JP2004137059A - 脆性基板の異常監視装置及び異常監視方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ガラス基板等の脆性基板を搬送台車に搭載して搬送するにあたり、振動や衝撃による該脆性基板の異常発生の有無及び異常の状態を定量的かつ経時的に検知することにより、該脆性基板の破損防止処置を的確な時期に無駄なく行うことを可能として、該脆性基板の破損を未然に防止し得る脆性基板の異常監視装置及び異常監視方法を提供する。
【解決手段】搬送台車のフレームに支持具を介して支持されたガラス基板を含む脆性基板の異常の有無を監視する脆性基板の異常監視手段において、前記脆性基板の振れを検出する振れ検出器及び前記支持具の前記脆性基板近接部位の歪を検出する歪検出器の何れか一方または双方を備えるとともに、前記振れあるいは歪の検出値に基づき前記脆性基板の異常の有無を判定する異常判定手段を備えてなることを特徴とする。
【選択図】 図1
【解決手段】搬送台車のフレームに支持具を介して支持されたガラス基板を含む脆性基板の異常の有無を監視する脆性基板の異常監視手段において、前記脆性基板の振れを検出する振れ検出器及び前記支持具の前記脆性基板近接部位の歪を検出する歪検出器の何れか一方または双方を備えるとともに、前記振れあるいは歪の検出値に基づき前記脆性基板の異常の有無を判定する異常判定手段を備えてなることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、太陽電池生産システムに用いられる太陽電池搬送台車に搭載されたガラス基板の異常監視システム等に適用され、搬送台車のフレームに支持具を介して支持されたガラス基板を含む脆性基板の異常の有無を監視する脆性基板の異常監視装置及び異常監視方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
図5は太陽電池生産システムの概略配置を示す。図において、103は真空に保持された製膜室、105は回転中心周りに複数個放射状に配置された回転室、104は該回転室105と製膜室103との間に設置されたガラス基板搬送台車の待機室である。
かかる太陽電池生産システムにおいては、台車フレームに支持されたガラス基板を搭載した搬送台車をレール5に沿って転送し、回転室105から待機室104に搬入して所定時間待機させた後、製膜室103に搬入して所定の作業を行っている。
【0003】
かかるガラス基板を搭載した搬送台車の転送時において、脆性材料からなるガラス基板が、製膜室103内における搬送台車の車輪とレール5との間に堆積したパーティクルへの台車の乗り上げ、レール5間の隙間5aにおける段差変化、台車フレームとガラス基板との間の位置決め誤差等によって損傷を生じることがある。
前記のようなガラス基板の損傷の主因である搬送台車の振動や衝撃を抑制するため、従来は、水平クロスローラの追設、ガラス基板支持部の構造面及び材料面の強化、ガラス基板支持部における振動吸収装置の設置等の処置を施している。
【0004】
また、特許文献1(特開平11−176911号公報)においては、半導体基板のキャリアを搬送するキャリア搬送装置と露光装置との間にインターフェース装置を設け、該インターフェース装置により、露光装置とキャリア搬送装置との間で基板を受け渡す際に、露光装置とキャリア搬送装置との位置決めを行い、基板の受渡しを安全かつ確実に行うように構成されている。
【0005】
【特許文献1】
特開平11−176911号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
脆性材料からなるガラス基板を搬送する搬送台車の移動時あるいは製膜室103内での作業時においては、前記のように搬送台車に作用する振動や衝撃によってガラス基板が破損し易い状態にあるが、従来は、かかる破損の要因となる振動や衝撃を抑制するため前記のような処置を施している。
しかしながら、かかる従来技術にあっては、前記ガラス基板の振動や衝撃による異常状態の発生状況を定量的にかつ経時的に検知することなく前記のような処置を施しているのが実情であり、このため前記ガラス基板の振動や衝撃に対する抑制処置を的確な時期に無駄なくかつ充分に行うことが困難となる、
また、前記特許文献1においては、半導体基板の受渡しを安全かつ確実に行う手段が開示されているにとどまり、基板に振動や衝撃が作用する場合についての対処はなされていない、
等の問題点を有している。
【0007】
本発明はかかる従来技術の課題に鑑み、ガラス基板等の脆性基板を搬送台車に搭載して搬送するにあたり、振動や衝撃による該脆性基板の異常発生の有無及び異常の状態を定量的かつ経時的に検知することにより、該脆性基板の破損防止処置を的確な時期に無駄なく行うことを可能として、該脆性基板の破損を未然に防止し得る脆性基板の異常監視装置及び異常監視方法を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明はかかる課題を解決するため、請求項1記載の発明として、搬送台車のフレームに支持具を介して支持されたガラス基板を含む脆性基板の異常の有無を監視する脆性基板の異常監視装置において、前記脆性基板の振れを検出する振れ検出器及び前記支持具の前記脆性基板近接部位の歪を検出する歪検出器の何れか一方または双方を備えるとともに、前記振れあるいは歪の検出値に基づき前記脆性基板の異常の有無を判定する異常判定手段を備えてなることを特徴とする脆性基板の異常監視装置を提案する。
【0009】
請求項2記載の発明は、請求項1に加えて、前記振れ検出器あるいは歪検出器からの振れあるいは歪の検出データ、前記異常判定手段における判定及び処置データ等のデータが格納されたデータロガ、及び電流増幅器等の計測関連機器が収納された密閉容器を前記搬送台車上に搭載してなることを特徴とする。
請求項2において、好ましくは請求項3記載のように、前記密閉容器は、平滑な絶縁表面を有する箱状のケース部材の内周に断熱部材層を形成し該断熱部材層の内側に前記データロガ及び計測関連機器が収納されてなるのがよい。
【0010】
請求項5記載の発明は、請求項1ないし3の発明に係る脆性基板の異常監視装置を使用する方法の発明に係り、搬送台車のフレームに支持具を介して支持されたガラス基板を含む脆性基板の異常の有無を監視する脆性基板の異常監視方法において、前記脆性基板の振れ及び前記支持具の前記脆性基板近接部位の歪の何れか一方または双方を検出し、前記振れあるいは歪の検出値と該振れあるいは歪の許容値とを比較して前記脆性基板の異常の有無を判定し、該異常の有無判定データをデータロガに格納しておき、該データロガをバッチ的に開き、前記脆性基板に異常の判定があったとき該脆性基板の破損防止処置を行うことを特徴とする。
【0011】
請求項4記載の発明は、請求項1ないし3及び5の発明を実施する方法に係り、前記脆性基板の異常監視装置を太陽電池搬送台車に搭載されたガラス基板の異常監視に適用したもので、真空中を走行する搬送台車のフレームに支持具を介して支持されたガラス基板の異常の有無を監視する太陽電池搬送台車に搭載されたガラス基板の異常監視装置において、前記ガラス基板の振れを検出する振れ検出器及び前記支持具の前記脆性基板近接部位の歪を検出する歪検出器の何れか一方または双方を備えるとともに、前記振れあるいは歪の検出値に基づき前記ガラス基板の異常の有無を判定する異常判定手段を備えてなることを特徴とする。
【0012】
かかる発明によれば、請求項4におけるガラス基板を含む脆性基板を支持する搬送台車フレームの上端部等の、振動、衝撃等の振れが大きい部位に振れ検出器を設置するか、あるいは前記脆性基板を前記フレームに取り付けるための支持具の該脆性基板に近接した部位に歪検出器を設置するか、あるいは前記振れ検出器及び歪検出器の双方を設置し、該振れ検出器にて検出された脆性基板の振れの検出信号及び歪検出器にて検出された脆性基板支持部の歪の検出信号を異常判定手段に入力する。
【0013】
そして、該異常判定手段において、前記振れの検出値と許容値とを比較して前記脆性基板の異常の有無を判定し、あるいは歪の検出値と許容値とを比較して前記脆性基板の異常の有無を判定するとともに異常状態への接近度合いを検出し、かかる異常の有無判定データ及び異常状態への接近度合い検出データをデータロガに格納しておき、該データロガをバッチ的に開き、前記脆性基板の異常状態への接近度合いを検知し把握するとともに、異常の有無判定データに前記脆性基板の異常の判定があったときには該脆性基板について破損防止処置を行う。
【0014】
従ってかかる発明によれば、脆性基板に発生している振動、衝撃等の振れの検出値と許容値とを比較し、あるいは脆性基板に近接した支持部に発生している歪の検出値と許容値とを比較し該脆性基板の異常の有無を判定することにより該脆性基板の異常発生状況を監視して、異常発生の判定があったときには該脆性基板について破損防止処置を行うので、該脆性基板の振動や衝撃による異常発生の有無及び異常状態への接近状況を定量的かつ迅速にさらには経時的に検知することができる。
これにより、該脆性基板の破損防止処置を破損に至る以前の的確な時期に無駄なく行うことが可能となり、振動、衝撃による該脆性基板の破損を未然に防止することができる。
【0015】
また請求項2、3のように構成すれば、前記脆性基板の振れあるいは歪の検出データ及び該検出データに基づく異常判定及び処置データ等のデータが格納されたデータロガを搬送台車上に搭載された密閉容器内に格納しておき、該データロガをバッチ的に開いて該データロガに格納されたデータを検知するので、該脆性基板の異常発生の有無を連続的に監視することを必要とせず、密閉容器を一定期間毎に開いて該密閉容器内のデータロガに格納されたデータを検知するのみで前記脆性基板の異常発生状況を把握することができる。これにより、脆性基板の異常監視を少ない工数でかつ能率的に行うことが可能となる。
【0016】
また、請求項3のように、前記データロガ及び計測関連機器類が収納されている密閉容器を平滑な絶縁表面を有する箱状のケース部材の内周に断熱部材層を設けて形成したので、該データロガ及び計測関連機器類を外部からの電気的、熱的影響を受けることなく高精度で以って長時間保持することができる。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図に示した実施例を用いて詳細に説明する。但し、この実施例に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは特に特定的な記載がない限り、この発明の範囲をそれのみに限定する趣旨ではなく、単なる説明例にすぎない。
【0018】
図1は本発明の実施例に係る太陽電池搬送台車に搭載されたガラス基板及びその異常監視装置の概略側面図、図2は図1のA―A部分矢視図である。図3は前記異常監視装置における密閉容器の片側を開放した斜視図である。図4は前記実施例における異常監視の制御フローチャートである。
【0019】
本発明の実施例を示す図1〜2において、5はレール、100は該レール5上を走行する搬送台車である。2は該搬送台車100の台車フレームで、該台車フレーム2の下部には複数の車輪4が取り付けられている。
1はガラス基板(脆性基板)で、図2に示されるように、前記台車フレーム2の側部に隅部の複数箇所(この例では4箇所)を、支持具3を介して該台車フレーム2に固定されている。6は後述する構成を備えた密閉容器で、前記台車フレーム2内の走行に伴う振れが少なくかつ温度の低い部位に着脱可能に設置されている。
【0020】
7は前記ガラス基板1に作用する振動、衝撃等の動的な振れを検出する加速度検出器で、前記搬送台車フレーム2の上端部等の、前記動的な振れの大きい部位に設置されている。8は歪検出器で、前記4個の支持具3のガラス基板1に近接した部位に取り付けられている。そして前記加速度検出器7及び各歪検出器8の検出信号は検出回線07及び08を介して前記密閉容器6内のデータロガ64(図3参照)に伝送されている。
【0021】
11は前記搬送台車100に搭載された異常判定手段で、前記加速度検出器7からの振れの検出値と許容値とを比較してガラス基板1の異常の有無を判定し、あるいは前記歪検出器8からの歪の検出値と許容値とを比較してガラス基板1の異常の有無を判定するとともに、前記振れの検出値と許容値とを比較値、あるいは前記歪の検出値と許容値とを比較値から、ガラス基板1がどの程度異常状態へ接近しているかという接近度合いを検出して、これらの判定結果及び検出結果を回線10及び接続端子9を介して前記データロガ64(図3参照)に伝送するようになっている。
【0022】
前記密閉容器6の詳細を示す図3において、61は平滑な絶縁表面を有する箱状のケースで、表面にアルマイト処理を施したアルミニウム板、表面に絶縁被膜が形成されたステンレス板等からなる。62は前記ケース61の内周に一定厚さで以って貼りつけられた断熱材で、該断熱材62の内側に前記データロガ64並びに前記加速度検出器7からの検出回線07及び前記歪検出器8からの検出回線07が接続される増幅器63等の計測関連機器が収納されている。
このように、該データロガ64及び増幅器63等の計測関連機器類を平滑な絶縁表面を有するケース内に断熱材62を介して収納したので、該データロガ64及び計測関連機器類を外部からの電気的、熱的影響を受けることなく高精度に長時間維持することが可能となる。
【0023】
かかる構成からなるガラス基板及びその異常監視装置において、前記加速度検出器7により検出された振動、衝撃等の振れの検出信号、並びに前記歪検出器8にて検出されたガラス基板1の支持具3における歪の検出信号が前記異常判定手段11に入力されると、該異常判定手段11においては、次のような動作を行う。
【0024】
即ち図4において、前記振れの検出信号及び歪の検出信号が入力されると(ステップ(1)、(2))、該振れの検出値と予め設定されている振れの許容値とを比較しその偏差を算出する(ステップ(3))。また歪の検出値と予め設定されている歪の許容値とを比較しその偏差を算出する(ステップ(4))。
そして、前記振れの検出値が許容値よりも大きくなっているとき即ち前記偏差≧0のとき、ガラス基板1に作用している振れが異常状態にあるものと判定する(ステップ(5))、また前記歪の検出値が許容値よりも大きくなっているとき即ち前記偏差≧0のとき、ガラス基板1に発生している歪が異常状態にあるものと判定する(ステップ(6))。
【0025】
また、前記振れの検出値が許容値よりも小さいとき該検出値と許容値との偏差から、ガラス基板1の振れがどの程度異常状態へ接近しているかという振れの接近度合いを検出するとともに、前記歪の検出値が許容値よりも小さいとき該検出値と許容値との偏差から、ガラス基板1に発生している歪がどの程度異常状態へ接近しているかという歪の接近度合いを検出する。
【0026】
前記加速度検出器7からの振れの検出データ、前記歪検出器8からの歪の検出データ、前記異常判定手段11からの前記振れ及び歪の異常状態の有無の判定データ並びに該振れ及び歪の異常状態への接近度合いの検出データは、それぞれ前記データロガ64に格納される。
そして、該データロガ64を一定期間毎にバッチ的に開き、前記ガラス基板1の異常状態への接近度合いを把握するとともに、異常の有無判定データに前記ガラス基板1の異常判定があったときには該ガラス基板1について破損防止処置を行う。
この場合、前記振れまたは歪の何れか一方の判定データが異常状態であれば、該ガラス基板1について破損防止処置を行う(ステップ(7))。
【0027】
尚、前記実施例において、前記加速度検出器7による振れの検出から異常判定手段11における振れの異常判定及び接近度合い検出処理、あるいは前記歪検出器8による歪の検出から異常判定手段11における歪の異常判定及び接近度合い検出処理については、かかる2つの検出及び処理の何れか一方のみを行うようにしてもよい。
【0028】
かかる実施例によれば、ガラス基板1に発生している振動、衝撃等の振れの検出値と許容値とを比較し、あるいは該ガラス基板1近接した支持具3に発生している歪の検出値と許容値とを比較して該ガラス基板1の異常の有無を判定することにより該ガラス基板1の異常発生状況を監視し、異常発生の判定があったときには該ガラス基板1について破損防止処置を行うので、該ガラス基板1の振動や衝撃による異常発生の有無及び異常状態への接近状況を定量的かつ迅速にさらには経時的に検知することができる。
【0029】
また、前記ガラス基板1の振れあるいは歪の検出データ及び該検出データに基づく異常判定及び処置データ等のデータが格納されたデータロガ64を搬送台車上に搭載された密閉容器6に格納しておき、該データロガ64をバッチ的に開いて該データロガ64に格納されたデータを検知するので、該脆性基板の異常発生の有無を連続的に監視することを必要とせず、密閉容器6を一定期間毎に開いて該密閉容器6内のデータロガ64に格納されたデータを検知するのみでガラス基板1の異常発生状況を把握することができる。
【0030】
また、本発明は、前記ガラス基板1に限らず、セラミック基板、プラズマ基板等の脆性材からなる脆性基板、特に高真空度の環境中で作業がなされる脆性基板に広く適用できる。
【0031】
【発明の効果】
以上記載の如く本発明によれば、脆性基板に発生している振動、衝撃等の振れの検出値と許容値とを比較し、あるいは脆性基板に近接した支持部に発生している歪の検出値と許容値とを比較し該脆性基板の異常の有無を判定することにより該脆性基板の異常発生状況を監視して、異常発生の判定があったときには該脆性基板について破損防止処置を行うので、該脆性基板の振動や衝撃による異常発生の有無及び異常状態への接近状況を定量的かつ迅速にさらには経時的に検知することができる。
これにより、該脆性基板の破損防止処置を破損に至る以前の的確な時期に無駄なく行うことが可能となり、振動、衝撃による該脆性基板の破損を未然に防止することができる。
【0032】
また請求項2、3のように構成すれば、前記脆性基板の振れあるいは歪の検出データ及び該検出データに基づく異常判定及び処置データ等のデータが格納されたデータロガを搬送台車上に搭載された密閉容器内に格納しておき、該データロガをバッチ的に開いて該データロガに格納されたデータを検知するので、該脆性基板の異常発生の有無を連続的に監視することを必要とせず、密閉容器を一定期間毎に開いて該密閉容器内のデータロガに格納されたデータを検知するのみで前記脆性基板の異常発生状況を把握することができる。これにより、脆性基板の異常監視を少ない工数でかつ能率的に行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例に係る太陽電池搬送台車に搭載されたガラス基板及びその異常監視装置の概略側面図である。
【図2】図1のA―A部分矢視図である。
【図3】前記異常監視装置における密閉容器の片側を開放した斜視図である。
【図4】前記実施例における異常監視の制御フローチャートである。
【図5】本発明が適用される太陽電池生産システムの概略配置を示す側面図である。
【符号の説明】
1 ガラス基板
2 台車フレーム
3 支持具
5 レール
6 密閉容器
7 加速度検出器
8 歪検出器
61 ケース
62 断熱材
64 データロガ
100 搬送台車
103 製膜室
【発明の属する技術分野】
本発明は、太陽電池生産システムに用いられる太陽電池搬送台車に搭載されたガラス基板の異常監視システム等に適用され、搬送台車のフレームに支持具を介して支持されたガラス基板を含む脆性基板の異常の有無を監視する脆性基板の異常監視装置及び異常監視方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
図5は太陽電池生産システムの概略配置を示す。図において、103は真空に保持された製膜室、105は回転中心周りに複数個放射状に配置された回転室、104は該回転室105と製膜室103との間に設置されたガラス基板搬送台車の待機室である。
かかる太陽電池生産システムにおいては、台車フレームに支持されたガラス基板を搭載した搬送台車をレール5に沿って転送し、回転室105から待機室104に搬入して所定時間待機させた後、製膜室103に搬入して所定の作業を行っている。
【0003】
かかるガラス基板を搭載した搬送台車の転送時において、脆性材料からなるガラス基板が、製膜室103内における搬送台車の車輪とレール5との間に堆積したパーティクルへの台車の乗り上げ、レール5間の隙間5aにおける段差変化、台車フレームとガラス基板との間の位置決め誤差等によって損傷を生じることがある。
前記のようなガラス基板の損傷の主因である搬送台車の振動や衝撃を抑制するため、従来は、水平クロスローラの追設、ガラス基板支持部の構造面及び材料面の強化、ガラス基板支持部における振動吸収装置の設置等の処置を施している。
【0004】
また、特許文献1(特開平11−176911号公報)においては、半導体基板のキャリアを搬送するキャリア搬送装置と露光装置との間にインターフェース装置を設け、該インターフェース装置により、露光装置とキャリア搬送装置との間で基板を受け渡す際に、露光装置とキャリア搬送装置との位置決めを行い、基板の受渡しを安全かつ確実に行うように構成されている。
【0005】
【特許文献1】
特開平11−176911号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
脆性材料からなるガラス基板を搬送する搬送台車の移動時あるいは製膜室103内での作業時においては、前記のように搬送台車に作用する振動や衝撃によってガラス基板が破損し易い状態にあるが、従来は、かかる破損の要因となる振動や衝撃を抑制するため前記のような処置を施している。
しかしながら、かかる従来技術にあっては、前記ガラス基板の振動や衝撃による異常状態の発生状況を定量的にかつ経時的に検知することなく前記のような処置を施しているのが実情であり、このため前記ガラス基板の振動や衝撃に対する抑制処置を的確な時期に無駄なくかつ充分に行うことが困難となる、
また、前記特許文献1においては、半導体基板の受渡しを安全かつ確実に行う手段が開示されているにとどまり、基板に振動や衝撃が作用する場合についての対処はなされていない、
等の問題点を有している。
【0007】
本発明はかかる従来技術の課題に鑑み、ガラス基板等の脆性基板を搬送台車に搭載して搬送するにあたり、振動や衝撃による該脆性基板の異常発生の有無及び異常の状態を定量的かつ経時的に検知することにより、該脆性基板の破損防止処置を的確な時期に無駄なく行うことを可能として、該脆性基板の破損を未然に防止し得る脆性基板の異常監視装置及び異常監視方法を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明はかかる課題を解決するため、請求項1記載の発明として、搬送台車のフレームに支持具を介して支持されたガラス基板を含む脆性基板の異常の有無を監視する脆性基板の異常監視装置において、前記脆性基板の振れを検出する振れ検出器及び前記支持具の前記脆性基板近接部位の歪を検出する歪検出器の何れか一方または双方を備えるとともに、前記振れあるいは歪の検出値に基づき前記脆性基板の異常の有無を判定する異常判定手段を備えてなることを特徴とする脆性基板の異常監視装置を提案する。
【0009】
請求項2記載の発明は、請求項1に加えて、前記振れ検出器あるいは歪検出器からの振れあるいは歪の検出データ、前記異常判定手段における判定及び処置データ等のデータが格納されたデータロガ、及び電流増幅器等の計測関連機器が収納された密閉容器を前記搬送台車上に搭載してなることを特徴とする。
請求項2において、好ましくは請求項3記載のように、前記密閉容器は、平滑な絶縁表面を有する箱状のケース部材の内周に断熱部材層を形成し該断熱部材層の内側に前記データロガ及び計測関連機器が収納されてなるのがよい。
【0010】
請求項5記載の発明は、請求項1ないし3の発明に係る脆性基板の異常監視装置を使用する方法の発明に係り、搬送台車のフレームに支持具を介して支持されたガラス基板を含む脆性基板の異常の有無を監視する脆性基板の異常監視方法において、前記脆性基板の振れ及び前記支持具の前記脆性基板近接部位の歪の何れか一方または双方を検出し、前記振れあるいは歪の検出値と該振れあるいは歪の許容値とを比較して前記脆性基板の異常の有無を判定し、該異常の有無判定データをデータロガに格納しておき、該データロガをバッチ的に開き、前記脆性基板に異常の判定があったとき該脆性基板の破損防止処置を行うことを特徴とする。
【0011】
請求項4記載の発明は、請求項1ないし3及び5の発明を実施する方法に係り、前記脆性基板の異常監視装置を太陽電池搬送台車に搭載されたガラス基板の異常監視に適用したもので、真空中を走行する搬送台車のフレームに支持具を介して支持されたガラス基板の異常の有無を監視する太陽電池搬送台車に搭載されたガラス基板の異常監視装置において、前記ガラス基板の振れを検出する振れ検出器及び前記支持具の前記脆性基板近接部位の歪を検出する歪検出器の何れか一方または双方を備えるとともに、前記振れあるいは歪の検出値に基づき前記ガラス基板の異常の有無を判定する異常判定手段を備えてなることを特徴とする。
【0012】
かかる発明によれば、請求項4におけるガラス基板を含む脆性基板を支持する搬送台車フレームの上端部等の、振動、衝撃等の振れが大きい部位に振れ検出器を設置するか、あるいは前記脆性基板を前記フレームに取り付けるための支持具の該脆性基板に近接した部位に歪検出器を設置するか、あるいは前記振れ検出器及び歪検出器の双方を設置し、該振れ検出器にて検出された脆性基板の振れの検出信号及び歪検出器にて検出された脆性基板支持部の歪の検出信号を異常判定手段に入力する。
【0013】
そして、該異常判定手段において、前記振れの検出値と許容値とを比較して前記脆性基板の異常の有無を判定し、あるいは歪の検出値と許容値とを比較して前記脆性基板の異常の有無を判定するとともに異常状態への接近度合いを検出し、かかる異常の有無判定データ及び異常状態への接近度合い検出データをデータロガに格納しておき、該データロガをバッチ的に開き、前記脆性基板の異常状態への接近度合いを検知し把握するとともに、異常の有無判定データに前記脆性基板の異常の判定があったときには該脆性基板について破損防止処置を行う。
【0014】
従ってかかる発明によれば、脆性基板に発生している振動、衝撃等の振れの検出値と許容値とを比較し、あるいは脆性基板に近接した支持部に発生している歪の検出値と許容値とを比較し該脆性基板の異常の有無を判定することにより該脆性基板の異常発生状況を監視して、異常発生の判定があったときには該脆性基板について破損防止処置を行うので、該脆性基板の振動や衝撃による異常発生の有無及び異常状態への接近状況を定量的かつ迅速にさらには経時的に検知することができる。
これにより、該脆性基板の破損防止処置を破損に至る以前の的確な時期に無駄なく行うことが可能となり、振動、衝撃による該脆性基板の破損を未然に防止することができる。
【0015】
また請求項2、3のように構成すれば、前記脆性基板の振れあるいは歪の検出データ及び該検出データに基づく異常判定及び処置データ等のデータが格納されたデータロガを搬送台車上に搭載された密閉容器内に格納しておき、該データロガをバッチ的に開いて該データロガに格納されたデータを検知するので、該脆性基板の異常発生の有無を連続的に監視することを必要とせず、密閉容器を一定期間毎に開いて該密閉容器内のデータロガに格納されたデータを検知するのみで前記脆性基板の異常発生状況を把握することができる。これにより、脆性基板の異常監視を少ない工数でかつ能率的に行うことが可能となる。
【0016】
また、請求項3のように、前記データロガ及び計測関連機器類が収納されている密閉容器を平滑な絶縁表面を有する箱状のケース部材の内周に断熱部材層を設けて形成したので、該データロガ及び計測関連機器類を外部からの電気的、熱的影響を受けることなく高精度で以って長時間保持することができる。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図に示した実施例を用いて詳細に説明する。但し、この実施例に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは特に特定的な記載がない限り、この発明の範囲をそれのみに限定する趣旨ではなく、単なる説明例にすぎない。
【0018】
図1は本発明の実施例に係る太陽電池搬送台車に搭載されたガラス基板及びその異常監視装置の概略側面図、図2は図1のA―A部分矢視図である。図3は前記異常監視装置における密閉容器の片側を開放した斜視図である。図4は前記実施例における異常監視の制御フローチャートである。
【0019】
本発明の実施例を示す図1〜2において、5はレール、100は該レール5上を走行する搬送台車である。2は該搬送台車100の台車フレームで、該台車フレーム2の下部には複数の車輪4が取り付けられている。
1はガラス基板(脆性基板)で、図2に示されるように、前記台車フレーム2の側部に隅部の複数箇所(この例では4箇所)を、支持具3を介して該台車フレーム2に固定されている。6は後述する構成を備えた密閉容器で、前記台車フレーム2内の走行に伴う振れが少なくかつ温度の低い部位に着脱可能に設置されている。
【0020】
7は前記ガラス基板1に作用する振動、衝撃等の動的な振れを検出する加速度検出器で、前記搬送台車フレーム2の上端部等の、前記動的な振れの大きい部位に設置されている。8は歪検出器で、前記4個の支持具3のガラス基板1に近接した部位に取り付けられている。そして前記加速度検出器7及び各歪検出器8の検出信号は検出回線07及び08を介して前記密閉容器6内のデータロガ64(図3参照)に伝送されている。
【0021】
11は前記搬送台車100に搭載された異常判定手段で、前記加速度検出器7からの振れの検出値と許容値とを比較してガラス基板1の異常の有無を判定し、あるいは前記歪検出器8からの歪の検出値と許容値とを比較してガラス基板1の異常の有無を判定するとともに、前記振れの検出値と許容値とを比較値、あるいは前記歪の検出値と許容値とを比較値から、ガラス基板1がどの程度異常状態へ接近しているかという接近度合いを検出して、これらの判定結果及び検出結果を回線10及び接続端子9を介して前記データロガ64(図3参照)に伝送するようになっている。
【0022】
前記密閉容器6の詳細を示す図3において、61は平滑な絶縁表面を有する箱状のケースで、表面にアルマイト処理を施したアルミニウム板、表面に絶縁被膜が形成されたステンレス板等からなる。62は前記ケース61の内周に一定厚さで以って貼りつけられた断熱材で、該断熱材62の内側に前記データロガ64並びに前記加速度検出器7からの検出回線07及び前記歪検出器8からの検出回線07が接続される増幅器63等の計測関連機器が収納されている。
このように、該データロガ64及び増幅器63等の計測関連機器類を平滑な絶縁表面を有するケース内に断熱材62を介して収納したので、該データロガ64及び計測関連機器類を外部からの電気的、熱的影響を受けることなく高精度に長時間維持することが可能となる。
【0023】
かかる構成からなるガラス基板及びその異常監視装置において、前記加速度検出器7により検出された振動、衝撃等の振れの検出信号、並びに前記歪検出器8にて検出されたガラス基板1の支持具3における歪の検出信号が前記異常判定手段11に入力されると、該異常判定手段11においては、次のような動作を行う。
【0024】
即ち図4において、前記振れの検出信号及び歪の検出信号が入力されると(ステップ(1)、(2))、該振れの検出値と予め設定されている振れの許容値とを比較しその偏差を算出する(ステップ(3))。また歪の検出値と予め設定されている歪の許容値とを比較しその偏差を算出する(ステップ(4))。
そして、前記振れの検出値が許容値よりも大きくなっているとき即ち前記偏差≧0のとき、ガラス基板1に作用している振れが異常状態にあるものと判定する(ステップ(5))、また前記歪の検出値が許容値よりも大きくなっているとき即ち前記偏差≧0のとき、ガラス基板1に発生している歪が異常状態にあるものと判定する(ステップ(6))。
【0025】
また、前記振れの検出値が許容値よりも小さいとき該検出値と許容値との偏差から、ガラス基板1の振れがどの程度異常状態へ接近しているかという振れの接近度合いを検出するとともに、前記歪の検出値が許容値よりも小さいとき該検出値と許容値との偏差から、ガラス基板1に発生している歪がどの程度異常状態へ接近しているかという歪の接近度合いを検出する。
【0026】
前記加速度検出器7からの振れの検出データ、前記歪検出器8からの歪の検出データ、前記異常判定手段11からの前記振れ及び歪の異常状態の有無の判定データ並びに該振れ及び歪の異常状態への接近度合いの検出データは、それぞれ前記データロガ64に格納される。
そして、該データロガ64を一定期間毎にバッチ的に開き、前記ガラス基板1の異常状態への接近度合いを把握するとともに、異常の有無判定データに前記ガラス基板1の異常判定があったときには該ガラス基板1について破損防止処置を行う。
この場合、前記振れまたは歪の何れか一方の判定データが異常状態であれば、該ガラス基板1について破損防止処置を行う(ステップ(7))。
【0027】
尚、前記実施例において、前記加速度検出器7による振れの検出から異常判定手段11における振れの異常判定及び接近度合い検出処理、あるいは前記歪検出器8による歪の検出から異常判定手段11における歪の異常判定及び接近度合い検出処理については、かかる2つの検出及び処理の何れか一方のみを行うようにしてもよい。
【0028】
かかる実施例によれば、ガラス基板1に発生している振動、衝撃等の振れの検出値と許容値とを比較し、あるいは該ガラス基板1近接した支持具3に発生している歪の検出値と許容値とを比較して該ガラス基板1の異常の有無を判定することにより該ガラス基板1の異常発生状況を監視し、異常発生の判定があったときには該ガラス基板1について破損防止処置を行うので、該ガラス基板1の振動や衝撃による異常発生の有無及び異常状態への接近状況を定量的かつ迅速にさらには経時的に検知することができる。
【0029】
また、前記ガラス基板1の振れあるいは歪の検出データ及び該検出データに基づく異常判定及び処置データ等のデータが格納されたデータロガ64を搬送台車上に搭載された密閉容器6に格納しておき、該データロガ64をバッチ的に開いて該データロガ64に格納されたデータを検知するので、該脆性基板の異常発生の有無を連続的に監視することを必要とせず、密閉容器6を一定期間毎に開いて該密閉容器6内のデータロガ64に格納されたデータを検知するのみでガラス基板1の異常発生状況を把握することができる。
【0030】
また、本発明は、前記ガラス基板1に限らず、セラミック基板、プラズマ基板等の脆性材からなる脆性基板、特に高真空度の環境中で作業がなされる脆性基板に広く適用できる。
【0031】
【発明の効果】
以上記載の如く本発明によれば、脆性基板に発生している振動、衝撃等の振れの検出値と許容値とを比較し、あるいは脆性基板に近接した支持部に発生している歪の検出値と許容値とを比較し該脆性基板の異常の有無を判定することにより該脆性基板の異常発生状況を監視して、異常発生の判定があったときには該脆性基板について破損防止処置を行うので、該脆性基板の振動や衝撃による異常発生の有無及び異常状態への接近状況を定量的かつ迅速にさらには経時的に検知することができる。
これにより、該脆性基板の破損防止処置を破損に至る以前の的確な時期に無駄なく行うことが可能となり、振動、衝撃による該脆性基板の破損を未然に防止することができる。
【0032】
また請求項2、3のように構成すれば、前記脆性基板の振れあるいは歪の検出データ及び該検出データに基づく異常判定及び処置データ等のデータが格納されたデータロガを搬送台車上に搭載された密閉容器内に格納しておき、該データロガをバッチ的に開いて該データロガに格納されたデータを検知するので、該脆性基板の異常発生の有無を連続的に監視することを必要とせず、密閉容器を一定期間毎に開いて該密閉容器内のデータロガに格納されたデータを検知するのみで前記脆性基板の異常発生状況を把握することができる。これにより、脆性基板の異常監視を少ない工数でかつ能率的に行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例に係る太陽電池搬送台車に搭載されたガラス基板及びその異常監視装置の概略側面図である。
【図2】図1のA―A部分矢視図である。
【図3】前記異常監視装置における密閉容器の片側を開放した斜視図である。
【図4】前記実施例における異常監視の制御フローチャートである。
【図5】本発明が適用される太陽電池生産システムの概略配置を示す側面図である。
【符号の説明】
1 ガラス基板
2 台車フレーム
3 支持具
5 レール
6 密閉容器
7 加速度検出器
8 歪検出器
61 ケース
62 断熱材
64 データロガ
100 搬送台車
103 製膜室
Claims (5)
- 搬送台車のフレームに支持具を介して支持されたガラス基板を含む脆性基板の異常の有無を監視する脆性基板の異常監視装置において、前記脆性基板の振れを検出する振れ検出器及び前記支持具の前記脆性基板近接部位の歪を検出する歪検出器の何れか一方または双方を備えるとともに、前記振れあるいは歪の検出値に基づき前記脆性基板の異常の有無を判定する異常判定手段を備えてなることを特徴とする脆性基板の異常監視装置。
- 前記振れ検出器あるいは歪検出器からの振れあるいは歪の検出データ、前記異常判定手段における判定及び処置データ等のデータが格納されたデータロガ、及び電流増幅器等の計測関連機器が収納された密閉容器を前記搬送台車上に搭載してなることを特徴とする請求項1記載の脆性基板の異常監視装置。
- 前記密閉容器は、平滑な絶縁表面を有する箱状のケース部材の内周に断熱部材層を形成し該断熱部材層の内側に前記データロガ及び計測関連機器が収納されてなることを特徴とする請求項2記載の脆性基板の異常監視装置。
- 真空中を走行する搬送台車のフレームに支持具を介して支持されたガラス基板の異常の有無を監視する太陽電池搬送台車に搭載されたガラス基板の異常監視装置において、前記ガラス基板の振れを検出する振れ検出器及び前記支持具の前記脆性基板近接部位の歪を検出する歪検出器の何れか一方または双方を備えるとともに、前記振れあるいは歪の検出値に基づき前記ガラス基板の異常の有無を判定する異常判定手段を備えてなることを特徴とする脆性基板の異常監視装置。
- 搬送台車のフレームに支持具を介して支持されたガラス基板を含む脆性基板の異常の有無を監視する脆性基板の異常監視方法において、前記脆性基板の振れ及び前記支持具の前記脆性基板近接部位の歪の何れか一方または双方を検出し、前記振れあるいは歪の検出値と該振れあるいは歪の許容値とを比較して前記脆性基板の異常の有無を判定し、該異常の有無判定データをデータロガに格納しておき、該データロガをバッチ的に開き、前記脆性基板に異常の判定があったとき該脆性基板の破損防止処置を行うことを特徴とする脆性基板の異常監視方法。
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JP2002304822A JP2004137059A (ja) | 2002-10-18 | 2002-10-18 | 脆性基板の異常監視装置及び異常監視方法 |
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JP2007223692A (ja) * | 2006-02-21 | 2007-09-06 | Shibaura Mechatronics Corp | 基板の搬送装置及び基板の処理装置 |
CN102427098A (zh) * | 2011-12-08 | 2012-04-25 | 浚鑫科技股份有限公司 | 一种太阳能电池下料台 |
JP2013120906A (ja) * | 2011-12-08 | 2013-06-17 | Daihen Corp | ワーク検出機構 |
-
2002
- 2002-10-18 JP JP2002304822A patent/JP2004137059A/ja active Pending
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