KR101425858B1 - Ｆｉｍｓ로더용 매핑유닛 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 FIMS로더용 매핑유닛에 관한 것으로서, 상기 프레임부의 후면 중 상기 개구의 측방 일측에 상기 프레임부의 좌우방향으로 회동가능하게 설치되고, 상기 반도체 수납용기에 수용된 상기 반도체 자재와 수평하게 배치되는 검사위치와, 상기 검사위치로부터 이탈되는 대기위치 사이를 회동하는 지지몸체와, 상기 프레임부 일측에 설치되고, 일측이 상기 지지몸체의 일측에 연결되어 상기 지지몸체에 상하이동력을 제공하는 상하이동력제공수단 및 상기 지지몸체의 일측에 상기 지지몸체의 외주방향으로 회동가능하게 설치되고, 상기 지지몸체가 상기 검사위치에 위치하는 경우 상기 반도체 수납용기에 수용된 상기 반도체 자재의 적층상태를 검사하는 매핑바를 포함하는 것을 특징으로 하는 FIMS로더용 매핑장치를 제공한다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 지지몸체가 FIMS로더의 프레임부 좌우측방향으로 회동되도록 함과 아울러 지지몸체가 풉(FOUP) 내에 수용된 반도체 자재와 수평하게 배치되는 경우 일측으로부터 일측방향으로 한 쌍의 스캔바가 나란하게 형성되는 지지바가 반도체 자재 방향으로 회동되도록 함으로써 FIMS로더의 후방, 즉 FIMS로더의 프레임부와, 풉으로부터 반도체 자재를 인출하는 반도체 자재 인출로봇 사이에 FIMS로더 각 구성의 보수작업을 위한 작업공간을 확보할 수 있을 뿐 아니라 구조가 간단하면서도 반도체 자재를 검사하기 위한 한 쌍의 매핑바 사이각이 항상 유지될 수 있는 효과가 있다.

Description

ＦＩＭＳ로더용 매핑유닛{Mapping unit for FIMS loder}
본 발명은 FIMS로더용 매핑유닛에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 FIMS로더의 후방, 즉 FIMS로더의 프레임부와, 풉으로부터 반도체 자재를 인출하는 반도체 자재 인출로봇 사이에 FIMS로더 각 구성의 보수작업을 위한 작업공간을 확보할 수 있을 뿐 아니라 구조가 간단하면서도 반도체 자재를 검사하기 위한 한 쌍의 매핑바 사이각이 항상 유지될 수 있는 FIMS로더용 매핑장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 자재를 가공하기 위해 반도체 가공챔버로 이송하는 과정에서 반도체 자재가 반도체 수납용기인 풉(FOUP) 내부에 정상적으로 적재되어 있는지를 검사하기 위해 매핑공정이 실시되는데, 매핑공정을 실시하기 위해 반도체 자재의 적재상태를 검사할 수 있는 검사장치의 설치공간이 요구되는 바 외부에 구비되어 반도체 자재 이송챔버 또는 반도체 가공챔버에 비해 상대적으로 공간제약이 적은 로드포트에 반도체 자재 검사장치가 설치됨으로써 로드포트에서 외부로부터 쉘프(shelf)로 풉(FOUP)을 반송함과 아울러 반도체 자재의 매핑공정을 실시하였다.
이와 같은 로드포트는 일측에 풉(FOUP)이 안착되는 경우 커버분리유닛이 안착된 풉(FOUP)의 전면커버를 분리하여 풉(FOUP)에 수용된 반도체 자재가 외부로 노출되도록 한 상태에서 매핑장치가 반도체 자재의 상부로부터 하방으로 이동하여 반도체 자재의 적재상태를 검사하고, 반도체 자재의 매핑공정이 완료되면 커버분리유닛이 다시 풉(FOUP)의 전면에 커버를 결합한 후 이송로봇에 의해 쉘프(shelf)로 이송한다.
그러나, 로드포트는 기본적으로 일측에 안착된 풉(FOUP)을 쉘프(shelf)로 반송하는 동작에서 풉(FOUP)의 전면커버를 분리하는 동작이 요구되지 않는 바 매핑공정을 위해 풉(FOUP) 커버의 분리 및 결합작업이 추가적으로 이루어지면서 작업성이 크게 저하되는 문제점이 발생되었다.
또한, 상기한 로드포트는 클린룸이 아닌 일반 대기상태에 설치되는 바 풉(FOUP)의 전면커버를 개방함에 따라 풉(FOUP) 내부로 이물질이 유입되어 풉(FOUP) 내부에 수용된 반도체 자재가 오염되는 문제점이 발생되었다.
이에 최근에는 반도체 수납용기인 풉(FOUP)에 수용된 반도체 자재를 반입/반출하는 FIMS로더에서 풉(FOUP)에 수용된 반도체 자재를 반입/반출하기 위해 풉(FOUP)의 전면 커버를 개방하는 경우 풉(FOUP)에 수용된 반도체 자재의 적재상태를 검사하도록 함으로써 작업성을 향상시키고자 하는 노력이 시도된 바 있다.
도1은 종래의 FIMS로더를 도시한 사시도이고, 도2는 종래의 FIMS로더를 도시한 배면사시도이며, 도3a은 종래의 FIMS로더를 개략적으로 도시한 측면도이고, 도3b는 종래의 FIMS로더용 매핑유닛의 사시도이다.
도1 내지 도3에서 보는 바와 같이 종래의 FIMS로더(100)는 쉘프(shelf)가 설치된 영역, 즉 풉(FOUP)의 임시적재영역과, 반도체 자재 가공영역을 구획하고 일측에 개구(111)가 형성된 프레임부(110)와, 프레임부(110)의 전면 중 개구(111)의 하측에 설치되고 상면에 풉(FOUP)가 안착되는 스테이지부(120)와, 프레임부(110)의 후면 중 개구(111)와 대응되는 위치에 좌우방향으로 이동가능하게 설치되고 스테이지부(120)에 안착된 풉(FOUP)의 전면 커버를 개방하는 커버개방유닛(130)와, 프레임부(110)의 후면 중 개구(111)와 대응되는 위치에 좌우방향으로 이동가능하게 설치되고 프레임부(110)의 개구(111)를 개폐하는 도어부(140) 및 커버개방유닛(130)과 프레임부(110) 사이에 설치되어 풉(FOUP)에 수용된 반도체 자재(W)의 적재상태를 검사하는 매핑유닛(150)으로 구성된다.
이와 같은 종래의 FIMS로더(100)는 스테이지의 상면에 풉(FOUP)에 안착되면, 커버개방유닛(130)에 의해 풉(FOUP)의 전면 커버가 개방되고, 커버개방유닛(130)이 전면 커버를 파지한 상태에서 도어와 함께 일측방향으로 이동되어 풉(FOUP)의 전면이 개방되는 경우 매핑유닛(150)이 상하방향으로 이동되면서 풉(FOUP)에 수용된 반도체 자재(W)의 적재상태를 검사하게 된다.
여기서, 종래의 FIMS로더(100)용 매핑유닛(150)을 보다 상세하게 살펴보면, 종래의 FIMS로더(100)용 매핑유닛(150)은 FIMS로더의 프레임부(110) 후방 일측에 설치되는 본체(151)와, 본체(151)에 상하이동가능하게 설치되는 상하이동몸체(152)와, 본체(151) 일측에 설치되고 상하이동몸체(152) 일측에 연결되어 상하이동몸체(152)에 상하이동력을 제공하는 상하이동력제공수단(153) 및 상하이동몸체(152)의 상단에 전후방향으로 회동가능하게 설치되는 한 쌍의 매핑바(154)로 구성되며, 커버분리유닛이 분리한 커버를 파지한 상태에서 도어와 함께 일측 방향으로 이동되어 프레임부(110)의 개구(111) 개방위치로 이동되는 경우 상하이동몸체(152)가 상하이동력제공수단(153)에 의해 상방으로 이동되고, 한 쌍의 매핑바(154)가 전방으로 회동된 상태에서 상하이동몸체(152)가 하방으로 이동되면서 풉의 내부에 적재된 반도체 자재(W)의 적재상태를 검사하게 된다.
한편, 일반적으로 FIMS로더의 후방에는 풉(FOUP)으로부터 반도체 자재(W)를 인출하기 위한 반도체 자재 인출로봇(미도시)이 설치되어 매우 협소한 공간으로 형성되는데, 앞서 설명한 바와 같이 본체(151), 상하이동몸체(152), 상하이동력제공수단(153) 및 매핑바(154)로 구성되는 종래의 FIMS로더(100)용 매핑장치가 FIMS로더의 프레임부(110)와 커버분리유닛 사이에 설치되어 FIMS로더용 매핑장치에 의해 FIMS로더의 후방영역이 보다 협소해지면서 도어, 커버분리유닛등과 같이 FIMS로더의 프레임부(110) 후면에 설치되는 구성을 보수하기 위한 작업공간을 제공하기 어려운 문제점이 있었다.
그리고, 종래의 FIMS로더(100)용 매핑장치는 앞서 설명한 바와 같이 풉(FOUP) 내에 수용된 반도체 자재(W)의 적재상태를 검사하기 위해 한 쌍의 매핑바(154)가 전방으로 회동되는데, 이러한 한 쌍의 매핑바(154)는 도면에 도시되어 있진 않지만 각각 모터와 같은 별도의 동력수단이 연결되거나 랙과 피니언 구조를 이용하여 전방으로 회동되는 구조를 취하게 되는 바 여기서 별도의 동력수단을 이용하는 경우 모터의 구입비용에 의해 제조단가 상승의 원인이 될 뿐 아니라 한 쌍의 매핑바(154)에 각각 다른 동력이 전달되면서 검사를 위한 한 쌍의 매핑바(154) 사이각이 변화되어 반도체 자재(W)의 적재상태를 검출하는 검출효율이 현저하게 저하되는 문제점이 발생되었다.
아울러, 랙과 피니언 구조를 이용하는 경우에는 다수의 기어를 연결해야 함에 따라 그 구조가 복잡하게 형성될 뿐 아니라 이에 내구성이 저하되면서 유지/보수가 어려운 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 FIMS로더의 후방, 즉 FIMS로더의 프레임부와, 풉으로부터 반도체 자재를 인출하는 반도체 자재 인출로봇 사이에 FIMS로더 각 구성의 보수작업을 위한 작업공간을 확보할 수 있을 뿐 아니라 구조가 간단하면서도 반도체 자재를 검사하기 위한 한 쌍의 매핑바 사이각이 항상 유지될 수 있는 FIMS로더용 매핑장치를 제공함에 있다.
일측에 개구가 형성된 프레임부와, 상기 개구의 하측과 대응되는 상기 프레임부의 전면 일측에 설치되고 상면에 반도체 수납용기가 안착되는 스테이지부와, 상기 스테이지부 일측에 안착되는 반도체 수납용기의 전면 커버를 개방하는 커버개방유닛과, 상기 프레임부의 후면 중 상기 개구와 대응되는 위치에 설치되어 상기 개구를 개폐하는 도어부를 포함하고, 상기 스테이지부의 상면에 안착되는 반도체 수납용기 내부에 수용된 반도체 자재의 적층상태를 검사히기 위한 FIMS로더용 매핑장치에 있어서, 상기 프레임부의 후면 중 상기 개구의 측방 일측에 상기 프레임부의 좌우방향으로 회동가능하게 설치되고, 상기 반도체 수납용기에 수용된 상기 반도체 자재와 수평하게 배치되는 검사위치와, 상기 검사위치로부터 이탈되는 대기위치 사이를 회동하는 지지몸체와, 상기 프레임부 일측에 설치되고, 일측이 상기 지지몸체의 일측에 연결되어 상기 지지몸체에 상하이동력을 제공하는 상하이동력제공수단 및 상기 지지몸체의 일측에 상기 지지몸체의 외주방향으로 회동가능하게 설치되고, 상기 지지몸체가 상기 검사위치에 위치하는 경우 상기 반도체 수납용기에 수용된 상기 반도체 자재의 적층상태를 검사하는 매핑바를 포함하는 것을 특징으로 하는 FIMS로더용 매핑장치를 제공한다.
그리고, 상기 상하이동력제공수단은 상기 프레임부의 후면 일측에 설치되고, 상하방향으로 길이를 갖는 본체와, 상기 본체의 길이와 대응되는 길이를 갖고, 상기 본체의 내부 일측에 상하방향 중 어느 하나의 방향으로 회전가능하게 설치되며, 일측에 상기 지지몸체의 일측이 결합된 회전벨트와, 상기 본체의 일측에 설치되고, 일측이 상기 회전벨트의 일측에 연결되어 상기 회전벨트에 회전력을 제공하는 동력부 및 상기 본체의 일측에 상기 본체의 길이방향을 따라 설치되고, 일측에 상기 지지몸체의 일측이 삽입결합되어 상기 회전벨트가 회전하는 경우 상기 지지몸체의 이동방향을 가이드하는 가이드유닛을 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 매핑바는 상기 지지몸체의 하단부에 상기 지지몸체의 외주방향으로 회동가능하게 설치되고, 상기 지지몸체가 상기 검사위치에 위치하는 경우 상기 반도체 수납용기에 수용된 상기 반도체 자재와 나란하게 배치되도록 회동되는 지지바와, 상기 지지몸체의 일측에 설치되고, 일측이 상기 지지바의 일측에 연결되어 상기 지지바에 회동력을 제공하는 회동력제공수단과, 상기 지지바의 일측으로부터 외측방향으로 연장형성되는 스캔바 및 상기 스캔바의 단부에 설치되고, 상기 반도체 수납용기에 수용된 상기 반도체 자재의 적층상태를 검출하는 검출수단을 포함할 수 있다.
아울러, 상기 회동력제공수단은 상기 지지몸체의 단부 일측에 설치되고, 일측에 상기 지지바에 연결되어 상기 지지바에 회전력을 제공하는 동력수단과, 일측이 상기 동력수단과 상기 지지바에 각각 연결되어 상기 동력수단과 상기 지지바를 연결하는 연결부재 및 상기 지지몸체와 상기 지지바 사이에 개재되는 베어링부재를 포함하는 것이 바람직하다.
그리고, 상기 검출수단은 비접촉식 센서가 사용될 수 있다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 지지몸체가 FIMS로더의 프레임부 좌우측방향으로 회동되도록 함과 아울러 지지몸체가 풉(FOUP) 내에 수용된 반도체 자재와 수평하게 배치되는 경우 일측으로부터 일측방향으로 한 쌍의 스캔바가 나란하게 형성되는 지지바가 반도체 자재 방향으로 회동되도록 함으로써 FIMS로더의 후방, 즉 FIMS로더의 프레임부와, 풉으로부터 반도체 자재를 인출하는 반도체 자재 인출로봇 사이에 FIMS로더 각 구성의 보수작업을 위한 작업공간을 확보할 수 있을 뿐 아니라 구조가 간단하면서도 반도체 자재를 검사하기 위한 한 쌍의 매핑바 사이각이 항상 유지될 수 있는 효과가 있다.
도1은 종래의 FIMS로더를 도시한 사시도,
도2는 종래의 FIMS로더를 도시한 배면사시도,
도3a은 종래의 FIMS로더를 개략적으로 도시한 측면도,
도3b는 종래의 FIMS로더용 매핑유닛의 사시도,
도4는 본 발명의 일실시예에 따른 FIMS로더용 매핑유닛이 FIMS로더에 설치된 상태를 도시한 사시도,
도5는 본 발명의 일실시예에 따른 FIMS로더용 매핑유닛의 분해사시도,
도6은 본 발명의 일실시예에 따른 FIMS로더용 매핑유닛의 단면도,
도7a 내지 도7c는 본 발명의 일실시예에 따른 FISM로더용 매핑유닛의 동작을 도시한 도면
이하에서 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일실시예를 상세하게 설명하도록 한다.
아울러, 각 도면의 구성요소들에 대해 참조부호를 부가함에 있어서 동일한 구성요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한한 동일한 부호로 표기되었음에 유의해야 한다.
도4는 본 발명의 일실시예에 따른 FIMS로더용 매핑유닛이 FIMS로더에 설치된 상태를 도시한 사시도이고, 도5는 본 발명의 일실시예에 따른 FIMS로더용 매핑유닛의 분해사시도이며, 도6은 본 발명의 일실시예에 따른 FIMS로더용 매핑유닛의 단면도이다.
도4 내지 도6에서 보는 바와 같이 본 발명의 일실시예에 따른 FIMS로더용 매핑유닛(1)은 지지몸체(10)와, 상하이동력제공수단(20) 및 매핑바(30)를 포함하여 구성된다.
지지몸체(10)는 후술하는 상하이동력제공수단(20)의 일측에 회동가능하게 결합되는 몸체부(11)와, 후술하는 상하이동력제공수단(20)의 회전벨트(22) 일측에 설치되고 몸체부(11)에 회동력을 제공하는 제1 회동력제공수단(12)을 포함하여 구성되며, 상기한 몸체부(11)가 풉(FOUP)의 반도체 수납용기에 수용된 반도체 자재와 수평하게 배치되는 검사위치와, 검사위치로부터 이탈되는 대기위치 사이를 회동하면서 하단부에 결합되는 매핑바(30)가 반도체 자재에 근접하게 배치되도록 하는 역할을 한다.
제1 회동력제공수단(12)은 후면 일측에 후술하는 가이드유닛(24)이 삽입되는 안내홈(12a)이 형성된다.
이와 같은 지지몸체(10)는 FIMS로더의 프레임부(110) 개구(111) 측방에 설치되는데, FIMS로더에 측방개폐형 도어부(140)가 설치되는 경우 도어부(140)가 이동되지 않는 영역에 설치되어 도어부(140)가 프레임부(110)의 개구(111)를 개폐하는 경우 도어부(140)의 이동에 간섭되지 않도록 하는 것이 바람직하다.
상하이동력제공수단(20)은 프레임부(110)의 후면 일측에 설치되는 본체(21)와, 본체(21)의 내부 일측에 상하방향 중 어느 하나의 방향으로 회전가능하게 설치되는 회전벨트(22)와, 회전벨트(22) 일측에 연결되는 동력부(23) 및 본체(21) 일측에 본체(21)의 길이방향을 따라 설치되고 일측에 지지몸체(10)의 일측에 삽입결합된 가이드유닛(24)을 포함하여 구성되며, 지지몸체(10)에 상하방향으로 이동력을 제공함과 아울러 지지몸체(10)가 용이하게 상하방향으로 이동될 수 있도록 지지몸체(10)의 이동을 안내하는 역할을 한다.
본체(21)는 대략 상하방향으로 길이를 갖는 직육면체 형상으로 형성되고, 내부에 회전벨트(22), 동력부(23) 및 가이드유닛(24)의 설치공간을 제공하는 수용공간(21a)이 형성되어 상기한 각 구성이 프레임부(110)의 일측에 용이하게 설치될 수 있도록 설치영역을 제공하는 역할을 한다.
회전벨트(22)는 본체(21)와 대응되는 길이을 갖도록 형성되고, 앞서 설명한 바와 같이 본체(21)의 내부 일측에 상하방향 중 어느 하나의 방향으로 회전가능하게 설치되며, 일측에 상기한 지지몸체(10)의 일측에 결합되어 상하방향으로 회전하면서 일측에 결합된 지지몸체(10)에 상하이동력을 제공하는 역할을 한다.
동력부(23)는 일반적인 블로우모터가 사용될 수 있으며, 회전벨트(22)의 일측에 연결되어 회전벨트(22)에 회전력을 제공하는 역할을 한다.
가이드유닛(24)은 본체(21)와 대응되는 길이를 갖도록 형성되고, 본체(21)의 길이방향을 따라 설치되며, 일측이 상기한 제1 회동력제공수단(12)의 안내홈(12a)에 삽입된 상태에서 회전벨트(22)를 따라 상하이동되는 경우 제1 회동력제공수단(12)이 가이드유닛(24)을 따라 이동되면서 지지몸체(10)가 상하방향으로 용이하게 이동될 수 있도록 하는 역할을 한다.
여기서, 제1 회동력제공수단(12)의 안내홈(12a)과, 가이드유닛(24)의 구조는 LM가이드 구조가 이용될 수 있는데, 이러한 LM가이드는 당해 기술분야에서 통상의 지식을 갖는 자에게는 상용적으로 공급되는 것을 구입하여 사용할 수 있을 정도로 공지된 것임이 자명한 것으로서, 구체적인 설명은 생략하도록 한다.
매핑바(30)는 지지몸체(10)의 하단부에 지지몸체(10)의 외주방향으로 회동가능하게 결합되는 지지바(31)와, 지지몸체(10)의 일측에 설치되고 지지바(31)에 연결되는 제2 회동력제공수단(32)과, 지지바(31)의 일측으로부터 외측방향으로 연장형성되는 한 쌍의 스캔바(33) 및 한 쌍의 스캔바(33) 단부에 각각 설치되는 한 쌍의 검출수단(34)을 포함하여 구성되며, 풉(FOUP) 내에 수용된 반도체 자재의 적재상태를 검사하는 역할을 한다.
지지바(31)는 대략 막대형상으로 형성되고, 지지몸체(10)의 하단부에 지지몸체(10)의 외주방향으로 회동가능하게 결합되며, 상기한 지지몸체(10)가 검사위치에 위치하는 경우 반도체 자재 방향으로 회동함으로써 스캔바(33)가 풉(FOUP) 내에 수용된 반도체 자재와 나란하게 배치되도록 하는 역할을 한다.
제2 회동력제공수단(32)은 지지몸체(10)의 하단부 일측에 설치되고 일측이 지지바(31)의 연결되는 동력수단(32a)과, 일측이 동력수단(32a)과 지지바(31)의 일측에 각각 연결되는 연결부재(32b) 및 지지몸체(10)와 지지바(31) 사이에 개재되는 베어링부재(32c)를 포함하여 구성되며, 동력수단(32a)으로부터 제공되는 회동력을 지지바(31)에 전달함과 아울러 지지바(31)가 동력수단(32a)을 통해 지지몸체(10)가 결합되도록 하는 역할을 한다.
동력수단(32a)은 일반적인 모터가 사용될 수 있으며, 모터몸체가 지지몸체(10)의 하단부 일측에 설치되고, 회전축이 연결부재(32b)를 통해 지지바(31)에 연결되어 지지바(31)에 회동력을 제공함과 아울러 지지바(31)가 지지몸체(10)에 결합되도록 하는 역할을 한다.
연결부재(32b)는 일측이 상기한 동력수단(32a)의 회전축에 연결되고, 다른 일측이 지지바(31)에 연결되어 회전축으로부터 발생되는 회동력을 지지바(31)에 전달함과 아울러 지지바(31)가 동력수단(32a)의 일측에 연결되도록 하는 역할을 한다.
베어링부재(32c)는 지지몸체(10)와 지지바(31) 또는 지지몸체(10)와 연결부재(32b) 사이에 개재되어 지지바(31)가 회전하는 경우 회전력에 따른 두 구성의 마찰력을 최소화하는 역할을 하는데, 이러한 베어링부재(32c)는 당해 기술분야에서 통상의 지식을 갖는 자에게는 상용적으로 공급되는 것을 구입하여 사용할 수 있을 정도로 공지된 것임은 자명한 것으로서 구체적인 설명은 생략하도록 한다.
스캔바(33)는 대략 막대형상으로 형성되고, 한 쌍이 지지바(31)의 일측 중 상호 이격된 위치에서 외측방향으로 나란하게 형성되되, 지지바(31)와 일체로 형성되며, 후술하는 검출수단(34)을 지지함과 아울러 지지바(31)가 반도체 자재 방향으로 회동하는 경우 각 단부에 결합된 검출수단(34)이 반도체 자재에 근접하게 배치되도록 하는 역할을 한다.
검출수단(34)은 광을 조사하는 발광부(34a)와, 발광부(34a)로부터 조사된 광을 수신하는 수광부(34b)를 포함하여 구성되며, 발광부(34a)와 수광부(34b)가 각각 한 쌍의 스캔바(33) 단부에 각각 설치된 상태에서 지지몸체(10)가 상하이동력제공수단(20)에 의해 하방으로 서서히 이동되는 경우 풉(FOUP) 내에 수용된 반도체 자재의 적재상태를 검출하는 역할을 하는데, 이와 같은 검출수단(34)의 동작은 후술하는 동작설명을 통해 상세하게 설명하도록 한다.
도7a 내지 도7c는 본 발명의 일실시예에 따른 FISM로더용 매핑유닛의 동작을 도시한 도면이다.
이와 같은 구성을 갖는 본 발명의 일실시예에 따른 FIMS로더용 매핑유닛(1)의 반도체 자재 매핑동작을 첨부된 도7a 내지 도7c를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
먼저, FIMS로더의 커버개방유닛(130)이 풉(FOUP)의 전면 커버를 분리함과 아울러 분리한 전면 커버를 파지한 상태에서 도어부(140)와 함께 일측방향으로 이동되는 경우 도7a에서 보는 바와 같이 지지몸체(10)가 대기위치, 즉 하단부가 프레임부(110)의 하방을 향상하는 상태에서 프레임의 일측방향으로 회동하여 지지몸체(10)가 반도체 자재(W)와 수평하게 배치되는 검사위치로 이동된다.
이때, 지지몸체(10)가 반도체 자재(W)와 수평하게 배치됨에 따라 지지몸체(10)의 하단부에 결합된 지지바(31) 또한 반도체 자재(W)와 수평하게 배치되는데, 지지바(31)가 반도체 방향으로 회동되면서 도7b에서 보는 바와 같이 지지바(31)를 기준으로 상방을 향하고 있던 스캔바(33)가 반도체 자재(W) 방향을 향하게 되어 스캔바(33)의 단부에 결합된 검출수단(34)이 반도체 자재(W)에 근접하게 배치된다.
이와 같이 반도체 자재(W)에 검출수단(34)이 근접하게 배치된 상태에서 도7c에서 보는 바와 같이 상하이동력제공수단(20)에 의해 지지몸체(10)가 하방으로 서서히 이동되면서 검출수단(34)이 풉(FOUP) 내에 수용된 반도체 자재(W)의 적재상태를 스캔함으로써 반도체 자재(W)의 적재상태를 검사하게 된다.
여기서, 검출수단(34)이 반도체 자재(W)의 적재상태를 스캔하는 방법을 보다 상세하게 살펴보면, 지지몸체(10)가 하방으로 서서히 이동됨에 따라 검출수단(34) 또한 하방으로 서서히 이동되고, 하방으로 이동되는 과정에서 반도체 자재(W)가 존재하는 위치에서는 발광부(34a)로부터 수광부(34b)로 조사되는 광이 반도체 자재(W)에 의해 차단되는데, 반도체 자재(W)에 의해 광이 차단된 시간과, 미리 설정된 광 입사 시간을 비교함으로써 풉(FOUP) 내에 반도체 자재(W)의 적재상태를 검사하게 된다.
비록 본 발명이 상기 언급된 일실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정이나 변형을 하는 것이 가능하다. 따라서 첨부된 특허청구의 범위는 본 발명의 요지에서 속하는 이러한 수정이나 변형을 포함할 것이다.
1 : FIMS로더용 매핑유닛 10 : 지지몸체
11 : 몸체부 11a : 안내돌기
12 : 제1 회동력제공수단 20 : 상하이동력제공수단
21 : 본체 21a : 수용공간
22 : 회전벨트 23 : 동력부
24 : 가이드유닛 30 : 매핑바
31 : 지지바 32 : 제2 회동력제공수단
32a : 동력수단 32b : 연결부재
32c : 베어링부재 33 : 스캔바
34 : 검출수단 34a : 발광부
34b : 수광부

Claims (5)

  1. 일측에 개구가 형성된 프레임부와, 상기 프레임의 전면 중 상기 개구의 하측에 설치되고 상면 일측에 반도체 수납용기가 안착되는 스테이지부와, 상기 스테이지부 일측에 안착되는 반도체 수납용기의 전면 커버를 개방하는 커버개방유닛과, 상기 프레임부의 후면 중 상기 개구와 대응되는 위치에 좌우이동가능하게 설치되어 상기 개구를 개폐하는 도어부를 포함하고, 상기 스테이지부의 상면에 안착되는 반도체 수납용기 내부에 수용된 반도체 자재의 적층상태를 검사히기 위한 FIMS로더용 매핑장치에 있어서,
    상기 프레임부의 후면 중 상기 개구의 측방 일측에 상기 프레임부의 좌우방향으로 회동가능하게 설치되고, 상기 반도체 수납용기에 수용된 상기 반도체 자재와 수평하게 배치되는 검사위치와, 상기 검사위치로부터 이탈되는 대기위치 사이를 회동하는 지지몸체와;
    상기 프레임부 일측에 설치되고, 일측이 상기 지지몸체의 일측에 연결되어 상기 지지몸체에 상하이동력을 제공하는 상하이동력제공수단; 및
    상기 지지몸체의 일측에 상기 지지몸체의 외주방향으로 회동가능하게 설치되고, 상기 지지몸체가 상기 검사위치에 위치하는 경우 상기 반도체 수납용기에 수용된 상기 반도체 자재의 적층상태를 검사하는 매핑바를 포함하는 것을 특징으로 하는 FIMS로더용 매핑장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 상하이동력제공수단은
    상기 프레임부의 후면 일측에 설치되고, 상하방향으로 길이를 갖는 본체와;
    상기 본체의 길이와 대응되는 길이를 갖고, 상기 본체의 내부 일측에 상하방향 중 어느 하나의 방향으로 회전가능하게 설치되며, 일측에 상기 지지몸체의 일측이 결합된 회전벨트와;
    상기 본체의 일측에 설치되고, 일측이 상기 회전벨트의 일측에 연결되어 상기 회전벨트에 회전력을 제공하는 동력부; 및
    상기 본체의 일측에 상기 본체의 길이방향을 따라 설치되고, 상기 지지몸체의 일측에 삽입결되어 상기 회전벨트가 회전하는 경우 상기 지지몸체의 이동방향을 가이드하는 가이드유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 FIMS로더용 매핑장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 매핑바는
    상기 지지몸체의 하단부에 상기 지지몸체의 외주방향으로 회동가능하게 설치되고, 상기 지지몸체가 상기 검사위치에 위치하는 경우 상기 반도체 수납용기에 수용된 상기 반도체 자재와 나란하게 배치되도록 회동되는 지지바와;
    상기 지지몸체의 일측에 설치되고, 일측이 상기 지지바의 일측에 연결되어 상기 지지바에 회동력을 제공하는 회동력제공수단과;
    상기 지지바의 일측으로부터 외측방향으로 연장형성되는 스캔바; 및
    상기 스캔바의 단부에 설치되고, 상기 반도체 수납용기에 수용된 상기 반도체 자재의 적층상태를 검출하는 검출수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 FIMS로더용 매핑장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 회동력제공수단은
    상기 지지몸체의 단부 일측에 설치되고, 일측에 상기 지지바에 연결되어 상기 지지바에 회전력을 제공하는 동력수단과;
    일측이 상기 동력수단과 상기 지지바에 각각 연결되어 상기 동력수단과 상기 지지바를 연결하는 연결부재; 및
    상기 지지몸체와 상기 지지바 사이에 개재되는 베어링부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 FIMS로더용 매핑장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 검출수단은 비접촉식 센서가 사용되는 것을 특징으로 하는 FIMS로더용 매핑장치.
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