KR101425860B1

KR101425860B1 - 로드포트용 스테이지

Info

Publication number: KR101425860B1
Application number: KR1020120100248A
Authority: KR
Inventors: 천옥순
Original assignee: (주)세미코아; 천옥순
Priority date: 2012-09-11
Filing date: 2012-09-11
Publication date: 2014-07-31
Also published as: KR20140033844A

Abstract

본 발명은 로드포트용 스테이지에 관한 것으로서, 베이스플레이트와, 상기 베이스플레이트의 후단 일측으로부터 상기 베이스플레이트의 후방으로 연장형성되는 연장플레이트와, 상기 베이스플레이트와 상기 연장플레이트의 상면에 설치되고, 상기 연장플레이트의 상면 일측으로부터 상기 베이스플레이트의 선단방향으로 길이를 갖도록 형성되는 가이드바와, 상면 일측에 상기 반도체 수납용기가 안착되고, 저면 일측이 상기 가이드바의 일측에 결합되어 상기 가이드바를 따라 이동가능하게 설치되어 외부로부터 상면에 상기 반도체 수납용기가 안착되는 안착위치와, 상기 적재로봇이 상면에 안착된 상기 반도체 수납용기를 파지하는 파지위치 사이를 이동하는 이송부와, 상기 베이스플레이트의 선단부 일측에 설치되고, 일측이 상기 이송부에 연결되어 상기 이송부에 전후이동력을 제공하는 동력부 및 상기 베이스플레이트의 상면 일측에 설치되고, 일측이 상기 동력부와 상기 이송부의 일측에 연결되어 상기 동력부로부터 제공되는 전후이동력을 상기 이송부에 전달하는 동력전달수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 로드포트용 스테이지를 제공한다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 연장플레이트를 베이스플레이트의 후단으로부터 후방으로 연장형성하여 안착플레이트가 베이스플레이트 및 연장플레이트 상에서 전후이동되도록 함과 아울러 베이스플레이트의 상면 중 후단부에 위치한 동력부를 베이스플레이트의 선단 일측에 설치되도록 함으로써 풉(FOUP)의 이송구조가 간소화되어 제조시간 및 제조비용을 크게 절감할 수 있을 뿐 아니라 풉(FOUP)의 이송제어효율이 향상되도록 하여 반도체 수납용기인 풉(FOUP)을 적재로봇의 파지위치로 정확하게 이송할 수 있는 효과가 있다.

Description

로드포트용 스테이지{Stage for loadport}

본 발명은 로드포트용 스테이지에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 풉(FOUP)의 이송구조가 간소화되도록 하여 제조시간 및 제조비용을 크게 절감할 수 있고, 풉(FOUP)의 이송제어효율이 향상되도록 하여 반도체 수납용기인 풉(FOUP)을 적재로봇의 파지위치로 정확하게 이송할 수 있는 로드포트용 스테이지에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 가공 공정은 내부에 가공하고자 하는 반도체 자재가 수납된 반도체 수납용기, 즉 풉(FOUP)을 외부로부터 불활성 가스 환경 내에 위치하는 쉘프(shelf)로 이송하여 일정시간 적재하는 공정과, 쉘프(shelf)에 적재된 파드로부터 반도체 자재를 인출함과 아울러 반도체 가공 챔버로 이송하는 공정과, 반도체 가공 챔버로 이송된 반도체 자재를 가공하는 공정과, 반도체 가공 챔버로부터 가공된 반도체 자재를 파드 내부로 반송함과 아울러 쉘프(shelf)에 일정시간 적재하는 공정 및 쉘프(shelf)에 적재된 풉(FOUP)을 외부로 반출하는 공정으로 이루어진다.

여기서 풉(FOUP)을 쉘프(shelf)로 이송하거나 쉘프로(shelf)로부터 외부로 반출하는 공정은 로드포트에 의해 이루어지게 된다.

도1은 일반적인 로드포트의 사시도이고, 도2는 종래의 로드포트용 스테이지의 사시도이며, 도3은 종래의 로드포트용 스테이지가 동작되는 상태를 도시한 도면이다.

도1 및 도2에서 보는 바와 같이 종래의 로드포트(100)는 쉘프(shelf)가 설치된 공간과 외부공간을 구획하고 일측에 개구(111)가 형성된 프레임부(110)와, 프레임의 후면 중 개구(111)와 대응되는 위치에 좌우방향으로 이동가능하게 설치되어 개구(111)를 개폐하는 도어(120)와, 외부공간 중 프레임부(110)의 개구(111) 하측에 설치되는 테이블(130)과, 테이블(130)의 상부에 전후방향으로 이동가능하게 설치되고 상면에 풉(FOUP)이 안착되는 스테이지(140)로 구성된다.

여기서, 스테이지(140)는 쉘프(shelf)가 위치하는 공간 내에 설치, 즉 프레임부(110)의 후방에 설치되는 적재로봇이 상면에 안착된 풉(FOUP)을 용이하게 파지하여 쉘프(shelf)로 이송할 수 있도록 전후방향으로 이동되면서 풉(FOUP)을 적재로봇의 부근으로 이송하는 역할을 하는데, 이러한 스테이지(140)부는 테이블(130) 상에 설치되는 베이스플레이트(141)와, 베이스플레이트(141)의 상면에 전후방향으로 이동가능하게 설치되는 이동플레이트(142)와, 이동플레이트(142)의 상면에 전후방향으로 이동가능하게 설치되고 상면에 풉(FOUP)이 안착되는 안착플레이트(143) 및 베이스플레이트(141)의 후단부 일측에 설치되고 이동플레이트(142)와 안착플레이트(143)에 각각 연결되어 이동플레이트(142)와 안착플레이트(143)에 각각 전후이동력을 제공하는 한 쌍의 동력수단(144)으로 구성된다.

이에 종래의 로드포트(100)는 안착플레이트(143)의 상면에 풉(FOUP)이 안착되는 경우 도3에서 보는 바와 같이 이동플레이트(142)가 베이스플레이트(141)에서 전방으로 1차 이동되고, 안착플레이트(143)가 이동플레이트(142) 상에서 전방으로 2차 이동되어 안착플레이트(143)의 상면에 안착된 풉(FOUP)이 적재로봇 부근으로 이동됨으로써 적재로봇이 안착플레이트(143)의 상면에 안착된 풉(FOUP)을 용이하게 파지할 수 있게 된다.

그러나, 종래의 로드포트(100)용 스테이지(140)는 파드를 적재로봇 부근으로 이송하기 위해 이동플레이트(142) 및 안착플레이트(143)에 따른 2단 이송구조를 취하면서 그 구조가 복잡하게 형성되고, 이에 따라 제조시간이 현저하게 증대될 뿐 아니라 2단 이송구조를 위해 가이드봉, 동력수단(144) 및 동력전달구조가 추가적으로 소요되면서 제조비용 또한 크게 상승하는 문제점이 발생되었다.

또한, 종래의 로드포트(100)용 스테이지(140)는 앞서 설명한 바와 같이 풉(FOUP)을 적재로봇 부근으로 이송하여 적재로봇이 풉(FOUP)을 용이하게 파지할 수 있도록 하기 위해 이동플레이트(142)가 베이스플레이트(141)에서 1차 이송되고, 안착플레이트(143)가 이동플레이트(142)에서 2차 이송되는 과정에서 기계적인 오차가 발생되어 적재로봇이 풉(FOUP)을 파지할 수 있는 파지위치로 풉(FOUP)을 정확하게 이동시킬 수 없는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 풉(FOUP)의 이송구조가 간소화되도록 하여 제조시간 및 제조비용을 크게 절감할 수 있고, 풉(FOUP)의 이송제어효율이 향상되도록 하여 반도체 수납용기인 풉(FOUP)을 적재로봇의 파지위치로 정확하게 이송할 수 있는 로트포트용 스테이지를 제공함에 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일측면에 따르면, 반도체 수납용기가 적재로봇에 의해 불활성가스 환경 내에 위치하는 반도체 수납용기 적재소로 이송될 수 있도록 상기 반도체 수납용기를 전후방향으로 이송하는 로드포트용 스테이지에 있어서, 베이스플레이트와, 상기 베이스플레이트의 후단 일측으로부터 상기 베이스플레이트의 후방으로 연장형성되는 연장플레이트와, 상기 베이스플레이트와 상기 연장플레이트의 상면에 설치되고, 상기 연장플레이트의 상면 일측으로부터 상기 베이스플레이트의 선단방향으로 길이를 갖도록 형성되는 가이드바와, 상면 일측에 상기 반도체 수납용기가 안착되고, 저면 일측이 상기 가이드바의 일측에 결합되어 상기 가이드바를 따라 이동가능하게 설치되어 외부로부터 상면에 상기 반도체 수납용기가 안착되는 안착위치와, 상기 적재로봇이 상면에 안착된 상기 반도체 수납용기를 파지하는 파지위치 사이를 이동하는 이송부와, 상기 베이스플레이트의 선단부 일측에 설치되고, 일측이 상기 이송부에 연결되어 상기 이송부에 전후이동력을 제공하는 동력부 및 상기 베이스플레이트의 상면 일측에 설치되고, 일측이 상기 동력부와 상기 이송부의 일측에 연결되어 상기 동력부로부터 제공되는 전후이동력을 상기 이송부에 전달하는 동력전달수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 로드포트용 스테이지를 제공한다.

그리고, 상기 동력전달수단은 상기 가이드바와 상기 베이스플레이트의 상면 사이에 설치되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 이송부는 저면 일측이 상기 가이드바의 일측에 결합되어 상기 가이드바를 따라 전후이동되고, 상면에 상기 반도체 수납용기가 안착되는 안착플레이트 및 상기 안착플레이트의 상면 일측으로부터 상방으로 돌출되고, 상기 안착플레이트의 상면에 안착되는 상기 반도체 수납용기의 저면 일측에 삽입결합되는 결합돌기를 포함할 수 있다.

아울러, 상기 안착플레이트는 저면 일측이 상기 가이드바의 일측에 결합되어 상기 가이드바를 따라 전후이동되는 이동플레이트와, 상기 이동플레이트의 상부에 결합되고, 상기 이동플레이트가 전후이동됨에 따라 동반 이동되며, 상면에 반도체 수납용기가 안착되는 지지플레이트를 포함하되, 상기 지지플레이트는 후단부가 상기 이동플레이트의 후단부로부터 후방으로 돌출형성되게 상기 이동플레이트의 상부에 결합되는 것이 바람직하다.

상기와 같은 본 발명에 따르면, 연장플레이트를 베이스플레이트의 후단으로부터 후방으로 연장형성하여 안착플레이트가 베이스플레이트 및 연장플레이트 상에서 전후이동되도록 함과 아울러 베이스플레이트의 상면 중 후단부에 위치한 동력부를 베이스플레이트의 선단 일측에 설치되도록 함으로써 풉(FOUP)의 이송구조가 간소화되어 제조시간 및 제조비용을 크게 절감할 수 있을 뿐 아니라 풉(FOUP)의 이송제어효율이 향상되도록 하여 반도체 수납용기인 풉(FOUP)을 적재로봇의 파지위치로 정확하게 이송할 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명은 베이스플레이트의 상면에 동력전달수단을 설치하고, 가이드유닛을 동력전달수단의 상부에 위치하도록 하여 기존 동력전달수단 또는 가이드바가 설치되었던 설치공간 중 어느 하나의 설치공간을 확보함으로써 미리 설정된 로드포트의 규격 내에서 타 구성의 설치위치를 용이하게 설정할 수 있는 효과가 있다.

도1은 일반적인 로드포트의 사시도,
도2는 종래의 로드포트용 스테이지의 사시도,
도3은 종래의 로드포트용 스테이지가 동작되는 상태를 도시한 도면,
도4는 본 발명의 일실시예에 따른 로드포트용 스테이지의 사시도,
도5는 본 발명의 일실시예에 따른 로드포트용 스테이지의 분해사시도,
도6은 본 발명의 일실시예에 따른 로드포트용 스테이지에 풉(FOUP)이 안착되는 상태를 도시한 도면,
도7은 본 발명의 일실시예에 따른 안착플레이트가 파지위치로 이동되는 상태를 도시한 도면.

이하에서 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일실시예를 상세하게 설명하도록 한다.

도4는 본 발명의 일실시예에 따른 로드포트용 스테이지의 사시도이고, 도5는 본 발명의 일실시예에 따른 로드포트용 스테이지의 분해사시도이다.

도4 및 도5에서 보는 바와 같이 본 발명의 일실시예에 따른 로드포트용 스테이지는 베이스플레이트(10)와, 연장플레이트(20)와, 가이드바(30)와, 이송부(40)와, 동력부(50) 및 동력전달수단(60)을 포함하여 구성된다.

베이스플레이트(10)는 대략 장방형상의 판상으로 형성되고, 로드포트의 프레임부(110) 전면 중 개구(111) 하측에 배치되어 후술하는 각 구성의 설치영역을 제공하는 역할을 한다.

연장플레이트(20)는 대략 판상으로 형성되고, 베이스플레이트(10)의 후단의 일측으로부터 후방으로 연장형성되어 베이스플레이트(10)에 의해 제공되는 이송부(40)의 이송영역을 추가적으로 제공하는 역할을 한다.

다시 말하면, 연장플레이트(20)는 앞서 설명한 바와 같이 베이스플레이트(10)의 후단 일측으로부터 베이스플레이트(10)의 후방으로 연장형성됨에 따라 후술하는 가이드바(30)가 베이스플레이트(10)의 선단으로부터 연장플레이트(20)의 후단까지의 거리와 대응되는 길이로 형성될 수 있도록 함으로써 이송부(40)에 추가적인 이송영역을 제공하게 된다.

가이드바(30)는 대략 직선의 봉형상으로 형성되고, 양측단부가 각각 베이스플레이트(10)의 선단과, 연장플레이트(20)의 후단에 배치되도록, 베이스플레이트(10)와 연장플레이트(20)의 상부에 설치되며, 일측에 이송부(40)의 저면 일측에 결합되어 후술하는 동력부(50)에 의해 동력이 제공되어 이송부(40)가 이동되는 경우 이송부(40)의 이동방향을 안내하는 역할을 한다.

이와 같은 가이드바(30)는 당해 기술분야에서 통상의 지식을 갖는 자에게는 상용적으로 공급되는 것을 구입하여 사용할 수 있을 정도로 공지된 것임이 자명한 것으로 구체적인 설명은 생략하도록 한다.

이송부(40)는 저면 일측이 가이드바(30)의 일측에 전후이동가능하게 결합되는 안착플레이트(41)와, 안착플레이트(41)의 상면 일측으로부터 상방으로 돌출형성되는 적어도 하나의 결합돌기(42)를 포함하여 구성되며, 안착플레이트(41)의 상면에 반도체 수납용기인 풉(FOUP)을 적재로봇이 상면에 안착된 풉(FOUP)을 용이하게 파지할 수 있도록 풉(FOUP)을 이송하는 역할을 한다.

안착플레이트(41)는 대략 플레이트 형상으로 형성되고 저면 일측에 가이의 일측에 전후방향으로 이동가능하게 결합되는 이동플레이트(41a)와, 이동플레이트(41a)의 상부 일측에 고정설치되는 지지플레이트(41b)를 포함하여 구성되며, 상면에 이송하고자 하는 풉(FOUP)이 안착되는 안착위치와, 적재로봇이 상면에 안착된 반도체 수납용기를 파지하는 파지위치 사이를 이동하면서 반도체 수납용기를 쉘프(shelf)방향으로 이송하는 역할을 한다.

여기서, 지지플레이트(41b)는 후단부가 이동플레이트(41b)의 후방으로 돌출되게 이동플레이트(41b)의 상면에 고정설치되는데, 이와 같이 지지플레이트(41b)가 이동플레이트(41a)의 후방으로 돌출되게 이동플레이트(41b)의 상면에 고정설치하는 이유는 안착플레이트(41b)가 베이스플레이트(10) 상에서 파지위치로 이동하는 경우 지지플레이트(41)의 상면에 안착된 파드가 적재로봇 방향으로 돌출되도록 함으로써 적재로봇이 풉(FOUP)을 보다 용이하게 파지할 수 있도록 하기 위함이다.

그리고, 지지플레이트(41b)는 파지위치에 위치하는 경우 후방에 위치한 적재로봇이 상면에 안착된 풉(FOUP)을 하방으로부터 상방으로 떠 받쳐들 수 있도록 후단 부 일측에 통과홈(41ba)이 형성된다.

결합돌기(42)는 지지플레이트(41b)의 상면 일측으로부터 상방으로 돌출형성되고, 반도체 수납용기인 풉(FOUP)이 지지플레이트(41b)의 상면에 안착되는 경우 지지플레이트(41b)의 상면에 안착된 반도체 수납용기의 안착위치를 고정하는 역할을 한다.

동력부(50)는 베이스플레이트(10)의 선단부 일측에 수직방향으로 설치되고, 일측이 후술하는 동력전달수단(60)을 통해 안착플레이트(41)에 연결되어 안착플레이트(41)에 전후이동력을 제공하는 역할을 한다.

여기서, 동력부(50)는 모터가 사용될 수 있는데, 이러한 모터는 당해 기술분야에서 통상의 지식을 갖는 자에게는 상용적으로 공급되는 것을 구입하여 사용할 수 있을 정도로 공지된 것임이 자명한 것으로 구체적인 설명은 생략하도록 한다.

동력전달수단(60)은 일측이 동력부(50)에 연결되고, 다른 일측이 안착플레이트(41)에 연결되어 동력부(50)로부터 제공되는 동력을 안착플레이트(41)에 전달함으로써 안착플레이트(41)가 가이드바(30)를 따라 전후방향으로 이동되도록 하는 역할을 한다.

그리고, 동력전달수단(60)은 가이드바(30)와 베이스플레이트(10)의 상면 사이에 설치되는데, 이와 같이 동력전달수단(60)을 가이드바(30)와 베이스플레이트(10)의 상면 사이에 설치하여 동력전달수단(60)과 가이드바(30)를 적층구조로 형성하는 이유는 베이스플레이트(10) 상에서 기존 동력전달수단(60) 또는 가이드바(30)가 설치되었던 설치공간 중 어느 하나의 설치공간을 확보함으로써 미리 설정된 로드포트의 규격 내에서 타 구성의 설치위치를 용이하게 설정할 수 있도록 하기 위함이다.

도6은 본 발명의 일실시예에 따른 로드포트용 스테이지에 풉(FOUP)이 안착되는 상태를 도시한 도면이고, 도7은 본 발명의 일실시예에 따른 안착플레이트가 파지위치로 이동되는 상태를 도시한 도면이다.

이와 같은 구성을 갖는 본 발명의 일실시예에 따른 로드포트용 스테이지의 동작을 첨부된 도6 및 도7을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

먼저, 도6에서 보는 바와 같이 안착플레이트(41)가 베이스 상부에 위치하는 안착위치에 위치하는 경우 외부에 구비된 이송로봇으로부터 이송하고자 하는 풉(FOUP)이 안착플레이트(41)의 상면에 안착된다.

이때, 지지플레이트(41b)의 상면에 안착된 파드의 저면 일측에 이송부(40)의 결합돌기(42)가 삽입되어 그 안착위치가 견고하게 고정된다.

이와 같이 풉(FOUP)이 안착플레이트(41)에 안착된 상태에서 동력부(50)가 구동되면, 동력부(50)로부터 발생되는 동력이 동력전달수단(60)을 통해 안착플레이트(41)로 전달되고, 전달된 동력에 의해 안착플레이트(41)가 안착플레이트(41)의 후방으로 이동하여 파지위치로 이동된다.

이후, 적재로봇(미도시)이 파지위치에 위치한 안착플레이트(41) 상면에 안착된 풉(FOUP)을 파지하게 되는데, 본 발명의 일실시예에 따른 지지플레이트(41b)가 이동플레이트(41a)의 후방으로 돌출되게 이동플레이트(41a)의 상면에 안착되면서 지지플레이트(41b) 상에 안착된 풉(FOUP)이 보다 적재로봇(미도시)에 근접하게 되면서 적재로봇이 풉(FOUP)을 보다 용이하게 파지할 수 있게 된다.

비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정이나 변형을 하는 것이 가능하다. 따라서 첨부된 특허청구의 범위는 본 발명의 요지에서 속하는 이러한 수정이나 변형을 포함할 것이다.

1 : 로드포트용 스테이지 10 : 베이스플레이트
20 : 연장플레이트 30 : 가이드바
40 : 이송부 41 : 안착플레이트
41a : 이동플레이트 41b : 지지플레이트
41ba : 통과홈 42 : 결합돌기
50 : 동력부 60 : 동력전달수단

Claims

반도체 수납용기가 적재로봇에 의해 불활성가스 환경 내에 위치하는 반도체 수납용기 적재소로 이송될 수 있도록 상기 반도체 수납용기를 전후방향으로 이송하는 로드포트용 스테이지에 있어서,
베이스플레이트와;
상기 베이스플레이트의 후단 일측으로부터 상기 베이스플레이트의 후방으로 연장형성되는 연장플레이트와;
상기 베이스플레이트와 상기 연장플레이트의 상면에 설치되고, 상기 연장플레이트의 상면 일측으로부터 상기 베이스플레이트의 선단방향으로 길이를 갖도록 형성되는 가이드바와;
상면 일측에 상기 반도체 수납용기가 안착되고, 저면 일측이 상기 가이드바의 일측에 결합되어 상기 가이드바를 따라 이동가능하게 설치되어 외부로부터 상면에 상기 반도체 수납용기가 안착되는 안착위치와, 상기 적재로봇이 상면에 안착된 상기 반도체 수납용기를 파지하는 파지위치 사이를 이동하는 이송부와;
상기 베이스플레이트의 선단부 일측에 설치되고, 일측이 상기 이송부에 연결되어 상기 이송부에 전후이동력을 제공하는 동력부; 및
상기 베이스플레이트의 상면 일측에 설치되고, 일측이 상기 동력부와 상기 이송부의 일측에 연결되어 상기 동력부로부터 제공되는 전후이동력을 상기 이송부에 전달하는 동력전달수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 로드포트용 스테이지.
제1항에 있어서,
상기 동력전달수단은 상기 가이드바와 상기 베이스플레이트의 상면 사이에 설치되는 것을 특징으로 하는 로드포트용 스테이지.
제1항에 있어서,
상기 이송부는
저면 일측이 상기 가이드바의 일측에 결합되어 상기 가이드바를 따라 전후이동되고, 상면에 상기 반도체 수납용기가 안착되는 안착플레이트; 및
상기 안착플레이트의 상면 일측으로부터 상방으로 돌출되고, 상기 안착플레이트의 상면에 안착되는 상기 반도체 수납용기의 저면 일측에 삽입결합되는 결합돌기를 포함하는 것을 특징으로 하는 로드포트용 스테이지.
제3항에 있어서,
상기 안착플레이트는
저면 일측이 상기 가이드바의 일측에 결합되어 상기 가이드바를 따라 전후이동되는 이동플레이트와;
상기 이동플레이트의 상부에 결합되고, 상기 이동플레이트가 전후이동됨에 따라 동반 이동되며, 상면에 반도체 수납용기가 안착되는 지지플레이트를 포함하되,
상기 지지플레이트는 후단부가 상기 이동플레이트의 후단부로부터 후방으로 돌출형성되게 상기 이동플레이트의 상부에 결합되는 것을 특징으로 하는 로드포트용 스테이지.