JPH07147314A - ウェーハ搬送装置 - Google Patents
ウェーハ搬送装置Info
- Publication number
- JPH07147314A JPH07147314A JP29543693A JP29543693A JPH07147314A JP H07147314 A JPH07147314 A JP H07147314A JP 29543693 A JP29543693 A JP 29543693A JP 29543693 A JP29543693 A JP 29543693A JP H07147314 A JPH07147314 A JP H07147314A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- distance
- wafer transfer
- cassette
- boat
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ウェーハ支持手段からのウェーハの飛び出し
等による位置ずれを検出してウェーハの搬送を確実に適
切に行い、ウェーハとウェーハ支持手段の接触に起因す
るパーティクルの発生を防止し、位置ずれが一定範囲を
越えた際、警報を発する。 【構成】 ボート２とカセット６間でウェーハ３を搬送
するウェーハ搬送装置１に、これとウェーハ３までの距
離を測定してウェーハ３の位置ずれを検出し、該距離が
一定範囲を越えた際、搬送動作を停止するための距離測
定センサ４及び該距離が一定範囲を越えた際の距離測定
センサ４の出力により作動して警報を発する警報発生器
８を設ける。
等による位置ずれを検出してウェーハの搬送を確実に適
切に行い、ウェーハとウェーハ支持手段の接触に起因す
るパーティクルの発生を防止し、位置ずれが一定範囲を
越えた際、警報を発する。 【構成】 ボート２とカセット６間でウェーハ３を搬送
するウェーハ搬送装置１に、これとウェーハ３までの距
離を測定してウェーハ３の位置ずれを検出し、該距離が
一定範囲を越えた際、搬送動作を停止するための距離測
定センサ４及び該距離が一定範囲を越えた際の距離測定
センサ４の出力により作動して警報を発する警報発生器
８を設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置におけ
るウェーハ搬送装置に係り、特にカセットに収納された
ウェーハ（半導体基板）のカセットからの飛び出し等に
よるウェーハの位置ずれを検知する手段を備えたウェー
ハ搬送装置に関する。
るウェーハ搬送装置に係り、特にカセットに収納された
ウェーハ（半導体基板）のカセットからの飛び出し等に
よるウェーハの位置ずれを検知する手段を備えたウェー
ハ搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３は本発明に係る半導体製造装置の１
例の構成を示す斜視図であって、縦型炉を有する。この
縦型炉にはウェーハ３を水平姿勢で多段に保持するボー
ト２，このボート２に対向してカセットストッカ５，バ
ッファストッカ７が上下に設けられ、前記ボート２と前
記カセットストッカ５との間にはウェーハ搬送装置１が
設けられている。ウェーハ搬送装置１はカセットストッ
カ５のカセット６に収納されたウェーハ３をボート２
へ、またはボート２に保持されたウェーハ３をカセット
ストッカ５のカセット６へ１枚ずつ或いは所要枚数一括
して移載する。
例の構成を示す斜視図であって、縦型炉を有する。この
縦型炉にはウェーハ３を水平姿勢で多段に保持するボー
ト２，このボート２に対向してカセットストッカ５，バ
ッファストッカ７が上下に設けられ、前記ボート２と前
記カセットストッカ５との間にはウェーハ搬送装置１が
設けられている。ウェーハ搬送装置１はカセットストッ
カ５のカセット６に収納されたウェーハ３をボート２
へ、またはボート２に保持されたウェーハ３をカセット
ストッカ５のカセット６へ１枚ずつ或いは所要枚数一括
して移載する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来例にあって
は、ウェーハ搬送の過程において、搬送中及び機構上で
の振動等の原因によって生じる累積誤差により、カセッ
ト内でウェーハの位置ずれ、つまりウェーハの飛び出し
が生じる可能性があり、また、そのような事が起こる
と、適切な搬送が行われず、ボートに移載されたウェー
ハの位置がずれ、ウェーハとボート又はカセットの接触
に起因してパーティクルが発生するという課題がある。
は、ウェーハ搬送の過程において、搬送中及び機構上で
の振動等の原因によって生じる累積誤差により、カセッ
ト内でウェーハの位置ずれ、つまりウェーハの飛び出し
が生じる可能性があり、また、そのような事が起こる
と、適切な搬送が行われず、ボートに移載されたウェー
ハの位置がずれ、ウェーハとボート又はカセットの接触
に起因してパーティクルが発生するという課題がある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明装置は、上記の課
題を解決するため、２つ以上のウェーハ支持手段２，６
間でウェーハ３を搬送するウェーハ搬送装置１に、これ
とウェーハ３までの距離を測定してウェーハ３の位置ず
れを検出し、該距離が一定範囲を越えた際、搬送動作を
停止するための距離測定手段４及び該距離が一定範囲を
越えた際の距離測定手段４の出力により作動して警報を
発する警報発生器８を設けることを特徴とする。
題を解決するため、２つ以上のウェーハ支持手段２，６
間でウェーハ３を搬送するウェーハ搬送装置１に、これ
とウェーハ３までの距離を測定してウェーハ３の位置ず
れを検出し、該距離が一定範囲を越えた際、搬送動作を
停止するための距離測定手段４及び該距離が一定範囲を
越えた際の距離測定手段４の出力により作動して警報を
発する警報発生器８を設けることを特徴とする。
【０００５】
【作 用】このような構成であるから、ウェーハ搬送装
置１とウェーハ支持手段２又は６により支持されたウェ
ーハ３との距離が距離測定手段４により測定され、この
測定値と予じめ設定された基準値の差によりウェーハ３
の位置ずれが検出されることになる。前記距離が一定範
囲を越えると、距離測定手段４の出力によりウェーハ搬
送装置１が停止されると共に、警報発生器８が作動され
て警報が発せられることになる。
置１とウェーハ支持手段２又は６により支持されたウェ
ーハ３との距離が距離測定手段４により測定され、この
測定値と予じめ設定された基準値の差によりウェーハ３
の位置ずれが検出されることになる。前記距離が一定範
囲を越えると、距離測定手段４の出力によりウェーハ搬
送装置１が停止されると共に、警報発生器８が作動され
て警報が発せられることになる。
【０００６】
【実施例】図１（Ａ），（Ｂ）はそれぞれ本発明装置の
１実施例の構成を示す側面図及び平面図で、１はボート
２とカセットストッカ５のカセット６との間に設置され
たウェーハ搬送装置、３はカセット６に収納され又はボ
ート２に載置されているウェーハ、４はウェーハ搬送装
置１に設置された距離測定センサで、ウェーハ搬送装置
１とカセット６内又はボート２上のウェーハ３までの距
離を測定してウェーハ３の位置ずれを検出し、該距離が
一定範囲を越えた際、ウェーハ搬送装置を停止させるた
めに供する。８は前記距離が一定範囲を越えた際の距離
測定センサ４の出力により作動して警報を発する警報発
生器である。
１実施例の構成を示す側面図及び平面図で、１はボート
２とカセットストッカ５のカセット６との間に設置され
たウェーハ搬送装置、３はカセット６に収納され又はボ
ート２に載置されているウェーハ、４はウェーハ搬送装
置１に設置された距離測定センサで、ウェーハ搬送装置
１とカセット６内又はボート２上のウェーハ３までの距
離を測定してウェーハ３の位置ずれを検出し、該距離が
一定範囲を越えた際、ウェーハ搬送装置を停止させるた
めに供する。８は前記距離が一定範囲を越えた際の距離
測定センサ４の出力により作動して警報を発する警報発
生器である。
【０００７】本実施例は上記のような構成であるから、
ウェーハ搬送装置１を昇降させることにより、距離測定
センサ４でカセット６内のウェーハ３側面までの距離を
測定する。図２は本発明におけるウェーハ搬送装置１を
上昇又は下降して１枚目のウェーハ３より順に距離測定
センサ４によりウェーハ３までの距離を測定した場合の
出力電圧の波形を示している。距離測定センサ４の出力
電圧と該距離は比例するので、出力電圧からウェーハ３
の側面までの距離を測定することができる。この測定距
離とあらかじめ設定された基準値より、ウェーハ３のカ
セット６からの飛び出し量（位置ずれ量）を検知するこ
とになる。また、ウェーハ３の飛び出し（位置ずれ）許
容範囲をコントローラへ登録しておくことにより、許容
範囲以外のものをエラーとして検知させることが可能と
なる。又、ボート２におけるウェーハ３の位置ずれも同
様に検知することができる。本システムの使用により、
ウェーハ３がカセット６やボート２等に接触することを
事前に検出することができ、ウェーハ３の飛び出し（位
置ずれ）が検知されたら、作業者がカセットローダ等の
調整をし直し、ずれをなくすことにより、ウェーハ３が
カセット６やボート２等に接触することがなくなる。か
くしてウェーハ搬送であるカセット６からのウェーハ３
の飛び出し等による位置ずれを検出して、ウェーハ３の
搬送を確実に適切に行なえるように対処することがで
き、ウェーハ３とウェーハ支持手段であるボート２又は
カセット６の接触に起因するパーティクルの発生を防止
することができる。
ウェーハ搬送装置１を昇降させることにより、距離測定
センサ４でカセット６内のウェーハ３側面までの距離を
測定する。図２は本発明におけるウェーハ搬送装置１を
上昇又は下降して１枚目のウェーハ３より順に距離測定
センサ４によりウェーハ３までの距離を測定した場合の
出力電圧の波形を示している。距離測定センサ４の出力
電圧と該距離は比例するので、出力電圧からウェーハ３
の側面までの距離を測定することができる。この測定距
離とあらかじめ設定された基準値より、ウェーハ３のカ
セット６からの飛び出し量（位置ずれ量）を検知するこ
とになる。また、ウェーハ３の飛び出し（位置ずれ）許
容範囲をコントローラへ登録しておくことにより、許容
範囲以外のものをエラーとして検知させることが可能と
なる。又、ボート２におけるウェーハ３の位置ずれも同
様に検知することができる。本システムの使用により、
ウェーハ３がカセット６やボート２等に接触することを
事前に検出することができ、ウェーハ３の飛び出し（位
置ずれ）が検知されたら、作業者がカセットローダ等の
調整をし直し、ずれをなくすことにより、ウェーハ３が
カセット６やボート２等に接触することがなくなる。か
くしてウェーハ搬送であるカセット６からのウェーハ３
の飛び出し等による位置ずれを検出して、ウェーハ３の
搬送を確実に適切に行なえるように対処することがで
き、ウェーハ３とウェーハ支持手段であるボート２又は
カセット６の接触に起因するパーティクルの発生を防止
することができる。
【０００８】上記のようにウェーハ搬送装置１とウェー
ハ３側面までの距離が距離測定センサ４により測定さ
れ、この測定値（出力電圧）と予め設定された基準値
（電圧）の差により位置ずれが検知され、この位置ずれ
を補正してウェーハ３をウェーハ搬送装置１で搬送す
る。前記距離、延いては位置ずれが一定範囲を越える
と、前後方向だけでなく左右方向や上下方向にもずれて
くるので、この場合は距離測定センサ４の出力によりウ
ェーハ搬送装置１が停止されると共に警報発生器８が作
動されて警報が発せられ、作業者を呼び出すことにな
る。本発明においては、距離測定センサ４として光セン
サ、レーザ光センサ、超音波センサ等を用いることがで
きる。
ハ３側面までの距離が距離測定センサ４により測定さ
れ、この測定値（出力電圧）と予め設定された基準値
（電圧）の差により位置ずれが検知され、この位置ずれ
を補正してウェーハ３をウェーハ搬送装置１で搬送す
る。前記距離、延いては位置ずれが一定範囲を越える
と、前後方向だけでなく左右方向や上下方向にもずれて
くるので、この場合は距離測定センサ４の出力によりウ
ェーハ搬送装置１が停止されると共に警報発生器８が作
動されて警報が発せられ、作業者を呼び出すことにな
る。本発明においては、距離測定センサ４として光セン
サ、レーザ光センサ、超音波センサ等を用いることがで
きる。
【０００９】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、２つ以上
のウェーハ支持手段間でウェーハを搬送するウェーハ搬
送装置において、ウェーハ搬送装置に、これとウェーハ
までの距離を測定してウェーハの位置ずれを検出する距
離測定手段を設けることを特徴とするので、ウェーハの
飛び出し等による位置ずれを検出してウェーハの搬送を
確実に適切に行なえるよに対処することができ、ウェー
ハとウェーハ支持手段の接触に起因するパーティクルの
発生を防止することができる。
のウェーハ支持手段間でウェーハを搬送するウェーハ搬
送装置において、ウェーハ搬送装置に、これとウェーハ
までの距離を測定してウェーハの位置ずれを検出する距
離測定手段を設けることを特徴とするので、ウェーハの
飛び出し等による位置ずれを検出してウェーハの搬送を
確実に適切に行なえるよに対処することができ、ウェー
ハとウェーハ支持手段の接触に起因するパーティクルの
発生を防止することができる。
【図１】（Ａ），（Ｂ）はそれぞれ本発明装置の１実施
例の構成を示す側面図及び平面図である。
例の構成を示す側面図及び平面図である。
【図２】本発明における各ウェーハまでの距離を順次測
定した場合の距離測定センサの出力電圧の波形を示す図
である。
定した場合の距離測定センサの出力電圧の波形を示す図
である。
【図３】本発明に係る半導体製造装置の１例の構成を示
す斜視図である。
す斜視図である。
１ ウェーハ搬送装置 ２ ウェーハ支持手段（ボート） ３ ウェーハ ４ 距離測定手段（センサ） ５ カセットストッカ ６ ウェーハ支持手段（カセット）
Claims (2)
- 【請求項１】 ２つ以上のウェーハ支持手段間でウェー
ハを搬送するウェーハ搬送装置において、ウェーハ搬送
装置に、これとウェーハまでの距離を測定してウェーハ
の位置ずれを検出する距離測定手段を設けることを特徴
とするウェーハ搬送装置。 - 【請求項２】 ウェーハ搬送装置とウェーハまでの距離
が一定範囲を越えた際、距離測定手段の出力によりウェ
ーハ搬送装置を停止させる構成にすると共に前記距離が
一定範囲を越えた際の距離測定手段の出力により作動し
て警報を発する警報発生器を備えたことを特徴とする請
求項１のウェーハ搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29543693A JPH07147314A (ja) | 1993-11-25 | 1993-11-25 | ウェーハ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29543693A JPH07147314A (ja) | 1993-11-25 | 1993-11-25 | ウェーハ搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07147314A true JPH07147314A (ja) | 1995-06-06 |
Family
ID=17820576
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29543693A Pending JPH07147314A (ja) | 1993-11-25 | 1993-11-25 | ウェーハ搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07147314A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006038584A1 (ja) * | 2004-10-06 | 2006-04-13 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | 半導体製造装置及び半導体装置の製造方法 |
| CN110006256A (zh) * | 2019-05-06 | 2019-07-12 | 通威太阳能（成都）有限公司 | 一种实用的扩散炉推舟防偏移保护装置 |
-
1993
- 1993-11-25 JP JP29543693A patent/JPH07147314A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006038584A1 (ja) * | 2004-10-06 | 2006-04-13 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | 半導体製造装置及び半導体装置の製造方法 |
| JPWO2006038584A1 (ja) * | 2004-10-06 | 2008-05-15 | 株式会社日立国際電気 | 半導体製造装置及び半導体装置の製造方法 |
| US7751922B2 (en) | 2004-10-06 | 2010-07-06 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | Semiconductor manufacturing apparatus and manufacturing of a semiconductor device |
| JP4555302B2 (ja) * | 2004-10-06 | 2010-09-29 | 株式会社日立国際電気 | 半導体製造装置、半導体装置の製造方法、及び検出方法 |
| CN110006256A (zh) * | 2019-05-06 | 2019-07-12 | 通威太阳能（成都）有限公司 | 一种实用的扩散炉推舟防偏移保护装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7845284B2 (en) | Overhead traveling vehicle having safety member | |
| KR20050046644A (ko) | 기판 운송 시스템에 대한 고속 로더의 캘리브레이션 | |
| US20220285190A1 (en) | Method for transporting wafers | |
| TW200935550A (en) | Substrate treating apparatus, and a substrate transporting method therefor | |
| KR100862702B1 (ko) | 기판 정렬 감지장치 | |
| JP2007234936A (ja) | ウェハ搬送アーム及びウェハ搬送装置 | |
| US20010014271A1 (en) | Including a transfer arm | |
| KR100626389B1 (ko) | 웨이퍼의 파손을 방지할 수 있는 웨이퍼 감지 센서부가구비된 웨이퍼 이송 장치 | |
| JPH07147314A (ja) | ウェーハ搬送装置 | |
| KR100218254B1 (ko) | 웨이퍼 카세트 스테이지 | |
| JP2005285799A (ja) | カセット内基板位置検出装置、ならびにそれを用いた基板搬出装置および基板処理装置 | |
| JPH0774230A (ja) | 半導体製造装置 | |
| KR100215844B1 (ko) | 반도체 장비의 웨이퍼 로딩 장치 | |
| JPH09272095A (ja) | 板状物搬送用ロボット | |
| KR100342397B1 (ko) | 에스엠아이에프 장치의 웨이퍼 수량 산출장치 및 방법 | |
| KR100748731B1 (ko) | 반도체 제조용 웨이퍼 인스펙션 장치 및 인터락 방법 | |
| JPH0475362A (ja) | ウエハ搬送装置 | |
| KR20040021985A (ko) | 자동이송장치의 카세트 로딩상태 감지구조 | |
| KR20030043220A (ko) | 액정표시장치의 유리 기판 파손 감지장치 | |
| KR20060039134A (ko) | 웨이퍼 카세트 어라인 장치 | |
| KR20050045153A (ko) | 웨이퍼 카세트 이송장치 | |
| JP2627266B2 (ja) | 搬送アーム | |
| KR20040054054A (ko) | 반도체 제조설비의 카세트용 인덱스 | |
| KR20020037850A (ko) | 로드락 챔버의 웨이퍼 로딩 시스템 | |
| JPH1140647A (ja) | 半導体基板の検知機構 |