JPS5840759A - 電子ビ−ム露光装置 - Google Patents
電子ビ−ム露光装置Info
- Publication number
- JPS5840759A JPS5840759A JP13882081A JP13882081A JPS5840759A JP S5840759 A JPS5840759 A JP S5840759A JP 13882081 A JP13882081 A JP 13882081A JP 13882081 A JP13882081 A JP 13882081A JP S5840759 A JPS5840759 A JP S5840759A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- cassette
- sample chamber
- electron beam
- sample
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
- H01J37/3411—Constructional aspects of the reactor
- H01J37/3435—Target holders (includes backing plates and endblocks)
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、電子ビーム露光装置に係わり、詳しくは試料
室と予備試料室との間で試料カセットを搬送する搬送機
構の改良に関する。
室と予備試料室との間で試料カセットを搬送する搬送機
構の改良に関する。
近時、牛導体ウェハやマスク基板等の試料に微細パター
ンを形成するものとして、各種の電子ビーム露光装置が
開発さｎている。この装置は、試料室内のＸ−Ｙテーブ
ル等に載置さｔた試料上に電子ビームを照射露光して該
試料に所望パターンを描画するもので、微細パターン形
成に極めて有用である。そして、この電子ビーム露光装
置では、複数の試料管露光する場合霧光を終えた試料を
新たなものと交換するために、複数の試料を収容する予
備試料室およびこの予備試料室と上記試料室との間で試
料を搬送する搬送機構が用いらｎている。
ンを形成するものとして、各種の電子ビーム露光装置が
開発さｎている。この装置は、試料室内のＸ−Ｙテーブ
ル等に載置さｔた試料上に電子ビームを照射露光して該
試料に所望パターンを描画するもので、微細パターン形
成に極めて有用である。そして、この電子ビーム露光装
置では、複数の試料管露光する場合霧光を終えた試料を
新たなものと交換するために、複数の試料を収容する予
備試料室およびこの予備試料室と上記試料室との間で試
料を搬送する搬送機構が用いらｎている。
＃！１図および第２図はそれぞｎ従来の電子ビーム露光
装置ＯＩＩ部構成を一部切欠して示す平面図および側面
図である。図中１は試料室、２は予備試料室、３は各＠
１，２間會真空迩断するゲートパルプ？示している。ｉ
＊、４はケージング、５は左右方向に移動可能なアーム
、５はアーム５の上部に設けられたラック、７はラック
６に咬み合うビニオン、８はピニオン１會回転せしめる
ための駆動ツマミ、９はアーム６の左端に設けらｒｔ次
大カセット着脱用ツメ１０は７−ム６内を摺動可能に設
けられた操作棒、１１は操作軸１０の左端に取着さｒｔ
た直動カム、１２は操作棒１０の布地とアーム６の右端
との間に設けられ次クランク機構、１３はクランク機構
１２’を伸ばすための操作軸、１４はベアリング、１５
はローラを示し、これら４．〜。
装置ＯＩＩ部構成を一部切欠して示す平面図および側面
図である。図中１は試料室、２は予備試料室、３は各＠
１，２間會真空迩断するゲートパルプ？示している。ｉ
＊、４はケージング、５は左右方向に移動可能なアーム
、５はアーム５の上部に設けられたラック、７はラック
６に咬み合うビニオン、８はピニオン１會回転せしめる
ための駆動ツマミ、９はアーム６の左端に設けらｒｔ次
大カセット着脱用ツメ１０は７−ム６内を摺動可能に設
けられた操作棒、１１は操作軸１０の左端に取着さｒｔ
た直動カム、１２は操作棒１０の布地とアーム６の右端
との間に設けられ次クランク機構、１３はクランク機構
１２’を伸ばすための操作軸、１４はベアリング、１５
はローラを示し、これら４．〜。
１５から搬送機構が構成されている０また、１６は試料
を固定保持したカセット、１７はカセット１ｄのツメ、
１８は試料室１内に配置さｎたＸ−Ｙテーブル、１９は
カセット１６の停止位ｔｔ規制するためのストッパを示
している０この装置では、前記第１図お↓び第２図に示
した状態で駆動ツマミ８ｔ−矢印Ａ方向に回すことにエ
リ、ビニオン１およびランク６を介してアーム５に駆動
力が伝達さｎ同アーム５は矢印Ｂ方向に移動し、これに
よりカセット１６が予備試料室２から試料室１内のＸ−
Ｙテーブル１８上へと搬送される。カセット１６がＸ
−Ｙテーブル１８上のストツノ（１９に当接した時点で
操作軸１３１ｆｆ押すと、クランク機構１２が伸長し操
作棒１０および直動カム１）のみが矢印Ｂ方向に進み、
これによりアーム５の先端に設けられたツメ９が閉じ、
ツメ９，１１の係止が解除さｎる０つまり、カセット１
６がアーム５から取り外されることになる０次いで、駆
動ツマミ８を逆方向（反矢印Ａ方向）に回すと、カセッ
ト１６はＸ−Ｙテーブル１８上に載置さｎ７Ｉｊ１ま、
アーム５が反矢印Ｂ方向に移動し元の状態に戻る。かく
して、カセット１６の搬送が行ｖｒＬるものとなってい
るＯ しかしながら、この種の搬送機構を用い次電子ビーム露
光装置にあっては次のような問題があった。すなわち、
カセット１６會着脱する操作と搬送する操作とが分離し
ているため、駆動系が複雑となり、さらに自動化におい
ては電気的シーケンスも複雑となる。また、直動カム１
１ｆ動かす操作棒１０がアーム５内を通っているため、
試料の大型化に伴い送還距離が長くなるに従って、アー
ム５が長くなりその操作性が悪くなる等の問題があった
。
を固定保持したカセット、１７はカセット１ｄのツメ、
１８は試料室１内に配置さｎたＸ−Ｙテーブル、１９は
カセット１６の停止位ｔｔ規制するためのストッパを示
している０この装置では、前記第１図お↓び第２図に示
した状態で駆動ツマミ８ｔ−矢印Ａ方向に回すことにエ
リ、ビニオン１およびランク６を介してアーム５に駆動
力が伝達さｎ同アーム５は矢印Ｂ方向に移動し、これに
よりカセット１６が予備試料室２から試料室１内のＸ−
Ｙテーブル１８上へと搬送される。カセット１６がＸ
−Ｙテーブル１８上のストツノ（１９に当接した時点で
操作軸１３１ｆｆ押すと、クランク機構１２が伸長し操
作棒１０および直動カム１）のみが矢印Ｂ方向に進み、
これによりアーム５の先端に設けられたツメ９が閉じ、
ツメ９，１１の係止が解除さｎる０つまり、カセット１
６がアーム５から取り外されることになる０次いで、駆
動ツマミ８を逆方向（反矢印Ａ方向）に回すと、カセッ
ト１６はＸ−Ｙテーブル１８上に載置さｎ７Ｉｊ１ま、
アーム５が反矢印Ｂ方向に移動し元の状態に戻る。かく
して、カセット１６の搬送が行ｖｒＬるものとなってい
るＯ しかしながら、この種の搬送機構を用い次電子ビーム露
光装置にあっては次のような問題があった。すなわち、
カセット１６會着脱する操作と搬送する操作とが分離し
ているため、駆動系が複雑となり、さらに自動化におい
ては電気的シーケンスも複雑となる。また、直動カム１
１ｆ動かす操作棒１０がアーム５内を通っているため、
試料の大型化に伴い送還距離が長くなるに従って、アー
ム５が長くなりその操作性が悪くなる等の問題があった
。
本発明は上記事情を考慮してなされたもので、その目的
とするところは、試料室と予備試料室との間で試料カセ
ットを搬送する搬送機構の小屋化およびその操作の容易
化をはかり得る電子ビーム篇光装置を提供することにあ
る。
とするところは、試料室と予備試料室との間で試料カセ
ットを搬送する搬送機構の小屋化およびその操作の容易
化をはかり得る電子ビーム篇光装置を提供することにあ
る。
すなわち、本発明は試料カセットの着脱管メカニカルシ
ーケンスで行うと共に、搬送用アームをテレスコープ型
とすることによって、前記目的を達成゛せんとし次もの
である。
ーケンスで行うと共に、搬送用アームをテレスコープ型
とすることによって、前記目的を達成゛せんとし次もの
である。
以下、本発明の詳細を図示の実施例によって説明する。
第３図お↓び第４図はそれぞれ本発明の一実施例の要部
構成を一部切欠して示す平面図および側面図である。な
お、第１図および第２図と同一部分には同一符号を付し
て、その詳しい説明は省略する。この実施例が先に説明
した従来装置と異なる点は、搬送機構の構造にある０す
なわち、前記アーム５の代りにテレスコープ型アーム２
０が用いられ、前記操作棒１０．直動カム１１お工びク
ランク機構１２の代りに着脱機構３０が用いられている
０アーム２０は第５図（、）〜（−）にその平面図、正
面図および側面図を示す如く３つのアーム素子２１，２
２．２３から構成さ几、アーム素子２３がケージング２
４に固定され、アーム素子２１．２２は左右方向に摺動
可能となっているｏｌ＊、アーム素子２１．２２の上部
にはラック２５．２６がそｎぞれ形成さｎている。そし
て、ラック２５゜２６に前記ビニオン１が順次咬み合い
アーム２０は伸縮するものとなっているＯなお、第５図
（Ｃ）中２１はベアリングを示している。
構成を一部切欠して示す平面図および側面図である。な
お、第１図および第２図と同一部分には同一符号を付し
て、その詳しい説明は省略する。この実施例が先に説明
した従来装置と異なる点は、搬送機構の構造にある０す
なわち、前記アーム５の代りにテレスコープ型アーム２
０が用いられ、前記操作棒１０．直動カム１１お工びク
ランク機構１２の代りに着脱機構３０が用いられている
０アーム２０は第５図（、）〜（−）にその平面図、正
面図および側面図を示す如く３つのアーム素子２１，２
２．２３から構成さ几、アーム素子２３がケージング２
４に固定され、アーム素子２１．２２は左右方向に摺動
可能となっているｏｌ＊、アーム素子２１．２２の上部
にはラック２５．２６がそｎぞれ形成さｎている。そし
て、ラック２５゜２６に前記ビニオン１が順次咬み合い
アーム２０は伸縮するものとなっているＯなお、第５図
（Ｃ）中２１はベアリングを示している。
一方、前記着脱機構３０は＃Ｉ６図（、）〜（Ｃ）に示
す如く筒状体３１、この筒状体３１内管摺動する摺動体
３２、この摺動体３２に連結され前記アーム２０のアー
ム素子２ノに取着さｒＬ７を連結体Ｊ３、内方向に付勢
された係止ボール３４おＬび外方向に付勢された係止ボ
ール３５郷から形成されている。そして、前記アームｚ
０の伸縮によってカセット１６のツメ３Ｃとの関係でカ
セットｌ１ｊｔ−着脱するものとなっている。
す如く筒状体３１、この筒状体３１内管摺動する摺動体
３２、この摺動体３２に連結され前記アーム２０のアー
ム素子２ノに取着さｒＬ７を連結体Ｊ３、内方向に付勢
された係止ボール３４おＬび外方向に付勢された係止ボ
ール３５郷から形成されている。そして、前記アームｚ
０の伸縮によってカセット１６のツメ３Ｃとの関係でカ
セットｌ１ｊｔ−着脱するものとなっている。
このような構成であれば、操作ツマき８を矢印Ａ方向に
回すことにより、予備試料室２内のカセット１６は第６
図（ｂ）に示す状態で着脱機構３０に保持さｎ試料室１
内のｘ−ｙテープ、ルＪ８上へと搬送される０カセツト
１ｉがＸ−Ｙテーブル１８上のストッパ１９に当接した
のち、さらに上記操作ツマミ８を回し続けると、着脱機
構３０のボール３４は第６図（Ｃ）に示す如くなりカセ
ット１６が着脱機構３０から外される０次いで、操作ツ
マミ８ｔ−反矢印入方向に回すとカセット１６はｘ−ｙ
テーブル１＃上に載置された１１アーム２０および着脱
機構３０が反矢印Ｂ方向に移動する。そして、着脱機構
３０の筒状体３１がリセットブロック４０に当接すると
、着脱機構３０は９６図（、）の状態に戻ることになる
０かくして、カセット１６の予備試料室２から試料室１
への搬送が終了する。
回すことにより、予備試料室２内のカセット１６は第６
図（ｂ）に示す状態で着脱機構３０に保持さｎ試料室１
内のｘ−ｙテープ、ルＪ８上へと搬送される０カセツト
１ｉがＸ−Ｙテーブル１８上のストッパ１９に当接した
のち、さらに上記操作ツマミ８を回し続けると、着脱機
構３０のボール３４は第６図（Ｃ）に示す如くなりカセ
ット１６が着脱機構３０から外される０次いで、操作ツ
マミ８ｔ−反矢印入方向に回すとカセット１６はｘ−ｙ
テーブル１＃上に載置された１１アーム２０および着脱
機構３０が反矢印Ｂ方向に移動する。そして、着脱機構
３０の筒状体３１がリセットブロック４０に当接すると
、着脱機構３０は９６図（、）の状態に戻ることになる
０かくして、カセット１６の予備試料室２から試料室１
への搬送が終了する。
また、カセット１６を試料室１から予備試料室２へと搬
送する場合、操作ツマミ８を矢印Ａ方向に囲わし着脱機
構２０が第６図（ｂ）に示す状態となったところで操作
ツマミ８を逆転させると、試料１６は着脱機構２０に保
持さ扛て予備試料室２′＼と搬送されることになる。
送する場合、操作ツマミ８を矢印Ａ方向に囲わし着脱機
構２０が第６図（ｂ）に示す状態となったところで操作
ツマミ８を逆転させると、試料１６は着脱機構２０に保
持さ扛て予備試料室２′＼と搬送されることになる。
そしてこの場合、操作ツマキ８ｔ−回わすことのみで、
カセット１６の搬送および着脱を行うことができる。こ
のため、搬送機構の操作が極めて容易となる。また、テ
レスコープ製アーム２０を用いているので、カセット１
６の送還距離が長くなった場合にあってもアーム２０を
短くすることができ、装置構成の小型化をはかり得る勢
の効果を奏する。
カセット１６の搬送および着脱を行うことができる。こ
のため、搬送機構の操作が極めて容易となる。また、テ
レスコープ製アーム２０を用いているので、カセット１
６の送還距離が長くなった場合にあってもアーム２０を
短くすることができ、装置構成の小型化をはかり得る勢
の効果を奏する。
なＪ５、本発明は上述した実施例に限定されるものでは
ない。例えば、前記テレスコープ型アームのアーム素子
は３個に限るものではなく、それ以上にしてもよいのは
勿論のことである。
ない。例えば、前記テレスコープ型アームのアーム素子
は３個に限るものではなく、それ以上にしてもよいのは
勿論のことである。
ｔた、前記着脱機構は上記アームの伸縮長に応じてカセ
ットを着脱する機能を有したものであｎばよい０その他
、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々羨形して実施
することができる。
ットを着脱する機能を有したものであｎばよい０その他
、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々羨形して実施
することができる。
第１図および第２図はそれぞｎ従来の電子ビーム露光装
置の１ノ部構成を一部切欠して示す平面図および側面図
、第３図および第４図はそｎぞれ本発明の一実施例の要
部構成を一部切欠して示す平面図および側面図、第５図
（畠）〜（Ｃ）は上記実施例のアーム部を示す平面図、
正面図および側面図、第６図（−）〜（Ｃ）は上記実施
例の着脱機構部を示す断面図である。 ｌ・・・試料室、２・・・予備試料室、１・・・ピニオ
ン、８・・・操作ツマミ、１５・・カセット、Ｉｌｌ・
・・ｘ−Ｙテーブル、２０・・・テレスコープ減アーム
、２１．２２．２３・・・アーム素子、２４パ・ケージ
ング、２５．２６・・・ラック、３０・・・着脱機構、
３ノ・・・筒状体、３２・・・摺動体、３３・・・連結
体、３４．３５・・・係止用ボール。 出願人代理人弁理士 鈴江武奮
置の１ノ部構成を一部切欠して示す平面図および側面図
、第３図および第４図はそｎぞれ本発明の一実施例の要
部構成を一部切欠して示す平面図および側面図、第５図
（畠）〜（Ｃ）は上記実施例のアーム部を示す平面図、
正面図および側面図、第６図（−）〜（Ｃ）は上記実施
例の着脱機構部を示す断面図である。 ｌ・・・試料室、２・・・予備試料室、１・・・ピニオ
ン、８・・・操作ツマミ、１５・・カセット、Ｉｌｌ・
・・ｘ−Ｙテーブル、２０・・・テレスコープ減アーム
、２１．２２．２３・・・アーム素子、２４パ・ケージ
ング、２５．２６・・・ラック、３０・・・着脱機構、
３ノ・・・筒状体、３２・・・摺動体、３３・・・連結
体、３４．３５・・・係止用ボール。 出願人代理人弁理士 鈴江武奮
Claims (2)
- （１）電子ビーム露光に供される試料を収容保持する試
料室、該試料室に連設された予備試料室およびこれら各
室間で上記試料を固定保持し次カセットを搬送制御する
搬送機構を備えた電子ビーム露光装置において、上記搬
送機構は前記予備試料室から試料室に向かう方向に沿っ
て伸縮自在なテレスコープ履アーふと、このアームの先
端に設けられ該アームの伸縮長に応じて前記カセットを
着脱する自己着脱機構と、上記アーム管伸縮せしめる駆
動機構とからなるものであゐことを特徴とする電子ビー
ム露光装置。 - （２）前記駆動機構は、前記アームの伸縮方向に沿って
該アームに形成されたラック、このラックＫＩ２み会う
ビニオンおよびこのビニオン管回転駆動する手段からな
るものであることを特徴とする特許請求の範凹第１項記
載の電子ビーム露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13882081A JPS5840759A (ja) | 1981-09-03 | 1981-09-03 | 電子ビ−ム露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13882081A JPS5840759A (ja) | 1981-09-03 | 1981-09-03 | 電子ビ−ム露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5840759A true JPS5840759A (ja) | 1983-03-09 |
Family
ID=15230988
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13882081A Pending JPS5840759A (ja) | 1981-09-03 | 1981-09-03 | 電子ビ−ム露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5840759A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61181050A (ja) * | 1985-02-06 | 1986-08-13 | Hitachi Ltd | 真空装置の試料交換機構 |
| JPH041568U (ja) * | 1990-04-13 | 1992-01-08 | ||
| WO2006032930A1 (en) | 2004-06-15 | 2006-03-30 | Nanobeam Limited | Substrate handling device for a charged particle beam system |
| US8569718B2 (en) | 2009-12-23 | 2013-10-29 | Nanobeam Limited | Charged particle beam system |
-
1981
- 1981-09-03 JP JP13882081A patent/JPS5840759A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61181050A (ja) * | 1985-02-06 | 1986-08-13 | Hitachi Ltd | 真空装置の試料交換機構 |
| JPH041568U (ja) * | 1990-04-13 | 1992-01-08 | ||
| WO2006032930A1 (en) | 2004-06-15 | 2006-03-30 | Nanobeam Limited | Substrate handling device for a charged particle beam system |
| US8569718B2 (en) | 2009-12-23 | 2013-10-29 | Nanobeam Limited | Charged particle beam system |
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