부 상측으로 에어토출부(231)가 구비된다.
상기 밀폐박스(230)는 상측과 좌우측은 밀폐된 반면, 하측과 전후측은 개방된 구조를 갖는다.
또한, 상기 밀폐박스(230)는 상기 뚜껑개방유닛(210)의 외주면을 둘러싸고 있으면서, 좌우측은 상기 뚜껑개방유닛(210)의 좌우측과 가이드 핀(232)에 의해 연결되어 있어서, 가이드 핀(232)의 범위내에서 슬라이딩방식으로 출몰되게 구성된다.
또한, 상기 밀폐박스(230)의 상부에 마련된 에어토출부(231)는, 밀폐박스의 내측 상부에 마련되는 에어수집공간(231a)과, 상기 에어수집공간의 하부에 마련되며 다수의 에어토출공(231c)이 형성된 에어토출판(231b)과, 상기 밀폐박스(230)의 일측에 연결된 채 상기 에어수집공간(231a)으로 에어를 공급하여 주는 에어공급관(231d)으로 구성된다.
또한, 밀폐박스(230)의 파드측 표면에는 이와 접촉되는 파드(1)와의 기밀유지를 위한 기밀패킹(233)이 구비됨으로써 맵핑시 외부공기가 밀폐박스 내부로 유입되는 것이 완벽하게 차단되도록 하였다.
상기 클램핑 유닛(250)은, 도 6a 및 6b에서와 같이 상기 밀폐박스(230)의 좌우측에 각각 설치된다.
상기 클램핑 유닛(250)은 양축 실린더(251)와, 상기 양축 실린더(251)의 일 축단에 회절링크(252)에 의해 90°범위내에서 회전동작되면서 상기 뚜껑개방유닛(210)의 좌,우측에 걸림되는 제 1 걸림쇠(253)와, 상기 양축 실린더(251)의 다른 일 축단에 회절링크(252)에 의해 90°범위 내에서 동작되면서 상기 파드(1)의 좌우측단에 걸림되는 제 2 걸림쇠(254)로 구성된다.
상기 제 1 걸림쇠(253)와 제 2 걸림쇠(254)는 동시에 작동되되, 제 1 걸림쇠(253)가 걸림동작되면, 제 2 걸림쇠(254)는 걸림이 해제되는 상반된 동작을 하게 된다.
한편, 상기 맵핑바(300)는 도 8a 및 8b에서와 같이 맵핑을 실질적으로 시행하는 장치로서, 상기한 맵핑박스(200)가 맵핑을 위한 주변조건을 조성하게 되면 맵핑바(300)가 제 2 승강수단(350)에 의해 승강하면서 맵핑을 시행하게 된다.
상기 맵핑바(300)는 상기 핌스로더(10)의 프레임(11) 상에 설치되는 기저부(310)와, 상기 기저부의 양측에 설치되는 수직바(320)와, 상기 수직바의 상단에 설치되는 맵핑센서(330)로 구성되며, 상기 수직바(320)는 상기 기저부(310)에 설치되는 실린더(340) 및 상기 실린더의 전후진동작에 의해 회절되는 링크부(341)에 연결되어서 실린더(340)의 작동여부에 따라 회전이 가능하게 구성되어 있다.
맵핑을 하지 않을 때는 상기 맵핑센서(330)가 한일자(-) 형태 위치하고 있다 가, 맵핑시에는 상기 수직바(320)를 실린더(340) 및 링크부(341)에 의해 90°로 회동시켜서 아라비아 숫자인 11자 형태가 되게 함으로써 이들 사이에 위치하는 웨이퍼의 적재상태를 센싱하게 된다.
상기 제 2 승강수단(350)은 상기 프레임(11)의 상부와 하부에 각각 설치되는 벨트차(351)와, 상기 벨트차(351)에 권취되고 상기 기저부(310)의 일측이 결속되어 있는 벨트(352)와, 상기 벨트차중 어느 한 벨트차를 구동시켜주는 구동모터(353)로 구성된다.
이상의 구성에 대한 작동관계를 설명하면 다음과 같다.
맵핑을 하기 전에는 도 9a에서와 같이 맵핑박스(100)와 맵핑바(300)는 핌스로더(10)의 프레임(11) 하부에 위치한 상태에 있다.
이로 부터, 맵핑이 시행되면, 도 9b에서와 같이 맵핑박스(100)가 제 1 승강수단(220)에 의해 상승하여 파드(1)의 뒷뚜껑(1a)과 대면된 상태가 된다.
다음, 도 9c에서와 같이 파드(1)가 이를 받치고 있는 로드포터(12)의 전진동작에 따라 의해 맵핑박스(100)의 뚜껑개방유닛(210)에 밀착된다.
다음, 뚜껑개방유닛(210)의 드라이버(212)가 작동하여 파드(1) 뒷뚜껑(1a)의 나사홈(1b)을 돌려줌으로써 뒷뚜껑의 록킹을 해제한다.
다음, 로드포터(12)가 약간 후진하면 뒷뚜껑(1a)은 뚜껑개방유닛(210)의 흡착패킹(213)에 부착된 상태가 되므로 파드(1)로 부터 뒷뚜껑(1a)이 개방된 상태가 된다.
이때, 상기 뚜껑개방유닛(210)과 밀폐박스(230)는 클램핑 유닛(250)의 제 1 걸림쇠(253)에 의해 결속된 상태에 있다가, 파드(1)가 뚜껑개방유닛(210)으로 밀착되면 클램핑 유닛(250)이 동작하여 제 1 걸림쇠(253)는 해제되게 하고 대신 제 2 걸림쇠(254)에 의해 밀폐박스(230)와 파드(1)가 결속되게 한다.
따라서, 도 6b 및 9d에서와 같이 로드포터(12)에 의해 파드(1)가 후진동작하게 되면 제 2 걸림쇠(254)에 의해 결속되어 있는 밀폐박스(230)도 파드(1)를 따라 슬라이딩되면서 뚜껑개방유닛(210)으로 으로 부터 돌출된 상태가 되며, 파드(1)가 정지하였을 때는 뒷뚜껑(1a)이 개방되었음에도 불구하고 밀폐박스(230)에 의해 개방부가 외부와 차단된 상태가 된다.
다음, 도 9e에서와 같이 맵핑바(300)가 하부에 위치하고 있다가 제 2 승강수단(350)에 의해 밀폐박스(230)의 내부, 즉 맵핑공간으로 상승한 후, 서서히 하강하면서 파드(1)의 개방부를 통해 노출된 웨이퍼의 적층상태를 검사하게 된다.
이때, 상기 밀폐박스(230)의 일측에 설치된 에어공급관(231d)을 통해 밀폐박스의 내부 상측에 마련된 에어수집공간(231a)으로 에어가 공급되고, 공급된 에어는 에어토출판(231b)의 에어토출공(231c)을 통해 밀폐박스(230)의 내부로 강하게 토출된다.
따라서, 파드(1)의 개방부는 상기한 에어토출부(231)에 의해 에어커튼작용이 이루어지게 되어 맵핑바(300)에 의한 맵핑시 이물질이 파드(1)의 내부로 유입되는 것을 사전에 차단해 주게 된다.
여기서, 밀폐박스(230)와 파드(1)는 제 2 걸림쇠(254)에 의해 결속되어 있어 서 에어가 토출되는 하부를 제외하고는 사방이 막힌 상태이므로 외부의 공기가 유입되지 않는다. 더욱이, 밀폐박스(230)와 파드(1)의 대접면은 기밀패킹(233)에 의해 완전하게 기밀이 유지되고 있으므로 외부와의 완전차단이 가능하게 된다.
이에 따라, 기존장치에서 문제가 되어 왔던 외부공기 유입에 따른 이물질 유입을 사전에 차단할 수 있게 되는 것이다.
맵핑과정이 완료되면, 앞선동작의 역순에 의해 파드(1)의 뒷뚜껑(1a)을 닫은 후, 맵핑박스(100) 및 맵핑바(300)가 하강하여 맵핑하기 이전의 상태로 복귀하게 된다.
도 1은 핌스로더의 전체 구성도
도 2는 종래 맵핑장치의 외부 구성도
도 3a ~ 3d는 종래 맵핑장치의 맵핑동작순서를 설명하기 위한 개략도
도 4는 본 발명에 따른 맵핑장치의 전체 구성도로서, 정면 사시도
도 5는 본 발명에 따른 맵핑장치의 전체 구성도로서, 후면 사시도
도 6a는 본 발명에 따른 맵핑박스와 파드의 결합상태를 보인 사시도
도 6b는 본 발명에 따른 맵핑박스와 파드의 결합상태를 보인 사시도로서, 밀폐박스가 파드에 견인된 채 전진된 상태의 사시도
도 7a는 밀폐박스의 내부 구성도
도 7b는 밀폐박스의 정면도
도 8a는 맵핑바의 구성도
도 8b는 맵핑바를 다른 방향에서 바라본 도면으로서, 특히 승강상태를 보여주는 도면
도 9a 내지 도 9e는 본 발명에 따른 맵핑장치의 동작순서를 설명하기 위한 개략도
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1 : 파드 1a : 뒷뚜껑
10 : 핌스로더 11 : 프레임
100 : 맵핑장치
200 : 맵핑박스
210 : 뚜껑개방유닛
211 : 외부박스
214 : 브래킷
220 : 제 1 승강수단
230 : 밀폐박스
231 : 에어토출부
231a : 에어수집공간
231b : 에어토출판
232c : 에어토출공
232d : 에어공급관
250 : 클램핑 유닛
251 : 양축 실린더
252 : 회절링크
253 : 제 1 걸림쇠
254 : 제 2 걸림쇠
300 : 맵핑바
310 : 기저부
320 : 수직바
330 : 맵핑센서
340 : 실린더
350 : 제 2 승강수단

Claims (7)

  1. 핌스로더의 맵핑장치에 있어서;
    제 1 승강수단에 의해 상기 핌스로더의 프레임 상에 승강 가능하게 설치되며, 파드의 뒷뚜껑을 개방함과 아울러 개방된 뒷뚜껑을 파지하는 역할을 겸하는 뚜껑개방유닛과; 상기 파드측으로 가깝거나 먼쪽으로 출몰 가능하도록 상기 뚜껑개방유닛의 외주상에 슬라이드식으로 설치되며, 내부 상측으로 에어토출부가 구비된 밀폐박스와; 상기 밀폐박스를 상기 뚜껑개방유닛 또는 파드에 선택적으로 클램핑 할 수 있도록 상기 밀폐박스에 구비되는 클램핑 유닛으로 이루어진 맵핑박스;
    상기 밀폐박스가 파드를 향해 전진하였을 때 제 2 승강수단에 의해 밀폐박스의 내부로 상승한 후, 하강하면서 파드 내에 적층된 웨이퍼의 적층상태를 검사하는 맵핑바;로 구성된 것을 특징으로 하는 핌스로더의 맵핑장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 뚜껑개방유닛과 밀폐박스의 좌,우측을 가이드 핀에 의해 연결하여, 밀폐박스가 가이드 핀의 길이범위 이내에서 출몰되도록 한 것을 특징으로 하는 핌스로더의 맵핑장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 에어토출부는, 밀폐박스의 내측 상부에 에어수집공간이 마련되고, 상기 에어수집공간의 하부에는 다수의 에어토출공이 형성된 에어토출판이 설치되며, 상기 밀폐박스의 일측에는 상기 에어수집공간으로 에어를 공급하기 위한 에어공급관이 설치되어서 구성됨을 특징으로 하는 핌스로더의 맵핑장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 클램핑 유닛은,
    상기 밀폐박스의 좌우측에 설치되는 양축 실린더와; 상기 양축 실린더의 일 축단에 회절링크에 의해 90°범위내에서 회전동작되면서 상기 뚜껑개방유닛의 좌,우측단에 걸림되는 제 1 걸림쇠와, 상기 양축 실린더의 다른 일 축단에 회절링크에 의해 90°범위내에서 회전동작되면서 상기 파드의 좌우측단에 걸림되는 한 쌍의 제 2 걸림쇠로 구성된 것을 특징으로 하는 핌스로더의 맵핑장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 밀폐박스의 파드측 표면에, 이와 접촉되는 파드와의 기밀을 유지하기 위한 기밀패킹이 구비된 것을 특징으로 하는 핌스로더의 맵핑장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 승강수단은, 상기 핌스로드의 프레임에 설치되는 로드리스 실린더인 것을 특징으로 하는 핌스로더의 맵핑장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 승강수단은, 상기 핌스로더의 프레임에 설치되는 벨트 및 벨트차와, 이를 구동시키기 위한 구동모터로 구성된 것을 특징으로 하는 핌스로더의 맵핑장치.
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