JP6283153B2 - ワーク検出機構 - Google Patents
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Description
なお、ワーク検出機構90は、第一エンドエフェクタ70及び第二エンドエフェクタ80にそれぞれ設けられるが、その構成は略同一であるため、以下では第一エンドエフェクタ70に設けられたワーク検出機構90についてのみ説明する。
真空チャンバ1(真空室)の内部においてワーク搬送機構3によって搬送されるワーク
5を検出するワーク検出機構90であって、
ワーク5を検出するセンサ部91と、
センサ部91に接続され、センサ部91からの信号を処理するセンサアンプ部92と、
センサアンプ部92に電力を供給する電池部93と、
センサアンプ部92からの信号を真空チャンバ1の外部へと無線で送信する無線送信部94と、
を具備し、
センサ部91、センサアンプ部92、電池部93及び無線送信部94は、ワーク搬送機構3が有する1つの第一エンドエフェクタ70に設けられるとともに、当該第一エンドエフェクタ70以外の部材には直接接続されていないものである。
また、複数の部材(例えば、第一エンドエフェクタ70と第二リンクアーム部60等)に亘るようにしてワーク検出機構90(特に配線)を設けることが無いため、例えば、各部材の内部に設けられた配線同士を接続するために当該各部材に孔を設け、配線を外部に引き出して接続する等の加工や作業をする必要も無く、当該部材の気密性を損なうことがない。
また、ワーク検出機構90が第一エンドエフェクタ70に設けられているため、ワーク搬送機構3によるワーク5の搬送経路のいかなる位置においても、当該第一エンドエフェクタ70が搬送しているワーク5を検出することができる。したがって、ワーク5が脱落する等の異常事態が発生した際には、すぐにワーク搬送機構3を停止するなど、迅速な対応をすることができる。
真空チャンバ1の外部から非接触方式にて供給されるエネルギーを電力に変換して電池部93に充電する充電部(ソーラーパネル96及びバッテリチャージャ97)をさらに具備し、
前記充電部は、1つの第一エンドエフェクタ70に設けられるとともに、当該第一エンドエフェクタ70以外の部材には直接接続されず、非接触方式で真空チャンバ1の外部から前記充電部にエネルギーを供給して、電力を発生させて充電するものである。
ワーク検出機構90のうちセンサ部91以外の部分を1つの筐体98で覆うとともに、
1つの筐体98を真空チャンバ1の内部の空間との間で断熱するものである。
また、筐体98の形状は直方体状に限るものではなく、様々な形状で構成することも可能である。
また、ワーク搬送機構3及びワーク搬送機構203は一例であり、ワーク検出機構90は様々なワーク搬送機構に適用することが可能である。
3 ワーク搬送機構
5 ワーク
70 第一エンドエフェクタ
80 第二エンドエフェクタ
90 ワーク検出機構
91 センサ部
92 センサアンプ部
93 電池部
94 無線送信部
96 ソーラーパネル
97 バッテリチャージャ
98 筐体
Claims (2)
- 真空室の内部においてワーク搬送機構によって搬送されるワークを検出するワーク検出機構であって、
前記ワークを検出するセンサ部と、
前記センサ部に接続され、前記センサ部からの信号を処理するセンサアンプ部と、
前記センサアンプ部に電力を供給する電池部と、
前記センサアンプ部からの信号を前記真空室の外部へと無線で送信する無線送信部と、
を具備し、
前記センサ部、前記センサアンプ部、前記電池部及び前記無線送信部は、前記ワーク搬送機構が有する一つのエンドエフェクタに設けられるとともに、当該エンドエフェクタ以外の部材には直接接続されておらず、
前記ワーク検出機構のうち前記センサ部以外の部分を一つの筐体で覆うとともに、
前記真空室の外部から非接触方式にて供給されるエネルギーを電力に変換して前記電池部に充電する充電部をさらに具備し、
前記充電部は、前記一つのエンドエフェクタに設けられるとともに、当該エンドエフェクタ以外の部材には直接接続されず、前記ワーク搬送機構が作業原点姿勢にある場合において、非接触方式で前記真空室の外部から前記充電部にエネルギーを供給して、電力を発生させて充電し、
前記筐体は、前記ワーク搬送機構が作業原点姿勢にある場合において、前記真空室の外部であって前記筐体と近接する位置に配置される冷却装置によって冷却される、
ワーク検出機構。 - 前記充電部を、前記筐体内に配置し、
前記一つの筐体を、前記エンドエフェクタの基端部に配置し、
前記ワーク搬送機構が作業原点姿勢にある場合において、前記筐体と対向するように配
置されるエネルギー供給部を具備する、
請求項1に記載のワーク検出機構。
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