KR20130078375A - 마스크 무인 운반 시스템 - Google Patents

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Abstract

마스크 무인 운반 시스템이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 무인 운반 시스템은, 마스크가 적재되어 있는 마스크 스태커; 마스크 스태커에 이격되어 배치되고, 마스크가 출입되기 위한 인터페이스가 마련되는 노광기; 및 마스크 스태커로부터 마스크를 로딩하여 노광기의 인터페이스 측으로 운반하며, 마스크를 인터페이스에 언로딩하는 무인 운반 차량을 포함한다.

Description

마스크 무인 운반 시스템{MASK UNMANNED TRANSFER SYSTEM}
본 발명은, 마스크 무인 운반 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 기판용 마스크를 클린 룸까지 자동으로 운반하여 공급하는 마스크 무인 운반 시스템에 관한 것이다.
유기전계 발광표시장치(OLED, Organic Light Emitting Display)는 유기물의 자체 발광에 의해 컬러 화상을 구현하여 광 효율이 높다는 점에서 차세대 유망 디스플레이 장치로 주목받고 있다.
이러한 유기전계발광표시장치(OLED)는 애노드와 캐소드 그리고, 애노드와 캐소드 사이에 개재된 유기막들을 포함하고 있다. 여기서 유기막들은 최소한 발광층을 포함하며, 발광층 이외에도 정공 주입층, 정공 수송층, 전자 수송층, 전자 주입층을 더 포함할 수 있다.
유기전계발광표시장치는 유기막 특히, 발광층을 이루는 물질에 따라서 고분자 유기발광소자와 저분자 유기발광소자로 나뉠 수 있다.
풀 칼라(full color)를 구현하기 위해서는 발광층을 패터닝해야 하는데, 이 경우, FMM(Fine Metal Mask, 이하 마스크라 함)을 이용한 직접 패터닝 방식과, LITI(Laser Induced Thermal Imaging) 공법을 적용한 방식, 컬러 필터(color filter)를 이용하는 방식 등이 적용될 수 있다.
기판에 대한 패턴닝을 위해서는, 챔버 내로 마스크를 공급하는 일이 선행되어야 하며, 그래야만 마스크를 통한 해당 공정, 예컨대 기판에 대한 노광이나 증착 공정 등이 진행될 수 있다. 종래에는 마스크가 수동대차(MGV: Manual Guided Vehicle)에 적재되어 노광기에 공급됨으로써 기판에 대한 노광 공정을 진행할 수 있었다.
오퍼레이터가 수동대차를 사용하여 마스크를 공급하기 위해서는, 먼저 마스크를 수동대차의 카세트에 적재하고, 정지된 상태의 수동대차를 움직여야 한다. 오퍼레이터는 주로 여성이 많은 편인데, 수동대차를 이동시키기 위한 힘을 가할 때 어려움을 느끼게 된다.
또한, 수동대차가 초기에 움직이도록 하기 위하여 작업자가 가하는 힘은, 때로는 수동대차 전체에 대하여 충격 또는 진동으로 작용할 수 있고 이에 의하여 마스크는 손상을 받을 수 있으므로, 노광 공정에서 불량을 발생시키는 요인으로 작용한다.
더욱이, 기판이 대형화되는 추세에서 대형화된 마스크를 수동대차로 적재하여 운반하고, 노광기로 하역하여 공급하는 작업은 상당히 무리가 있다.
대한민국 등록실용신안 제20-0282750호
따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 클린 룸의 노광기 측으로 마스크를 자동 운반하여 노광기에 자동으로 공급함으로써 마스크의 운반에 대한 부담을 줄이고, 마스크를 안전하게 안정적으로 공급할 수 있는 마스크 무인 운반 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 마스크가 적재되어 있는 마스크 스태커; 상기 마스크 스태커에 이격되어 배치되고, 상기 마스크가 출입되기 위한 인터페이스가 마련되는 노광기; 및 상기 마스크 스태커로부터 상기 마스크를 로딩하여 상기 노광기의 인터페이스 측으로 운반하며, 상기 마스크를 상기 인터페이스에 언로딩하는 무인 운반 차량을 포함하는 마스크 무인 운반 시스템을 제공한다.
상기 마스크 스태커와 상기 노광기 사이에는 상기 무인 운반 차량이 추적하여 이동하기 위한 작업 경로가 마련되고, 상기 작업 경로에는 상기 무인 운반 차량이 이동 경로를 인식할 수 있도록 마그네틱 스팟(magnetic spot)이 배치될 수 있다.
상기 무인 운반 차량은, 상기 마스크가 로딩되어 배치되고, 양측에 출입구가 마련되는 클린부스 유닛; 상기 클린 부스 유닛에 배치되어 상기 클린 부스 유닛을 이동시키는 구동 유닛; 상기 클린 부스 유닛에 배치되어 전원을 공급하는 배터리 유닛; 상기 클린 부스 유닛에 배치되어 상기 마스크를 클린 부스 유닛으로 로딩하며, 상기 마스크의 로딩/언로딩 시에 승하강 이동이 가능하고, 상기 클린 부스 유닛의 양측 출입구에 대한 작업 방향의 전환이 가능하게 구성되는 핸들링 유닛을 포함할 수 있다.
상기 구동 유닛은 상기 클린 부스 유닛의 양측에 배치되어 구동되는 구동륜; 및 상기 구동륜에 교차하는 방향으로 상기 클린 부스 유닛의 다른 양측에 각각 배치되는 복수의 캐스터를 포함할 수 있다.
상기 핸들링 유닛은, 상기 마스크가 로딩되어 배치되는 핸들링 부스; 상기 핸들링 부스가 지지되는 베이스부; 상기 베이스부에 결합되어 상기 베이스부의 상하 이동을 제공하는 승강부; 상기 베이스부 상에 배치되며, 상기 마스크를 로딩/언로딩하기 위해 신축가능하게 구성되는 다축 암; 상기 다축 암의 단부에 연결되어 상기 마스크를 로딩/언로딩하는 핸드부; 및 상기 베이스부에 회전가능하게 결합되어 상기 다축 암을 지지하며, 상기 다축 암의 작업 방향을 전환시키는 대회전부를 포함할 수 있다.
상기 승강부는, 상기 핸들링 부스의 일측에 배치되는 메인 프레임; 상기 메인 프레임에 슬라이드 결합되며, 상기 베이스부가 연결되어 지지되는 이동 브라켓; 상기 메인 프레임의 양측에 마련되어 상기 이동 브라켓에 슬라이드 결합되는 LM 가이드; 상기 이동 브라켓의 양측에 결합되어 상기 LM 가이드에 슬라이드 결합되는 승강 슬라이더; 상기 메인 프레임의 상부부터 하부까지 배치되어 상기 이동 브라켓을 상하로 이동시키는 볼 스크류; 상기 볼 스크류에 나선결합되고, 상기 이동 브라켓에 고정되는 암 스크류; 상기 메인 프레임의 상부에 결합되며, 상기 볼 스크류가 회전가능하게 결합되는 스크류 브라켓; 상기 메인 프레임의 하부에 배치되어 상기 볼 스크류의 축 방향으로 작용하는 하중을 지지하는 볼 베어링; 및 상기 메인 프레임의 상부에 배치되고, 상기 볼 스크류에 결합되어 상기 볼 스크류를 회전시키는 승강 모터를 포함할 수 있다.
상기 볼 스크류와 상기 승강 모터 사이에는 상기 승강 모터로부터 상기 볼스크류 측으로 회전 동력을 전달하는 커플러가 배치될 수 있다.
상기 메인 프레임의 일측에는 상기 승강부 측에서 발생되는 불순물을 제거하기 위한 제1 팬 필터 유닛이 배치될 수 있다.
상기 이동 브라켓에는 상기 이동 브라켓이 상부로 이동할 때 그 이동을 안내하며, 상기 메인 프레임에 대한 충돌을 저지하는 스토퍼가 배치될 수 있다.
상기 메인 프레임의 상부에는 상기 이동 브라켓이 상방으로 이동할 때, 상기 이동 브라켓의 접근을 감지하여 상기 승강 모터의 작동을 정지시키기 위한 신호를 생성하는 상위 제한센서가 배치될 수 있다.
상기 대회전부는, 상기 베이스부에 배치되는 대회전판; 및 상기 대회전판을 축 베어링에 의해 지지하고, 상기 베이스부에 직선으로 이동가능하게 설치되는 이동패널을 포함할 수 있다.
상기 이동패널의 주변에는 상기 대회전판의 회전이나 상기 다축 암의 작동 시에, 상기 다축 암의 위치를 감지하는 다수의 포토 센서가 배치될 수 있다.
상기 다축 암은, 상기 베이스부에 회전가능하게 결합되는 메인 풀리; 상기 메인 풀리에 연동하는 제1 풀리와, 상기 제1 풀리로부터 이격되어 상기 제1 풀리의 회전력을 전달받는 상기 제2 풀리가 배치되는 제1 암; 상기 제2 풀리의 상방에 배치되어 상기 제2 풀리에 연동하여 회전되는 제3 풀리와, 상기 제3 풀리로부터 이격되어 상기 제3 풀리의 회전력을 전달받는 제4 풀리가 배치되는 제2 암; 및 상기 제4 풀리의 상방에 배치되어 상기 제4 풀리에 연동하여 회전되는 제5 풀리와, 상기 제5 풀리로부터 이격되어 상기 제5 풀리의 회전력을 전달받는 제6 풀리가 배치되는 제3 암을 포함할 수 있다.
상기 제1 암의 제1, 2 풀리와 상기 제3 암의 제5, 6 풀리 사이에는, 벨트의 장력을 조절하기 위한 텐션 풀리가 배치될 수 있다.
상기 제3 암의 중간부에는, 상기 제3 풀리로부터 벨트에 의해 회전력을 전달받는 제1 아이들 풀리; 상기 제1 아이들 풀리와 동축으로 배치되어 다른 벨트에 의해 상기 제4 풀리에 회전력을 전달하는 제2 아이들 풀리; 및 상기 제1, 2 아이들 풀리의 회전축을 구성하는 아이들 샤프트가 배치될 수 있다.
상기 제3, 4 풀리와 상기 제1, 2 아이들 풀리 사이에는, 각각의 상기 벨트의 장력을 조절하는 텐션 풀리가 더 배치될 수 있다.
상기 핸드부는, 상기 다축 암에 연결되는 포크 베이스; 상기 포크 베이스의 양측에 돌출되어 있는 복수의 포크; 및 상기 각 포크에 배치되어 상기 마스크를 지지하기 위한 포크 패드를 포함할 수 있다.
상기 포크 베이스는, 상기 포크 베이스의 끝단에 배치되어 상기 포크 베이스의 위치를 감지하는 포토 센서; 상기 포크 베이스의 둘레에 배치되어 상기 마스크를 감지하는 광파이버 센서; 및 상기 포토센서의 일측에 배치되어 다른 물체에 대한 상기 포크 베이스의 거리를 감지하는 레이져 센서를 더 포함할 수 있다.
상기 핸들링 부스의 상부에는 제2 팬 필터 유닛이 배치될 수 있다.
상기 핸들링 부스의 하부에는, 상기 핸드부가 상기 마스크를 상기 핸들링 부스로 로딩하는 경우, 상기 핸드부의 다축 암이 접히어 위치가 정렬되었는지 또는 상기 핸드부의 위치가 정렬되었는지 감지하거나, 상기 대회전부의 선형 이동을 감지할 수 있는 포토센서와 레이져 센서가 더 배치될 수 있다.
본 발명에 따르면, 마스크 스태커와 노광기 사이의 이동 경로에 배치된 무인 운반 차량에 의해 클린 룸의 노광기 측으로 마스크를 자동 운반하여 노광기에 자동으로 공급함으로써 마스크 운반에 대한 부담을 줄이고, 마스크를 안전하게 안정적으로 공급할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 무인 운반 시스템의 개략적인 시스템 구성도이다.
도 2의 도 1의 A.G.V가 마스크 스태커로부터 노광기 측으로 마스크를 이송/적재하는 상태를 도시한 상세도이다.
도 3은 도 2의 A.G.V의 핸들링 유닛에 대한 사시도이다.
도 4는 도 3의 핸들링 유닛에 대한 정면도이다.
도 5는 도 2의 핸들링 유닛의 승강부에 대한 사시도이다.
도 6은 도 5의 승강부의 정면도이다.
도 7은 도 6의 승강부의 A-A 단면도이다.
도 8은 도 2의 핸들링 유닛의 대회전부에 대한 사시도이다.
도 9는 도 8의 대회전부의 정면도이다.
도 10은 도 8의 대회전부의 평면도이다.
도 11은 도 9의 대회전부의 B-B 단면도이다.
도 12는 도 2의 다축 암에 대한 사시도이다.
도 13은 도 12의 다축 암의 C-C 단면도이다.
도 14는 도 2의 핸들링 유닛의 핸드부에 대한 평면도이다.
도 15는 도 14의 정면도이다.
도 16은 도 3의 핸들링 부스의 정면도이다.
도 17은 도 16의 D-D 단면도이다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 무인 운반 시스템의 개략적인 시스템 구성도이고, 도 2의 도 1의 A.G.V(105)가 마스크 스태커(100)로부터 노광기(103) 측으로 마스크를 이송/적재하는 상태를 도시한 상세도이다. 참고적으로, 도 2에서 (a)를 무인 운반 차량(105)의 정면도로 정하면, (b)는 (a)의 우측면도, (c)는 (b)의 평면도, (b')는 (a)의 좌측면도, (c')은 (b')의 평면도로 각각 정해질 수 있다.
도 1과 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 무인 운반 시스템은 마스크가 적재되어 있는 마스크 스태커(100)로부터 노광기(103)의 마스크 인터페이스(104) 측으로 마스크를 운반하는 무인 운반 차량(105)을 포함한다.
무인 운반 차량(105)은 마스크 스태커(100)로부터 마스크를 로딩(loading)하여 노광기(103) 측으로 이동하고, 노광기(103)의 인터페이스(104)에 마스크를 다시 언로딩(loading)할 수 있는 전동 차량이다. 무인 운반 차량(105)은 약자로 A.G.V(105)(Auto Guided Vehicle)라고도 한다. 하기에서는, 무인 운반 차량(105)을 A.G.V(105)로 기재한다.
도 1을 참조하면, 마스크가 수납되어 있는 마스크 스태커(100)와, 노광기(103)가 설치된 클리 룸은 서로 대면하게 배치될 수 있다. 마스크 스태커(100)와 노광기(103) 사이에는 A.G.V(105)가 이동하기 위한 작업 경로(106)가 마련되고, 작업 경로(106)에는 A.G.V(105)가 이동 경로를 인식할 수 있도록 마그네틱 스팟(magnetic spot)(미도시)이 마련될 수 있다.
A.G.V(105)는 마그네닉 스팟(미도시)을 감지하여 경로를 이탈하지 않으면서 주행하여 마스크의 로딩/언로딩 작업을 실행할 수 있다. 본 실시예의 A.G.V(105)는 주행용 네비게이션으로서 마그네틱 스팟 방식을 선택하였으나, A.G.V(105)의 주행 방식이 마그네틱 스팟 방식에 한정되는 것은 아니며, GPS를 이용하는 네비게이션이나 위치를 감지하여 주행할 수 있는 각종 센서나 RF에 신호에 의해서도 가능하다.
A.G.V(105)는 마스크 스태커(100)에 일렬로 간격을 갖고 배치되는 마스크 인출포트(101)를 따른 주행과, 마스크 인출포트(101)에서 노광기(103) 측으로 이동하는 주행을 반복하여, 로딩한 마스크를 노광기(103)의 인터페이스(104)에 언로딩할 수 있다. 마스크 인출포트(101)는 마스크 스태커(100)를 따라 간격을 두고 배치되며, 노광기(103)의 인터페이스(104)도 이에 대응하여 배치될 수 있다.
도 2에는 A.G.V(105)가 우측의 마스크 스태커(100)로부터 좌측의 노광기(103) 인터페이스(104) 측으로 마스크를 운반하여 적재하는 과정이 도시되어 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, A.G.V(105)는 마스크가 적재되는 클린 부스 유닛(110)(clean booth)과, 클린 부스 유닛(110)의 하부에 구비되어 클린 부스 유닛(110)을 이동시키는 구동 유닛(120)과, 구동 유닛(120)에 에너지를 제공하는 배터리 유닛(126)과, 마스크를 클린 부스 유닛(110)으로 로딩하는 핸들링 유닛(128)을 포함한다.
A.G.V(105)는 마스크에 접근하여 마스크 인출포트(101)에 대한 위치 정렬을 실행한 후, 핸들링 유닛(128)을 사용하여 마스크를 로딩할 수 있다. 다음으로, A.G.V(105)는 마스크 스태커(100)의 좌측에 배치된 노광기(103)의 인터페이스(104)로 접근하여 그 인터페이스(104)에 대한 위치 정렬을 실행한 후, 핸들링 유닛(128)을 인터페이스(104)의 내부로 삽입하여 마스크를 언로딩한다.
A.G.V(105)의 클린 부스 유닛(110)은 양측에는 서로 대면하는 출입구(115, 116)가 마련되어 있으며, 핸들링 유닛(128)은 이를 통해 마스크 스태커(100)로부터 노광기(103)의 인터페이스(104)로 마스크의 로딩과 언로딩 작업을 반복적으로 실행할 수 있다. 이때, 핸들링 유닛(128)의 핸드부(190)에 적재된 마스크는 서로 대면하는 출입구(115, 116) 사이에서 180도 이상 회전될 수 있다.
구동 유닛(120)은 모터(미도시)의 동력에 의해 구동되는 2개의 구동륜(121)을 포함한다. 구동륜(121)은 양측에 각각 설치되어 서로 대향하는 배치를 제공할 수 있다. 클린 부스 유닛(110)의 다른 양측에는 양측 구동륜(121)에 교차하는 다른 양측을 지지하는 캐스터(125)가 설치될 수 있다. 구동 유닛(120)의 모터(미도시)는 다수의 배터리 셀(미도시)을 포함하는 배터리 유닛(126)에 연결되어 구동륜(121)을 구동시킬 수 있다.
배터리 유닛(126)은 작업 영역 내에 배치된 충전기(미도시)로부터 충전될 수 있다. A.G.V(105)는 필요 시에, 배터리 유닛(126)의 충전 단자가 충전기에 도킹될 수 있다. 도시하지 않았으나, 배터리 유닛(126)은 급속 충전이 가능한 경량의 배터리 셀(미도시)과 급속 충전 회로, 및 배터리 셀(미도시)을 보호할 수 있는 안전 회로를 포함할 수 있다.
도 3은 도 2의 A.G.V(105)의 핸들링 유닛(128)에 대한 사시도이고, 도 4는 도 3의 핸들링 유닛(128)에 대한 정면도이다.
도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 핸들링 유닛(128)의 다축 암(170)은 클린 부스 유닛(110)의 내부에서 180도 이상 회전가능하게 구성될 수 있다. 핸들링 유닛(128)은 클린 부스 유닛(110)의 내부에 지지되는 베이스부(129), 베이스부(129)의 상하 이동을 제공하는 승강부(130), 베이스부(129)에 지지되며 신축되어 마스크를 로딩/언로딩하는 다축 암(170), 베이스부(129)에 결합되어 다축 암(170)을 지지하며 다축 암(170)의 180도 이상 대회전을 제공하는 대회전부(155)를 포함할 수 있다.
핸들링 유닛(128)은 180도 이상 대회전이 가능한 다축 암(170)에 의해 노광기(103)의 인터페이스(104) 내부로 롱 스트로크를 제공할 수 있다. A.G.V(105)는 마스크 스태커(100)로부터 노광기(103) 측으로 이동하여 노광기(103)의 인터페이스(104)에 마스크를 적재할 때, 그 차체가 회전하지 않으면서, 그 내부에서 180도 대회전하는 다축 암(170)을 작동시켜 마스크를 노광기(103)의 인터페이스(104) 측에 안착시킬 수 있다.
노광기(103)에 대한 마스크 적재 설비의 경우, 노광기(103)의 인터페이스(104)가 그 협소한 출입구(115, 116)로부터 이격되어 배치될 수 있다. 다축 암(170)이 그 차체의 출입구(115, 116)로부터 깊숙한 위치까지 마스크를 이송할 수 있는 롱 스트로크를 제공하므로, 마스크는 노광기(103)의 인터페이스(104)에 충분히 도달하여 마스크를 내려놓을 수 있다.
도 5는 도 2의 핸들링 유닛(128)의 승강부(130)에 대한 사시도이고, 도 6은 도 5의 승강부(130)의 정면도이며, 도 7은 도 6의 승강부(130)의 A-A 단면도이다.
도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 승강부(130)는 사각으로 배치되는 다수의 서브 프레임(132)과 그 서브 프레임(132)들을 수평으로 연결하는 지지 프레임(133)을 포함하는 메인 프레임(131), 메인 프레임(131)의 하부에 슬라이드 결합되며 베이스부(129)가 결합되는 이동 브라켓(135), 메인 프레임(131)의 양측에 마련되는 LM 가이드(136), 이동 브라켓(135)의 양측에 결합되어 LM 가이드(136)에 슬라이드 결합되는 승강 슬라이더(137), 메인 프레임(131)의 상부부터 하부까지 배치되어 이동 브라켓(135)을 상하로 이동시키는 볼 스크류(138), 볼 스크류(138)에 연결되어 볼 스크류(138)를 회전시키는 승강 모터(139)를 포함한다.
도 5 내지 도 7을 참조하면, 볼 스크류(138)는 메인 프레임(131)의 상부에 결합되어 볼 스크류(138)를 메인 프레임(131)에 고정시키는 스크류 브라켓(140)에 회전가능하게 결합되고, 이동 브라켓(135)에 결합되는 암 스크류(141)에 나선으로 회전가능하게 결합된다. 볼 스크류(138)는 그 하단부가 볼 베어링(142)에 축 방향으로 지지된다. 볼 베어링(142)은 메인 프레임(131)의 하부에 고정되며, 축 방향의 하중을 지지하여 회전을 허용하는 축 베어링의 한 종류이다.
볼 스크류(138)와 승강 모터(139) 사이에는 커플러(145)가 배치된다. 커플러(145)는 볼 스크류(138)와 승강 모터(139)의 회전 축선이 일치하지 않는 경우에도, 유연한 연결성을 제공하여 승강 모터(139)로부터 볼스크류 측으로 회전 동력을 무리 없이 전달할 수 있다. 커플러(145)는 유니버셜 조인트와 같이 회전 축선이 일치하지 않아 서로 어긋난 경우에도 양측 동력전달 축의 손상 없이 회전동력을 전달할 수 있는 완충 역할을 제공한다.
승강 모터(139)에는 감속하여 회전 동력의 토크를 증가시킬 수 있는 감속기(미도시)가 구비될 수 있다. 승강 모터(139)는 주로 승강 작동에서 필요한 토크를 안정적으로 확보할 수 있는 서보 모터가 사용될 수 있다. 메인 프레임(131)의 측면에는 승강 모터(139)의 구동을 위한 전원과 승강 모터(139)의 제어 및 그 상태를 감지하기 위한 시그널 등을 보낼 수 있는 각종 커넥터가 배치되고, 승강 모터(139)에 대한 전원 공급을 제어할 수 있는 드라이버가 배치 가능한 커넥터 박스(147)가 배치될 수 있다.
메인 프레임(131)의 우측에는 승강부(130) 측에서 발생되는 불순물을 흡입하여 외부로 배출할 수 있는 제1 팬 필터 유닛(148)(FFU; Fan Filter Unit)이 배치될 수 있다. 승강 팬 필터 유닛은 자체의 모터(미도시)에 의해 작동하는 팬을 구비하여 승강부(130) 측에 대한 흡입작용을 행할 수 있다. 팬의 작동 시에 팬에 의해 유출되는 공기를 걸러내기 필터가 상류 또는 하류에 배치될 수 있다.
이동 브라켓(135)의 우측 상면부에는 이동 브라켓(135)이 상부로 이동할 때, 메인 프레임(131)의 상부 프레임에 대한 직접적인 충돌을 저지할 수 있는 스토퍼(149)가 배치될 수 있다. 스토퍼(149)는 완충재를 포함하여 구성될 수 있다. 메인 프레임(131)의 상부에는 이동 브라켓(135)이 상방으로 이동할 때, 이동 브라켓(135)의 접근을 감지하여 승강 모터(139)의 작동을 정지시키기 위한 신호를 보낼 수 있는 상위 제한센서(150)가 배치될 수 있다. 상위 제한센서(150)는 근접 센서의 한 종류일 수 있다.
도 8은 도 2의 핸들링 유닛(128)의 대회전부(155)에 대한 사시도이고, 도 9는 도 8의 대회전부(155)의 정면도이며, 도 10은 도 8의 대회전부(155)의 평면도이고, 도 11은 도 9의 대회전부(155)의 B-B 단면도이다.
도 8 내지 도 11을 참조하면, 베이스부(129)에는 다축 암(170)을 180도 회전시킬 수 있는 대회전부(155)가 마련된다. 대회전부(155)는 축 베어링에 의해 지지되는 대회전판(156), 대회전판(156)을 축 베어링에 의해 지지하고 베이스부(129)에 직선으로 이동가능하게 설치되는 이동패널(163), 이동패널(163)에 배치되어 대회전판(156)을 회전시키는 대회전용 모터와 풀리 등을 포함하는 대회전 구동부(157), 베이스부(129)에 설치되어 이동패널(163)을 선형이동시킬 수 있는 이동패널(163)용 모터와 볼 스크류 등을 포함하는 대회전 이동부(158) 등을 포함할 수 있다.
베이스부(129)는 이동 브라켓(135)에 결합되는 결합패널(165)의 상측에 배치된다. 이동패널(163)의 주변에는 대회전판(156)의 회전이나 다축 암(170)의 작동 시에, 다축 암(170)의 회전을 감지하는 다수의 포토 센서(164)가 배치될 수 있다. 또한, 베이스부(129)에는 이동패널(163)의 이동을 정지시킬 수 있는 스토퍼(166)가 구비될 수 있다.
도 11을 참조하면, 대회전판(156)에는 다축 암(170)에 대한 회전력을 전달받는 메인 풀리(167)가 축 결합된다. 도 12는 도 2의 다축 암에 대한 사시도이고, 도 13은 도 12의 다축 암의 C-C 단면도이다.
도 11 내지 도 13에 도시된 바와 같이, 다축 암(170)은 도 11의 대회전판(156)에 회전가능하게 결합된 메인 풀리(167)에 연동하는 제1 풀리(171)와 제1 풀리(171)로부터 이격되어 배치되고 제1 풀리(171)의 회전력을 전달받는 제2 풀리(172)가 내장된 제1 암(173), 제1 암(173)의 제2 풀리(172)의 상방에 배치되어 제2 풀리(172)에 연동하여 회전되는 제3 풀리(174)와 제3 풀리(174)로부터 이격되어 배치되고 제3 풀리(174)의 회전력을 전달받는 제4 풀리(175)가 내장된 제2 암(176), 제4 풀리(175)의 상방에 배치되어 제4 풀리(175)에 연동하여 회전되는 제5 풀리(177)와 제5 풀리(177)로부터 이격되어 배치되고 제5 풀리(177)의 회전력을 전달받는 제6 풀리(178)가 내장된 제3 암(179)을 포함할 수 있다.
제1 암(173)의 제1, 2 풀리(171, 172)와 제3 암(179)의 제5, 6 풀리(177, 178) 사이에는 벨트(180)를 가압하여 장력을 조절할 수 있도록 공회전되는 텐션 풀리(183)가 배치된다.
제2 암(176)의 제3, 4 풀리(174, 175)의 회전축(174a, 175a)은 핸들링 유닛(128)의 롱 스트로크를 제공하기 위해서 700mm 정도의 간격을 두고 배치될 수 있다. 이때, 제3, 4 풀리(174, 175)는 이격된 거리에 대한 벨트의 장력을 확보하기 위해서 두 개의 벨트(181, 182)를 사용하여 회전력을 전달할 수 있다. 즉, 제2 암(176)의 중간부에는 제3 풀리(174)로부터 벨트(180)에 의해 회전력을 전달받는 제1 아이들 풀리(185)와, 제1 아이들 풀리(185)에 동축에 배치되는 제2 아이들 풀리(186)와, 제1, 2 아이들 풀리(185, 186)의 회전축인 아이들 샤프트(187)가 배치된다. 제1 아이들 풀리(185)와 제2 아이들 풀리(186)는 아이들 샤프트(187)의 상부와 하부에 각각 결합된다. 이때, 제4 풀리(175)도 제2 아이들 풀리(186)에 다른 벨트(182)로 연결되어 회전력을 전달받을 수 있다. 또한, 제3, 4 풀리(174, 175)와 제1, 2 아이들 풀리(185, 186)의 대응하는 사이 공간에도 두 벨트(181, 182)의 장력을 더하는 텐션 풀리(184)가 배치된다. 제1 암(173)과 제2 암(176)을 연결하는 제2 풀리(172)와 제3 풀리(174), 제2 암(176)과 제3 암(179)을 연결하는 제4 풀리(175)와 제5 풀리(177)의 동력 전달이나, 제3 암(179)의 제6 풀리(178)로부터 핸드부(190)에 대한 동력에는 하모닉 드라이브(188)(harmonic drive)가 사용될 수 있다. 하모닉 드라이브(188)는 유성기어를 활용한 감속장치로서 동일 축선 상에서 감속할 수 있는 것으로서, 로봇의 관절에 동력전달요소로 사용된다.
이와 같은 핸들링 유닛(128)의 다축 암(170)은 롱 스트로크를 위해 제2 암(176)이 장축으로 구성되되, 그 내부에 배치되는 제3, 4 풀리(174, 175)의 간격이 길어져 2 개의 벨트(181, 182)를 사용하므로, 노광기(103)의 출입구(115, 116)로부터 이격되어 배치된 인터페이스(104)의 내부로 핸드부(190)가 안전하게 삽입되어 마스크를 안착시킬 수 있다.
도 14는 도 2의 핸들링 유닛(128)의 핸드부(190)에 대한 평면도이고, 도 15는 도 14의 정면도이다.
도 14와 도 15를 참조하면, 핸들링 유닛(128)의 핸드부(190)는 포크 베이스(191)와, 포크 베이스(191)의 양측에 돌출된 포크(192)와, 마스크가 안착되어 지지되는 포크 패드(193)를 구비한다. 포크(192)는 핸들의 양측에 3개씩 돌출된다. 포크 패드(193)는 마스크의 양측부가 지지될 수 있도록 각 포크(192)에 배치된다.
포크 베이스(191)의 단부에는 핸드부(190)의 위치를 감지하기 위한 포토 센서(194)가 배치된다. 포크 베이스(191)의 단부에는 거리를 감지하기 위한 광파이버 센서(195)가 배치될 수 있다. 광파이버 센서(195)는 마스크의 하방에서 상방으로 마스크 측에 접근할 때, 마스크로부터 반사된 빛을 감지하여 마스크에 대한 위치와 그 위치의 정렬을 감지할 수 있다. 또한, 포크 베이스(191)의 포토센서(195)에 인접한 좌측 단부에는 레이져 센서(196)가 배치된다. 레이져 센서(196)는 핸드부(190)가 이동할 때, 끝단부에 접근하는 물체에 대한 거리를 감지할 수 있다.
A.G.V(105)는 마스크 스태커(100)로부터 핸드부(190)에 마스크를 로딩하고, 마스크를 노광기(103)의 인터페이스(104)에 언로딩하는 작업을 다축 암(170)과, 포토 센서(194)와, 광파이버 센서(195)와, 레이져 센서(196)로부터 수집된 정보를 기초로 실행할 수 있다.
도 16은 도 2의 핸들링 부스(197)의 정면도이고, 도 17은 도 16의 D-D 단면도이다.
도 2와 도 16 및 도 17을 참조하면, 핸들링 부스(197)의 상부에는 한 쌍의 제2 팬 필터 유닛(198)이 배치된다. 제2 팬 필터 유닛(198)은 핸드부(190)가 작동할 때, 핸드부(190)에서 발생될 수 있는 이물질을 흡입하여 제거할 수 있다. 핸들링 부스(197)의 하부에는 핸드부(190)가 핸들링 부스(197)의 내부로 마스크를 로딩한 경우, 핸드부(190)에 연결된 다축 암(170)이 접히어 핸드부(190)의 위치가 정렬되었는지 또는 핸드부(190)와 마스크의 위치가 정렬되었는지 감지할 수 있는 포토 센서(199)와 레이져 센서(200)가 배치될 수 있다. 포토 센서(199)와 레이져 센서(200)는 이동패널(163)의 선단에 배치되므로, 대회전부(155)의 선형 이동에 따른 핸드부(190)의 미세한 선형이동을 감지할 수 있다. 이때, 포토 센서(199)는 양측에 배치되는 레이져 센서(200) 사이에 한 쌍이 배치될 수 있다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
100: 마스크 스태커 101: 마스크 인출포트
103: 노광기 104: 인터페이스
105: 무인 운반 차량(A.G.V)
110: 클린 부스 유닛 115, 116: 출입구
120: 구동 유닛 121: 구동륜
125: 캐스터 126: 배터리 유닛
127: 배터리 셀 128:핸들링 유닛
129: 베이스부 130: 승강부
131: 메인 프레임 132: 서브 프레임
133: 지지 프레임 135: 이동 브라켓
136: LM 가이드 137: 승강 슬라이더
138: 볼 스크류 139: 승강 모터
140: 스크류 브라켓 141: 암 스크류
142: 볼 베어링 145: 커플러
147: 커넥터 박스 148: 제1 팬 필터 유닛
149: 스토퍼 150: 상위 제한센서
155: 대회전부 156: 대회전판
163: 이동패널 164, 194, 199: 포토 센서
165: 결합패널 170: 다축 암
171: 제1 풀리 172: 제2 풀리
173: 제1 암 174: 제3 풀리
175: 제4 풀리 176: 제2 암
177: 제5 풀리 178: 제6 풀리
179: 제3 암 180, 181, 182: 벨트
183, 184: 텐션 풀리 185: 제1 아이들 풀리
186: 제2 아이들 풀리 187: 아이들 샤프트
188: 하모닉 드라이브 190: 핸드부
191: 포크 베이스 192: 포크
193: 포크 패드 195: 광파이버 센서
196, 200: 레이져 센서 197: 핸들링 부스
198: 제2 팬 필터 유닛 199: 포토 센서

Claims (20)

  1. 마스크가 적재되어 있는 마스크 스태커;
    상기 마스크 스태커에 이격되어 배치되고, 상기 마스크가 출입되기 위한 인터페이스가 마련되는 노광기; 및
    상기 마스크 스태커로부터 상기 마스크를 로딩하여 상기 노광기의 인터페이스 측으로 운반하며, 상기 마스크를 상기 인터페이스에 언로딩하는 무인 운반 차량을 포함하는 마스크 무인 운반 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 마스크 스태커와 상기 노광기 사이에는 상기 무인 운반 차량이 추적하여 이동하기 위한 작업 경로가 마련되고, 상기 작업 경로에는 상기 무인 운반 차량이 이동 경로를 인식할 수 있도록 마그네틱 스팟(magnetic spot)이 배치되는 것을 특징으로 하는 마스크 무인 운반 시스템.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 무인 운반 차량은,
    상기 마스크가 로딩되어 배치되고, 양측에 출입구가 마련되는 클린부스 유닛;
    상기 클린 부스 유닛에 배치되어 상기 클린 부스 유닛을 이동시키는 구동 유닛;
    상기 클린 부스 유닛에 배치되어 전원을 공급하는 배터리 유닛;
    상기 클린 부스 유닛에 배치되어 상기 마스크를 클린 부스 유닛으로 로딩하며, 상기 마스크의 로딩/언로딩 시에 승하강 이동이 가능하고, 상기 클린 부스 유닛의 양측 출입구에 대한 작업 방향의 전환이 가능하게 구성되는 핸들링 유닛을 포함하는 마스크 무인 운반 시스템.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 구동 유닛은 상기 클린 부스 유닛의 양측에 배치되어 구동되는 구동륜; 및
    상기 구동륜에 교차하는 방향으로 상기 클린 부스 유닛의 다른 양측에 각각 배치되는 복수의 캐스터를 포함하는 마스크 무인 운반 시스템.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 핸들링 유닛은,
    상기 마스크가 로딩되어 배치되는 핸들링 부스;
    상기 핸들링 부스가 지지되는 베이스부;
    상기 베이스부에 결합되어 상기 베이스부의 상하 이동을 제공하는 승강부;
    상기 베이스부 상에 배치되며, 상기 마스크를 로딩/언로딩하기 위해 신축가능하게 구성되는 다축 암;
    상기 다축 암의 단부에 연결되어 상기 마스크를 로딩/언로딩하는 핸드부; 및
    상기 베이스부에 회전가능하게 결합되어 상기 다축 암을 지지하며, 상기 다축 암의 작업 방향을 전환시키는 대회전부를 포함하는 마스크 무인 운반 시스템.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 승강부는,
    상기 핸들링 부스의 일측에 배치되는 메인 프레임;
    상기 메인 프레임에 슬라이드 결합되며, 상기 베이스부가 연결되어 지지되는 이동 브라켓;
    상기 메인 프레임의 양측에 마련되어 상기 이동 브라켓에 슬라이드 결합되는 LM 가이드;
    상기 이동 브라켓의 양측에 결합되어 상기 LM 가이드에 슬라이드 결합되는 승강 슬라이더;
    상기 메인 프레임의 상부부터 하부까지 배치되어 상기 이동 브라켓을 상하로 이동시키는 볼 스크류;
    상기 볼 스크류에 나선결합되고, 상기 이동 브라켓에 고정되는 암 스크류;
    상기 메인 프레임의 상부에 결합되며, 상기 볼 스크류가 회전가능하게 결합되는 스크류 브라켓;
    상기 메인 프레임의 하부에 배치되어 상기 볼 스크류의 축 방향으로 작용하는 하중을 지지하는 볼 베어링; 및
    상기 메인 프레임의 상부에 배치되고, 상기 볼 스크류에 결합되어 상기 볼 스크류를 회전시키는 승강 모터를 포함하는 마스크 무인 운반 시스템.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 볼 스크류와 상기 승강 모터 사이에는 상기 승강 모터로부터 상기 볼스크류 측으로 회전 동력을 전달하는 커플러가 배치되는 것을 특징으로 하는 마스크 무인 운반 시스템.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 메인 프레임의 일측에는 상기 승강부 측에서 발생되는 불순물을 제거하기 위한 제1 팬 필터 유닛이 배치되는 것을 특징으로 하는 마스크 무인 운반 시스템.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 이동 브라켓에는 상기 이동 브라켓이 상부로 이동할 때 그 이동을 안내하며, 상기 메인 프레임에 대한 충돌을 저지하는 스토퍼가 배치되는 것을 특징으로 하는 마스크 무인 운반 시스템.
  10. 제6항에 있어서,
    상기 메인 프레임의 상부에는 상기 이동 브라켓이 상방으로 이동할 때, 상기 이동 브라켓의 접근을 감지하여 상기 승강 모터의 작동을 정지시키기 위한 신호를 생성하는 상위 제한센서가 배치되는 특징으로 하는 마스크 무인 운반 시스템.
  11. 제5항에 있어서,
    상기 대회전부는,
    상기 베이스부에 배치되는 대회전판; 및
    상기 대회전판을 축 베어링에 의해 지지하고, 상기 베이스부에 직선으로 이동가능하게 설치되는 이동패널을 포함하는 마스크 무인 운반 시스템.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 이동패널의 주변에는 상기 대회전판의 회전이나 상기 다축 암의 작동 시에, 상기 다축 암의 위치를 감지하는 다수의 포토 센서가 배치되는 것을 특징으로 하는 마스크 무인 운반 시스템.
  13. 제5항에 있어서,
    상기 다축 암은,
    상기 베이스부에 회전가능하게 결합되는 메인 풀리;
    상기 메인 풀리에 연동하는 제1 풀리와, 상기 제1 풀리로부터 이격되어 상기 제1 풀리의 회전력을 전달받는 상기 제2 풀리가 배치되는 제1 암;
    상기 제2 풀리의 상방에 배치되어 상기 제2 풀리에 연동하여 회전되는 제3 풀리와, 상기 제3 풀리로부터 이격되어 상기 제3 풀리의 회전력을 전달받는 제4 풀리가 배치되는 제2 암; 및
    상기 제4 풀리의 상방에 배치되어 상기 제4 풀리에 연동하여 회전되는 제5 풀리와, 상기 제5 풀리로부터 이격되어 상기 제5 풀리의 회전력을 전달받는 제6 풀리가 배치되는 제3 암을 포함하는 마스크 무인 운반 시스템.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 제1 암의 제1, 2 풀리와 상기 제3 암의 제5, 6 풀리 사이에는, 벨트의 장력을 조절하기 위한 텐션 풀리가 배치되는 것을 특징으로 하는 마스크 무인 운반 시스템.
  15. 제13항에 있어서,
    상기 제3 암의 중간부에는,
    상기 제3 풀리로부터 벨트에 의해 회전력을 전달받는 제1 아이들 풀리;
    상기 제1 아이들 풀리와 동축으로 배치되어 다른 벨트에 의해 상기 제4 풀리에 회전력을 전달하는 제2 아이들 풀리; 및
    상기 제1, 2 아이들 풀리의 회전축을 구성하는 아이들 샤프트가 배치되는 것을 특징으로 하는 마스크 무인 운반 시스템.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 제3, 4 풀리와 상기 제1, 2 아이들 풀리 사이에는, 각각의 상기 벨트의 장력을 조절하는 텐션 풀리가 더 배치되는 것을 특징으로 하는 마스크 무인 운반 시스템.
  17. 제5항에 있어서,
    상기 핸드부는,
    상기 다축 암에 연결되는 포크 베이스;
    상기 포크 베이스의 양측에 돌출되어 있는 복수의 포크; 및
    상기 각 포크에 배치되어 상기 마스크를 지지하기 위한 포크 패드를 포함하는 마스크 무인 운반 시스템.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 포크 베이스는,
    상기 포크 베이스의 끝단에 배치되어 상기 포크 베이스의 위치를 감지하는 포토 센서;
    상기 포크 베이스의 둘레에 배치되어 상기 마스크를 감지하는 광파이버 센서; 및
    상기 포토센서의 일측에 배치되어 다른 물체에 대한 상기 포크 베이스의 거리를 감지하는 레이져 센서를 더 포함하는 마스크 무인 운반 시스템.
  19. 제5항에 있어서,
    상기 핸들링 부스의 상부에는 제2 팬 필터 유닛이 배치되는 것을 특징으로 하는 마스크 무인 운반 시스템.
  20. 제19항에 있어서,
    상기 핸들링 부스의 하부에는, 상기 핸드부가 상기 마스크를 상기 핸들링 부스로 로딩하는 경우, 상기 핸드부의 다축 암이 접히어 위치가 정렬되었는지 또는 상기 핸드부의 위치가 정렬되었는지 감지하거나, 상기 대회전부의 선형 이동을 감지할 수 있는 포토센서와 레이져 센서가 더 배치되는 것을 특징으로 하는 마스크 무인 운반 시스템.
KR1020110147285A 2011-12-30 2011-12-30 마스크 무인 운반 시스템 KR101385588B1 (ko)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101385594B1 (ko) * 2012-09-28 2014-04-15 삼성디스플레이 주식회사 자동보정 및 티칭로딩이 가능한 자동반송시스템 및 제어방법
KR20150133439A (ko) * 2014-05-20 2015-11-30 주식회사 에스에프에이 카세트 이송 시스템

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230135874A (ko) 2022-03-17 2023-09-26 이알케이(주) Fmm 운반박스

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4126250B2 (ja) * 2003-06-03 2008-07-30 三菱電機株式会社 搬送システム
JP4631741B2 (ja) * 2006-02-24 2011-02-16 村田機械株式会社 搬送車
JP4543435B2 (ja) * 2006-11-14 2010-09-15 村田機械株式会社 磁気誘導走行車システム
JP2011181796A (ja) * 2010-03-03 2011-09-15 Nsk Ltd マスクストッカー、マスク供給システム、及びマスク供給方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101385594B1 (ko) * 2012-09-28 2014-04-15 삼성디스플레이 주식회사 자동보정 및 티칭로딩이 가능한 자동반송시스템 및 제어방법
KR20150133439A (ko) * 2014-05-20 2015-11-30 주식회사 에스에프에이 카세트 이송 시스템

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