JPS6224640A - 集積回路用ウエハ処理装置 - Google Patents

集積回路用ウエハ処理装置

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JPS6224640A
JPS6224640A JP61173508A JP17350886A JPS6224640A JP S6224640 A JPS6224640 A JP S6224640A JP 61173508 A JP61173508 A JP 61173508A JP 17350886 A JP17350886 A JP 17350886A JP S6224640 A JPS6224640 A JP S6224640A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は集積回路用ウェハの処理装置に係り、特にウェ
ハを搭載したカセットを自動的に移動させるカセットノ
１ンドラに関するものである０〈従来技術とその問題点
〉 集積回路用ウエハの処理装置としては、特開昭５９年第
２０２８８９号、特開昭５９年第２０２８９０号、特開
昭６０年第６４９３６号等に述べられている。以下説明
の都合上、これらの明細書中に述べられている標準機械
的インタフェースンステムをＳＭＩ　Ｆ　（５ｔａｎｄ
ａｒｄｉｚｅｄ　ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ　＋ｎｔｅｒ　
ｆａｃｅ　）という。ＳＭＩＦは、ＩＣ製造工程におい
てＩＣＣウニ側周辺ガス状媒体の量を機械的に最少にす
ることによって、ＩＣ製造工程における貯蔵、輸送、移
動期間中の粒子による汚染を減少させている。即ち、こ
のことは、ガス状媒体をウェハに対して基本的に静止さ
せ、また外部の周囲環境からの粒子がウェハ環境に侵入
しないようにして達成される。実験結果によれば、この
Ｓ　Ｍ　Ｉ　Ｆによれば、一般のクラス１００・クリー
ンルームによる処理に比較して約１０倍だけウェハの粒
子汚染を減少できる。
第１図は従来の集積回路用ウェハ処理装置の概略図であ
る。スロット（図示せず）中に複数個のウェハ２０を支
持したカセット１０は、ＳＭＩ　Ｆボックス３０とキャ
ノビイ４０の下部のＳ　、Ｖ　Ｉ　Ｐ環境部との間さ、
インタフェース・ポート２５を介ｔ、−Ｃ１ＳＭＩＦエ
レベータ５０によって輸送される。カセットがキャンビ
イ４０中に入れられると、カセット１０は機器エレベー
タ６０へ移動される。機器エレベータ６０はウエト２０
がその内部で処理される処理部７０の一部であるつウエ
ノ１２０の処理後、ウェハ２０はカセット１０中に逆に
移動される。そしてカセット１０は、処理部７０のｍ器
：ｒ−ｖベータ６０からＳＭＩＦエレベータ５０に移動
され、；ｆ：して次ＶｃｓＭＩＦボックス３０に移動さ
れる。従来のある処理部７０においては、ウェハハンド
ラ（図示せず）は、処畦済りエハ２０をカセット・スロ
ットからある距離だけ突出させた状態でカセットｌＯ中
に格納配置する。またある場合には、処理部７０の振動
またはびくびく動＜　運ＩＪｄＪＩｃ−１−って、ウエ
ノ・２０がカセットスロット上を滑って移動することが
ある。上記どちらの場合においても、ＳＭＩＦエレベー
タ５０が上昇して、カセット１０をＳ　Ｍ　Ｉ　Ｐボッ
クス３０中に輸送する以前に、９エバ２０をカセット１
０中のあらゆる方向に押圧する（押し込めておく）こと
が重要である。
従来、ウェハがカセット中に充分に押圧されている状態
でＳＭＩＦエレベータと機器エレベータとの間でカセッ
トを輸送するために、２つの方法が行なわれてきた。第
１の方法は、第１図に示されているように、操作者がカ
セットマニプレータ８０を使用して、ＳＭＩＦキャノピ
イ４０の外部から手動で操作することであった。この方
法においては、キャノピイ４０内部でのマニプレータ８
０の運動は望ましくない粒子の移動（飛び散る）や、ウ
ェハ２０の汚染を発生させない点で有利である。
しかしながら、カセット１０を所望位置に配置するため
に、マニプレータ８０を手動で非常に機敏に移動させね
ばならない欠点がある。
第２の方法は第２図に示されている。第２図は従来の集
積回路用クエ・・処理装置の概略図である。
この方法は、ＳＭＩ　Ｅ’キャノビイ４０の側壁２２０
に取付けられたシールドされたグラブ２１０を使用して
、ＳＭＩＦエレベータ５０と機器エレベータ６０間でカ
セット１０を輸送することである。この方法においては
、ＳＭＥＦエレベータ５０と機器エレベータ６０間でカ
セットを輸送するために、上記方法と比較してそれほど
機敏性を心安とせず、さらにすべてのつ二ｌ・２０をカ
セット１０中に充分に押し込んだ状態で輸送できる。し
かしながら、グラブの使用はあく葦でも手動であり、ま
たグラブの移動によりＳＭＩＦキャノビイ４０中で望ま
しくない粒子の飛び散りが発生する恐れがある。
〈発明の目的〉 本発明は上述した欠点を除去するためになされたもので
、機械的に且つウェハの汚染なしに移動できる処理装置
を提供することである。
〈発明の概安〉 本発明による処理装置は、ＳＭＩＦキャノビイ内部のカ
セットを扱う場合に１粒子がＳＭＩＦキャノビイ内部で
飛び散らないようにし、従来操作者に要求されていた機
敏性を除去する。加えて、コントローラとそれに関連し
たセン丈が自動化されたカセットハンドラを制御する。
それによりいつたｌ＜ＪＳＭｆ、Ｆ’水ボツクスキャノ
ビイのインタフェースポートに配置されると、ＳＭＩＦ
ボックスと機器エレベータ間でのカセットの移動は、単
一のスイッチを付勢することにより開始される。
自動化されたカセットハンドラはＳＭＩＦエレベータか
ら機器エレベータへ（またはその逆）カセットを輸送す
る。これはカセットの輸送工程中力セットを垂直方向に
維持する旋回運動を使用して行なわれる。Ｓ　Ｎ［１（
’キャノビイ内部でカセットを移動させるために回転要
素を使用すること屯直線的摩擦映素を使用した場合に生
ずるであろう粒子の発生を避けるためにＮ要である。
カセットの旋回運動は、２個のピボットアームを用いて
達成される。ピボットアームの上端部はカセットつまみ
／ウェハ押圧機構に取付けられてカセットを支持し、複
数個のクエへをカセットの溝中に押圧し維持する。一方
アームの下端部は２個の互に平行なシャフトに結合され
る。シャフトは２個のアームが調和（−恥して回転する
ように結合される。キャノビイ外部のモータはキャノビ
イ内の２個のアームを駆動し、そして位置センナは旋回
アームの移動工程の端部における該アームの位置を検出
する。操作者は、ウェアを包むカセットを内蔵したＳＭ
ＩＦボックスをキャノビイのインタフェース・ポート上
に配置し、そしてスイッチを付勢する。そしてカセット
・・ンドラに対するコントローラは一連のシーケンスを
開始し、カセットをＳＭＩＦボックスから機器エレベー
タに輸送する。ウェハが処理部内で処理された後、上述
した動作とは逆の動作が開始され、カセット−・ンドラ
によりカセットは機器エレベータからＳＭＩＦボックス
に自動的に輸送される。なお、ある処理装置においては
、処理済ウェハは第２のカセット中に、または第２の機
器エレベータ上の第１カセツト中に置かれるので１竿２
のカセットハンドラが処理済ウェハを持つカセットをＳ
ＭＩＦボックス中に輸送するために使用されてもよい。
〈発明の実施例〉 第３Ａ図から第３Ｄ図は本発明の集積回路用ウェハ処理
装置の概略図であシ、且りクエハの輸送工程を示した図
である。本発明の処理装置はカセットハンドラ３００を
有しており、さらにカセットハンドラ３００は２個の主
要要素、即ちカセットつまみ３１０とウエハ押圧体３２
０とを含んでいる。カセットつまみ３１０はカセット３
３０をしっかりと把持し、２個のアーム３４０によって
エレベータ５０上のガイド３３５から離れるようカセッ
ト３３０を持ち上げ、そしてエレベータ６０上のガイド
３３６上にカセット３３０を置くために便用される。ガ
イド３３５、３３６およびカセットガイド・ノ’　　３
３７は、カセット３３０が回転弧３３８．３３９の端部
に移動されるとき、カセット３３０をエレベータ５０．
６００所足位置に配置するように動作する。ウェハ押圧
体３２０はウニ／−２０をカセット３３０中に押し込め
、そしてカセット３３０の輸送中にカセット３３０が脱
落しないようにする。
第３Ｎ図〜第３Ｄ図に示したように、カセットハンドラ
３００の持上げおよび輸送運動は、カセットつまみ心棒
４０５ヲキャノビイ４０に結合する２個の平行アーム３
４０を使用して達成される。第４図に示されるように、
アーム３４０の上端部は上部ピボット３５０によってつ
まみ筐体４０５に結合される。アーム３４０の丁端部は
２個の互に平行なりヤフト３６０と２個のｆ部ピボット
３６５とによって旋回筐体３４５に取付けられる。旋回
筐体３４５は、全筐体３００がモジュールとしてキャン
ビイ４０中に容易に設置できるように、キャノビイ４０
０ｇＪＡに取はずし可能な一部分となっている。よって
２個のアーム３４０は調和（一致）して回転する。キャ
ノピイ４０の外部に装着されたモータ３６７はタイミン
グベルト３６９のような駆動手段によってシャ７　）　
３６０を駆動する。フラグ３７２は、アーム３４０がそ
れらの行程のうちのどちら側にあるかどうか光検出器３
７０によって検出できるように、シャフト３６０に結合
される。
第３Ｎ図〜第３Ｄ図に示され、さらに第４．５図に詳細
に示さ几るようＫ、ウェハ２ｏをカセット３３０中に押
し込むウェハ押圧体３２０は、それ自身の軸の回わりに
回転可能な垂直バー４１０を含む。
垂直バー４１０は抑圧アーム４２０によってつまみ筐体
４０５に接続され、その結果、第５図に示されるように
垂直バー４１０はカセット３３０の前面４３０と側面４
３５との間を旋回できる。空気シリンダ４４０は復帰用
スプリングをもち、垂直バー４１０を旋回させるだめの
スロー・ロッド４４５と連結体４５０とによってアーム
４２０に結合される。復帰用スプリングはスロー・ロッ
ド４４５を引込ませるために使用され、空気７９ンダ４
４００ロンドンールの漏れを介して粒子？ｆｉ械油がキ
ャンビイ４０中に飛び散るのを防止する。カセット３３
０がつかまれるとき、空気シリンダ４４０は同時に付勢
され、垂直バー４１０はカセット３３０の前面４３０を
慎切って旋回し、ウェハ２０をカセット３３０中に押し
込む、カセット３３０がつかまれている限り、垂直バー
４１０はカセット３３０の前面４３０に留まったままで
ある。したがって、第３人図〜第３Ｄ図に示されている
ようにカセット３３０がＳＭＩＦエレベータ５０から機
器エレベータ６０に輸送されるとき、ウニＩ・２０は脱
落しない。加えて、ウエノ・押圧体３２０の動作中に電
力消滅（例えば、停電）があったとして転シリンダ４４
０中の復帰スプリングによりバー４１０はカセット３３
０の前面４３０に維持され、ウニ／嘱２０はカセット３
３０中に維持される。カセット３３０のつまみ動作が解
除されると、バー４１０は側面４３５の方向に旋回し、
その結果ウェハ２０をカセット３３０から自由に取出す
ことができる。２個のマイクロスイッチ４６０は、バー
４１０がカセット３３０の前面４３０にあるか１１’ｌ
ｌ１面４３５にあるかを検出するために使用される。
第６図にカセットつまみ３１０の詳細断面図が示されて
いる。この図は第５図の線Ａ−ＡＫ沿った断面図である
。カセット３３０には溝５１０があり。
これは突出部５２０と係合する。突出部５２０の型は種
々の形のカセット３３０に適合するように変形できる。
突出部５２０はアーム５３０およびビン５３５を介して
カバー５４０に接続される。カバー５４０、す、イド５
４５、ガイド板５５０は第４図に示すつまみ筐体４０５
を杉成する。アーム５３０はピボット５５５を介してサ
イド５４５に結合される。ガイド板５５０はカセット３
３０を位置決めし且つそれを中心に置くように働く。突
出部５２０はアクチュエータ５５７、つまみシリンダ５
６０のスロー曝ロッド５６３およびスプリング５６５ｖ
ｃ＆絡−［る。よってつま４シリンダ５６０が上昇また
は一ド呻すると、突出部はそれぞれ溝５１０に係合しま
たはを工ずれる。第５図の空気シリンダ４４０の場合と
同様に、スプリング５６５はつまみシリンダのスロー・
ロンド５６３を引込めるために用いられる。その結果シ
リンダ５６０のロンドシール中の漏れを介してキャンビ
イ４０中に粒子や機械油が飛び散るのが防止される。加
えて、カセットつまみ３１０の動作中に電力消滅があっ
たとしても、スプリング５６５によって、突出部５２０
はカセット３３０と係合したままとなり、カセット３３
０は落ドすることはない。つ１み用マイクロスインチ５
７０は各アーム５３０と共働し、カセットア０がカセッ
トつまみ３１０によってつままれているか否かを検出す
る。第５図に示したつまみ筐体上のマイクロスイッチ６
１０はカセットつまみ３１０が動作中であるか否かを検
出する。
第３Ａ図に示されているように、操作者はまず。
ウェハ２０を含むカセット３３ｏ”ｋ内蔵したＳＭＩＦ
ボックス３０をキャノビイ４０のインタフェース・ポー
ト２５に置き、そしてスイッチＳ（図示せず）を付勢す
る。スイッチＳはコン）ｏ−ラＣ（図示せず）を介し−
〔第５．６図に示した。空気シリンダ４４０，５６０に
電気的に接続される。コントローラＣはまｔこセンサ３
７０（第４図）、４６０，６１０（第５図）、５７０（
第６図）より位置情報を受信する。そしてコントローラ
Ｃは第３Ｎ〜第３Ｄ図および第７図に示された一連の動
作を開始させ、カセット３３０をＳＭＩＦボックス３０
から機器エレベータ６０に輸送する。ウニノー２０が処
理部７０中で処理され、そしてカセット３３０中に戻さ
れると、第８図に示した工程により、カセット３３０は
機器エレベータ６０からＳＭＩＦボンクス３０中に逆方
向に輸送される。
〈発明の効果〉 以上の説明より明らかなように、本発明による処理装置
による動作は全て機械的に且つ自動的に行なわれ、さら
に粒子によりウエハが汚染されることはない。
【図面の簡単な説明】
第１図および第２図は従来の集積回路用ワエ・・処理装
置の概略図、第３Ａ図から第３Ｄ図は本発明による集積
回路用ウニ・へ処理装置の概略図であり、ウェハの輸送
工程を示しｔこ図、第４図は第３人から第３Ｄ図に示し
たカセットつまみとウェハ押圧体との詳細図、第５図は
第３Ａ図から第３Ｄ図に示したカセットつまみと、ウニ
ノ・押圧体との詳細上面図、第６図は第５図のＡ−Ａ線
に泊った断面図、第７図および第８図は本発明による集
積回路用クエ・・処理装置の動作を示した流れ図である
。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 複数個のウェハを含むカセットを処理装置中で移動させ
    る集積回路用ウエハ処理装置において、カセットを把持
    するカセットつまみ手段と、ウェハをカセット内に押圧
    するウエハ押圧体とより成るカセットハンドラを設け、
    前記カセットハンドラは２個の平行なアームの一端に取
    付けられ該アームの運動による前記カセットハンドラの
    旋回運動により前記カセットを移動させるようにした集
    積回路用ウェハ処理装置。
JP61173508A 1985-07-24 1986-07-23 集積回路用ウエハ処理装置 Expired - Lifetime JPH0618231B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US06/759,013 US4705444A (en) 1985-07-24 1985-07-24 Apparatus for automated cassette handling
US759013 1985-07-24

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6224640A true JPS6224640A (ja) 1987-02-02
JPH0618231B2 JPH0618231B2 (ja) 1994-03-09

Family

ID=25054051

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP61173508A Expired - Lifetime JPH0618231B2 (ja) 1985-07-24 1986-07-23 集積回路用ウエハ処理装置

Country Status (4)

Country Link
US (2) US4705444A (ja)
EP (1) EP0209660B1 (ja)
JP (1) JPH0618231B2 (ja)
DE (1) DE3686614T2 (ja)

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