KR20120056483A - 퍼지시스템의 웨이퍼 이송장치 - Google Patents

퍼지시스템의 웨이퍼 이송장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 퍼지시스템의 웨이퍼 이송장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 퍼지시스템의 웨이퍼 이송장치는 웨이퍼 처리 공정들 사이에 배치되어 웨이퍼가 적재되는 풉(FOUP) 내부의 오염물질을 제거하는 퍼지시스템의 챔버 내부와 풉의 사이에서 웨이퍼를 반송하는 퍼지시스템의 웨이퍼 이송장치에 있어서, 퍼지시스템의 챔버 내부에 설치되는 베이스;와, 상기 베이스 상에서 전,후진 가능하게 설치되는 제1이동체;와, 상기 베이스와 상기 제1이동체 사이에 배치되어 상기 제1이동체를 전,후진시키는 수평구동부;와, 상기 제1이동체에 수직방향으로 이동가능하게 설치되는 제2이동체;와, 상기 제1이동체와 제2이동체 사이에 배치되어 상기 제2이동체를 수직방향으로 이동시키는 수직구동부; 및, 상기 제2이동체의 전방에 형성되어 웨이퍼를 적재하는 웨이퍼 적재부;를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 퍼지시스템의 세정성능을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라, 풉의 내부를 세정하는 과정에서 웨이퍼가 손상되는 것을 방지할 수 있는 퍼지시스템의 웨이퍼 이동장치가 제공된다.

Description

퍼지시스템의 웨이퍼 이송장치{WAFER TRANSFER APPARATUS FOR PURGE SYSTEM}
본 발명은 퍼지시스템의 웨이퍼 이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 웨이퍼 처리 공정들 사이에 배치되어 웨이퍼가 적재되는 풉(FOUP) 내부의 오염물질을 제거하는 퍼지시스템의 챔버와 풉의 사이에서 웨이퍼를 반송하는 퍼지시스템의 웨이퍼 이송장치에 관한 것이다.
반도체 생산 처리는 주로 반도체 웨이퍼를 처리하기 위해 내측이 고도로 정화된 소위 청정실에서 수행된다. 그러나, 웨이퍼의 대규모화와 청정실 운용비 삭감 문제를 해결한다는 점에 있어서, 최근에는 처리장치의 내측과, 웨이퍼용기와, 웨이퍼용기에서 처리장치로 웨이퍼를 전달하는 이송 로봇을 수용하기 위한 국소환경만이 고도로 정화 상태로 유지되는 방법이 이용되고 있다.
웨이퍼용기는 공간에 평행하게 배치된 복수의 웨이퍼를 보유할 수 있는 선반 및 외면을 형성하는 일 면에 마련되어 웨이퍼가 취출/투입되는 개구를 구비한 사실상 입방체 형상의 메인 유닛과, 개구를 폐쇄하기 위한 도어를 포함한다. 바닥면이 아닌 일 측면(국소환경에 대면하는 면)에 개구가 형성된 웨이퍼용기를 일반적으로 풉(FOUP)이라 한다. 본 발명은 주로 풉을 사용하는 구조에 관한 것이다.
상술한 국소 환경은 밀폐공간을 제공하는 챔버와, 상기 챔버의 일면에서 풉의 개구와 대면하는 제1개구부와, 제1개구부에 마련되어 풉의 도어를 개폐하는 도어개폐장치와, 웨이퍼를 취출/투입하기 위해 제1개구부를 통해 풉의 내측으로 진입하는 웨이퍼 이송장치를 포함한다. 국소 환경을 형성하는 구조는 풉의 개구부가 도어의 전면과 정확히 대면하도록 풉을 지지하는 스테이지를 포함한다.
스테이지의 상면에는 풉의 바닥면에 형성된 위치설정용 구멍 안에 삽입되면서 풉의 안착위치를 조절하는 위치설정 핀과, 스테이지 상에 안착된 풉을 고정하는 클램프 유닛이 마련된다. 일반적으로, 스테이지는 전후로 소정 거리만큼 이동될 수 있다. 풉에 적재된 웨이퍼를 챔버 내로 이송하기 위해, 풉은 풉이 스테이지 상에 안착된 상태에서 풉의 도어가 도어개폐장치와 접촉할 때까지 이동된다. 도어는 도어개폐장치와 접촉한 후 도어개폐장치에 의해 풉의 개구부로부터 제거된다. 이런 작업에 의해 풉의 내측과 챔버의 내측은 국소 환경과 연통하고 웨이퍼의 이송 작업이 수행된다. 스테이지, 도어개폐장치, 제1개구부가 마련되고 국소 환경의 일부를 형성하는 챔버를 일반적으로 FIMS(Front-Opening Interface Mechanical Standard) 시스템이라 한다.
일반적으로, 웨이퍼를 수용하는 풉의 내측은 고도로 정화되도록 제어된 건조 질소로 충전됨으로써 오염물과 산화 가스가 풉의 내부로 들어가는 것이 방지된다. 그러나, 소정 처리를 수행하기 위해 웨이퍼용기 내부에 배치된 웨이퍼를 다양한 처리장치로 이동시키는 과정 또는 챔버와 연결된 상태에서 챔버의 내부로 오염물질이 유입되는 경우 고가의 웨이퍼가 손상되는 문제점이 있다.
이러한 문제점을 해결하기 위하여 종래에는 처리공정 중 퍼징시스템에 풉을 고정하고, 풉의 내부에 질소가스를 고압분사하여 이물질을 배출하는 세정공정을 수행하였는데, 이러한 작업이 풉의 내부에 웨이퍼가 적재된 상태에서 이루어지므로, 고정밀도를 요구하는 웨이퍼가 손상될 우려가 높다.
따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 웨이퍼가 적재되지 않은 상태로 풉의 내부를 세정함으로써 세정성능을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라, 풉의 내부를 세정하는 과정에서 웨이퍼가 손상되는 것을 방지할 수 있는 퍼지시스템의 웨이퍼 이동장치를 제공함에 있다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 웨이퍼 처리 공정들 사이에 배치되어 웨이퍼가 적재되는 풉(FOUP) 내부의 오염물질을 제거하는 퍼지시스템의 챔버 내부와 풉의 사이에서 웨이퍼를 반송하는 퍼지시스템의 웨이퍼 이송장치에 있어서, 퍼지시스템의 챔버 내부에 설치되는 베이스;와, 상기 베이스 상에서 전,후진 가능하게 설치되는 제1이동체;와, 상기 베이스와 상기 제1이동체 사이에 배치되어 상기 제1이동체를 전,후진시키는 수평구동부;와, 상기 제1이동체에 수직방향으로 이동가능하게 설치되는 제2이동체;와, 상기 제1이동체와 제2이동체 사이에 배치되어 상기 제2이동체를 수직방향으로 이동시키는 수직구동부; 및, 상기 제2이동체의 전방에 형성되어 웨이퍼를 적재하는 웨이퍼 적재부;를 포함하는 퍼지시스템의 웨이퍼 이송장치에 의해 달성된다.
여기서, 상기 수평구동부는 구동모터와, 상기 베이스상에서 웨이퍼의 반입/반출 방향으로 설치되는 볼스크류와, 상기 구동모터와 볼스크류를 연결하여 회전력을 전달하는 동력전달부와, 상기 볼스크류에 결합하여 볼스크류의 회전에 의해 수평방향으로 이동하는 볼너트를 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 동력전달부는 구동모터의 구동축에 고정되는 구동풀리와, 상기 볼스크류에 고정되는 종동풀리와, 상기 구동풀리와 종동풀리를 연결하는 타이밍벨트로 이루어지는 것이 바람직하다.
또한, 상기 베이스는 수평구동부와 나란하게 배치되는 안내레일과, 상기 안내레일 상에서 슬라이딩하며 상기 제1이동체에 고정되는 슬라이더를 더 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 수직구동부는 구동모터와, 상기 제2이동체에 수직방향으로 설치되는 볼스크류와, 상기 구동모터와 볼스크류를 연결하여 회전력을 전달하는 동력전달부와, 상기 볼스크류에 결합하여 볼스크류의 회전에 의해 수직방향으로 이동하는 볼너트를 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 동력전달부는 구동모터의 구동축과 볼스크류를 일렬로 연결하는 커플러로 이루어지는 것이 바람직하다.
또한, 상기 웨이퍼 적재부는 상기 제2이동체의 전면에 수직방향으로 다수 마련되고 풉의 웨이퍼 수납슬롯과 동일한 간격으로 이격 배치되는 다수의 포크와, 상기 포크의 상면에 적어도 세개 이상 마련되어 웨이퍼의 에지부분에 접촉하는 돌기와, 상기 다수의 포크를 제2이동체에 고정하는 고정부를 포함하는 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면, 웨이퍼가 적재되지 않은 상태로 풉의 내부를 세정함으로써 세정성능을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라, 풉의 내부를 세정하는 과정에서 웨이퍼가 손상되는 것을 방지할 수 있는 퍼지시스템의 웨이퍼 이동장치가 제공된다.
도 1은 본 발명 퍼지시스템의 웨이퍼 이송장치가 적용된 퍼지시스템의 사시도,
도 2는 본 발명 퍼지시스템의 웨이퍼 이송장치의 사시도,
도 3은 본 발명 퍼지시스템의 웨이퍼 이송장치의 분해사시도,
도 4는 본 발명 퍼지시스템의 웨이퍼 이송장치의 평단면도,
도 5는 본 발명 퍼지시스템의 웨이퍼 이송장치의 측단면도,
도 6 내지 도 9는 본 발명 퍼지시스템의 웨이퍼 이송장치의 작용도이다.
설명에 앞서, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1실시예와 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 퍼지시스템의 웨이퍼 이송장치에 대하여 상세하게 설명한다.
첨부도면 중 도 1은 본 발명 퍼지시스템의 웨이퍼 이송장치가 적용된 퍼지시스템의 사시도이고, 도 2는 본 발명 퍼지시스템의 웨이퍼 이송장치의 사시도이고, 도 3은 본 발명 퍼지시스템의 웨이퍼 이송장치의 분해사시도이다.
먼저, 도 1에서 도시하는 바와 같이 퍼지시스템은 웨이퍼가 수납되는 풉(F)의 내부에 질소가스를 분사하여 오염물질을 제거하는 것으로서, 내부에 청정환경을 제공하는 챔버(11)와, 상기 챔버(11)의 전면에 형성되는 개구부에 설치되어 개구부를 밀폐하는 것과 동시에 풉의 도어를 개폐하는 도어개폐장치(12)와, 상기 챔버(11)의 개구부 전방 하측에 설치되어 풉(F)을 지지하는 스테이지(13)와, 상기 챔버(11)의 개구부에 설치되어 풉(F)의 도어가 개방된 상태에서 풉(F)의 내부로 질소가스를 분사하는 질소분사부(미도시)를 포함한다.
여기서, 본 발명 퍼지시스템의 웨이퍼 이동장치는 챔버(11) 내부의 청정환경을 유지하는 밀폐공간 내에 배치되어 도어개폐장치(12)에 의해 도어가 개방된 풉(F)의 내부로부터 웨이퍼를 반출하고, 질소가스를 이용하여 풉(F) 내부를 세정한 뒤, 다시 웨이퍼를 풉(F)의 내부로 반입하도록 웨이퍼를 반송하는 것이다.
이러한 본 발명 퍼지시스템의 웨이퍼 이동장치는 도 2와 도 3에서 도시하는 바와 같이, 챔버 내부에 설치되는 베이스(110)와, 상기 베이스(110)상에 웨이퍼의 반입/반출 방향으로 설치되는 수평구동부(120)와, 상기 수평구동부(120)에 의해 베이스(110)상에서 전,후진하는 제1이동체(130)와, 상기 제1이동체(130)에 수직방향으로 설치되는 수직구동부(140)와, 상기 수직구동부(140)에 의해 제2이동체(150)상에서 수직방향으로 승강하는 제2이동체(150) 및, 상기 제2이동체(150)의 전면에 수직방향으로 다수 마련되어 웨이퍼를 적재하는 웨이퍼 적재부(160)를 포함하여 구성된다.
상기 베이스(110)는 퍼지시스템의 챔버의 개구부 후방 하측에 수평으로 설치된다.
상기 수평구동부(120)는 상기 베이스(110)상에 설치되는 구동모터(121)와, 상기 베이스(110)상에서 웨이퍼의 반입/반출 방향으로 설치되는 볼스크류(122)와, 상기 볼스크류(122)에 결합하여 볼스크류(122)의 회전에 의해 전,후진하는 볼너트(123)와, 상기 구동모터(121)와 볼스크류(122)를 연결하여 회전력을 전달하는 동력전달부(124)를 포함한다.
상기 동력전달부(124)는 구동모터(121)의 구동축에 고정되는 구동풀리(124a)와, 상기 볼스크류(122)에 고정되는 종동풀리(124b)와, 상기 구동풀리(124a)와 종동풀리(124b)를 연결하는 타이밍벨트(124c)로 이루어진다.
상기 제1이동체(130)는 상기 수평구동부(120)의 볼너트(123)에 고정되어 수평구동부(120)의 구동에 의해 챔버 내에서 웨이퍼의 반입/반출 방향으로 전,후진한다.
한편, 상기 제1이동체(130)의 이동이 원활하게 이루어지도록, 상기 베이스(110)에는 볼스크류(122)와 나란하게 안내레일(125)이 배치되고, 상기 안내레일(125) 상에서 슬라이딩하는 슬라이더(126)가 상기 제1이동체(130)에 고정되어 제1이동체(130)의 전,후진을 안내한다.
상기 수직구동부(140)는 제1이동체(130)상에 설치되는 구동모터(141)와, 제1이동체(130) 상에서 수직방향으로 설치되는 볼스크류(142)와, 상기 볼스크류(142)와 결합하여 볼스크류(142)의 회전에 의해 수직방향으로 승강하는 볼너트(143)와, 상기 구동모터(141)와 볼스크류(142)를 연결하여 회전력을 전달하는 동력전달부(144)를 포함한다.
본 실시예에서는 수직구동부(140)의 구동모터(141)와 볼스크류(142)가 일렬로 배치되고, 상기 구동모터(141)와 볼스크류(142)를 연결하는 동력전달부(144)가 커플러로 이루어지는 것으로 한다.
상기 제2이동체(150)는 상기 수직구동부(140)의 볼너트(143)에 고정되어 수직구동부(140)의 구동에 의해 수직방향으로 승강한다.
상기 웨이퍼 적재부(160)는 상기 제2이동체(150)의 전면에 수직방향으로 다수 마련되고, 풉(F)의 웨이퍼 수납슬롯과 동일한 간격으로 이격 배치되는 다수의 포크(161)와, 상기 포크(161)의 상면에 형성되어 웨이퍼의 에지부분에 접촉하는 적어도 세개 이상의 돌기(162)와, 상기 다수의 포크(161)를 제2이동체(150)에 고정하는 고정부(163)를 포함한다.
지금부터는 상술한 퍼지시스템의 웨이퍼 이송장치의 제1실시예의 작동에 대하여 설명한다.
첨부도면 중 도 4는 본 발명 퍼지시스템의 웨이퍼 이송장치의 평단면도이고, 도 5는 본 발명 퍼지시스템의 웨이퍼 이송장치의 측단면도이다.
상기 도면에서 도시하는 바와 같이, 베이스(110)의 일측에 수평구동부(120)가 웨이퍼의 반입/반출 방향으로 설치되고, 타측에는 안내레일(125)이 수평구동부(120)와 나란하게 설치된다.
상기 수평구동부(120)는 베이스(110) 상에 수평방향으로 설치되는 구동모터(121)와 볼스크류(122)가 동력전달장치에 의해 연결되며, 구동모터(121)의 정,역 회전에의해 볼스크류(122)가 회전하면서 볼스크류(122)에 결합된 볼너트(123)를 전,후진시킨다.
상기 제2이동체(150)는 일측이 상기 수평구동부(120)의 볼너트(123)에 고정되고, 타측이 안내레일(125)을 따라 슬라이딩하는 슬라이더(126)에 고정되어 전,후진 이동이 안정적으로 이루어지게 된다.
상기 수직구동부(140)는 구동모터(141)와 볼스크류(142)가 상기 제2이동체(150)에 수직방향으로 설치된 상태에서 동력전달부(144)에 의해 연결되며, 상기 볼스크류(142)에 결합된 볼너트(143)는 제2이동체(150)에 고정된다. 따라서 수직구동부(140)의 구동모터(141)의 정,역 회전에 의해 상기 제2이동체(150)가 수직방향으로 승강한다.
상기 웨이퍼 적재부(160)는 웨이퍼의 에지부분에 접촉하는 돌기(162)가 형성된 포크(161)가제2이동체(150)의 전면에서 수직방향으로 다수 배치되고, 상기 다수의 포크(161)는 고정부(163)에 의해 제2이동체(150)에 고정된다.
이하에서는 본 발명 퍼지시스템의 웨이퍼 이동장치의 작용을 설명한다.
첨부도면 중 도 6 내지 도 9는 본 발명 퍼지시스템의 웨이퍼 이송장치의 작용도이다.
먼저, 도 6에서 도시하는 바와 같이, 베이스(110)상에 웨이퍼의 반입/반출 방향으로 설치된 수평구동부(120)의 구동에 의해 제1이동체(130)가 전방으로 이동하면, 웨이퍼 적재부(160)의 포크(161)가 풉(F)에 적재된 웨이퍼(W)들의 사이공간을 통해 풉(F)의 내부영역으로 삽입된다.
즉, 수평구동부(120)의 구동모터(121)가 정방향으로 회전하면, 볼스크류(122)가 동력전달부(124)에 의해 구동모터(121)의 회전력을 전달받아 정방향으로 회전하고, 제1이동체(130)에 고정된 볼너트(123)가 볼스크류(122)의 회전에 의해 전방을 향해 이동하게 된다.
이때, 상기 웨이퍼 적재부(160)의 포크(161)는 웨이퍼(W)와의 충돌을 방지하기 위해 웨이퍼(W)들의 사이공간으로 삽입되도록 수직구동부(140)에 의해 하강된 상태로 셋팅되어 있어야 한다.
상기와 같이 수평구동부(120)의 구동에 의해 웨이퍼 적재부(160)의 포크(161)가 풉(F)에 적재된 웨이퍼(W)들의 사이공간으로 삽입되면, 도 7과 같이 수직구동부(140)를 통해 웨이퍼 적재부(160)가 연결된 제2이동체(150)를 상승시켜 풉(F)에 적재된 웨이퍼(W)들을 들어올린다.
즉, 제1이동체(130)에 설치된 수직구동부(140)의 구동모터(141)가 정방향으로 회전하면 동력전달부(144)에 의해 구동모터(141)와 연결된 볼스크류(142)가 회전하면서 제2이동체(150)에 고정된 볼너트(143)를 상승시킨다.
이때, 풉(F)의 슬롯(S)에 적재된 웨이퍼(W)를 들어올리기 위한 웨이퍼 적재부(160)의 수직방향 이동거리는 풉(F)의 슬롯(S)간의 간격에 대하여 1/2정도에 해당하는 것이 바람직하다.(도 8참조)
상기와 같이 풉의 슬롯에 적재된 웨이퍼들을 포크(161)를 이용해 들어올려 포크(161)에 적재한 다음, 도 9와 같이 수평구동부(120)를 이용해 풉(F)으로부터 웨이퍼(W)를 반출하여 챔버(11) 내부에 위치시킨다.
즉, 수평구동부(120)의 구동모터(121)가 역방향으로 회전하면 구동모터(121)의 구동축과 동력전달부(124)로 연결된 볼스크류(123)가 역방향으로 회전하면서 제1이동체(130)에 고정된 볼너트(123)가 웨이퍼 반출방향으로 이동하게 된다. 따라서 제1이동체(130)에 연결된 웨이퍼 적재부(160)는 풉(F)의 내부에서 웨이퍼(W)를 반출하여 챔버(11) 내부로 이동시킨다.
상기와 같이 웨이퍼(W)의 반출이 완료되면 퍼지시스템의 질소분사부(미도시)를 이용해 풉(F)의 내부공간을 세정한다.
또한, 세정이 완료되면, 수평구동부(120)를 이용해 웨이퍼 적재부(160)를 전진시켜 풉(F)의 내부로 웨이퍼(W)가 다시 반입되도록 하고, 수직구동부(140)를 이용해 웨이퍼 적재부(160)를 하강시켜 웨이퍼(W)가 풉(F)에 적재되도록 한 다음, 다시 수평구동부(120)를 이용해 웨이퍼 적재부(160)를 후진시켜 챔버(11) 내부로 위치시킨다. 이러한 웨이퍼 반입작용은 상술한 웨이퍼 반출작용의 역순으로 이루어지므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
상기와 같이 웨이퍼의 반입이 완료되면, 퍼지시스템은 도어개폐장치를 이용해 풉의 개구를 도어로 밀폐시키고, 별도의 장치 또는 작업자가 풉을 다음 공정으로 이동시킨다.
상술한 바와 같이 본 발명 퍼지시스템의 웨이퍼 이동장치는 웨이퍼(W)를 보관하는 풉(F)의 내부를 세정하는 공정을 수행하는 과정에서, 풉(F)의 내부에 적재된 웨이퍼(W)를 챔버(11) 내부로 반출한 다음 풉(F)의 세정공정을 수행하도록 하고, 세정이 완료된 후에는 다시 웨이퍼(W)를 챔버(11) 내부로 반입한다. 이로 인해 풉(F)에 웨이퍼(W)가 적재되지 않은 상태로 세정할 수 있으므로 세정성능을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라, 풉(F)의 내부를 세정하는 과정에서 웨이퍼(W)가 손상되는 것을 방지할 수 있게 된다.
본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.
110:베이스, 120:수평구동부, 121:구동모터, 122:볼스크류, 123:볼너트,
124:동력전달부, 124a:구동풀리, 124b:종동풀리, 124c:타이밍벨트,
안내레일(125):안내레일, 126:슬라이더, 130:제1이동체, 140:수직구동부,
141:구동모터, 142:볼스크류, 143:볼너트, 144:동력전달부, 150:제2이동체,
160:웨이퍼 적재부, 161:포크, 162:돌기, 163:고정부

Claims (6)

  1. 웨이퍼 처리 공정들 사이에 배치되어 웨이퍼가 적재되는 풉(FOUP) 내부의 오염물질을 제거하는 퍼지시스템의 챔버 내부와 풉의 사이에서 웨이퍼를 반송하는 퍼지시스템의 웨이퍼 이송장치에 있어서,
    퍼지시스템의 챔버 내부에 설치되는 베이스;
    상기 베이스 상에서 전,후진 가능하게 설치되는 제1이동체;
    상기 베이스와 상기 제1이동체 사이에 배치되어 상기 제1이동체를 전,후진시키는 수평구동부;
    상기 제1이동체에 수직방향으로 이동가능하게 설치되는 제2이동체;
    상기 제1이동체와 제2이동체 사이에 배치되어 상기 제2이동체를 수직방향으로 이동시키는 수직구동부; 및,
    상기 제2이동체의 전방에 형성되어 웨이퍼를 적재하는 웨이퍼 적재부;를 포함하는 퍼지시스템의 웨이퍼 이송장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 수평구동부는 구동모터와, 상기 베이스상에서 웨이퍼의 반입/반출 방향으로 설치되는 볼스크류와, 상기 구동모터와 볼스크류를 연결하여 회전력을 전달하는 동력전달부와, 상기 볼스크류에 결합하여 볼스크류의 회전에 의해 수평방향으로 이동하는 볼너트를 포함하는 것을 특징으로 하는 퍼지시스템의 웨이퍼 이송장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 동력전달부는 구동모터의 구동축에 고정되는 구동풀리와, 상기 볼스크류에 고정되는 종동풀리와, 상기 구동풀리와 종동풀리를 연결하는 타이밍벨트로 이루어지는 것을 특징으로 하는 퍼지시스템의 웨이퍼 이송장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 베이스는 수평구동부와 나란하게 배치되는 안내레일과, 상기 안내레일 상에서 슬라이딩하며 상기 제1이동체에 고정되는 슬라이더를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 퍼지시스템의 웨이퍼 이송장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 수직구동부는 구동모터와, 상기 제2이동체에 수직방향으로 설치되는 볼스크류와, 상기 구동모터와 볼스크류를 연결하여 회전력을 전달하는 동력전달부와, 상기 볼스크류에 결합하여 볼스크류의 회전에 의해 수직방향으로 이동하는 볼너트를 포함하는 것을 특징으로 하는 퍼지시스템의 웨이퍼 이송장치.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 웨이퍼 적재부는 상기 제2이동체의 전면에 수직방향으로 다수 마련되고 풉의 웨이퍼 수납슬롯과 동일한 간격으로 이격 배치되는 다수의 포크와, 상기 포크의 상면에 적어도 세개 이상 마련되어 웨이퍼의 에지부분에 접촉하는 돌기와, 상기 다수의 포크를 제2이동체에 고정하는 고정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 퍼지시스템의 웨이퍼 이송장치.
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