JPS63318051A - トツプエントリ−試料交換装置用雰囲気試料運搬室 - Google Patents
トツプエントリ−試料交換装置用雰囲気試料運搬室Info
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- JPS63318051A JPS63318051A JP62151183A JP15118387A JPS63318051A JP S63318051 A JPS63318051 A JP S63318051A JP 62151183 A JP62151183 A JP 62151183A JP 15118387 A JP15118387 A JP 15118387A JP S63318051 A JPS63318051 A JP S63318051A
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- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims abstract description 14
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 7
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 3
- 238000000386 microscopy Methods 0.000 abstract 2
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
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- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 4
- 238000004627 transmission electron microscopy Methods 0.000 description 3
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Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はトップエントリー試料交換装置用雰囲気試料運
搬室に係り、特にトップエントリー試料交換装置を備え
た透過形電子顕微鏡（以下透過電顕と略称する）等に好
適な雰囲気試料運搬室に関するものである。
搬室に係り、特にトップエントリー試料交換装置を備え
た透過形電子顕微鏡（以下透過電顕と略称する）等に好
適な雰囲気試料運搬室に関するものである。
透過電顕のサイドエントり一傾斜装置用雰囲気試料運搬
室については、特開昭５９−３］１４７号公報で公知で
あるが、トップエントリー試料交換装置を備えた透過電
顕の場合は、試料を鏡体内に持ち込んだ状態で試料を処
理、加工する場合が多い。
室については、特開昭５９−３］１４７号公報で公知で
あるが、トップエントリー試料交換装置を備えた透過電
顕の場合は、試料を鏡体内に持ち込んだ状態で試料を処
理、加工する場合が多い。
試料加工の真空蒸着装置は、トップエントリー試料室の
予備穴に取り付ける方法がある。
予備穴に取り付ける方法がある。
透過電顕では、今後共々超高分解能の性能が要求される
。合わせて材料研究の分野では、試料を処理、加工した
後、大気に曝すことなく鏡体内に持ち込むことが望まれ
ている。この傾向は、試料の傾斜が容易で、試料の加熱
、冷却、引張り等の複合機能も比較的容易に得られる点
からサイドエントリー傾斜装置において種々の実用化が
試みられている。しかし、サイドエントリー傾斜装置の
場合は、耐振性等に難点があり、トップエントリー試料
交換装置のように超高分解能が得がたいという問題があ
る。
。合わせて材料研究の分野では、試料を処理、加工した
後、大気に曝すことなく鏡体内に持ち込むことが望まれ
ている。この傾向は、試料の傾斜が容易で、試料の加熱
、冷却、引張り等の複合機能も比較的容易に得られる点
からサイドエントリー傾斜装置において種々の実用化が
試みられている。しかし、サイドエントリー傾斜装置の
場合は、耐振性等に難点があり、トップエントリー試料
交換装置のように超高分解能が得がたいという問題があ
る。
トップエントリー試料交換装置を備えた透過電顕の場合
は、試料を鏡体内に挿入した状態で試料の加工をする場
合が多く、真空蒸着などにより対物レンズポールピース
、試料微動機構などの汚染を防ぐことはできなかった。
は、試料を鏡体内に挿入した状態で試料の加工をする場
合が多く、真空蒸着などにより対物レンズポールピース
、試料微動機構などの汚染を防ぐことはできなかった。
対物レンズポールピースの汚れは、透過電顕の性能低下
につながり、技術的に解決すべき課題であった。
につながり、技術的に解決すべき課題であった。
上記従来技術は、対物レンズポールピース、試料微動機
構などの真空蒸着などによる汚染を防ぐことができず、
透過電顕の性能低下につながるという問題があった。
構などの真空蒸着などによる汚染を防ぐことができず、
透過電顕の性能低下につながるという問題があった。
本発明の目的は、トップエントリー試料交換装置の試料
ホルダーの長さがサイドエントリ一式の試料ホルダーに
比べて約１７５と短かくでき、運搬室を小形にできるト
ップエントリー試料交換装置用雰囲気試料運搬室を提供
することにある。
ホルダーの長さがサイドエントリ一式の試料ホルダーに
比べて約１７５と短かくでき、運搬室を小形にできるト
ップエントリー試料交換装置用雰囲気試料運搬室を提供
することにある。
上記目的は、雰囲気試料運搬室内に保持された試料ホル
ダーをトップエントリー試料交換装置内に真空外から移
動、装着する手段を備え、試料検鏡時に上記雰囲気試料
運搬装置をトップエントリー試料交換装置の試料挿入口
より切り離す手段を具備する構成として達成するように
した。
ダーをトップエントリー試料交換装置内に真空外から移
動、装着する手段を備え、試料検鏡時に上記雰囲気試料
運搬装置をトップエントリー試料交換装置の試料挿入口
より切り離す手段を具備する構成として達成するように
した。
真空蒸着装置で試料を加工する場合、サイドエントリー
試料ホルダーは棒状になっているため、運搬室の外から
試料ホルダーを操作することができる。したがって、試
料への蒸着操作も簡単に行うことができる。これに対し
てトップエントリー試料ホルダーの場合は、運搬室の中
に試料ホルダーを保持する機構が複雑であることと、試
料ホルダーの軸方向に対向して真空蒸着装置の蒸着源を
設けねばらならない等の制約があった。本発明によれば
、運搬室の中に試料ホルダーを保持する方法が簡単、確
実で、運搬室の外から操作して試料を回転、傾斜させる
機構としたので、これにより試料の蒸着も角度と方向を
変えられるため、試料の加工ミス等の問題もなくなった
。
試料ホルダーは棒状になっているため、運搬室の外から
試料ホルダーを操作することができる。したがって、試
料への蒸着操作も簡単に行うことができる。これに対し
てトップエントリー試料ホルダーの場合は、運搬室の中
に試料ホルダーを保持する機構が複雑であることと、試
料ホルダーの軸方向に対向して真空蒸着装置の蒸着源を
設けねばらならない等の制約があった。本発明によれば
、運搬室の中に試料ホルダーを保持する方法が簡単、確
実で、運搬室の外から操作して試料を回転、傾斜させる
機構としたので、これにより試料の蒸着も角度と方向を
変えられるため、試料の加工ミス等の問題もなくなった
。
以下本発明を第１図〜第５図に示した実施例を用いて詳
細に説明する。
細に説明する。
第１図は本発明のトップエントリー試料交換装置用雰囲
気試料運搬室取付け可能な鏡体とトップエントリー試料
交換装置の一実施例を示す横断面図である。第１図にお
いて、１は透過電顕の試料室であり、電子線軸Ｏは紙面
に垂直である。試料室１にはトップエントリー試料交換
装置２が取り付けてあり、トップエントリ一式の試料ホ
ルダー３を鏡体内に持ち込む場合は、試料ホルダー挿入
口４より試料ホルダー３を図示の如く試料５を手前にし
て試料ホルダー支持機構部６を係合させ、トップエント
リー試料交換装置２のつまみ７を回転し、試料ホルダー
支持機構部６と試料ホルダー３を図示矢印Ａ方向に移動
させ、ホルダー収納口８に完全に収容する。しかる後、
ホルダー収容部９を電子線軸Ｏのところまで方向が９０
’変わるように移動させ、つまみ７を前回と反対方向に
回転し、試料ホルダー支持機構６と試料ホルダー３をト
ップエントリー試料台の方向に移動し、図示を省略した
が、試料ホルダー３だけをトップエントリー試料台に装
填し、最終的には試料ホルダー支持機構部６だけを収納
してホルダー収容部９は図示の位置に戻る。これがトッ
プエントリー試料交換袋ｗ２の基本構成であり、詳細は
公知であるため説明を省略する。
気試料運搬室取付け可能な鏡体とトップエントリー試料
交換装置の一実施例を示す横断面図である。第１図にお
いて、１は透過電顕の試料室であり、電子線軸Ｏは紙面
に垂直である。試料室１にはトップエントリー試料交換
装置２が取り付けてあり、トップエントリ一式の試料ホ
ルダー３を鏡体内に持ち込む場合は、試料ホルダー挿入
口４より試料ホルダー３を図示の如く試料５を手前にし
て試料ホルダー支持機構部６を係合させ、トップエント
リー試料交換装置２のつまみ７を回転し、試料ホルダー
支持機構部６と試料ホルダー３を図示矢印Ａ方向に移動
させ、ホルダー収納口８に完全に収容する。しかる後、
ホルダー収容部９を電子線軸Ｏのところまで方向が９０
’変わるように移動させ、つまみ７を前回と反対方向に
回転し、試料ホルダー支持機構６と試料ホルダー３をト
ップエントリー試料台の方向に移動し、図示を省略した
が、試料ホルダー３だけをトップエントリー試料台に装
填し、最終的には試料ホルダー支持機構部６だけを収納
してホルダー収容部９は図示の位置に戻る。これがトッ
プエントリー試料交換袋ｗ２の基本構成であり、詳細は
公知であるため説明を省略する。
試料の交換に際しては、試料ホルダー挿入口４の空間１
０に試料ホルダー３を収納した状態で真空的に気密とな
るように密閉し、しかる後真空排気口１１より真空排気
し、その後真空弁１２を開放して試料ホルダー３を装着
する構成も周知であり、詳細な記述は省略する。概略以
上の如く構成したトップエントリー試料交換装置２にお
いて、第１図においては、試料ホルダー挿入口４の一部
をなす取付部１３に０リング１４を介して運搬室１５を
真空的に気密となるように取り付け、真空弁１２′を開
き、操作捧１６を鏡体側に押し込み、試料ホルダー３を
試料ホルダー支持機構部６に連結させた状態を示しであ
る。この場合、運搬室１５の空間１０′は試料ホルダー
挿入口４の空間１０と同様に真空の状態を保っている。
０に試料ホルダー３を収納した状態で真空的に気密とな
るように密閉し、しかる後真空排気口１１より真空排気
し、その後真空弁１２を開放して試料ホルダー３を装着
する構成も周知であり、詳細な記述は省略する。概略以
上の如く構成したトップエントリー試料交換装置２にお
いて、第１図においては、試料ホルダー挿入口４の一部
をなす取付部１３に０リング１４を介して運搬室１５を
真空的に気密となるように取り付け、真空弁１２′を開
き、操作捧１６を鏡体側に押し込み、試料ホルダー３を
試料ホルダー支持機構部６に連結させた状態を示しであ
る。この場合、運搬室１５の空間１０′は試料ホルダー
挿入口４の空間１０と同様に真空の状態を保っている。
試料検鏡後は、試料ホルダー３を試料保持筒１７に納め
、操作捧１６を運搬室１５の方向に引いて、試料ホルダ
ー３を運搬室１５の中に収納する。しかる後、真空弁１
２．１２’を閉じ、空気導入弁１８を操作して試料ホル
ダー挿入口４の空間１０を大気にする。空間１０を大気
にすることにより、運搬室１５全体は試料ホルダー挿入
口４の取付部１３より切り離すことが可能になる。
、操作捧１６を運搬室１５の方向に引いて、試料ホルダ
ー３を運搬室１５の中に収納する。しかる後、真空弁１
２．１２’を閉じ、空気導入弁１８を操作して試料ホル
ダー挿入口４の空間１０を大気にする。空間１０を大気
にすることにより、運搬室１５全体は試料ホルダー挿入
口４の取付部１３より切り離すことが可能になる。
すなわち、試料５を再び加工する必要がある場合には、
第３図及び第４図に示す状態で真空蒸着装置のところま
で試料５は大気に曝すことなく運搬が可能となる。
第３図及び第４図に示す状態で真空蒸着装置のところま
で試料５は大気に曝すことなく運搬が可能となる。
第２図は運搬室を超高真空の排気装置に取り付けた状態
を示した図である。試料５に蒸着等の加工を施すため、
試料ホルダー３を超高真空の蒸着室の中に移動させた状
態を示しており、さらに試料５の観察部の全範囲に一様
に加工を施す必要のある場合は、蒸着源（図示矢印Ｂの
方向）に試料ホルダー３を向ける。これは試料傾動のつ
まみ２０を一定角度回転することによりなされる。すな
わち、傾動つまみ２０と一体となった軸の先端にはピン
２１があり、このピンが試料保持筒１７の■溝２２に係
合しているため、傾動つまみ２０を回転すると、試料ホ
ルダー３は図示矢印Ｔ。
を示した図である。試料５に蒸着等の加工を施すため、
試料ホルダー３を超高真空の蒸着室の中に移動させた状
態を示しており、さらに試料５の観察部の全範囲に一様
に加工を施す必要のある場合は、蒸着源（図示矢印Ｂの
方向）に試料ホルダー３を向ける。これは試料傾動のつ
まみ２０を一定角度回転することによりなされる。すな
わち、傾動つまみ２０と一体となった軸の先端にはピン
２１があり、このピンが試料保持筒１７の■溝２２に係
合しているため、傾動つまみ２０を回転すると、試料ホ
ルダー３は図示矢印Ｔ。
Ｔ′の方向に傾動する。傾動の回転中心は軸２３まであ
る。軸２３の中心に試料５の面が一致するように構成し
であるため、傾動により蒸着源に対して試料５は大きく
ずれることはない。操作棒１６のつまみ２４を回転する
と試料ホルダー３はＴ−Ｔ’力方向対してほぼ直角方向
に回転する。
る。軸２３の中心に試料５の面が一致するように構成し
であるため、傾動により蒸着源に対して試料５は大きく
ずれることはない。操作棒１６のつまみ２４を回転する
と試料ホルダー３はＴ−Ｔ’力方向対してほぼ直角方向
に回転する。
詳細な機構は第５図に示す。試料５を加工後は、試料ホ
ルダー３をまっすぐに直して運搬室１５の中に収納し、
真空弁１２′を閉じる（第３図参照）。
ルダー３をまっすぐに直して運搬室１５の中に収納し、
真空弁１２′を閉じる（第３図参照）。
その後、超高真空排気装置１９の空気導入用電磁弁２５
を操作して超高真空排気装置１９の真空室を大気の状態
にすると、運搬室１５全体を超高真空排気装置１９から
切り離すことができる。切り離した様子は第３図と第４
図と同じようになる。
を操作して超高真空排気装置１９の真空室を大気の状態
にすると、運搬室１５全体を超高真空排気装置１９から
切り離すことができる。切り離した様子は第３図と第４
図と同じようになる。
上記した本発明によれば、トップエントリー試料交換装
置の試料ホルダーの長さはサイドエントリ一式の試料ホ
ルダに比べて約１７５はど短かくなる。したがって、運
搬室を小形にすることが可能となり、すなわち、小形、
軽量になるため、運搬室そのものの運搬が容易になり、
実作業上の効果が大きくなる。
置の試料ホルダーの長さはサイドエントリ一式の試料ホ
ルダに比べて約１７５はど短かくなる。したがって、運
搬室を小形にすることが可能となり、すなわち、小形、
軽量になるため、運搬室そのものの運搬が容易になり、
実作業上の効果が大きくなる。
第１図は本発明のトップエントリー試料交換装置用雰囲
気試料運搬室取付け可能な鏡体とトップエントリー試料
交換装置の一実施例を示す横断面図、第２図は運搬室を
超高真空排気装置に取り付けた図、第３図、第４図は運
搬室の中に試料を挿入した状態を示す図、第５図は試料
を回転、傾斜する機構の詳細を示す図である。 １・・・試料室、２・・・トップエントリー試料交換装
置、３・・・試料ホルダー、４・・・試料ホルダー挿入
口、５・・・試料、６・・・試料ホルダー支持機構部、
１０゜１０’・・・空間、１１・・・真空排気口、１２
．１２’・・・真空弁、１４・・・０リング、１５・・
・運搬室、１６・・・操作捧、１７・・・試料保持筒、
１８・・・空気導入弁、１９・・・超高真空排気装置。
気試料運搬室取付け可能な鏡体とトップエントリー試料
交換装置の一実施例を示す横断面図、第２図は運搬室を
超高真空排気装置に取り付けた図、第３図、第４図は運
搬室の中に試料を挿入した状態を示す図、第５図は試料
を回転、傾斜する機構の詳細を示す図である。 １・・・試料室、２・・・トップエントリー試料交換装
置、３・・・試料ホルダー、４・・・試料ホルダー挿入
口、５・・・試料、６・・・試料ホルダー支持機構部、
１０゜１０’・・・空間、１１・・・真空排気口、１２
．１２’・・・真空弁、１４・・・０リング、１５・・
・運搬室、１６・・・操作捧、１７・・・試料保持筒、
１８・・・空気導入弁、１９・・・超高真空排気装置。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、透過形電子顕微鏡等のトップエントリー試料交換装
置の試料ホルダー挿入口に真空的に気密に取り付けられ
た雰囲気試料運搬室において、該雰囲気試料運搬室内に
保持された試料ホルダーを前記トップエントリー試料交
換装置内に真空外から移動、装着する手段を備え、試料
検鏡時に前記雰囲気試料運搬室を前記トップエントリー
試料交換装置の試料挿入口より切離す手段を具備するこ
とを特徴とするトップエントリー試料交換装置用雰囲気
試料運搬室。 ２、前記雰囲気試料運搬室は前記試料ホルダー挿入口に
取り付け又は該試料ホルダー挿入口から取り外す際も前
記雰囲気試料運搬室に保持された前記試料ホルダー全体
は常に大気以外の雰囲気に保たれるようにしてある特許
請求の範囲第１項記載のトップエントリー試料交換装置
用雰囲気試料運搬室。 ３、前記雰囲気試料運搬室に保持された前記試料ホルダ
ーは試料の加工が容易にできるように前記試料ホルダー
の回転と傾動を可能にしてある特許請求の範囲第１項記
載のトップエントリー試料交換装置用雰囲気試料運搬室
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62151183A JPS63318051A (ja) | 1987-06-19 | 1987-06-19 | トツプエントリ−試料交換装置用雰囲気試料運搬室 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62151183A JPS63318051A (ja) | 1987-06-19 | 1987-06-19 | トツプエントリ−試料交換装置用雰囲気試料運搬室 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63318051A true JPS63318051A (ja) | 1988-12-26 |
Family
ID=15513099
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62151183A Pending JPS63318051A (ja) | 1987-06-19 | 1987-06-19 | トツプエントリ−試料交換装置用雰囲気試料運搬室 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63318051A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2019135679A1 (en) * | 2018-01-05 | 2019-07-11 | Hennyz B.V. | Vacuum transfer assembly |
-
1987
- 1987-06-19 JP JP62151183A patent/JPS63318051A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2019135679A1 (en) * | 2018-01-05 | 2019-07-11 | Hennyz B.V. | Vacuum transfer assembly |
| NL2020235B1 (en) * | 2018-01-05 | 2019-07-12 | Hennyz B V | Vacuum transfer assembly |
| US11994663B2 (en) | 2018-01-05 | 2024-05-28 | Hennyz B.V. | Vacuum transfer assembly |
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