KR100839045B1 - 후프오프너의 웨이퍼 이송용기 잠금 및 이송장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼 이송용기(이하 후프(FOUP)라함)의 개방장치(이하 오프너라함,opener)의 후프오프너의 웨이퍼 이송용기 잠금 및 이송장치를 개시한다.

이 장치는,

⊂형으로 일측이 개방된 공간을 형성한 판상의 스테이지(10)와; 상기 스테이지의 공간내에서 전,후진 이동가능하게 안착되며, 그 저면에 측면,정면브라켓들을 형성한 후프테이블(20)과; 상기 스테이지의 저부 양측에 설치되는 전,후단이 고정된 한 쌍의 슬라이드바(30)와; 상기 슬라이드바를 타고 이동하도록 슬라이드바내에 관착된 두 개의 슬라이더(40)와; 상기 스테이지 저부에 고정 설치되어 상기 후프테이블의 정면브라켓에 연결되어 후프테이블이 이동하도록 구동되는 구동실린더(50)를 포함하며,

상기 실린더의 구동으로 후프테이블이 전후진 이동하여 안착된 후프를 후프오프너 도어홀더에 근접 위치시킨다.

후프,후프오프너,후프테이블

Description

후프오프너의 웨이퍼 이송용기 잠금 및 이송장치{TABLE MOVING DEVICE FOR FOUP OPENER}

도 1a, 도 1b는 종래 후프오프너의 웨이퍼 이송용기 잠금 및 이송장치를 나타내는 요부 확대도와 후프테이블 단면도이고,

도 2a는 본 발명 후프오프너의 웨이퍼 이송용기 잠금 및 이송장치의 스테이지 발췌사시도이고,

도 2b는 후프오프너의 웨이퍼 이송용기 잠금 및 이송장치의 저면을 보인 사시도이고,

도 3은 본 발명 후프오프너의 웨이퍼 이송용기 잠금 및 이송장치의 분해 사시도이고,

도 4는 본 발명 후프오프너의 웨이퍼 이송용기 잠금 및 이송장치의 작용상태를 나타내는 저면도이고,

도 5는 본 발명 후프오프너의 웨이퍼 이송용기 잠금 및 이송장치의 작용상태를 설명하는 측단면도이고,

도 6은 본 발명 후프오프너의 웨이퍼 이송용기 잠금 및 이송장치의 록킹실린더의 발췌사시도이고,

도 7a 와 도 7b는 본 발명 후프오프너의 웨이퍼 이송용기 잠금 및 이송장치 의 록킹실린더의 작용도이다.

도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10:스테이지, 12:공간, 20:후프테이블, 30:슬라이드바(Slide bar),

40:슬라이더(slider),50:실린더,60:록킹실린더.

본 발명은 웨이퍼 이송용기(Front Opening Unified Pod,FOUP,pod 등 이하 이송용기 혹은 후프라 함) 개방장치(Opener,이하 오프너라함)의 웨이퍼 이송용기 잠금 및 이송장치에 관한 것으로, 특히, 실린더를 이용하여 후프테이블의 구동안정성이 향상되고 구조가 간단화한 후프오프너의 웨이퍼 이송용기 잠금 및 이송장치에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 제조공정에 있어 웨이퍼는 청정도와 안전성을 가지고 반도체 작업공간내로 운반된다. 후프는 이러한 웨이퍼를 이송하기 위한 용기로서 그 내부에 다수의 웨이퍼를 수납하여 외부와 차단된 상태로 후프오프너까지 이송된 뒤 웨이퍼 이송용기의 도어를 열은 뒤 공정장비내로 운반된다.

이러한 후프 오프너의 일반적인 구조는 공정장비측 입구부를 차폐하고 있는 수직프레임과, 이 수직프레임에 수평의 받침대가 결합되어 구성되어 있고, 후프 오프너의 받침대에는 스테이지가 설치되어 있고, 수직프레임측에는 후프 크기의 틀체가 마련되어 있다. 틀체에는 그 내측을 타고 수평방향으로 전후진되는 도어홀더가 설치되며, 도어홀더는 후프테이블위에 탑재된 후프인 후프의 도어를 개방하는 소정의 장치들을 구비한다.

후프의 개방은 1차적으로 후프를 스테이지상에 안착시키고 후프테이블을 이용하여 도어홀더에 밀착되도록 이동시킨 뒤 이루어진다. 이와 같이 밀착된 후프는 그 도어가 오프너의 도어홀더와 밀착지지된 상태에서 열린다. 도어가 열리면 지지된 도어를 도어홀더는 오프너 후방으로 이동시킨 뒤 하방으로 도어를 하강시켜 열린 후프를 통하여 로보트암에 의하여 웨이퍼들을 차례로 공정장비내로 인출하게 된다. 웨이퍼 인출을 마치면 도어홀더에 밀착지지된 도어를 상방으로 복귀시켜 열린 후프의 개방단에 밀착된 뒤 다시 잠그어진다.

종래 후프오프너를 후프스테이지에서 소정거리 이동시키는 구조로는 특허공개공보 제10-2002-0017075호로 알려진 후프 오프너의 이송장치가 알려져 있다.

이 장치는 첨부 도면 중 도 1a에서 도시하는 바와 같이 받침대위에 이동가능하게 설치되는 후프 이송테이블과, 상기 이송테이블위에 재치되는 후프의 저면을 걸어 일시 고정하기 위하여 상기 이송테이블의 정면 요입부에서 회동가능하게 설치되고, 후프저면에서 후프를 고정하기 위한 소정 형상의 걸림턱부와, 회전 중점을 형성하는 축부 및 하측에서 소정의 구동력을 받는 작동간으로 이루어지는 록커와, 상기 록커를 구동하기 위한 구동수단과, 상기 받침대 하부에서 이동가능하게 설치되며, 동시에 상기 받침대를 관통하여 상기 이송테이블과 일체로 연결되는 슬라이더로서 이루어지는 것이다.

이러한 후프테이블 혹은 스테이지 이송장치들은 공히 구동모터를 동력원으로 하고 구동되는 안내수단으로 LM가이드 혹은 웜휠 및 웜기어를 적용하고 있다.

이러한 후프오프너의 후프안착후 이동수단들은 공통적으로 동력발생수단과 동력에 따라 이동되도록 안내수단을 구비하므로 대부분 동력원과 안내수단을 설비함에 따른 구조의 복잡함이 단점이었다.

한편, 이러한 웨이퍼 이송용기는 후프 오프너의 스테이지위에서 안착 대기하였다가 스테이지 혹은 후프테이블의 전,후진에 따라 오프너의 도어홀더측에 밀착되거나 이탈된다. 이때 이송용기는 스테이지 혹은 후프 테이블 위에 정지상태로 견고하게 정지되어야 밀착 등의 충격으로 위치가 벗어나거나 이탈되지 않는다.

종래에는 이것을 스테이지상에서 잠금작동하는 잠금장치가 마련되어 있었다. 그 일예로 첨부 도면 도 1b에서 도시하는 바와 같이 특허공개공보제10-2003-0006683호등이 알려져 있었다.

즉, 이 장치는 락커가 스테이지의 하부에 고정되어 스테이지의 락커취출구로 그 상단부가 돌출되고, 이 돌출된 락커의 상단걸림턱부가 이송용기(미도시)의 저면부에 잠금공으로 삽입되어 용기를 스테이지상에 고정시키게 된다. 이 락커는 락커브라켓으로 스테이지 하부에 고정되어 있는 데, 락커의 하단에는 웜휠이 형성되어 있고, 이 웜휠은 그 하방에 위치한 웜과 치합되어 있으므로 락커구동모터가 회전하면 그 동력을 전달받아 웜이 회전하고, 웜의 회전은 그와 치합된 웜휠을 회전시켜 락커가 일정각도로 선회하면서 상기 이송용기의 저면 잠금공을 잠금 혹은 해제하게 된다.

이 웜은 양단이 락커브라켓에 고정된 베어링들로 지지되어 있으며, 그 일단 이 커플링으로 락커구동모터의 축과 연결되어 있고, 락커의 구동원으로 락커구동모터에 의해 회전하는 웜과, 이 웜과 치합되어 선회하는 웜휠,구동모터, 안내수단으로 LM가이드 등을 이용하고 있으므로 동력전달의 구조가 복잡하고, 잔고장이 많으며, 조립구조가 복잡하여 공정수가 과다한 단점도 있다.

본 발명은 이러한 종래 이송용기 잠금장치가 갖는 단점을 개선하고, 후프오프너의 후프 안착시 전,후진 이송장치에 공압에 의하여 작동하는 실린더를 적용함과 아울러 구조를 간단화한 웨이퍼 이송용기 후프테이블 안착 이송장치를 제공하는 데에 그 목적이 있다.

아울러 본 발명은 종래 전,후방으로 반복 선회하는 걸림구조를 탈피하여 저면에서 수평 회전으로 간단히 록킹되는 이송용기 잠금구조를 제공하는 데에도 그 목적이 있다.

본 발명은 간단한 작동구조로 작동안정성을 개선하고,부품수를 감소시켜 조립공정을 단축하며, 공압실린더 및 모터 등을 사용함이 없이 공압실린더만으로 모든 동력이 적용되도록 한 이송용기 잠금 및 이송장치를 제공하는 데에 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명 후프오프너의 웨이퍼 이송용기 잠금 및 이송장치는,

⊂형으로 일측이 개방된 공간을 형성한 판상의 스테이지와, 상기 스테이지의 공간내에서 전,후진 이동가능하게 안착되며, 그 저면에 고정브라켓들을 형성한 후프테이블과, 상기 스테이지의 저부 양측에 설치되는 전,후단이 고정된 한 쌍의 슬라이드바와, 상기 슬라이드바를 타고 이동하도록 슬라이드바내에 관착된 두 개의 슬라이더 및 상기 스테이지 저부에 고정 설치되어 상기 후프테이블의 정면 브라켓에 연결되어 후프테이블이 이동하도록 구동되는 실린더와 록킹실린더를 포함하며, 실린더의 구동으로 후프테이블이 전후진 이동하는 특징을 갖는다.

이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부 도면에 의거 구체적으로 설명하면 다음과 같다.

첨부 도면 중 도 2a는 본 발명 후프오프너의 웨이퍼 이송용기 잠금 및 이송장치의 스테이지 발췌사시도이고, 도 2b는 후프오프너의 웨이퍼 이송용기 잠금 및 이송장치의 저면을 보인 사시도이고, 도 3은 본 발명 후프오프너의 웨이퍼 이송용기 잠금 및 이송장치의 분해 사시도이다.

상기 도면에서 보는 바와 같이 본 발명 후프 테이블 전,후진 이송장치는 크게 판상의 스테이지(10)와, 후프테이블(20)과, 한 쌍의 슬라이드바(30)와, 두 개의 슬라이더(40)와, 구동실린더(50) 및 록킹실린더(60)로 이루어진다.

스테이지(10)는 ⊂형으로 일측이 개방된 공간(12)을 형성한 판상태를 이룬다.이러한 판상의 스테이지(10)저부에는 측면 커버후레임(14)이 더 부착되어 후프오프너의 전체 수평상태의 후프 안착을 위한 요입부를 이루며, 스테이지(10)저면으로 후술하는 구동실린더(50) 및 슬라이드바(30)들이 저부에 부착되어 있다.

스테이지는 이러한 후프의 안정적인 센싱을위한 여러가지 센싱수단,고정수단 들이 더 부가되지만 이미 알려진 수단으로 구체적인 설명은 생략한다.

후프테이블(20)은 상기 스테이지(10)의 공간(12) 및 요입부를 내에서 전,후진 이동가능하게 설치되며, 그 저면에 측면브라켓(22),정면브라켓(24)들을 형성한다.

이 후프테이블(20)은 웨이퍼를 내장한 후프가 이송되어 오면 공정챔버내로 옮겨 가기 위하여 여러가지 청정조건속에서 도어를 열고 웨이퍼를 인출하기 위한 설비의 후프 안착부분이다.

슬라이드바(30)는 상기 스테이지(10)의 저부 양측에 일정한 간격을 두고 양측으로 나란하게 설치되며, 전,후단을 상기 스테이지 저부에 고정하며, 한 쌍으로 이루어진다.

슬라이더(40)는 상기 슬라이드바(30)를 타고 이동하도록 볼베어링이 삽입된 구멍으로 이루어지며, 각각 미끄럼 이동하도록 파이프 삽입상태로 넣어져있다.

구동실린더(50)는 상기 스테이지(10) 저부의 후방을 형성하여 고정되며, 그 전방으로 실린더 로드(52)가 상기 후프테이블(20)의 정면 브라켓(24)에 연결되어 후프테이블(20)을 이동하도록 연결되어 있다.

록킹실린더(60)는 내부의 공간을 통하여 선단부에서 수평 선회하는 잠금키(62)와, 이 실린더의 하방에서 공압라인이 연결되는 입출공(61)(63)들을 형성하여서 된다.

첨부 도면 중 도 4는 후프오프너의 웨이퍼 이송용기 잠금 및 이송장치의 작용상태를 나타내는 저면도이고, 도 5는 후프오프너의 웨이퍼 이송용기 잠금 및 이 송장치의 작용상태를 설명하는 측단면도이다.

상기 도면에서 도시하는 바에 따르는 본 발명 후프오프너의 웨이퍼 이송용기 잠금 및 이송장치는 상기 구동실린더(50)의 구동으로 로드(52)에 결합된 브라켓(24) 일체의 후프테이블(20)이 이동함으로서 전,후진 이동이 이루어진다.

즉, 도 4에서 도시하는 바와 같이 저면을 나타내는 본 발명 후프오프너의 후프테이블에서 도시되었듯이 미도시된 별도의 제어수단과 동력공급수단으로부터 구동실린더(50)를 구동하므로 구동실린더(50) 선단 로드(52)에 연결된 정면브라켓(24) 일체의 후프테이블(20)이 이동된다. 정면브라켓(24)은 후프테이블(50)의 저면에 측면브라켓(22)들과 함께 일체로 고정되어 있다.

그 중 측면브라켓(22)들은 후프테이블(20)의 저면에 별도 고정된 슬라이드바(30)들에 미끄럼 관착된 슬라이더(40)들의 측면에 결합되어 있으므로 측면브라켓(22)의 이동으로 슬라이더(40)가 미끄럼 이동되어 소정의 전,후진 작동을 하게 되는 것이다.

첨부 도면 중 도 6은 본 발명 후프오프너의 웨이퍼 이송용기 잠금 및 이송장치의 록킹실린더를 발췌 도시한 사시도이고, 도 7a, 7b는 본 발명 후프오프너의 웨이퍼 이송용기 잠금 및 이송장치의 록킹실린더의 작용상태를 도시하는 측면도들이다.

상기 도면에 따르는 본 발명 록킹실린더(60)는 공압라인이 연결된 입출공(61)(63)을 통하여 선단부에서 수평 선회하는 잠금키(62)를 좌측 혹은 우측으로 수평 회전하도록 함으로서 그 위의 호프저면에 형성된 걸림공(미도시)을 걸게 된다. 이러한 잠금키(62)의 잠금 작동은 스테이지위에 올려진 후프저면을 일시적으로 잠금함으로서 스테이지 위의 후프가 좌,우측 등으로 흔들림 없이 안정적으로 후프오프너의 도어홀더 정면에 접촉할 때까지 유지되도록 한다.

물론, 후프도어를 열고 웨이퍼의 인출이 모두 끝나 후프도어가 닫히고 나면 다시 스테이지의 후프테이블이 후진한 뒤 잠금키를 해제함으로서 후프는 오프너의 스테이지를 떠날 수 있게 되는 것이다.

이상 설명한 바와 같이 본 발명 후프오프너의 웨이퍼 이송용기 잠금 및 이송장치는 종래 알려진 구동모터 방식과 달리 공압실린더 방식을 채택하여 종래 복잡한 모터와 웜기어 및 LM가이드 등에 동력수단 대신 공압실린더를 적용함으로서 하나의 공압라인을 이용하여 전,후진 이송은 물론 후프의 스테이지 위에서의 잠금상태 역시 안정적으로 유지되는 효과도 얻는다.

Claims (3)

1. 삭제
2. 후프오프너의 웨이퍼 이송용기 잠금 및 이송장치에 있어서,

   판상의 스테이지(10)와;

   상기 스테이지(10)의 공간(12)으로 전,후진 이동가능하게 안착되며, 그 저면에 측면브라켓(22),정면브라켓(24)들을 형성한 후프테이블(20)과;

   상기 스테이지(10)의 저부 양측에 설치되는 전,후단이 고정된 한 쌍의 슬라이드바(30)와;

   상기 슬라이드바(30)를 타고 이동하도록 슬라이드바(30)에 한 쌍씩 각각 미끄럼 관착된 슬라이더(40)와;

   상기 스테이지(10) 저부에 고정 설치되어 상기 후프테이블(20)의 정면브라켓(24)에 연결되어 후프테이블(20)이 이동하도록 구동되는 구동실린더(50); 및

   상기 후프테이블(20)의 저부에 입설 고정되며, 하방에서 공압라인이 연결되는 입출공(61)(63)을 형성하고, 이 입출공(61)(62)의 공압에 따라 선단부가 수평 선회하는 잠금키(62)를 구비한 록킹실린더(60)를 포함하며,

   상기 구동실린더(50)의 구동으로 후프테이블(20)이 전후진 이동함과 아울러 록킹실린더(60)로서 후프 저면이 위치 고정되는 것을 특징으로 하는 후프오프너의 웨이퍼 이송용기 잠금 및 이송장치.
3. 후프오프너의 웨이퍼 이송용기 잠금 및 이송장치에 있어서,

   ⊂형으로 일측이 개방된 공간(12)을 형성한 판상의 스테이지(10)와;

   상기 스테이지(10)의 공간(12)으로 전,후진 이동가능하게 안착되며, 그 저면에 측면브라켓(22),정면브라켓(24)들을 형성한 후프테이블(20);

   상기 스테이지(10)의 저부 양측에 설치되는 전,후단이 고정된 한 쌍의 슬라이드바(30);

   상기 슬라이드바(30)를 타고 이동하도록 슬라이드바(30)에 한 쌍씩 각각 미끄럼 관착된 슬라이더(40)와;

   상기 스테이지(10) 저부에 고정 설치되어 상기 후프테이블(20)의 정면브라켓(24)에 연결되어 후프테이블(20)이 이동하도록 구동되는 구동실린더(50); 및

   상기 후프테이블(20)의 저부에 입설 고정되는 록킹실린더(60)를 포함하며,

   상기 구동실린더의 구동으로 후프테이블이 전후진 이동함과 아울러 록킹실린더로서 후프 저면이 위치 고정되는 것을 특징으로 하는 후프오프너의 웨이퍼 이송용기 잠금 및 이송장치.

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