CN219513069U - 晶圆传送装载设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种晶圆传送装载设备，所述晶圆传送装载设备包括箱体、晶圆盒装载组件和关窗件。箱体的侧壁具有第一窗口，晶圆盒装载组件设在箱体具有第一窗口的一侧，晶圆盒装载组件包括升降平台，升降平台相对于箱体可升降移动，关窗件设在升降平台上，关窗件在升降平台的驱动下可在第一位置和第二位置之间移动，在第一位置，关窗件封闭第一窗口，在第二位置，关窗件开启第一窗口。本实用新型的晶圆传送装载设备在晶圆盒装载组件的升降平台上设置关窗件，通过关窗件封闭和释放第一窗口，结构简单。

Description

晶圆传送装载设备

技术领域

本实用新型涉及晶圆生产设备技术领域，具体涉及一种晶圆传送装载设备。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片。在半导体的制造工序中，需要使用晶圆盒对晶圆在各加工工序之间进行搬运，并使用晶圆盒装载设备将晶圆盒的盒盖打开，然后通过传送设备将晶圆从晶圆盒内取出并传送至下一工序的加工设备。

相关技术中，晶圆在进行传送的过程中处于传送设备的箱体内，以避免晶圆受到环境污染，箱体上设有窗口以及用于封闭和释放窗口的翻盖，在翻盖释放窗口时，通过传送设备将晶圆盒内的晶圆通过窗口取出至箱体内进行传送。但是，箱体上设置翻盖会导致传送设备的结构较为复杂，且制造成本较高。

实用新型内容

本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本实用新型的实施例提出一种晶圆传送装载设备，该晶圆传送装载设备在晶圆盒装载组件的升降平台上设置关窗件，通过关窗件封闭和释放第一窗口，结构简单。

本实用新型实施例的晶圆传送装载设备包括：

箱体，所述箱体的侧壁具有第一窗口；

晶圆盒装载组件，所述晶圆盒装载组件设在所述箱体具有所述第一窗口的一侧，所述晶圆盒装载组件包括升降平台，所述升降平台相对于所述箱体可升降移动；

关窗件，所述关窗件设在所述升降平台上，所述关窗件在所述升降平台的驱动下可在第一位置和第二位置之间移动，在所述第一位置，所述关窗件封闭所述第一窗口，在所述第二位置，所述关窗件开启所述第一窗口。

本实用新型实施例的晶圆传送装载设备在晶圆盒装载组件的升降平台上设置关窗件，关窗件在随升降平台升降移动的过程中封闭和释放第一窗口，结构简单。

在一些实施例中，所述晶圆盒装载组件还包括固定平台，所述固定平台用于承载晶圆盒的本体；

所述升降平台的中部具有用于容纳所述固定平台的容纳空间，所述升降平台相对于所述固定平台可升降移动，以将罩设在所述晶圆盒的本体外的盒盖在所述第二位置时开启并在所述第一位置时关闭。

在一些实施例中，所述关窗件包括由所述升降平台向上延伸的上段部分，以及由所述升降平台向下延伸的下段部分，所述下段部分具有第二窗口，在所述第一位置，所述上段部分封闭所述第一窗口，在所述第二位置，所述第一窗口与所述第二窗口连通。

在一些实施例中，所述关窗件为板体，所述关窗件设在所述升降平台朝向所述箱体的一端，并与所述箱体设有所述第一窗口的侧壁抵接。

在一些实施例中，所述晶圆传送装载设备还包括机械手，所述机械手用于抓取晶圆，所述机械手设在所述箱体内，且所述机械手的至少部分相较于所述箱体可沿第一方向移动，以使所述机械手的至少部分可通过所述第一窗口伸出和退回所述箱体。

在一些实施例中，所述机械手包括：

主臂，所述主臂与所述箱体相连；

前臂，所述前臂的一端与所述主臂可绕竖直方向转动地相连；

叉盘，所述叉盘与所述前臂的另一端可绕竖直方向转动地相连。

在一些实施例中，所述机械手还包括第一升降件，所述第一升降件与所述箱体相连，所述主臂设在所述第一升降件上，以在所述第一升降件的驱动下相较于所述箱体升降移动。

在一些实施例中，所述晶圆传送装载设备还包括传送件，所述传送件设在所述箱体内，且所述传送件的至少部分相较于所述箱体可沿第二方向移动；

所述机械手设在所述传送件上，以在所述传送件的驱动下沿所述第二方向移动。

在一些实施例中，所述晶圆传送装载设备还包括风机过滤机组，所述风机过滤机组设在所述箱体上，并与所述箱体的内部空间连通。

在一些实施例中，所述晶圆传送装载设备还包括基座和连接件，所述箱体设在所述基座上，所述晶圆盒装载组件具有调节孔，所述调节孔为沿第一方向延伸的条形，所述连接件设在所述调节孔内并与所述基座相连，以连接所述晶圆盒装载组件和基座。

附图说明

图1是本实用新型实施例的晶圆传送装载设备的结构示意图；

图2是图1中晶圆盒装载组件和关窗件的结构示意图；

图3是图1中晶圆盒装载组件和关窗件的侧视图；

图4是图1中晶圆盒装载组件和关窗件的正剖视图；

图5是图4中升降平台的俯视局剖图；

图6是图4中固定平台的结构示意图；

图7是图1中机械手和传送件的结构示意图。

附图标记：

1.箱体；11.第一窗口；2.晶圆盒装载组件；21.固定平台；211.限位柱；212.解锁件；22.升降平台；23.限位座；231.开口；24.夹持组件；241.伸缩件；242.夹持件；243.导向件；25.辅助定位座；26.底座；261.支撑架；262.第二升降件；27.遮蔽板；28.对射传感器；29.射频传感器；3.关窗件；4.机械手；41.主臂；42.前臂；43.叉盘；44.第一升降件；5.传送件；6.风机过滤机组；7.晶圆盒；8.基座。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

下面参考图1-图7描述根据实用新型实施例的晶圆传送装载设备。

如图1-图7所示，本实用新型实施例的晶圆传送装载设备包括箱体1、晶圆盒装载组件2和关窗件3。

箱体1的侧壁具有第一窗口11。具体的，如图1所示，箱体1为晶圆在传送过程中提供无尘环境，箱体1的位于前侧的侧壁具有第一窗口11，以用于晶圆进入箱体1内部，位于便于对箱体1内部的情况进行观察，箱体1的部分侧壁采用透明材质。

晶圆盒装载组件2设在箱体1具有第一窗口11的一侧，晶圆盒装载组件2包括升降平台22，升降平台22相对于箱体1可升降移动。具体的，如图1和图2所示，晶圆盒装载组件2位于箱体1的前侧，以用于承载晶圆盒7，晶圆盒装载组件2具有升降平台22，升降平台22相对于箱体1可升降移动。

关窗件3设在升降平台22上，关窗件3在升降平台22的驱动下可在第一位置和第二位置之间移动，在第一位置，关窗件3封闭第一窗口11，在第二位置，关窗件3开启第一窗口11。

具体的，如图1和图2所示，关窗件3设在升降平台22上并位于升降平台22的后端，关窗件3的至少部分由升降平台22向上延伸，关窗件3在升降平台22的驱动下进行升降移动，并具有第一位置和第二位置，在第一位置，关窗件3封闭第一窗口11，在第二位置，关窗件3的至少部分移动至第一窗口11的上方，以使关窗件3开启第一窗口11，此时，晶圆盒装载组件2上承载的晶圆盒7内的晶圆能够通过第一窗口11进入箱体1内部。

本实用新型实施例的晶圆传送装载设备在晶圆盒装载组件的升降平台上设置关窗件，关窗件在随升降平台升降移动的过程中封闭和释放第一窗口，相较于相关技术中通过驱动翻盖转动的方式封闭和释放第一窗口的方式结构更简单，且制造成本更低。

在一些实施例中，晶圆盒装载组件2还包括固定平台21，固定平台21用于承载晶圆盒7的本体。升降平台22的中部具有用于容纳固定平台21的容纳空间，升降平台22相对于固定平台21可升降移动，以将罩设在晶圆盒7的本体外的盒盖在第二位置时开启并在第一位置时关闭。

具体的，如图4-图6所示，固定平台21优选为矩形板体，升降平台22优选为矩形框架，升降平台22的中部具有与固定平台21形状适配的容纳空间，且升降平台22相对于固定平台21可升降移动，在第一位置，固定平台21位于容纳空间内，且固定平台21的顶面和升降平台22的顶面平齐，此时，固定平台21和升降平台22能够共同承载关闭的晶圆盒7，在第二位置，升降平台22向上升起并高于固定平台21，晶圆盒7包括本体以及罩设在本体外部的盒盖，晶圆盒7的本体承载在固定平台21上，晶圆盒7的盒盖承载在升降平台22上，并随升降平台22升起至高于晶圆盒7的本体，以使晶圆盒7开启。因此，在升降平台22将晶圆盒7的盒盖打开时，关窗件3的至少部分移动至第一窗口11的上方，第一窗口11被开启，此时能够将位于晶圆盒7的本体上的晶圆直接移动至箱体1的内部，而在关窗件3封闭第一窗口11时，升降平台22也将晶圆盒7的盒盖关闭，避免晶圆暴露时间过长而受到污染。

优选的，固定平台21上设有限位柱211、解锁件212和感知传感器，解锁件212相对于固定平台21可绕固定平台21中心线转动。晶圆盒7的本体底部具有限位孔，限位柱211用于插入限位孔内以限定晶圆盒7的本体相对于固定平台21的位置，避免晶圆盒7的本体产生窜动。晶圆盒7的本体和盒盖通过锁止件相连，以通过锁止件锁定和释放晶圆盒7的本体和盒盖，解锁件212用于插入锁止件的解锁孔内，以通过解锁件212绕固定平台21中心线的转动动作开启或关闭锁止件，实现晶圆盒7的本体和盒盖的锁定和释放。固定平台21的上端面设有感知传感器，以用于检测固定平台21上是否放置有晶圆盒7，优选的，感知传感器为压力传感器。

在一些实施例中，晶圆盒装载组件还包括限位座23和夹持组件24。限位座23设在升降平台22上，限位座23环绕形成放置空间，放置空间位于容纳空间的上方。夹持组件24设在限位座23上，且夹持组件24的至少部分相对于限位座23可沿朝向和远离放置空间的方向移动。

具体的，如图2和图5所示，升降平台22上设有限位座23，限位座23环绕升降平台22的中心线设置并环绕形成放置空间，放置空间位于容纳空间的上方，且在水平投影面内，容纳空间的投影位于放置空间的投影内，放置空间用于放置晶圆盒7的盒盖，以通过限位座23限定晶圆盒7的盒盖相对于升降平台22的位置。夹持组件24设在限位座23上，且夹持组件24的至少部分相对于限位座23可沿朝向和远离放置空间的方向移动，当晶圆盒7的盒盖位于放置空间内时，夹持组件24的至少部分沿朝向放置空间的方向移动，使夹持组件24抵接晶圆盒7的盒盖，以通过多个夹持组件24或夹持组件24与限位座23对晶圆盒7的盒盖进行夹持固定，以在第二位置避免盒盖脱离升降平台22，在第一位置，夹持组件24的至少部分沿远离放置空间的方向移动，以释放晶圆盒7的盒盖，此时封闭的晶圆盒7可置于固定平台21和升降平台22上，或从固定平台21和升降平台22上取出。

在一些实施例中，限位座23的一端沿第一方向(如图1所示的前后方向)延伸，限位座23的另一端沿第二方向(如图1所示的左右方向)延伸，第二方向正交于第一方向。

如图5所示，限位座23设在升降平台22的折角处，限位座23呈L形，限位座23的一端沿前后方向延伸，限位座23的另一端沿左右方向延伸。

夹持组件24包括伸缩件241和夹持件242。伸缩件241设在限位座23上，伸缩件241可沿第一方向或第二方向伸缩移动。夹持件242具有倾斜设置的抵接面，抵接面的延伸方向与第一方向之间具有锐角，抵接面的延伸方向与第二方向之间具有锐角，夹持件242与伸缩件241相连，以在伸缩件241的驱动下沿第一方向或第二方向移动，以使抵接面的至少部分进入和退出容纳空间。

如图5所述，夹持组件24包括伸缩件241和夹持件242，伸缩件241和夹持件242在前后方向上依次设置，伸缩件241设在限位座23上并相对于限位座23可沿前后方向伸缩移动，夹持件242与伸缩件241相连，以在伸缩件241的驱动下相对于限位座23可沿前后方向移动。

夹持件242优选为横截面为三角形的块体，夹持件242的第一个夹角端位于限位座23的一端上，并与伸缩件241相连，夹持件242的第二个夹角端位于限位座23的另一端上，夹持件242的两个夹角端之间具有倾斜设置的抵接面，抵接面的延伸方向与前后方向之间具有锐角，优选为45°，抵接面的延伸方向与左右方向之间具有锐角，优选为45°，在伸缩件241的驱动，抵接面能够随伸缩件241沿前后方向移动以进入和退出容纳空间。

可以理解的是，限位座和夹持件不限于图5所示的结构，在另一些实施例中，两个限位座沿前后方向延伸，并位于升降平台沿前后方向延伸的边线上，两个限位座上设有夹持件，夹持件的至少部分相对于限位座可沿左右方向移动以进入和退出容纳空间。伸缩件还可以采用直线模组或直线电缸。

在一些实施例中，夹持组件24还包括导向件243，导向件243设在限位座23上并沿第一方向或第二方向延伸，夹持件242与导向件243相连，以在导向件243的导引下沿第一方向或第二方向移动。

如图5所示，夹持组件24还包括导向件243，导向件243优选为滑轨，导向件243设在限位座23上并沿前后方向延伸，夹持件242与导向件243滑动相连，以在导向件243的导引下沿前后方向移动。

可以理解的是，导向件的结构不限于为滑轨，在另一些实施例中，导向件为限位座上的滑槽，夹持件的部分可沿前后方向滑动地嵌设在滑槽内。

在一些实施中，限位座23的内部具有腔室，伸缩件241、夹持件242和导向件243位于腔室内，限位座23朝向放置空间的内壁面上具有开口231，开口231用于抵接面进入和退出容纳空间。

如图5所示，限位座23的内部具有腔室，腔室的一端沿前后方向延伸，以容纳伸缩件241、夹持件242的第一个夹角端和导向件243，腔室的另一端沿左右方向延伸，以容纳夹持件242的第二个夹角端，限位座23朝向放置空间的内壁面上具有开口231，且开口231位于限位座23的折角处，伸缩件241驱动夹持件242沿前后方向移动时，夹持件242的抵接面能够从开口231进入和退出容纳空间。

可以理解的是，限位座不限于设置腔室和开口，在另一些实施例中，夹持组件设置在限位座的顶部或位于左右方向上的端面上。

在一些实施例中，限位座23为多个，多个限位座23环绕升降平台22的中心线设置，且多个限位座23环绕形成放置空间，至少两个限位座23上设有夹持组件24，且至少两个夹持组件24以升降平台22的中心线为中心呈中心对称设置。

如图5所示，限位座23为四个，升降平台22的每个折角处均设有一个对应的限位座23，四个限位座23环绕形成放置空间，夹持组件24为两个，两个夹持组件24以升降平台22的中心线为中心呈中心对称设置。

可以理解的是，限位座的结构和数量不限于图5所示，在另一些实施例中，限位座仅设置一个，限位座呈矩形环形，限位座的内部为放置空间。

在一些实施例中，晶圆盒装载组件2还包括辅助定位座25，辅助定位座25设在限位座23上，在水平投影面内，辅助定位座25的投影与限位座23的投影一致，辅助定位座25朝向放置空间的内壁面沿由上至下的方向延伸并朝向放置空间倾斜设置。

如图2和图5所示，辅助定位座25设在限位座23上，辅助定位座25呈L形，在水平投影面内，辅助定位座25的投影与限位座23的投影一致，辅助定位座25朝向放置空间的内壁面沿由上至下的方向延伸并朝向放置空间倾斜设置，在晶圆盒7由上至下移动以放置在固定平台21和升降平台22上的过程中，辅助定位座25的内壁面对晶圆盒7起到导引作用，以使晶圆盒7在导引作用下精准进入放置空间内，避免错位。

在一些实施例中，至少两个限位座23上设有辅助定位座25，且至少两个辅助定位座25以升降平台22的中心线为中心呈中心对称设置。

如图2和图5所示，设有夹持组件24的两个限位座23上设有辅助定位座25，不设有夹持组件24的另两个限位座23朝向放置空间的内壁面沿由上至下的方向延伸并朝向放置空间倾斜设置，以起到导引作用。

在一些实施例中，晶圆盒装载组件2还包括底座26和遮蔽板27。底座26具有支撑架261和第二升降件262，固定平台21设在支撑架261上，升降平台22设在第二升降件262上，遮蔽板27设在升降平台22上，并由升降平台22向下延伸，遮蔽板27用于遮蔽升降平台22在升起时与固定平台21之间的空间。

如图2-图4所示，底座26具有沿上下方向延伸的支撑架261，支撑架261优选为板体，多个支撑架261绕底座26的中心线间隔排布，固定平台21设在支撑架261上，且固定平台21的中心线与底座26的中心线共线。底座26具有沿上下方向设置的第二升降件262，优选的，第二升降件262为直线电缸、伸缩缸或丝杆，升降平台22与第二升降件262相连，以在第二升降件262的驱动下相较于固定平台21升降移动，升降平台22的中心线与底座26的中心线共线，升降平台22侧面设有遮蔽板27，遮蔽板27由升降平台22向下延伸，且多个遮蔽板27环绕升降平台22的中心线排布，固定平台21位于多个遮蔽板27环绕的空间内。在升降平台22升降移动时，遮蔽板27随升降平台22升降移动，在第二位置时，升降平台22与固定平台21之间的空间被遮蔽板27遮蔽，从而对被释放的晶圆盒7的本体起到遮蔽保护的作用。

进一步的，底座26上还设有沿上下方向延伸的导向杆，升降平台22与导向杆相连以受到导向作用。

在一些实施例中，关窗件3包括由升降平台22向上延伸的上段部分，以及由升降平台22向下延伸的下段部分，下段部分具有第二窗口，在第一位置，上段部分封闭第一窗口11，在第二位置，第一窗口11与第二窗口连通。

如图3所示，关窗件3包括由升降平台22向上延伸的上段部分，以及由升降平台22向下延伸的下段部分，下段部分与遮蔽板27配合以在第二位置遮蔽升降平台22与固定平台21之间的空间，下段部分具有第二窗口，在第一位置，上段部分封闭第一窗口11，在第二位置，上段部分位于第一窗口11的上方，下段部分上的第二窗口与第一窗口11连通，以开启第一窗口11。

在一些实施例中，晶圆盒装载组件2还包括对射传感器28，对射传感器28设在升降平台22的下端，以用于检测晶圆盒7内的晶圆。

如图2和图3所示，升降平台22的下端面设有对射传感器28，在升降平台22带动晶圆盒7的盒盖升起时，对射传感器28对晶圆盒7的本体上的晶圆进行检测，以获取晶圆的位置信息，同时，对射传感器28在随升降平台22上升的过程中还可以检测获取晶圆的数量和层数。

在一些实施例中，晶圆盒装载组件2还包括射频传感器29，射频传感器29设在升降平台22上，以用于扫描识别晶圆盒7的编码。

如图2和图4所示，升降平台22上设有射频传感器29，射频传感器29位于两个限位座23之间，当晶圆盒7放置在放置空间内时，射频传感器29扫描识别晶圆盒7的编码，以对晶圆盒7进行识别。

在一些实施例中，关窗件3为板体，关窗件3设在升降平台22朝向箱体1的一端，并与箱体1设有第一窗口11的侧壁抵接。

如图1-图3所示，关窗件3为沿竖直方向延伸的板体，关窗件3设在升降平台22的后端，关窗件3的后端面与箱体1的前侧壁抵接，且关窗件3与箱体1的前侧壁可沿上下方向相对滑动。

可以理解的是，关窗件与箱体的侧壁不限于抵接，在另一些实施例中，箱体的侧壁上设有密封件，密封件环绕第一窗口设置，关窗件与密封件抵接。

在一些实施例中，晶圆传送装载设备还包括机械手4，机械手4用于抓取晶圆，机械手4设在箱体1内，且机械手4的至少部分相较于箱体1可沿第一方向移动，以使机械手4的至少部分可通过第一窗口11伸出和退回箱体1。

如图1所示，箱体1内设有机械手4，机械手4的至少部分相较于箱体1可沿前后方向移动，以通过第一窗口11和第二窗口伸出箱体1获取晶圆盒7内的晶圆，并将晶圆移动至箱体1内。

在一些实施例中，机械手4包括主臂41、前臂42和叉盘43，主臂41与箱体1相连，前臂42的一端与主臂41可绕竖直方向转动地相连，叉盘43与前臂42的另一端可绕竖直方向转动地相连。

如图7所示，前臂42设在主臂41上，且前臂42的一端与主臂41优选通过第一转动电机相连，以使前臂42可绕第一转动电机的轴线转动，叉盘43设在前臂42上，且叉盘43优选通过第二转动电机与前臂42的另一端相连，以使叉盘43可绕第二转动电机的轴线转动，从而通过第一转动电机和第二转动电机驱动叉盘43沿前后方向移动，使叉盘43能够通过第一窗口11和第二窗口伸出箱体1，以承托或吸附晶圆盒7的本体上的晶圆，并将晶圆移动至箱体1内。

在一些实施例中，机械手4还包括第一升降件44，第一升降件44与箱体1相连，主臂41设在第一升降件44上，以在第一升降件44的驱动下相较于箱体1升降移动。

如图7所示，机械手4还包括第一升降件44，第一升降件44设在箱体1上，主臂41设在第一升降件44上，以使第一升降件44能够驱动主臂41、前臂42和叉盘43升降移动，优选的，主臂41的一端与前臂42的一端通过第一转动电机相连，主臂41的另一端通过第三转动电机与第一升降件44相连，以使主臂41可绕第三转动电机的轴线转动。第一升降件44优选为伸缩缸。

可以理解的是，机械手不限于具有第一升降件，在另一些实施例中，机械手不具有第一升降件。

在一些实施例中，晶圆传送装载设备还包括传送件5，传送件5设在箱体1内，且传送件5的至少部分相较于箱体1可沿第二方向移动。机械手4设在传送件5上，以在传送件5的驱动下沿第二方向移动。

如图7所示，传送件5设在箱体1上，并位于箱体1内部，传送件5包括沿左右方向延伸的导轨以及设在导轨上的滑块，滑块可在导轨上沿左右方向移动，第一升降件44设在滑块上，在叉盘43将晶圆移动至箱体1内部之后，通过滑块驱动叉盘43抓取的晶圆沿左右方向移动，并传送至下一工序。

可以理解的是，传送件的结构不限于导轨和滑块，在另一些实施例中，传送件为驱动第一升降件移动的直线电缸，或用于承载晶圆的传送带。

在一些实施例中，本实用新型的晶圆传送装载设备还包括风机过滤机组6，风机过滤机组6设在箱体1上，并与箱体1的内部空间连通。

如图1所示，箱体1的顶部具有风机过滤机组6，风机过滤机组6与箱体1的内部空间连通，以向箱体1的内部通入清洁空气，以保证箱体1内的无尘环境。

在一些实施例中，箱体1具有出风口。

具体的，箱体1的侧壁具有出风口，风机过滤机组6在向箱体1的内部通入清洁空气的同时，箱体1内部的原有空气从出风口排出。

在一些实施例中，本实用新型实施例的晶圆传送装载设备还包括基座8和连接件，箱体1设在基座8上，晶圆盒装载组件2具有调节孔，调节孔为沿第一方向延伸的条形，连接件设在调节孔内并与基座8相连，以连接晶圆盒装载组件2和基座8。

如图1所示，箱体1设在基座8上，并位于基座8的后端，晶圆盒装载组件2位于基座8的前端，底座26上设有沿上下方向贯穿底座26的调节孔，调节孔为沿前后方向延伸的条形，连接件优选为螺栓，螺栓设在调节孔内并与基座8相连，以连接晶圆盒装载组件2和基座8，并能够通过调节孔和螺栓调节晶圆盒装载组件2与基座8在前后方向上的相对位置。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于区分，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接或彼此可通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实用新型中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管已经示出和描述了上述实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本实用新型的限制，本领域普通技术人员对上述实施例进行的变化、修改、替换和变型均在本实用新型的保护范围内。

Claims (10)

1.一种晶圆传送装载设备，其特征在于，包括：

箱体(1)，所述箱体(1)的侧壁具有第一窗口(11)；

晶圆盒装载组件(2)，所述晶圆盒装载组件(2)设在所述箱体(1)具有所述第一窗口(11)的一侧，所述晶圆盒装载组件(2)包括升降平台(22)，所述升降平台(22)相对于所述箱体(1)可升降移动；

关窗件(3)，所述关窗件(3)设在所述升降平台(22)上，所述关窗件(3)在所述升降平台(22)的驱动下可在第一位置和第二位置之间移动，在所述第一位置，所述关窗件(3)封闭所述第一窗口(11)，在所述第二位置，所述关窗件(3)开启所述第一窗口(11)。

2.根据权利要求1所述的晶圆传送装载设备，其特征在于，所述晶圆盒装载组件(2)还包括固定平台(21)，所述固定平台(21)用于承载晶圆盒(7)的本体；

所述升降平台(22)的中部具有用于容纳所述固定平台(21)的容纳空间，所述升降平台(22)相对于所述固定平台(21)可升降移动，以将罩设在所述晶圆盒(7)的本体外的盒盖在所述第二位置时开启并在所述第一位置时关闭。

3.根据权利要求2所述的晶圆传送装载设备，其特征在于，所述关窗件(3)包括由所述升降平台(22)向上延伸的上段部分，以及由所述升降平台(22)向下延伸的下段部分，所述下段部分具有第二窗口，在所述第一位置，所述上段部分封闭所述第一窗口(11)，在所述第二位置，所述第一窗口(11)与所述第二窗口连通。

4.根据权利要求2所述的晶圆传送装载设备，其特征在于，所述关窗件(3)为板体，所述关窗件(3)设在所述升降平台(22)朝向所述箱体(1)的一端，并与所述箱体(1)设有所述第一窗口(11)的侧壁抵接。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的晶圆传送装载设备，其特征在于，还包括机械手(4)，所述机械手(4)用于抓取晶圆，所述机械手(4)设在所述箱体(1)内，且所述机械手(4)的至少部分相较于所述箱体(1)可沿第一方向移动，以使所述机械手(4)的至少部分可通过所述第一窗口(11)伸出和退回所述箱体(1)。

6.根据权利要求5所述的晶圆传送装载设备，其特征在于，所述机械手(4)包括：

主臂(41)，所述主臂(41)与所述箱体(1)相连；

前臂(42)，所述前臂(42)的一端与所述主臂(41)可绕竖直方向转动地相连；

叉盘(43)，所述叉盘(43)与所述前臂(42)的另一端可绕竖直方向转动地相连。

7.根据权利要求6所述的晶圆传送装载设备，其特征在于，所述机械手(4)还包括第一升降件(44)，所述第一升降件(44)与所述箱体(1)相连，所述主臂(41)设在所述第一升降件(44)上，以在所述第一升降件(44)的驱动下相较于所述箱体(1)升降移动。

8.根据权利要求5所述的晶圆传送装载设备，其特征在于，还包括传送件(5)，所述传送件(5)设在所述箱体(1)内，且所述传送件(5)的至少部分相较于所述箱体(1)可沿第二方向移动；

所述机械手(4)设在所述传送件(5)上，以在所述传送件(5)的驱动下沿所述第二方向移动。

9.根据权利要求1-4中任一项所述的晶圆传送装载设备，其特征在于，还包括风机过滤机组(6)，所述风机过滤机组(6)设在所述箱体(1)上，并与所述箱体(1)的内部空间连通。

10.根据权利要求1-4中任一项所述的晶圆传送装载设备，其特征在于，还包括基座(8)和连接件，所述箱体(1)设在所述基座(8)上，所述晶圆盒装载组件(2)具有调节孔，所述调节孔为沿第一方向延伸的条形，所述连接件设在所述调节孔内并与所述基座(8)相连，以连接所述晶圆盒装载组件(2)和基座(8)。